Capitolo 1 Descrizione del MEMS

In questo capitolo si tratter` a nel dettaglio la descrizione e la visualizzazione delle varie parti componenti il dispositivo attraverso delle immagini delle diverse viste e sezioni.

z y x

Figura 1.1: vista

Dalla gura 1 il microdispositivo ` e costituito da una massa oscillante di materiale metallico connessa ad una struttura rigida per mezzo di due molle applicate a due estremi. Due elettrodi consistenti in array di denti, anchessi di materiale metallico, sono integrati su una delle facce della massa e sulla 1

CAPITOLO 1. DESCRIZIONE DEL MEMS

base della struttura rigida rispettivamente, in modo da avere un elettrodo mobile ed uno sso. La struttura rigida, contenente tutto il dispositivo ` e di materiale isolante.
z" y" x"

Figura 1.2: esploso

Laccoppiamento tra le singolo parti ` e ben visibile nella gura 1 dove viene riportato lesploso del dispositivo. La presenza dei denti e la loro disposizione sulla massa e il substrato ` e descritta dalla vista frontale descritta rappresentata dalla gura 1

z" x"

Figura 1.3: sezione x-z

Nel dettaglio, successivamente, vengono elencate e mostrate le singole parti.

1.1

Massa oscillante

Visto il criterio di funzionamento lenergia fornita dal sistema ` e proporzionale alla massa della struttura oscillante, inoltre questa pu` o essere incrementata aumentando la massima capacit` a, quindi aumentando la dimensione degli elettrodi che, come sopra riportato, sono direttamente integrati su una delle

1.1. MASSA OSCILLANTE

facce della massa. E evidente quindi che massimizzare la massa del sistema ` e unimportante considerazione progettuale. Con tali propositi, in funzione anche della geometria delle molle e quindi dello spazio utile,` e stato scelto come forma della massa un parallelepipedo a sezione rettangolare caratterizzato dallavere due delle tre dimensioni predominanti (larghezza e lunghezza). Come mostrato nella gura 1.1 su una delle facce della massa ` e ricavato larray di denti metallici essenzialmente costituita da micro-travi che percorrono la massa per tutta la sua lunghezza.
z" y" x"

Figura 1.4: Massa oscillante con elettrodo mobile integrato

Per completezza in gura 1.1 vengono riportate le proiezioni ortogonali del componente.

y" x"

y" z"

Figura 1.5: Viste Massa

CAPITOLO 1. DESCRIZIONE DEL MEMS

1.2

Molle

Le due molle costituiscono lelemento di connessione tra la massa oscillante e la struttura rigida del MEMS: sono simmetricamente interposte tra due estremi della massa e due lati della base della struttura. Saranno chiari in seguito i criteri adottati per la scelta della geometria delle molle, per il momento si riporta la forma denitiva a le sue proiezioni nelle gure 1.2 e 1.2.

y" x"

y" z"

Figura 1.6: Molla

y" x"

y" z"

Figura 1.7: Viste molla

1.3. BASE INFERIORE DELLA STRUTTURA

1.3

Base inferiore della struttura

La base inferiore della struttura contenente il dispositivo sar` a realizzata con materiale isolante e su di essa sar` a integrato larray di micro-travi di materiale metallico conduttore come in gura ??.

z"

y" x" y" z"

Figura 1.8: Base struttura e micro-travi metalliche

Capitolo 2 Principio di funzionamento del MEMS

Nel dispositivo studiato la conversione dellenergia elettrostatica ` e basata su una struttura a capacit` a variabile guidata dalle vibrazioni meccaniche e che oscilla fra un valore massimo e minimo consentendo la conversione di energia cinetica di una massa in energia elettrica. Nel microdispositivo il movimento relativo fra le due parti isolate elettricamente, ` e ottenuto mediante due elettrodi: un elettrodo mobile ed un elettrodo sso. Ciascun elettrodo ha una struttura a pettine composta quindi da un array di denti e in questo modo entrambi gli elettrodi possono essere interdigitati. Lelettrodo mobile ` e integrato sulla supercie di una massa vibrante, quindi collegata alla struttura mediante delle molle, mentre quello sso ` e inglobato alla struttura contenente lintero dispositivo, box. Il movimento relativo delle parti, massa vibrante e box comporta la variazione dellarea di overlap dei denti. Lenergia prodotta per ciclo aumenta allaumentare del massimo valore della capacit` a ( quindi aumentando la dimensione degli elettrodi) ed ` e proporzionale alla massa della struttura oscillante; pertanto massimizzare la massa del sistema ` e una considerazione importante. La capacit` a del sistema ` e una componente fondamentale nel funzionamento del dispositivo. Il suo ruolo sul sistema elettromeccanico totale sar` a chiaro in seguito, per il momento in questo capitolo ci si limita a calcolarla in condizioni di riposo e durante tutto il funzionamento. In particolare, dapprima la si analizza mediante lapprossimazione di condensatore a facce piane parallele 7

