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14 dicembre 2018
Indice
1 I semiconduttori 2
1.1 Esercizio 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
1.2 Esercizio 2 – Esperimento di Haynes e Shockley . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2 La giunzione pn 18
2.1 Esercizio 3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
2.2 Esercizio 4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
4 Il transistore MOSFET 42
4.1 Esercizio 6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
1
1
I semiconduttori
1.1 Esercizio 1
Si consideri un campione di Si uniformemente drogato con atomi di B in concentrazione NA =
1016 cm−3 , caratterizzato dalle dimensioni fisiche descritte in figura (dove A rappresenta la sezione
trasversale al flusso di corrente determinato dalla resistenza del campione uniforme).
2
A=1 mm L=1 mm
2. Utilizzando le approssimazioni
−2.4
T
µn (T ) = µn (300 K) (1.1)
300
−2.2
T
µp (T ) = µp (300 K) (1.2)
300
3. Dopo aver inserito nel campione ND = 1017 cm−3 atomi di As, ripetere i punti 1 e 2;
4. Utilizzando il campione del punto 3, si proceda ad illuminare una faccia con una radiazione
tale da generarvi un eccesso di elettroni e di lacune pari a 1013 cm−3 . Si valutino n(x) e p(x);
7. Ripetere il punto 4 dopo aver applicato al campione una tensione Va di entrambi i segni.
2
Va
L=1 mm
Soluzione
1.1
Poiché la temperatura è di 300 K, possiamo assumere la completa ionizzazione degli atomi droganti,
che nella tecnologia del Si ha luogo al di sopra di una temperatura di circa 100 ÷ 200 K. Inoltre,
NA ni = 1.45 × 1010 cm−3 , e quindi
s
2 2
2ni 2ni
= 8.41 × 10−12 =⇒ 1 + 1 + ≈2 (1.3)
NA NA
n2i
pp0 = NA = 1016 cm−3 np0 = = 2.1 × 104 cm−3 (1.4)
NA
Dalla equazione di Boltzmann per le lacune si può quindi stimare
Nv
EF − Ev = kB T ln = 180.6 meV (1.5)
NA
essendo, dai dati di tabella del Si, Nv = 1.04 × 1019 cm−3 . Si può quindi tracciare il diagramma a
bande come segue:
E0
qc=4.05 eV
qFSp
Ec
EFi
EF
Ev
Figura 1.1: Diagramma a bande del semiconduttore omogeneo.
3
Tabella 1.1: Parametri del modello per la mobilità di basso campo nel Si a 300 K in funzione del drogaggio
totale Nt
1500
1250 Elettroni
Lacune
1000
750
T=300 K
500 Si
250
14 15 16 17 18 19 20 21
10 10 10 10 10 10 10 10
-3
Drogaggio totale, cm
Figura 1.2: Dipendenza dal drogaggio totale della mobilità di basso campo di elettroni e lacune nel Si a
temperatura ambiente.
In letteratura si trovano modelli matematici che interpolano le curve sperimentali, che in generale
hanno la forma
µmax − µmin
µ = µmin + (1.8)
1 + (Nt /NREF )α
dove i parametri, per il caso del Si a temperatura ambiente, sono riportati nella Tabella 1.1.
In questo caso si ha Nt = NA = 1016 cm−3 , per cui
4
La conducibilità elettrica del materiale è data dalla legge do Ohm microscopica
e quindi
1L 1 L
R= = = 15.39 Ω (1.11)
σA qNA µp A
1.2
Consideriamo ora il campione alla temperatura T = 600 K, dove la ionizzazione è completa come a
300 K, per cui s
2
NA 2ni (T )
pp0 = 1+ 1+ (1.12)
2 NA
Per poter valutare le popolazioni all’equilibrio serve quindi una stima della concentrazione intrinseca
alla nuova temperatura di lavoro. A questo scopo si può usare la relazione che corrisponde alla legge
dell’azione di massa:
p Eg
ni (T ) = Nc (T )Nv (T ) exp − (1.13)
2kB T
Si può procedere in due modi:
1. si ricorda che, da considerazioni teoriche, le due densità efficaci degli stati sono proporzionali
a T 3/2
Nc (T ) = Kc T 3/2 Nv (T ) = Kv T 3/2 (1.14)
per cui
3/2 3/2
Nc (T ) T Nv (T ) T
= = (1.15)
Nc (300 K) 300 Nv (300 K) 300
e quindi
3/2
p T Eg
ni (T ) = Nc (300 K)Nv (300 K) exp − (1.16)
300 2kB T
dove kB T = 2 × 26 = 52 meV. Pertanto (essendo per Si Nc (300 K) = 2.8 × 1019 cm−3 e
Nv (300 K) = 1.04 × 1019 cm−3 )
La differenza tra i due valori di ni (600 K) dipende dal fatto che i valori dei parametri a 300 K (in
particolare, ni , Nc , Nv ed Eg ) non sono tra loro coerenti, in quanto dati sperimentali. A seguito di
questa considerazione, quindi, si preferisci utilizzare il valore (1.19) che garantisce la coerenza tra i
valori della concentrazione intrinseca alle due temperature.
5
E0
qc=4.05 eV qc=4.05 eV
qFSp qFSp
Ec Ec
EFi EF EFi
EF
Ev Ev
300 K 600 K T
Figura 1.3: Variazione del diagramma a bande di un semiconduttore omogeneo con la temperatura (si
trascura la variazione di Eg ).
Si ha quindi
s
2
NA 2ni (T ) = 1.037 × 1016 cm−3
pp0 = 1+ 1+ (1.20)
2 NA
n2i
np0 = = 3.663 × 1014 cm−3 (1.21)
pp0
cui corrisponde
Eg pp0
qΦSp = qχ + + kB T ln = 5.26 eV (1.22)
2 ni
essendo kB T ln (pp0 /ni ) = 87 meV. L’effetto della temperatura sul diagramma a bande è mostrato
nella Figura 1.3.
Osservazione. Si noti che il valore delle concentrazioni appena calcolato è approssimato per difetto.
Infatti si è trascurato il fatto che anche l’ampiezza Eg della banda proibita varia con la temperatura,
e in particolare diminuisce. Tenendo conto che per il Si Eg (600 K) = 1.03 eV, si otterrebbe
ni (600 K) = 4.63 × 1015 cm−3 pp0 (600 K) = 1.181 × 1016 cm−3 np0 (600 K) = 1.815 × 1015 cm−3
(1.23)
Passando ora alla stima della resistenza R, occorre valutare
σn (600 K) = qnp0 (600 K)µn (600 K) σp (600 K) = qpp0 (600 K)µp (600 K) (1.24)
6
R(T) R(T)
Metallo
ins tore
Se int
mi rin
estr ondut
eco
co sec
nd o
utt
ic
Sem
or
e
T T
Figura 1.4: Andamento con la temperatura della resistenza di un campione di semiconduttore drogato
(sinistra) e di un metallo (destra).
pertanto
σn (600 K) = 13.86 × 10−3 S/cm σp (600 K) = 146.60 × 10−3 S/cm (1.27)
da cui
1 L
R= = 62.32 Ω (1.28)
σn + σp A
ovvero R = Rn ||Rp dove Rn = 721.5 Ω è la resistenza dovuta alla sola conduzione per elettroni,
Rp = 68.21 Ω è la resistenza dovuta alla sola conduzione per lacune.
Complessivamente, la dipendenza dalla temperatura della resistenza equivalente di un materiale
dipende da due fattori: la concentrazione di cariche libere, e la riduzione della loro mobilità al crescere
di T . Pertanto nel caso di un:
1.3
In queste condizioni, il semiconduttore viene compensato aggiungendo una concentrazione di atomi
donatori ND tale da rendere il drogaggio netto donatore pari a: N = ND − NA = 9 × 1016 cm−3 > 0.