CAPITOLO 2. PRINCIPIO DI FUNZIONAMENTO DEL MEMS

per poi ricorrere ad una simulazione agli elementi niti. Ancora una volta, verr` a utilizzato il software multisico COMSOL a cui verr` a adata la risoluzione numerica delle equazioni di Maxwell per lelettromagnetismo.

2.1

Capacit` a variabile e forza elettrostatica agente sul sistema

Nella Figura 1.1 e` rappresentato un condensatore a capacita` variabile convenzionale a piastre piane parallele, in cui larmatura inferiore e` ssa sul substrato mentre quella superiore e` mobile in quanto sospesa per mezzo di travi, schematizzate come molle di costante elastica km . A riposo le piastre si trovano ad una distanza x0 . Applicando una tensione in continua (VDC ) la distanza tra le piastre si riduce a x0 x.

Schema condensatore variabile generale

Data larea A delle due piastre e la permettivita` elettrica dellaria E, la capacita` del condensatore puo` essere calcolata come: C= A causa dellapplicazione di VDC A (2.1) x0 x si genera una forza elettrostatica attrat-

tiva Fe della quale si deve tenere conto nella modellizzazione. Fe = 1 C 2 V 2 x DC (2.2)

` VARIABILE E FORZA ELETTROSTATICA AGENTE SUL 2.1. CAPACITA SISTEMA 9

La schematizzazione del dispositivo studiato comprende due condensatori variabili, uno dei quali diminuisce la propria capacit` a e laltro laumenta, in funzione dello spostamento dellelettrodo mobile come mostrato in gura.

Variazione delle due capacit` a

Non appena lelettrodo mobile si sposta una capacit` a aumenta e laltra decresce. I due condensatori Cl e Cr sono elettricamente connessi in parallelo e le capacit` a sono date da: hl hl Cr = N (2.3) d+x dx Le capacit` a indicate in gura sono da considerarsi in parallelo. La distanza Cl = N x` e presa dalla posizione di riposo. La dimensione h si riferisce alla distanza verticale tra denti superiori e inferiori mentre la d ` e la distanza orizzonta tra i denti in condizione di riposo. Seguendo questo semplice schema e sotto le precedenti approssimazioni ` e possibile calcolare la capacit` a come: La capacit` a totale pu` o essere calcolata come: C T = C l + C l = N { 1 1 h + }=N d+x dx d 1 1+
x d

1 1

x d

(2.4)

Dallespressione precedente, semplicando ulteriormente si ottiene: C =N h 2 = C0 d 1 (x )2 1 d 1

x 2 ) (2.5) d

In questo caso la forza elettrostatica che si genera e che si esercita sulla massa pu` o essere derivata dallenergia presente nel condensatore: 1 ql2 1 Cl = Q2 2 Cl 2 (Cl + Cr )2
2 1 qr 1 Cr = Q2 2 Cr 2 (Cl + Cr )2 2

Ul =

Ur =

(2.6)

1 1 1 d 2 x U = Q2 = Q (1 2 Cr + C l 4 A d

(2.7)

10

CAPITOLO 2. PRINCIPIO DI FUNZIONAMENTO DEL MEMS

Dove qr e ql denotano la carica immagazzinata nella sezione destra e sinistra rispettivamente del condensatore variabile; Q ` e la carica totale. La forza elettrostatica pu` o essere ricavata eettuando la derivata spaziale dellenergia. E da sottolinare che le forze che agiscono in entrambi i condensatori agiscono in direzioni opposte pertanto i due condensatori possono essere considerati indipendenti. Dallequazioni 1.3 e 1.6 si ricava la forza elettrostatica: U 1 Q2 x = (2.8) x 2 Ad Tale forza, dipendente dallo spostamento, viene modellizzata con una FES = molla elettrostatica aggiuntiva. La congurazione meccanica ` e descritta con un sistema massa-molla-smorzatore come mostrato in gura:

Modello del sistema

un corpo di massa m ` e sospeso con una molla di rigidezza k ssata ad una struttura. Se questa ` e soggetta ad uno spostamento in direzione y la massa sperimenta uno spostamento relativo in direzione x. La corrispondente equazione del moto ` e data da : mx + FES + Fm + kx = my (2.9)

Dove FES e Fm sono le forze elettrostatica e di smorzamento rispettivamente. La descrizione dettagliata delle equazioni del moto, lapproccio e la modellizzazione matematici adottati verr` a trattata approfonditamente del capitolo

Capitolo 3 Scelta delle molle

Le molle rappresentano l elemento pi` u importante del dispositivo in termini di scelta di geometrie e dimensioni, in quanto inuiscono signicativamente sulla rigidezza del sistema. Dunque dalle molle dipender` a l entit` a degli spostamenti dellelemento massivo nelle diverse direzioni. Il funzionamento del dispositivo ` e correlato allo spostamento nella direzione parallela al piano, al quale ` e associata la variazione di capacit` a del MEMS; tuttavia questo rappresenta un caso ideale, perch e sono inevitabili spostamenti nelle altre 2 direzioni. Questa prima condizione di funzionamento porta ad adottare una geometria che promuova gli spostamenti nelle direzione voluta e limiti il pi` u possibile tutti gli altri. L altro aspetto di cui tener conto ` e sicuramente la frequenza di risonanza del sistema relativa al modo di vibrazione nella direzione del piano. Si vuole che tale frequenza sia la pi` u vicina possibile a quella associata alle accelerazioni esterne, opportunamente misurate attraverso un dispositivo munito di accelerometro. Tali accelerazioni sono associate al tipo di applicazione del dispositivo che si sta progettando. Inoltre ` e importante che la prima frequenza di risonanza del sistema sia proprio quella voluta, e quindi la pi` u bassa, e che sia disaccoppiata dalle altre in modo che il range di frequenze nel quale lavora il sistema comprenda solamente questa prima. Tuttavia questo secondo aspetto sulla frequenza di risonanza non ` e disaccoppiato dal primo in quanto la scelta della geometria inuisce anche sulle frequenze di risonanza. Infatti si ricordi l espressione della frequenza di riso2 nanza per un sistema monodimensionale, essa ` e pari a n = k ; m

si osservi la

11

12

CAPITOLO 3. SCELTA DELLE MOLLE

frequenza di risonanza ` e direttamente proporzionale alla rigidezza del sistema. Dunque la ricerca di una rigidezza bassa nella direzione del piano e di una frequenza di risonanza associata al modo di vibrare nella stessa direzione, indirizzeranno alla scelta di una geometria ottimale delle molle. Le geometrie sono state inizialmente realizzate attraverso il software di modellazione solida SolidWorks 2010. In seguito sono state analizzate attraverso software di simulazione agli elementi niti Comsol 4.3a. In riferimento al primo prerequisito delle molle, ` e stata eettuata un analisi statica, che consiste nellimporre dei carichi arbitrari sul sistema. Tuttavia per semplicit` a ` e stato disaccoppiato il sistema in 3 sottosistemi 1D, caratterizzati da un solo grado di libert` a che corrisponde agli spostamenti nelle 3 direzioni. Mentre per il secondo prerequisito sulla frequenza di risonanza ` e stata eettuata un analisi modale che ha permesso di ottenere le frequenze di risonanza riferite ai primi 6 modi di vibrare del sistema. Dai dati ottenuti si potr` a osservare che eettivamente la frequenza di risonanza associata al modo di vibrare voluta sar` a proprio la pi` u bassa. Una volta scelta la geometria opportuna, ` e stato eettuato un terzo studio, questa volta parametrico, nel quale sono state variate le dimensioni degli spessori delle molle in modo da ottimizzare le due precedenti caratteristiche di bassa rigidezza nella direzione del piano. In particolare si ` e cercato anche di disaccoppiare la prima frequenza di risonanza, che ` e quella utile al funzionamento del dispositivo, dalle altre, per le ragioni precedentemente espresse.