Pertanto si tratta di un campione di tipo n, nel quale
n2i
nn0 = N = 9 × 1016 cm−3 pn0 = = 2.336 × 103 cm−3 (1.29)
N
Dalla equazione di Boltzmann per gli elettroni si può quindi stimare
Nc
Ec − EF = kB T ln = 150 meV (1.30)
N
7
E0
qc=4.05 eV
qFSn
EF Ec
EFi
Ev
Figura 1.5: Diagramma a bande del semiconduttore compensato omogeneo.
essendo, dai dati di tabella del Si, Nc = 2.8 × 1019 cm−3 . Si può quindi tracciare il diagramma a
bande come segue:
In queste condizioni il drogaggio totale vale Nt = NA + ND = 1.1 × 1017 cm−3 , per cui dalla (1.8)
si ottiene
µn (300 K) = 774 cm2 V−1 s−1 µp (300 K) = 225 cm2 V−1 s−1 (1.33)
Anche in questo caso i portatori minoritari non contribuiscono alla conducibilità del campione
σn (300 K) = qµn nn0 = 11.15 S/cm σp (300 K) = qµp pn0 = 8.41 × 10−14 S/cm (1.34)
pertanto
1 L
R(300 K) = = 0.9 Ω (1.35)
σn (300 K) A
A T = 600 K si utilizza la concentrazione intrinseca (1.19), per cui
s
2
N 2ni (T )
nn0 = 1+ 1+ = 9.004 × 1016 cm−3 (1.36)
2 N
n2i
pp0 = = 4.22 × 1013 cm−3 (1.37)
nn0
cui corrisponde
Eg nn0
qΦSn = qχ + − kB T ln = 4.41 eV (1.38)
2 ni
8
Inoltre
−2.4
600
µn (600 K) = µn (300 K) = 146.65 cm2 V−1 s−1 (1.39)
300
−2.2
600
µp (600 K) = µp (300 K) = 49 cm2 V−1 s−1 (1.40)
300
pertanto
σn (600 K) = 2.113 S/cm σp (600 K) = 3.3 × 10−4 S/cm (1.41)
da cui
1 L 1 L
Rn = = 4.73 Ω Rp = = 30.3 kΩ R = Rn ||Rp = 4.73 Ω (1.42)
σn A σp A
1.4
Gottica
0 L x
Figura 1.6: Campione omogeneo con generazione ottica superficiale.
Si considera ora il campione compensato studiato nel punto precedente, per il quale si induca
sulla superficie (si veda la Figura 1.6 per la struttura e la definizione del sistema di riferimento) una
generazione ottica tale da realizzare un eccesso di carica libera in condizioni di neutralità pari a
Poiché n0n (0) nn0 , il campione lavora in condizioni di basso livello di iniezione. Inoltre,
ci si attende che i portatori generati otticamente sulla superficie diffondano verso l’interno del
campione dove la ricombinazione ne determina il riassorbimento. Appare quindi ragionevole l’ipotesi
di campione neutro anche fuori equilibrio:
ρ(x) = 0 (1.44)
Ma il campione viene lasciato in condizioni di circuito aperto (I = 0), pertanto ai suoi capi non si
ha alcuna caduta di potenziale, cosa che, unitamente alla neutralità, garantisce
E(x) = E0 = 0 (1.45)
Si noti che questa condizione, da verificare a posteriori, consente di trascurare la corrente di drift,
almeno per i portatori minoritari (che, in basso livello di iniezione, restano diversi ordini di grandezza
al di sotto della concentrazione dei maggioritari).
A seguito della (1.45), il modello matematico dei semiconduttori si semplifica poiché la conoscenza
del campo elettrico rende inutile la soluzione dell’equazione di Poisson, mentre E0 = 0 consente di
9
trascurare, nell’equazione di continuità dei portatori minoritari, il termine di corrente di drift:
∂pn 1 ∂Jp
=− − Up (1.46)
∂t q ∂x
∂pn ∂pn
Jp = qpp µp E − qDp = −qDp (1.47)
∂x ∂x
p0n
Up = (1.48)
τp
d2 pn p0n
0 = Dp − (1.49)
dx2 τp
dove pn = p0n + pn0 =⇒ dpn /dt = dp0n /dt, pertanto l’equazione che governa l’evoluzione spaziale
stazionaria della concentrazione in eccesso dei portatori minoritari prende la forma
La (1.50), una equazione differenziale lineare a coefficienti costanti, ha come soluzione generale
una combinazione lineare di esponenziali del tipo exp(λx), dove i valori di λ sono le soluzioni della
equazione caratteristica associata all’equazione differenziale. Sostituendo p0n (x) = exp(λx) nella
(1.50) si trova
1 1
λ2 − 2 = 0 =⇒ λ = ± (1.53)
Lp Lp
per cui
p0n (x) = A exp(x/Lp ) + B exp(−x/Lp ) (1.54)
La determinazione delle due costanti A e B richiede l’imposizione di due condizioni al contorno:
• il testo dell’esercizio assegna il valore di p0n (0), per cui la prima condizione da imporre è
• una analisi qualitativa del sistema fisico da studiare suggerisce come la concentrazione in eccesso
di carica minoritaria debba ridursi allontanandosi dal punto di iniezione, cosa incompatibile
con il termine crescente della (1.54). In particolare, questa considerazione si applica in questo
caso poiché siamo in presenza di un campione lungo, visto che vale la condizione L Lp .
Pertanto, la seconda condizione al contorno che possiamo imporre è
A=0 (1.55b)
10
p’n(x) pn(x)
Diffusione pn(x)=p’n(x)+pn0
Ricombinazione pn0
Lp x x
Figura 1.7: Andamento della concentrazione di portatori minoritari in eccesso (a sinistra) e della
concentrazione totale di portatori minoritari in un campione lungo rispetto alla lunghezza di
diffusione dei portatori minoritari.
Ip,diff(x)
38.7 mA
14.24 mA
Lp x
Figura 1.8: Andamento della corrente di diffusione di portatori minoritari in un campione lungo rispetto
alla lunghezza di diffusione dei portatori minoritari.
11
dalla quale possiamo dedurre, dopo aver risolto l’equazione caratteristica associata alla (1.61)
dp0n dn0 Dn 0 Dp 0
Dp − Dn n nn (x) − p (x)
dx dx = Ln Lp n
E(x) = (1.66)
nn µn nn (x)µn
dove, essendo valido il basso livello di iniezione, nn (x) ≈ nn0 .
1.5
Nel caso del campione con L = 50 µm, si ha L ≈ Lp e quindi non si può più assumere che
l’esponenziale crescente debba avere coefficiente nullo per poter portare a zero l’eccesso di portatori
minoritari iniettati sulla superficie x = 0. In altri termini, occorre identificare una seconda condizione
al contorno oltre a p0n (0) = A + B che sia coerente con il problema da studiare.