3.1
3.1.1

Scelta della geometria

Considerazioni preliminari

Per quanto concerne la scelta della geometria delle due molle, connesse ad un estremo alla massa vibrante e ssate allaltro estremo alla struttura contenente lintero sistema, si ` e cercato di trovare lottimo per quel che riguarda la rigidezza e, conseguentemente, la frequenza di risonanza del sistema.

3.1. SCELTA DELLA GEOMETRIA

13

Un eciente funzionamento del MEMS ` e garantito sfruttando la variazione della capacit` a del condensatore ovvero il massimo dello spostamento della massa nella direzione prevista per la copertura della distanza di interdigitazione dei denti di cui sono costituiti gli elettrodi . Si predilige ottenere una minore rigidezza k delle molle nella direzione di spostamento (direzione x), piuttosto che nelle altre direzioni y e z dove, contrariamente, saranno volutamente ricercati valori maggiori per fattori di resistenza e sicurezza del sistema. Lesigenza di avere frequenze di risonanza comparabili con quelle di eccitazione ` e in contrasto con la naturale propensione di un sistema micro ad avere modi naturali di vibrare caratterizzati da altissime frequenze di risonanza. Per questo motivo ` e necessaria la progettazione di strutture complesse che, pur mantenendo dimensioni ridotte, riescano a garantire basse frequenze proprie. Per constatare ci` o si consideri lesempio seguente: Siano k1 e k2 le rigidezze di due molle vincolate come in gura 3.1.1 ` e immediato notare le essibilit` a (1/k ) si sommano:

Poich e sono in serie, le forze applicate agli estremi delle singole molle sono uguali alle forza agli estremi del complesso. Altres` lo spostamento dei capi della molla equivalente ` e dato dalla somma degli spostamenti dei singoli componenti. Equilibrio: F = F1 = F2 Congruenza: x = x1 + x2 Poich ex=
F , k

si ha: 1 1 + k1 k2 k1 k2 k1 + k2

FT F1 F2 = x = x1 + x 2 = + =F kT k1 k2

keq =

(3.1)

14 quindi in generale si ha keq =

CAPITOLO 3. SCELTA DELLE MOLLE

k1 k2 ...kn . k1 +k2 +...+kn

Da quanto detto, ponendo in serie pi` u elementi di trave ` e possibile variare e diminuire la rigidezza nelle direzioni desiderate. Poich e la frequenza di risonanza del sistema r , ` e strettamente connessa alla rigidezza tramite la relazione r = sistema meccanico continuo. Seguendo questo spirito sar` a obiettivo della prossima sezione individuare la geometria ottimale che garantisca basse frequenze di risonanza, modi di vibrare disaccoppiati e una suciente resistenza meccanica necessaria al funzionamento del dispositivo in condizioni di sicurezza. k/M si evince che essa ` e un parametro importante per modicare le diverse frequenze di risonanza di un

3.2
3.2.1

Individuazione della geometria

Premessa

Nellindividuazione della geometria ottimale da utilizzare si ` e pensato di simulare il comportamento di pi` u forme, calcolando per ognuna di esse modi di vibrare e frequenze di risonanza. Per rendere possibile il confronto le diverse molle provate dovevano avere dimensioni comparabili e rispettare alcuni requisiti comuni. I criteri adottati in questo lavoro prendono spunto dal rispetto delle dimensioni totali del dispositivo e da alcune scelte preliminari. Si possono cos` individuare alcuni parametri fondamentali che ogni geometria proposta deve rispettare. Il primo ` e la distanza tra la sezione ssa e la sezione mobile. La prima ` e in contatto con la struttura esterna mentre la seconda ` e solidale alla massa oscillante. In questo studio la distanza tra le due ` e ssata a 3 mm. Altro parametro importante ` e costituito dalla lunghezza in direzione longitudinale. In questo caso la scelta ` e caduta sulla lunghezza di 10 mm, ossia la lunghezza di tutto il dispositivo.

3.3. STUDIO DELLE GEOMETRIE

15

Per ultimo si ` e scelto uno spessore per le diverse strutture pari a 500 m. Questo parametro verr` a modicato in seguito, al ne di ottenere le caratteristiche richieste. In gura sono rappresentate due geometrie diverse che rispettano entrambe i requisiti richiesti.