In x = L possiamo assumere la presenza di un contatto ohmico, ovvero di una interfaccia di
transizione dal semiconduttore ad un metallo che consenta il passaggio di corrente in entrambe le
direzioni. Nel caso di contatto ohmico ideale tale transizione avviene in presenza di una caduta
di potenziale nulla, ovvero l’interfaccia si comporta da un punto di vista elettrico come un corto
circuito. Poiché il metallo ha a disposizione una concentrazione molto elevata di elettroni liberi,
si può assumere che le lacune iniettate superstiti vengano completamente ricombinate al contatto,
determinando quindi come seconda condizione al contorno:
Facendo uso della soluzione generale (1.54), le due condizioni al contorno conducono al sistema
A + B = p0n (0)
(1.68)
A exp(L/Lp ) + B exp(−L/Lp ) = 0
B = −A exp(2L/Lp ) (1.69)
12
p’n(x) Ip,diff(x)
Diffusione Ip,diff(0)
Ricombinazione Ip,diff(L)
L x L x
Figura 1.9: Andamento della concentrazione in eccesso (a sinistra) e della corrente di diffusione (a destra)
di portatori minoritari in un campione con L ≈ Lp .
dalla quale
p0n (0) p0 (0) exp(−L/Lp )
A= exp(−L/Lp ) = − n (1.71)
exp(−L/Lp ) − exp(L/Lp ) 2 L
sinh
Lp
dove si è usata la definizione 2 sinh(α) = exp(α) − exp(−α). Sostituendo in (1.69) si trova, infine
Sostituendo i valori di A e B nella (1.54) si trova la soluzione particolare richiesta (Figura 1.9
(sinistra))
L−x
sinh
p0n (0)
1 x−L L−x L
0
pn (x) = − exp + exp 0
= pn (0) p (1.73)
2 L Lp Lp L
sinh sinh
Lp Lp
1.6
Affrontiamo ora il caso L = 5 µm Lp : il campione viene detto corto rispetto alla lunghezza di
diffusione dei portatori minoritari. Chiaramente la soluzione (1.73), ricavata senza approssimazioni
basate sul rapporto L/Lp , continua ad essere valida. Tenendo conto che la (1.73) viene valutata
13
p’n(x) Diffusione Ip,diff(x)
Ricombinazione
L x L x
Figura 1.10: Andamento della concentrazione in eccesso (a sinistra) e della corrente di diffusione (a destra)
di portatori minoritari in un campione corto.
per 0 ≤ x ≤ L, sia il numeratore sia il denominatore sono caratterizzati da un argomento del seno
iperbolico che soddisfa le condizioni
(L − x)/Lp 1 ∀x ∈ [0,L] L/Lp 1 (1.77)
e quindi si può usare lo sviluppo asintotico sinh(α) ∼ α per α → 0, ottenendo (Figura 1.10 (sinistra))
L−x
p0n (x) = p0n (0) (1.78)
L
ovvero un andamento lineare. Pertanto la corrente di diffusione è costante e vale (Figura 1.10
(destra))
dp0 Dp
Ip,diff (x) = −qADp n = qA p0n (0) (1.79)
dx L
1.7
Consideriamo ora il caso di una tensione costante Va applicata al campione portato fuori equilibrio.
Assumendo che il materiale sia localmente neutro anche fuori equilibrio, la tensione applicata genera
un campo elettrico costante di valore
Va
E(x) = E0 = − (1.80)
L
e quindi la densità di corrente totale di portatori minoritari diventa
dp0n Va dp0
Jp = qµp pn E − qDp = −qµp pn − qDp n (1.81)
dx L dx
Sostituendo nell’equazione di continuità stazionaria per le lacune si ha
Va dp0n d 2 p0 p0
0 = µp + Dp 2n − n (1.82)
L dx dx τp
ovvero
d2 p0n 1 Va dp0n p0n
+ − =0 (1.83)
dx2 L VT dx L2p
dove si è usata la relazione di Einstein µp /Dp = 1/VT . L’equazione caratteristica associata alla (1.83)
assume la forma
1 Va 1
λ2 + λ− 2 =0 (1.84)
L VT Lp
le cui radici, di segno opposto (λ1 > 0, λ2 < 0), si scrivono
s
1 Va + 1 Va 2 + 1
λ
1
= − 2L VT 2L VT L2p
λ= s (1.85)
Va − Va 2 + 1
λ = − 1 1
2
2L VT 2L VT L2p
14
l
l1
1/Lp
Va
-1/Lp
l=-Va/(LVT)
l2
Figura 1.11: Andamento delle radici dell’equazione caratteristica associata alla (1.83) in funzione della
tensione applicata Va .
p’n(x)
Va<0
Va=0
Va>0
x
Figura 1.12: Andamento qualitativo di p0n (x) in un campione lungo in funzione della tensione applicata Va .
Le due soluzioni hanno gli andamenti in funzione di Va mostrati nella Figura 1.11, e conducono
alla soluzione generale (1.54)
Se, ad esempio, si considera il caso di un lato lungo, si deve imporre A = 0 e la soluzione diviene
15
Va
p’n(x) t2>t1 p’n(x) E0
t1 t2>t1 t1
t3>t2
t3>t2
xi x xi x
Figura 1.13: Andamento qualitativo di p0n (x) nell’esperimento di Haynes-Shockley con Va = 0 (a sinistra) e
Va > 0 (a destra).
Soluzione
Questo esempio è particolarmente complesso da studiare poiché coniuga l’evoluzione spaziale con
quella temporale. In termini stazionari del tempo, abbiamo visto nell’Esercizio 1 che quello che ci
possiamo attendere è che l’illuminazione generi una concentrazione in eccesso di elettroni e di lacune
proprio in corrispondenza del punto di illuminazione xi , e che questa venga riassorbita nello spazio
allontanandosi da xi . In questo caso specifico si dimostra che l’andamento, se il campione neutro è
lungo rispetto a Lp , è di tipo Gaussiano, ovvero proporzionale a exp(−(x − xi )2 /K) dove K è una
quantità da definire tramite la soluzione formale della equazione di continuità.
Per poter spiegare il comportamento in funzione del tempo, consideriamo ora il caso di un
campione omogeneo che venga illuminato in tutti i suoi punti da una radiazione di intensità uniforme,
generando quindi una concentrazione in eccesso indipendente dalla posizione. Poi l’illuminazione
viene spenta all’istante t = 0, e si osserva l’evoluzione temporale di p0n (t). Grazie all’invarianza
traslazionale del problema, l’equazione di continuità delle lacune si semplifica in
dp0n p0
= −Up = − n (1.88)
dt τp
per cui l’evoluzione temporale dell’eccesso di carica in un campione omogeneo diviene
ovvero un decadimento esponenziale con costante di tempo pari al tempo di vita dei portatori.
Combinando la dipendenza spaziale con quella temporale, almeno nel caso Va = 0 (ovvero, in
assenza di campo elettrico costante nella struttura), si ha che
• ad ogni istante di tempo la distribuzione di portatori minoritari in eccesso è Gaussiana intorno
a xi ;
• il picco della distribuzione Gaussiana si riduce al passare del tempo, e la varianza della
distribuzione aumenta coerentemente con la diffusione delle cariche minoritarie verso i due
lati neutri del campione (si veda la Figura 1.13 (sinistra)).
Se, invece, consideriamo il caso Va > 0, questo determina un campo elettrico costante nel campione
(assunto ancora neutro) pari a
Va
E0 = − (1.90)
L
16
essendo L la distanza tra i due contatti ohmici ideali che alimentano il campione. Pertanto, oltre al
contributo di diffusione, si attiva anche uno spostamento di lacune indotto dal trascinamento, per
il quale le lacune (cariche positive) si spostano nella direzione del campo elettrico con una velocità
media pari a µp |E0 |. Pertanto, oltre ai fenomeni precedentemente descritti si aggiunge anche:
• uno spostamento del picco della distribuzione Gaussiana nella direzione del campo elettrico,
spostamento pari a µp |E0 |t (si veda la Figura 1.13 (destra)).
17
2
La giunzione pn
2.1 Esercizio 3
Si consideri una giunzione pn brusca e asimmetrica in Si a temperatura ambiente, con livelli di
drogaggio nei due lati pari a NA = 1016 cm−3 e ND = 5×1016 cm−3 , e sezione trasversale A = 1 mm2 .
Si richiede di:
1. tracciarne il diagramma a bande dettagliato in equilibrio termodinamico;
2. calcolare E(0) all’equilibrio termodinamico;
3. determinare la tensione di polarizzazione Va tale da determinare E(0)|Va = 2 E(0)|eq ;
4. valutare Cdep (0) e Cdep (Va );
2
5. tracciare la curva 1/Cdep (Va ) in funzione di Va ;
6. dato il circuito di figure, verificare se con la giunzione in esame si possa realizzare una frequenza
di risonanza pari a f0 = 98.20 MHz;
Cdep(Va) L=10 nH
N=ND-NA
a=10 cm
20 -4 ND
x1=-NA/a ax
=-1 mm
x2=ND/a x
-NA =5 mm
18
qVbi
E0
qFSp qc
qFSn
EF Ec
qFp EFi
Ev
qFn
-xp0 0 xn0 x
Figura 2.1: Diagramma a bande dettagliato della giunzione brusca nell’esercizio.
Soluzione
3.1
I parametri necessari alla definizione del diagramma a bande dettagliato della giunzione brusca in
esame, mostrato in Figura 2.1, sono i due lavori di estrazione per i due lati
Eg NA
qΦSp = qχ + + kB T ln = 4.96 eV (2.1)
2 ni
Eg ND
qΦSn = qχ + − kB T ln = 4.22 eV (2.2)
2 ni
per cui il potenziale di built in vale
NA ND
Vbi = qΦSp − qΦSn = VT ln = 0.74 V (2.3)
n2i
Noto il potenziale di contatti, si possono valutare le ampiezze delle regioni svuotate con le formule
quadratiche ricavate a teoria:
s
2 ND NA
xd0 = Vbi = 339 nm xp0 = xd0 = 282.5 nm xn0 = xd0 = 56.5 nm (2.4)
qNeq NA + ND NA + ND
dove Neq = NA ||ND = 8.333 × 1015 cm−3 , e dove si sono usate xd0 = xp0 + xn0 e la condizione di
neutralità NA xp0 = ND xn0 .
Infine, le cadute di potenziale parziali sulle due parti della regione di svuotamento valgono:
qNA 2 qND 2
Φp0 = xp0 = 0.616 V Φn0 = x = 0.124 V (2.5)
2 2 n0
3.2
Il campo elettrico massimo (in x = 0, si veda la Figura 2.2) all’equilibrio termodinamico vale
qNA
E(0)|eq = − xp0 = −4.363 × 104 V/cm (2.6)
Allo stesso risultato si arriva valutando la caduta di potenziale complessiva ai capi della regione
svuotata (pari a Vbi in equilibrio) come l’area sottesa a −E(x) sull’intervallo [−xp0 ,xn0 ]
1
Vbi = − xd0 E(0)|eq (2.7)
2
dalla quale
2Vbi
E(0)|eq = − = −4.366 × 104 V/cm (2.8)
xd0
19
E
-xp -xp0 xn0 xn x
E(0)|eq
E(0)|Va
Figura 2.2: Profilo di campo elettrico nella giunzione pn in equilibrio e nelle condizioni della domanda 3.3.
1/C dep(Va)
2
1/C dep(0)
2
Vbi Va
2 (V ) in funzione della tensione appplicata.
Figura 2.3: Andamento di 1/Cdep a
3.3
Applicando alla giunzione una tensione esterna Va tale da determinare una corrente per la quale la
caduta di potenziale sulle due regioni neutre sia trascurabile, la (2.7) diviene
1
Vbi − Va = − xd (Va ) E(0)|Va (2.9)
2
dove s
2
xd (Va ) = (Vbi − Va ) (2.10)
qNeq
Sostituendo la (2.10) nella (2.9) e tenendo conto che E(0)|Va = 2 E(0)|eq si trova
s
1 2
Vbi − Va = − (Vbi − Va )2 E(0)|eq (2.11)
2 qNeq
dalla quale
2
Va = Vbi − E 2 (0) eq
= −2.22 V (2.12)
qNeq
3.4
La capacità di svuotamento è data da
s
qNeq
Cdep (Va ) = A =A (2.13)
2(Vbi − Va ) xd (Va )
per cui
Cdep (0) = 305.6 pF Cdep (−2.22 V) = 152.8 pF (2.14)
20
3.5
Dalla (2.13) si ottiene
1 2(Vbi − Va )
2 = (2.15)
Cdep (Va ) qA2 Neq
per la quale si ha l’andamento mostrato nella Figura 2.3.
3.6
Il circuito da studiare è un risonatore LC parallelo privo di perdite (infatti le componenti resistive
sono nulle), nel quale
1
f0 = q (2.16)
2π LCdep (Va )0
dalla quale
1
Cdep (Va0 ) = = 262.7 pF (2.17)
4π 2 f02 L
Tenendo conto che Cdep (Va0 ) = A/xd (Va0 ) e della (2.10) si ottiene
s
2
xd (Va0 ) = A 0 = (Vbi − Va0 ) (2.18)
Cdep (Va ) qNeq
dalla quale 2
qNeq A
Va0 = Vbi − = −0.26 V (2.19)
2 Cdep (Va0 )
3.7
La soluzione di questo punto viene lasciata allo studente. Si riportano, per confronto, i valori numerici
dei risultati:
3.8
Nella giunzione lineare con regione svuotata completamente compresa nella regione dove il drogaggio
cambia linearmente con la posizione, la distribuzione di carica all’equilibrio termodinamico assume
la forma illustrata in Figura 2.4 (a sinistra).
Chiaramente la regione svuotata deve avere un andamento simmetrico rispetto a x = 0, come
segue dalla condizione di neutralità
1 1 xd0
qax2p0 = qax2n0 =⇒ xp0 = xn0 = (2.25)
2 2 2
Il profilo di campo elettrico deve soddisfare
dE qax
= (2.26)
dx
21
r E j
x xp0=-xd0/2 xn0=xd0/2
qa
xp0=-xd0/2 xp0=-xd0/2
x
xn0=xd0/2 x xn0=xd0/2 x
Figura 2.4: Densità di carica nella regione svuotata (a sinistra), campo elettrico (al centro) e potenziale
elettrostatico (a destra) in una giunzione lineare assumendo che la regione svuotata stessa sia
completamente compresa entro la regione dove il drogaggio varia linearmente con la posizione.
per cui
qax2
E(x) = +c (2.27)
dove la costante c si determina dalla condizione al contorno
qax2d0 qax2d0
E(−xd0 /2) = 0 = + c =⇒ c = − (2.28)
8 8
In altri termini, nella regione svuotata −xd0 /2 ≤ x ≤ xd0 /2 (Figura 2.4 (al centro))
x2d0
qa 2
E(x) = x − (2.29)
2 4
Infine, dalla definizione dϕ/dx = −E(x) si ricava
qa x3 x2d0
ϕ(x) = − − x +k (2.30)
2 3 4
Scegliendo lo zero del potenziale nell’origine, si ricava k = 0 e la curva di Figura 2.4 (a destra).
Pertanto all’equilibrio termodinamico
qa x3d0
Vbi = ϕ(xd0 /2) − ϕ(−xd0 /2) = (2.31)
12
dove si può stimare la tensione di built in usando la relazione ricavata per la giunzione brusca, facendo
uso dell’ipotesi di completo svuotamento:
" #
(axd0 /2)2
axd0
Vbi = VT ln = 2VT ln (2.32)
n2i 2ni
qa x3d0
axd0
f1 (xd0 ) = 2VT ln = f2 (xd0 ) = (2.33)
2ni 12
che non ammette soluzione analitica. Tracciando i grafici delle due funzioni f1 (xd0 ) e f2 (xd0 ) si
trovano gli andamenti mostrati nella Figura 2.5: come si nota, esistono due soluzioni a tale equazione,
una delle quali molto vicina a xd0 = 0. In questa condizioni limite, la nostra trattazione perde di
significato in quanto si basa sull’ipotesi di completo svuotamento, che assume una transizione brusca
tra la regione completamente svuotata e quella neutra. Questo ha senso solo se si trascura la regione
di transizione, e quest’ultima condizione, ovviamente, cessa di valere per ampiezze complessive della
regione di svuotamento prossime a zero. Pertanto, l’unica soluzione coerente con le ipotesi alla base
della trattazione è quella lontana da xd0 = 0: una soluzione numerica della (2.33) consente di stimare
xd0 = 796.84 nm.