10 mm

10 mm

3 mm

3 mm

Figura 3.1: Due molle dalle caratteristiche diverse ma che rispettano i requisiti comuni
domenica 17 febbraio 13

Nonostante questo procedimento non sia strettamente rigoroso, ` e stato adottato per avere unindicazione sulla geometria da utilizzare cos` da evitare grossolani errori di progettazione. Nonostante ci` o, non ` e escluso che esistano geometrie migliori di quelle proposte ma la loro individuazione esula dagli scopi di questo lavoro.

3.3

Studio delle geometrie

Forti delle considerazioni precedenti sono state realizzate al CAD diverse geometrie che rispettano i requisiti precedenti. Il loro comportamento ` e stato analizzato mediante una simulazione agli elementi niti realizzata tramite il software multisico COMSOL.

16

CAPITOLO 3. SCELTA DELLE MOLLE

I risultati prevedevano lindividuazione dei primi 6 modi di vibrare ed il calcolo delle rispettive frequenze di risonanza. Per semplicit` a vengono riportati esclusivamente i dati relativi alle prime due frequenze di risonanza, mentre si ritengono poco signicati ai nostri scopi i modi successivi. Procediamo quindi con lo studio della prima geometria analizzata. Le sue caratteristiche ed i risultati della simulazioni sono riassunti in gura 3.3

Geometria

I MODO

f
2.8
KHz

II MODO

f
4.3
KHz

Figura 3.2: Dati relativi alla 1 geometria

Questo primo tentativo ` e caratterizzato da un ridotto numero di tratti di trave, e ci` o comporta una elevate rigidit` a della struttura. Si sono misurate le frequenze di 2.8 KHz e 4.3 KHz relative al primo ed al secondo modo. Una ulteriore considerazione ` e che i modi esposti non corrispondono con quello sperato e ci` o non ` e compatibile con il funzionamento del dispositivo descritto nel capitolo 1. Si procede quindi nello studio di una seconda geometria e i risultati della simulazione sono riportati in gura 3.3 Lalternativa proposta ` e una variante della prima forma prima indicata. In questo caso uno dei tratti della molla ` e posto in obliquo rispetto agli altri. Come riportato si ottengono altissime frequenze di risonanza (7.7 e 7.9 KHz) e modi di vibrare non consoni al funzionamento del dispositivo. Lesigenza di ottenere frequenze pi` u basse porta ad introdurre geometrie pi` u complesse che tendono ad aumentare i tratti di trave presenti. A tal ne si propone la geometria descritta dalla gura 3.3.

3.3. STUDIO DELLE GEOMETRIE

17

Geometria

I MODO

f
7.7
KHz

II MODO

f
7.8
KHz

Figura 3.3: Dati relativi alla 2 geometria

Geometria

I Modo

f
1.7
KHz

II Modo

f
1.9
KHz

Figura 3.4: Dati relativi alla 3 geometria

La presenza di un numero superiore di tratti conferisce alla struttura una rigidezza minore. Per questo motivo le frequenze proprie della struttura sono molto pi` u basse di quelle osservate precedentemente. Inoltre il primo modo corrisponde esattamente a quello auspicato. Lunico inconveniente ` e costituito dalla vicinanza in termini di frequenza del secondo modo di vibrare che potrebbe causare notevoli problemi in fase di funzionamento. Lultima forma proposta ` e una variante della geometria precedente dove i tratti di trave verticali sono stati sostituiti da tratti obliqui. Questo ha permesso di avere tratti orizzontali pi` u lunghi senza modicare i vincoli descritti prima. I dati ottenuti sono riportati in gura 3.3 Nonostante si siano ottenute frequenze relativamente basse i modi esposti non incoraggiano ladozione di questa geometria.

18

CAPITOLO 3. SCELTA DELLE MOLLE

Geometria

I Modo

f
2.6
KHz

II Modo

f
3.4
KHz

Figura 3.5: Dati relativi alla 4 geometria

La scelta della geometria da utilizzare ricade quindi sulla terza geometria proposta che presenta le pi` u basse frequenze di risonanza. Inoltre si riconosce, nel suo primo modo, esattamente il modo di funzionamento richiesto.

Si ripete ancora una volta che il metodo utilizzato in questa analisi non ha lo scopo di individuare la migliore geometria possibile. Numerosi sono, infatti, i limiti di tale processo primo fra tutti laver considerato ogni elemento come distinto e non come una parte di un sistema oscillante pi` u complesso. Tuttavia le indicazioni provenienti da tale analisi ci hanno permesso di ottenere un componente che soddisfa le necessit` a progettuali ed ` e quindi risultata utili ai ni di questo lavoro.