22
f2(xd0)
f1(xd0)
796.84 nm xd0
Pertanto
xd0
xn0 = xp0 = = 398.42 nm < min{|x1 |,x2 } = 1 µm (2.34)
2
dimostrando che la regione svuotata è compresa nella zona lineare del profilo di drogaggio. Infine
qa x3d0
Vbi = = 0.651 V (2.35)
12
2.2 Esercizio 4
Si consideri nuovamente la giunzione brusca dell’Esercizio 3, caratterizzata dai seguenti parametri:
NA = 1016 cm−3 ND = 5 × 1016 cm−3 wn = wp = 1 mm A = 1 mm2
µnn = 1150 cm2 V−1 s−1 µnp = 1250 cm2 V−1 s−1 τnp = 500 ns
µpp = 350 cm2 V−1 s−1 µpn = 300 cm2 V−1 s−1 τpn = 300 ns
per la quale si sono ricavati
Vbi = 0.74 V xd0 = 339 nm xn0 = 56.5 nm xp0 = 282.5 nm
Si richiede di:
1. tracciarne il diagramma a bande dettagliato per Va = 0.6 V, inclusi i quasi-livelli di Fermi;
2. determinare, per la stessa polarizzazione, p0n (x) per x ≥ xn e n0p (x) per x ≤ −xp ;
3. determinare i flussi di particelle (in particelle/s) ai bordi della regione svuotata Φ(el) (−xp ) e
Φ(lac) (xn );
4. dopo aver stimato il campo elettrico nelle due regioni neutre (En0 per x ≥ xn e Ep0 per x ≤ −xp ),
tracciare tutte le componenti di corrente nella giunzione;
5. valutare Rpn e Rpp , e stimarne l’effetto sulla caratteristica statica;
6. determinare il modello di ampio segnale della giunzione;
7. determinare il modello di piccolo segnale della giunzione attorno a Va = 0.6 V;
8. determinare i(t) come risposta a va (t) = Va +Va,ss sin(ωt), dove Va,ss = 50 mV e ω = 2π 10 rad/s;
9. ripetere i punti da 1 a 7 per Va = −1 V;
10. ripetere i punti da 1 a 9 per wn = wp = 50 µm.
23
q(Vbi-Va)
E0
qc
kBT ln(NC/ND)=164.5 meV
Ec
EFp EFn
EFi
kBT ln(NV/NA)=180.6 meV qVa Ev
-xp 0 xn x
Figura 2.6: Diagramma a bande dettagliato della giunzione brusca in polarizzazione diretta.
Soluzione
4.1
In polarizzazione diretta Va = 0.6 V si ha
s s s
2 2 Va Va
xd = (Vbi − Va ) = Vbi 1 − = xd0 1− = 147.45 nm (2.36)
qNeq qNeq Vbi Vbi
e quindi s s
Va Va
xp = xp0 1− = 122.87 nm xn = xn0 1− = 24.58 nm (2.37)
Vbi Vbi
Nelle due regioni neutre, i due quasi-livelli dei portatori maggioritari sono alla stessa distanza dalla
corrispondente banda come accade in equilibrio termodinamico, essendo valida l’approssimazione di
basso livello di iniezione per la quale nn (x ≥ xn ) = ND e pp (x ≤ −xp ) = NA . I due quasi-livelli
di Fermi sono approssimativamente costanti nella regione svuotata secondo il ragionamento svolto a
teoria, e poi ricadono in un certo intervallo di valori di x sul quasi-livello di Fermi dei maggioritari
in corrispondenza all’annullarsi dell’eccesso dei portatori minoritari. In definitiva, quindi, si ha
l’andamento riportato nella Figura 2.6.
4.2
Per le leggi della giunzione, ai bordi della regione svuotata si ha iniezione di portatori minoritari:
n2i
0 Va
pn (xn ) = exp − 1 = 4.42 × 1013 cm−3 (2.38)
ND VT
n2i
0 Va
np (−xp ) = exp − 1 = 2.21 × 1014 cm−3 (2.39)
NA VT
Essendo p p
Lp = VT µpn τpn = 15.3 µm wn Ln = VT µnp τnp = 40.31 µm wp (2.40)
i due lati sono lunghi, e quindi l’eccesso di portatori minoritari si riassorbe esponenzialmente allon-
tanandosi dal punto di iniezione:
0 0 x − xn
pn (x) = pn (xn ) exp − x ≥ xn (2.41)
Lp
0 0 x + xp
np (x) = np (−xp ) exp x ≤ −xp (2.42)
Ln
24
n’p(x)
p’n(x)
-xp xn x
Figura 2.7: Andamento delle concentrazioni in eccesso di portatori minoritari in polarizzazione diretta per
lati lunghi rispetto alle lunghezze di diffusione dei portatori minoritari stessi.
4.3
I due flussi possono essere stimati a partire dalle corrispondenti correnti di portatori minoritari:
dove
dp0n Dp 0
Ip,diff (xn ) = −qADp = qA pn (xn ) = 3.604 × 10−4 A = 0.3604 mA (2.44)
dx xn Lp
dn0p Dn 0
In,diff (−xp ) = qADn = qA n (−xp ) = 2.85 mA (2.45)
dx −xp Ln p
4.4
Grazie alle (2.44)-(2.45) possiamo valutare la corrente totale nella giunzione per Va = 0.6 V:
1. si sceglie un punto x1 (si veda la Figura 2.8) dove Ip,diff (x1 ) ≈ 0, dove quindi possiamo assumere
che l’intera corrente I sia dovuta al trascinamento dei portatori maggioritari in basso livello di
iniezione. Pertanto:
I = In,drift (x1 ) = qAnn0 µnn En0 = qAND µnn En0 (2.48)
dalla quale
I
En0 = = 0.035 V/cm (2.49)
qAND µnn
25
I
Ip(x) In(x)
In,diff(x) Ip,diff(x)
x2 -xp xn x1 x
Figura 2.8: Andamento delle componenti di corrente nella giunzione pn in polarizzazione diretta.
2. si sceglie un punto x2 (si veda la Figura 2.8) dove In,diff (x2 ) ≈ 0, dove quindi possiamo assumere
che l’intera corrente I sia dovuta al trascinamento dei portatori maggioritari in basso livello di
iniezione. Pertanto:
I = Ip,drift (x2 ) = qApp0 µpp Ep0 = qANA µpp Ep0 (2.50)
dalla quale
I
Ep0 = = 0.573 V/cm (2.51)
qANA µpp
4.5
Si stima la resistenza parassita per eccesso, trascurando l’ampiezza della regione svuotata rispetto
alla lunghezza fisica dei due lati:
1 w p − xp 1 wp
Rpp = ≈ = 17.86 Ω (2.52)
qNA µpp A qNA µpp A
1 w n − xn 1 wn
Rpn = ≈ = 1.09 Ω (2.53)
qND µnn A qND µnn A
Rp = Rpp + Rpn = 18.95 Ω (2.54)
L’effetto della Rp sulla caratteristica si basa sul fatto che la quota di tensione applicata che
effettivamente arriva alla giunzione pn risulta essere Va − Rp I, per cui la corrente diviene
Va − Rp I
I = I0 exp −1 (2.55)
VT
ovvero
I + I0
Va = VT ln + Rp I (2.56)
I0
dove la corrente di saturazione inversa vale
Dn n2i Dp n2i
I0 = qA + = 3.055 × 10−13 A (2.57)
Ln NA Lp ND
In altri termini, per valori elevati di I il primo addendo a destra della (2.56) diviene trascurabile
rispetto al secondo, ottenendo
Va ≈ Rp I per I grande (2.58)
ovvero, per corrente elevata l’effetto raddrizzante della giunzione viene mascherato dalla resistenza
parassita, che diviene il comportamento elettrico dominante della giunzione pn (Figura 2.9).