Dai dati presentati precedentemente si sono evidenziate frequenze proprie nellordine dei KHz. Queste sono molto lontane dalla frequenze di eccitazioni previste dalle applicazioni e ci` o si tradurrebbe in una scarsa ecienza del dispositivo.

Sar` a scopo del prossimo paragrafo ottimizzare le dimensioni della geometria proposta, ponendo particolare attenzione sulla resistenza meccanica ed il rispetto dei vincoli di progetto.

3.4. OTTIMIZZAZIONE DELLA GEOMETRIA

19

3.4

Ottimizzazione della geometria

Lobiettivo di questa sezione sar` a quello di ottimizzare le dimensioni caratteristiche dei componenti che costituiscono il sistema oscillante individuando il miglior compromesso tra minima frequenza di risonanza e resistenza meccanica richiesta. Dalle considerazioni precedenti, si esaminer` a la geometria 3 descritta precedentemente. Inoltre, in questo caso, verr` a simulato lintero sistema oscillante e sar` a progettato lelemento massivo centrale al ne di massimizzare gli sforzi verso frequenze pi` u basse. Lanalisi, ancora una volta, verr` a eettuata in COMSOl utilizzando lapposito tool di simulazione parametrica. La geometria ` e stata riprodotta direttamente sul programma permettendo cos` nella fase di calcolo la modica delle dimensioni. Inne si proceder` a ad una verica di resistenza meccanica per assicurare al dispositivo il funzionamento con ampi margini di sicurezza

3.4.1

Descrizione del sistema oscillante

Il sistema oscillante ` e costituito da due molle e una massa centrale. Le molle, descritte dettagliatamente nella sezione precedente, hanno le due sezioni pi` u esterne vincolate alla struttura esterna del MEMS. La massa ` e libera di oscillare in tutte le direzioni come descritto dalla gura 3.5

Al ne di ottimizzare i parametri di progetto si procede col dimensionare i singoli componenti. La parametrizzazione delle dimensioni ` e stata eettuata

20

CAPITOLO 3. SCELTA DELLE MOLLE

esclusivamente per le molle, mentre sono state adottate dimensioni sse per la massa.

3.4.2

Dimensionamento della massa centrale

Le dimensioni della massa centrale inuenzano il valore della frequenza di risonanza. Essa dipende fortemente dal peso del componente e, in generale, diminuisce con laumentare di questo. I parametri presi in considerazione in questa fase sono stati il materiale utilizzato e le sue dimensioni. Per quanto riguarda il materiale ` e stato scelto il rame per molteplici ragioni. E un ottimo conduttore elettrico e presenta una densit` a piuttosto elevata 9.2g/cm3 . Inoltre ` e un materiale ampiamente utilizzato nelle tecniche di litograa e ci` o facilita leventuale produzione del dispositivo. Per quanto riguarda le dimensioni, in questo caso, sono state prese in modo da massimizzare il volume, al ne di avere la maggiore massa possibile. Cos` si ` e optato per una lunghezza totale di 8 mm mentre uno spessore di 1 mm. Per quanto riguarda la larghezza la massa occupa tutta la dimensione utile del dispositivo pari a 10 mm.

Figura 3.6: Proiezione dellelemento centrale

3.5. PROGETTAZIONE DELLE MOLLE

21

3.5

Progettazione delle molle

Nella progettazione delle molle ` e stata utilizzata lanalisi parametrica. Riportiamo in gura 3.5 le proiezioni ortogonali del componente in esame.

Figura 3.7: Proiezioni ortogonali del componente molla

In questo lavoro si ` e scelto di variare lo spessore del componente lasciando sse le altre dimensioni. Questultime sono quelle imposte nella sezione precedente. Le ragioni di tale scelta saranno chiare successivamente, mentre per il momento si pu` o dire che ci` o aiuta ad avere rigidezze diverse nelle diverse direzioni di carico. Per quanto riguarda il materiale utilizzato, la scelta ` e caduta sullalluminio. In questo caso il contatto elettrico ` e garantito dalla sua buona conducibilit` a elettrica mentre il suo basso modulo elastico diminuisce la rigidezza complessiva del sistema oscillante. Seguendo quanto detto si procede con lanalisi parametrica e si ada a questultima lindividuazione dello spessore migliore.