Nel caso della giunzione che stiamo studiando, si ottiene che per (si veda la Figura 2.9 per una
interpretazione grafica)
26
I
I0[exp(Va/VT)-1]
~Va/Rp
I=3.21 mA
I’’
Va’=0.66 V
Va’’Va=0.6 V Va
Va − Rp I 00
00
I = I0 exp −1 (2.60)
VT
che, risolta numericamente, restituisce il valore I 00 = 1.27 mA. Si noti che, sulla caratteristica
ideale, a questo valore di corrente corrisponde una tensione Va00 pari a
00
00 I + I0
Va = VT ln = Va − Rp I 00 = 0.576 V (2.61)
I0
4.6
La forma generale del modello di ampio segnale della giunzione pn, incluso l’effetto della resistenza
parassita, è quella mostrata nella Figura 2.10.
Coerentemente con il punto precedente, le resistenze parassite sono assunte costanti (ovvero,
indipendenti dalla tensione applicata), mentre I0 = 3.055 × 10−13 A. Infine, per i termini capacitivi
si ha
s s
qNeq 1
Cdep (Va00 ) = A 00 = Cdep (0) (2.62)
2(Vbi − Va ) 1 − Va00 /Vbi
r
qNeq
Cdep (0) = A = 305.5 pF (2.63)
2Vbi
00 00
qAn2i Ln
00 Lp Va Va
Cdiff (Va ) = + exp = Cdiff (0) exp (2.64)
VT NA ND VT VT
qAn2i Ln
Lp
Cdiff (0) = + = 5.61 × 10−18 F (2.65)
VT NA ND
27
Va
Cdep(V’’a)
Cdiff(V’’a)
V’’a
Figura 2.10: Modello dinamico di ampio segnale della giunzione pn.
va,SS
iSS
Cdep,OP
Cdiff,OP
v’’a,SS
Figura 2.11: Modello dinamico di piccolo segnale, o per le variazioni, della giunzione pn in polarizzazione
diretta.
4.7
Il modello per le variazioni del diodo attorno ad un punto di lavoro statico (punto di funzionamento a
riposo) Va viene ottenuto linearizzando il modello di ampio segnale intorno a tale valore, e quindi ha
la stessa topologia circuitale (Figura 2.11). Si noti che se si applica Va all’intero dispositivo (inclusa
la resistenza parassita), la tensione che controlla il valore dei parametri di piccolo segnale è la Va00
28
calcolata in precedenza, e la corrente nel diodo ha il valore I 00 . Il valore dei parametri è quindi:
∂idc I 00 + I0 1
gd,OP = = = 48.8 mS = (2.66)
∂va Va00 VT 20.47 Ω
s
1
Cdep,OP = Cdep (0) = 648.94 pF (2.67)
1 − Va00 /Vbi
00
Va
Cdiff,OP = Cdiff (0) exp = 23.45 nF (2.68)
VT
4.8
Essendo Va,SS Va00 , si può utilizzare l’approssimazione di piccolo segnale che si basa sul circuito per
le variazioni di Figura 2.11, dove si pone:
dove iSS (t) è la variazione di corrente legata alla variazione di tensione applicata va,SS (t) attraverso
il circuito equivalente per le variazioni di Figura 2.11. Pertanto, passando al dominio fasoriale, si ha
dove
1 1
Z̃ =
= Rp + (2.72)
Ỹ gd,OP + jωCeq
La costante di tempo associata alla ammettenza equivalente della giunzione si può stimare dal
prodotto di Ceq e della resistenza equivalente che si vede ai capi di questa, ottenendo
1 1
τ = Ceq Rp || = 230.76 ns =⇒ = 4.33 × 106 rad/s ω (2.73)
gd,OP τ
Visto che wτ 1 alla frequenza di lavoro, possiamo assumere trascurabili gli effetti capacitivi e
approssimare
1
Ỹ ≈ (2.74)
1
Rp +
gd,OP
per cui
va,SS (t) Va,SS
iSS (t) ≈ = sin(ωt) = 1.26 sin(ωt) mA (2.75)
1 1
Rp + Rp +
gd,OP gd,OP
Si noti che la corrente totale i(t) deriva dalla (2.70), dove I 00 = 1.27 mA. Pertanto, i(t) varia da un
minimo di 0.01 mA ad un valore massimo di 2.53 mA, mentre la tensione applicata va (t) varia tra
0.55 V e 0.65 V giustificando cosı̀ l’uso dell’approssimazione di piccolo segnale.
29
q(Vbi-Va)
qc E0
Ec
kBT ln(NC/ND)=164.5 meV
EFp
EFn
kBT ln(NV/NA)=180.6 meV EFi
q|Va| Ev
-xp 0 xn x
Figura 2.12: Diagramma a bande dettagliato della giunzione brusca in polarizzazione inversa.
-xp xn x
n’p(x) p’n(x)
Figura 2.13: Andamento delle concentrazioni in eccesso di portatori minoritari in polarizzazione inversa per
lati lunghi rispetto alle lunghezze di diffusione dei portatori minoritari stessi.
4.9
Passando alla polarizzazione inversa Va = −1 V, il diagramma a bande si modifica come indicato
nella Figura 2.12, dove l’ampiezza della regione svuotata diviene
s
Va
xd = xd0 1− = 519.83 nm (2.76)
Vbi
s s
Va Va
xp = xp0 1− = 433.19 nm xn = xn0 1− = 86.64 nm (2.77)
Vbi Vbi
n2i
0 Va
pn (xn ) = exp − 1 = −4205 cm−3 (2.78)
ND VT
n2i
0 Va
np (−xp ) = exp − 1 = −2.1 × 104 cm−3 (2.79)
NA VT
e i relativi andamenti nelle due regioni neutre (Figura 2.13) sono sempre caratterizzati dalle relazioni
(2.41) e (2.42).
Le componenti di diffusione delle correnti di portatori minoritari valutate ai bordi della regione
svuotata valgono
Dp 0
Ip,diff (xn ) = qA p (xn ) = −3.43 × 10−14 A (2.80)
Lp n
Dn 0
In,diff (−xp ) = qA n (−xp ) = −2.712 × 10−13 A (2.81)
Ln p
30
-xp xn x
In,diff(x) Ip,diff(x)
Ip(1) (x) In(2) (x)
Ip(2) (x) In(1) (x)
Ip(x) In(x)
I=-I0
Figura 2.14: Andamento delle componenti di corrente nella giunzione pn in polarizzazione inversa.
va,SS
Rpp Rpn
iSS
Cdep,OP
v’’a,SS
Figura 2.15: Modello dinamico di piccolo segnale, o per le variazioni, della giunzione pn in polarizzazione
inversa.
I 00 + I0 1
gd,OP = =0S= (2.83)
VT ∞Ω
s
1
Cdep,OP = Cdep (0) = 199.23 pF (2.84)
1 − Va00 /Vbi
00
Va
Cdiff,OP = Cdiff (0) exp = 10−34 F ≈ 0 (2.85)
VT
per cui il circuito per le variazioni si semplifica come nella Figura 2.15.
Infine, la valutazione della corrente in condizioni di piccolo segnale conduce a iSS (t) ≈ 0, in quanto
la costante di tempo del circuito per le variazioni è pari a Cdep,OP Rp = 3.77 ns, ovvero una pulsazione
caratteristica pari a 2.65 × 108 rad/s ω, che rende il comportamento della capacità assimilabile
ad un circuito aperto alla frequenza di lavoro. In altri termini, si ha i(t) ≈ I 00 = 1.27 mA.
31
4.10
Nel caso wn = wp = 50 µm, i due lati non sono più lunghi rispetto alla relativa lunghezza di diffusione
dei portatori minoritari, pertanto occorre calcolare le distribuzioni di minoritari in eccesso tenendo
conto della soluzione generale, delle due costanti arbitrarie e delle due condizioni al contorno:
Ln Ln (2.87)
x
n0 (−x ) = A exp − p + B exp xp
p p
Ln Ln
da cui
wp
exp
n0p (−xp ) Ln
A= (2.88)
2 w p − xp
sinh
Ln
wp
exp −
n0p (−xp ) Ln
B=− (2.89)
2 w p − xp
sinh
Ln
per cui
wp + x
cosh
∂n0p Dn 0 Ln
In,diff (x) = qADn = qA np (−xp ) (2.91)
∂x Ln w p − xp
sinh
Ln
Dn w p − xp
In,diff (−xp ) = qA n0p (−xp ) coth
Ln Ln
Dn n2i
Va w p − xp
= qA exp − 1 coth (2.92)
Ln NA VT Ln
32
In,diff(x)
Figura 2.16: Andamento della concentrazione in eccesso di portatori minoritari (a sinistra) e delle
corrispondenti correnti di diffusione (a destra) in una giunzione pn in polarizzazione diretta
con lati né lunghi né corti.
da cui
wn
exp −
p0n (xn ) Lp
C=− (2.95)
2 w n − xn
sinh
Lp
wn
0 exp
p (xn ) Lp
D= n (2.96)
2 w n − xn
sinh
Lp
Sostituendo nella soluzione generale si trova
wn − x
sinh
0 0 Lp
pn (x) = pn (xn ) (2.97)
wn − xn
sinh
Lp
per cui
wn − x
cosh
∂p0n Dp 0 Lp
Ip,diff (x) = −qADp = qA pn (xn ) (2.98)
∂x Lp w n − xn
sinh
Lp
Dp w n − xn
Ip,diff (xn ) = qA p0n (xn ) coth
Lp Lp
Dp n2i
Va w n − xn
= qA exp − 1 coth (2.99)
Lp ND VT Lp
Gli andamenti qualitativi delle concentrazioni in eccesso e delle corrispondenti correnti di diffu-
sione sono riportati nella Figura 2.16 per il caso della polarizzazione diretta. Si noti come le correnti
non si annullino al contatto ohmico.
33
I
Ip(x)
In(x)
Ip,diff(x)
In,diff(x)
-xp xn x
Figura 2.17: Andamento delle componenti di corrente in una giunzione pn in polarizzazione diretta con lati
né lunghi né corti.
Nell’ambito delle ipotesi della teoria diffusiva di Shockley (in particolare, assumendo trascurabile
la generazione-ricombinazione nella regione svuotata), possiamo stimare la caratteristica statica come
Va
I = In,diff (−xp ) + Ip,diff (xn ) = I0 exp −1 (2.100)
VT
dove
Dn n2i Dp n2i
wp − x p w n − xn
I0 = qA coth + coth (2.101)
Ln NA Ln Lp ND Lp
Il grafico delle correnti, sempre in polarizzazione diretta, è rappresentato nella Figura 2.17.
Si noti che le diverse espressioni delle concentrazione di carica minoritaria iniettata influenzano
anche la forma della capacità di diffusione nel modello di ampio e di piccolo segnale. In particolare,
si ha
wp + x
Z −xp Z −xp sinh
0 0 0 Ln
Qn (Va ) = −qA np (x) dx = −qA np (−xp ) dx
−wp −wp w p − xp
sinh
Ln
−xp
wp + x
cosh
0 Ln
= −qALn np (−xp )
w p − xp
sinh
Ln −wp
wp − xp
cosh −1
n2i
Va Ln
= −qALn exp −1 (2.102)
NA VT w p − xp
sinh
Ln
wn − x
Z wn Z wn sinh
0 0 0 Lp
Qp (Va ) = qA pn (x) dx = qA pn (xn ) dx
xn xn w n − xn
sinh
Lp
wn
wn − x
cosh
0 Lp
= −qALp pn (xn )
w n − xn
sinh
Lp xn
34
wn − xn
cosh −1
n2i
Va Lp
= qALp exp −1 (2.103)
ND VT wn − xn
sinh
Lp
∂Q0p ∂Q0n
Cdiff (Va ) = −
∂Va ∂Va
wn wp
cosh −1 cosh − 1
2 Lp Lp Ln Ln Va
≈ qAni + exp
−1 (2.104)
ND wn NA wp VT
sinh sinh
Lp Ln
35
3
3.1 Esercizio 5
Si consideri un transistore bipolare npn caratterizzato dai livelli di drogaggio:
da una sezione trasversale costante A = 1 mm2 , da una base lunga wB = 300 nm, e da un emettitore
lungo wE = 500 nm. Inoltre si assumono i parametri per i portatori minoritari
µpE = 200 cm2 V−1 s−1 µnB = 1000 cm2 V−1 s−1 µpC = 300 cm2 V−1 s−1
τpE = 500 ns τnB = 100 ns τpC = 650 ns
Si richiede di:
2. valutare la lunghezza della regione neutra di base wB0 per VBE = 0.6 V e VCE = 1.5 V;
3. valutare γF , αT e βF ;
4. valutare i parametri del modello di piccolo segnale statico (ovvero, trascurando gli effetti
capacitivi) nel punto di funzionamento a riposo VBE = 0.6 V e VCE = 1.5 V.
Soluzione
5.1
Il diagramma a bande di equilibrio termodinamico ha l’andamento mostrato nella Figura 3.1. Le due
tensioni di built-in valgono
NDE NAB NDC NAB
Vbi,BE = VT ln = 0.88 V Vbi,BC = VT ln = 0.76 V (3.1)
n2i n2i
Neq,BE = NDE ||NAB = 9.1 × 1016 cm−3 Neq,BC = NDC ||NAB = 9.1 × 1015 cm−3 (3.2)
36
qVbi,BC
qVbi,BE
E0
qc
kBT ln(NC/NDE) kBT ln(NC/NDC)
Ec EF
EFi
Ev
kBT ln(NV/NAB)
w’B
-xn0,BE 0 xp0,BE wB x
xd0,BE xd0,BC
Figura 3.1: Diagramma a bande di equilibrio termodinamico del transistore bipolare npn.