22

CAPITOLO 3. SCELTA DELLE MOLLE

3.5.1

Processo di ottimizzazione

Lindividuazione dello spessore pi` u adatto ai nostri scopi deve tener conto di pi` u aspetti spesso contrastanti. Si procede quindi nel calcolo delle frequenze di risonanza relative ai primi due modi di vibrare che sono rappresentati in gura 3.5.1.

Figura 3.8: In gura sono rappresenta il primo modo a) e il secondo modo b)

I dati relativi a questo primo studio sono riportati in gura 3.5.1. Nello studio parametrico si ` e partiti da uno spessore di 0.02 mm no ad arrivare allo spessore di 1 mm. Nel graco si nota come la frequenza di risonanza, rispettiva ai due modi analizzati, cresca in funzione dello spessore. Inoltre il primo ed il secondo modo si allontanano con laumentare dello spessore. Lo studio procede con la verica della resistenza meccanica del componente in funzione dello spessore.

3.5. PROGETTAZIONE DELLE MOLLE

23

Stress Von Mises MPa

Spessore - mm

Figura 3.9: Frequenza di risonanza in funzione dello spessore

3.5.2

Verica della resistenza meccanica

In questo paragrafo viene vericata la resistenza meccanica in condizioni di lavoro. I calcoli sono stati eettuati considerando la massima deformazione che si ottiene in condizioni di risonanza. I risultati in funzione dello spessore sono riportati in gura 3.5.2 . Come indicato tutti i dati si riferiscono alle sezioni pi` u sollecitate.

Da i calcoli eettuati si ottengono sollecitazioni massime nellordine delle decine di mega pascal. Esse sono molto lontane dal limite di snervamento dellalluminio pari a 400M P a. Ci` o garantisce il corretto funzionamento del dispositivo con ampi margini di sicurezza.

Dagli studi eettuati si individua nello spessore di 30 micron lo spessore che verr` a utilizzato in fase progettuale. Nelle sezioni successive si eettueranno studi approfonditi sulle caratteristiche meccaniche ed elettriche del dispositivo riferendosi allo spessore prima indicato.

24

CAPITOLO 3. SCELTA DELLE MOLLE

Figura 3.10: Stress di Von Mises in funzione dello spessore

3.6

Caratterizzazione meccanica

Un volta scelto lo spessore da utilizzare si eettuano tutte le simulazioni necessarie a caratterizzare il dispositivo da un punto di vista meccanico. Questo procedimento, oltre a fornire dati utili sulle rigidezze e la resistenza allo stress, sar` a indispensabile al ne di ricavare una serie di parametri concentrati da utilizzare nelle successive simulazioni di funzionamento. In questa sezione verranno vericate le condizioni di lavoro del dispositivo e risulta quindi utile descrivere brevemente le forze in gioco. Enunciamo qui le principali: Forze di massa : La massa del dispositivo ` e concentrata soprattutto nellelemento centrale oscillante. Si trascura, quindi, la massa delle molle. Dal dimensionamento precedente lelemento ha un volume pari a 24 109 che moltiplicato per la densit` a del rame conferisce al pezzo una massa di 0.22 g. Forze elettriche Queste si manifestano a causa dellinstaurarsi di un campo elettrico tra i denti presenti nella massa. Queste, di pi` u dicile quanticazione, dipendono fortemente dalle condizioni di funzionamen-

3.6. CARATTERIZZAZIONE MECCANICA

25

to. Il loro valore ` e stato calcolato nelle simulazioni successive e, quando possibile, non vengono prese in considerazione in questanalisi. Detto ci` o si analizzano le grandezze meccaniche a riposo con particolare attenzione alle rigidezze equivalenti nelle diverse direzioni.