5.2
Nelle condizioni di polarizzazione indicate si ha
e quindi il transistore bipolare si trova in regione attiva diretta. Inoltre, le due ampiezze delle regioni
svuotate divengono
s s
2(Vbi,BE − VBE ) 2(Vbi,BC − VBC )
xd,BE = = 63 nm xd,BC = = 486 nm (3.5)
qNeq,BE qNeq,BC
e in particolare si valutano:
NDE NDC
xp,BE = xd,BE = 57.27 nm xp,BC = xd,BC = 44.18 nm (3.6)
NDE + NAB NDC + NAB
pertanto l’ampiezza della regione neutra di base vale
5.3
La valutazione dei parametri del transistore bipolare richiede la conoscenza delle correnti di diffusione
di portatori minoritari nell’emettitore e nella base, infatti (si fa riferimento alla geometria dell’asse
x definita nella Figura 3.1)
In,diff (xp,BE ) 1
γF = = (3.8)
In,diff (xp,BE ) + Ip,diff (−xn,BE ) Ip,diff (−xn,BE )
1+
In,diff (xp,BE )
In,diff (xp,BE + wB0 )
αT = (3.9)
In,diff (xp,BE )
Per definire la forma della distribuzione di portatori minoritari nell’emettitore, occorre valutare
la corrispondente lunghezza di diffusione:
p
LpE = VT µpE τpE = 16.12 µm wE (3.10)
37
pertanto l’emettitore è da considerarsi corto. Di conseguenza, l’andamento della concentrazione di
lacune iniettate è lineare e vale
n2i
0 0 x + wE 0 VBE
pnE (x) = pn (−xn,BE ) pnE (−xn,BE ) = exp −1 (3.11)
wE − xn,BE NDE VT
Nella regione neutra di base, invece, in regione attiva diretta le concentrazioni di elettroni in
eccesso ai bordi sono dettate dalle due leggi della giunzione
essendo VBC < 0. L’andamento con x, invece, deve essere valutato sulla base della soluzione generale
dell’equazione di continuità in condizioni statiche e a campo nullo (a meno di non voler assumere una
base corta, ovvero un andamento lineare di n0nB (x), che implica ovviamente αT = 1). Imponendo le
due condizioni al contorno (3.13), si verifica facilmente che (xp,BE ≤ x ≤ xp,BE + wB0 )
0
wB + xp,BE − x x − xp,BE
sinh sinh
LnB L
0 0
nnB (x) = npB (xp,BE ) 0 0 0
+ npB (xp,BE + wB ) nB (3.14)
wB0
wB
sinh sinh
LnB LnB
Sostituendo le espressioni delle correnti nelle (3.8) e (3.9) si trovano i parametri richiesti
1 1
γF = ≈ = 0.99212 (3.18)
DpE LnB NAB 1 DpE wB0 NAB
1+ 1+
wB0
DnB wE NDE DnB wE NDE
coth
LnB
1
αT = = 0.9999 (3.19)
wB0
cosh
LnB
38
dove si è usata l’approssimazione di base corta, ovvero lo sviluppo asintotico coth−1 (α) ≈ α per
α → 0, e dove
DpE µpE p
= LnB = VT µnB τnB = 16.12 µm (3.20)
DnB µnB
In definitiva si ha
αF
αF = γF αT = 0.99202 βF = = 125.31 (3.21)
1 − αF
5.4
La valutazione del modello statico per le variazioni si basa sulle equazioni di Ebers Moll, che
descrivono un modello statico di ampio segnale:
VBE VBC
IE = a11 exp − 1 + a12 exp −1 (3.22)
VT VT
VBE VBC
IC = a21 exp − 1 + a22 exp −1 (3.23)
VT VT
Inoltre, i coefficienti a hanno espressioni simili a quelle che abbiamo visto per la corrente di saturazione
inversa di una giunzione pn, per cui con ottima approssimazione possiamo assumere
VBE VBE
|a11 | exp |a12 | |a21 | exp |a22 | (3.26)
VT VT
39
• porta di uscita la coppia C-E, con tensione VCE = VBE − VBC . La caratteristica di uscita è
quindi indipendente da VCE (nell’ambito dell’approssimazione (3.28))
VBE
IC = a21 exp (3.31)
VT
ovvero
• transconduttanza
a21 VBE,OP IC,OP
gm = exp = (3.38)
VT VT VT
Il circuito equivalente per le variazioni che corrisponde alle (3.35)-(3.36) è mostrato nella Figura 3.2.
40
iB,SS rB
B C iC,SS
E
Figura 3.2: Circuito equivalente per le variazioni di un transistore bipolare npn in regione attiva diretta.
41
4
Il transistore MOSFET
4.1 Esercizio 6
Si consideri un transistore MOSFET su substrato drogato p caratterizzato da
G in poly n+
S D
-tox
0 + + z
n n W
Substrato p
x
0
0 L y
Si richiede di:
1. tracciare il diagramma a bande di equilibrio termodinamico del sistema MOS;
2. determinare Vth,n ;
3. calcolare, per VGS,OP = 2Vth,n e VDS,OP = VGS,OP , la corrente di drain ID,OP ;
4. tracciare la transcaratteristica nelle condizioni del punto precedente;
5. calcolare ES0 nelle condizioni del punto precedente;
6. determinare il circuito equivalente per le variazioni statico nelle condizioni del punto precedente;
7. tracciare le caratteristiche di uscita.
Soluzione
6.1
Il diagramma a bande ha la forma riportata nella Figura 4.1. Si noti che il materiale del gate, essendo
Si policristallino estremamente drogato di tipo n, viene assunto equivalente ad un campione di Si n
degenere, per cui si approssima qΦM = qχ. Il lavoro di estrazione del substrato, invece, vale:
Eg
qΦSp = qχ + + qΦp = 5.02 eV (4.1)
2
42
qFox0 qFs0
qVbi E0
qFSp qcS
qFM Ec
EFi
EF
Ev
qFp=kBT ln(NA/ni)
-tox 0 xd0 x
Figura 4.1: Diagramma a bande di equilibrio termodinamico del sistema MOS.
essendo
NA
qΦp = kB T ln = 0.41 eV (4.2)
ni
Il potenziale di built in e la tensione di banda piatta valgono quindi
Dopo aver definito la capacità dell’ossido Cox = ox /tox = 1.726×10−7 F/cm2 , si ricava l’ampiezza
della regione svuotata dalla relazione ricavata a lezione:
s 2
S S 2S
xd0 = − + + Vbi = 67.1 nm (4.4)
Cox Cox qNA
per cui
qNA 2
Φs0 = x = 0.35 V Φox = Vbi − Φs0 = 0.62 V (4.5)
2S d0
6.2
La tensione di soglia vale p
Vth,n = VFB + 2Φp + γB 2Φp = 0.8 V (4.6)
essendo p
2qS NA
γB = = 1.055 V1/2 (4.7)
Cox
6.3
Il punto di lavoro è definito dalle condizioni VGS,OP = 2Vth,n (che garantisce che il MOSFET sia in
conduzione) e VDS,OP = VGS,OP . Poiché Vth,n > 0, vale certamente:
43
VDS
off on
,n
=V VGS
th
S-
V
S=
G
D
V
S
D
V
ne
a
io
tic
az
a
dr
r
tu
a
sa
qu
Vth,n 2Vth,n VGS
Figura 4.2: Regioni di funzionamento del MOSFET nel piano delle tensioni applicate.
ID
Vth,n VGS
Figura 4.3: Transcaratteristica in saturazione del transistore MOSFET.
6.4
Nelle condizioni VDS = VGS , quando il MOSFET è in conduzione, si trova in regione da saturazione
(Figura 4.2) e quindi la transcaratteristica ha la forma quadratica (Figura 4.3)
1 W
ID = µn Cox (VGS − Vth,n )2 (4.10)
2 L
6.5
Nelle condizioni di polarizzazione considerate, il sistema MOS si trova in forte inversione, per cui
Φs ≈ 2Φp (4.11)
e quindi
44
Eox E
contributo
degli elettroni
ES0
xd,OP x
Figura 4.4: Profilo di campo elettrico nel sistema MOS in forte inversione.
ID iG,SS G D iD,SS
ID,OP VGS,OP
vGS,SS gmvGS,SS vDS,SS
A cosa è dovuta questa forte differenza? Al fatto che con la (4.15) si trascura completamente l’effetto
della carica (negativa, come la carica associata alla regione svuotata) dovuta allo strato di inversione
sulla superficie dell’interfaccia Si-ossido (si veda la Figura 4.4).
Il contributo degli elettroni viene perè tenuto correttamente in conto con la soluzione analitica
dell’equazione di Poisson nel sistema MOS vista a teoria, secondo la quale infatti in forte inversione
r 1/2
n2i
2qNA 2Φp 2Φp 2Φp 2Φp
ES0 = VT exp − + − 1 + 2 exp − −1
S VT VT NA VT VT
= 2.92 × 105 V/cm (4.16)
6.6 e 6.7
Una volta fissato VGS,OP = 2Vth,n , il transistore MOSFET è in regione di funzionamento sopra soglia
(on), e la corrispondente caratteristica di uscita è quella mostrata nella parte sinistra della Figura 4.5,
dove il confine tra la regione quadratica e quella di saturazione è
Per quanto riguarda il modello per le variazioni statico, si linearizza il modello di ampio segnale
statico attorno al punto di lavoro scelto ottenendo (in regione di saturazione, come osservato in
precedenza)
45
dove si è definita la transconduttanza
∂ID W
gm = = µn Cox (VGS,OP − Vth,n ) (4.20)
∂VGS OP L
alle quali corrisponde il circuito equivalente mostrato nella parte destra della Figura 4.5.
46