3.6.1

Rigidezze equivalenti

Le rigidezze equivalenti lungo i tre assi coordinati sono calcolate a partire da una simulazione agli elementi niti. Operativamente si impone un carico test di 1 mN applicato su una sezione della massa centrale. La misura dello spostamento relativo di tale sezione permette il calcolo della rigidezza utilizzando la semplice relazione keq =
F . x

Si rilevano quindi le seguenti rigidezze:

Asse x La rigidezza calcolata ` e pari a 23 N/m. Risulta ridotta rispetto alle altre e ci` o testimonia lecacia della geometria proposta. La deformazione della struttura in risposta ad un carico di un mN lungo lasse x` e descritta in gura 3.6.1

Figura 3.11: Deformazione lungo x

Asse y La rigidezza lungo lasse y ` e stata valutata pari a 158 N/m. Essa ` e molto elevata e rende trascurabile le deformazioni lungo questasse. Tali deformazioni sono descritte in gura 3.6.1 Asse z La rigidezza lungo questasse ` e stata stimata pari a 100 N/m. Essa ` e intermedia tra le due calcolate precedentemente ma comunque abbastanza elevata da rendere dicile i movimenti verticali della massa. La risposta al carico diretto lungo lasse z ` e rappresentata in gura 3.6.1

26

CAPITOLO 3. SCELTA DELLE MOLLE

Figura 3.12: Deformazione lungo y

Figura 3.13: Deformazione lungo z

Da queste semplici considerazione si nota come le molle siano in grado di sostenere il peso della massa senza manifestare deformazioni eccessive. La deformazione elastica ` e limitata lungo gli assi y e z dallelevata rigidezza della struttura. Come detto pi` u volte per` o, in fase di funzionamento, le condizioni pi` u critiche corrispondono alle condizioni di risonanza. In questo caso le deformazioni sono molto pi` u accentuate ed il componente ` e sottoposto a campi di stress pi` u intensi.

3.7

Verica meccanica in condizioni di risonanza

Come precedentemente analizzato nellanalisi parametrica la verica viene effettuata calcolando gli stress in corrispondenza delle massime deformazioni.

3.7. VERIFICA MECCANICA IN CONDIZIONI DI RISONANZA

27

A tal scopo si nota che le elevate rigidezze corrispondenti alle direzioni x e y del carico rendono trascurabili le deformazioni lungo suddetti assi. Cos` si riconoscono, nelle deformazioni lungo lasse x, le condizioni di lavoro pi` u severe. Tale studio ` e stat gi` a eettuato durante lanalisi parametrica. In questo paragrafo per` o, le deformazioni massime tengono conto anche delle forze di interazione di tipo elettrico. Si ottengono quindi valori pi` u elevati di stress e deformazioni e si eettuer` a successivamente lo studio approfondito di tali forze e la loro inuenza sul funzionamento del dispositivo. In questa sezione si utilizza lo spostamento massimo della massa che ` e misurato pari a 200 m dalla posizione di riposo. Le sezioni pi` u sollecitate sono rappresentate in gura 3.7 e contraddistinte da un colore rosso acceso (la scala dei colori va dal blu al rosso).

Figura 3.14: sezioni pi` u sollecitate

I valori di stress di Von Mises rilevati dalla simulazione, corrispondenti allo spostamento di 200 m, sono pari a 27 MPa. Tali valori, molto contenuti, garantiscono il funzionamento del dispositivO con ampi marigini di sicurezza.

Capitolo 4 Calcolo della capacit` a

4.1 Introduzione

La capacit` a del sistema ` e una componente fondamentale nel funzionamento del dispositivo. Il suo ruolo sul sistema elettromeccanico totale sar` a chiaro in seguito, per il momento in questo capitolo ci si limita a calcolarla in condizioni di riposo e durante tutto il funzionamento. In particolare, dapprima la si analizza mediante lapprossimazione di condensatore a facce piane parallele per poi ricorrere ad una simulazione agli elementi niti. Ancora una volta, verr` a utilizzato il software multisico COMSOL a cui verr` a adata la risoluzione numerica delle equazioni di Maxwell per lelettromagnetismo.

4.2

Calcolo teorico della capacit` a

Tale calcolo ` e stato esposto in maniera rigorosa nel capitolo 1. Riportiamo qui per semplicit` a i risultati ottenuti. Le capacit` a indicate in gura sono da considerarsi in parallelo. La distanza x` e presa dalla posizione di riposo. La dimensione h si riferisce alla distanza verticale tra denti superiori e inferiori mentre la d ` e la distanza orizzonta tra i denti in condizione di riposo. Seguendo questo semplice schema e sotto le precedenti approssimazioni ` e possibile calcolare la capacit` a come: hl 2 1 = C0 2 d (1 x/d) (1 x/d)2 29

Ctot = Cl + Cr = N

(4.1)

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` CAPITOLO 4. CALCOLO DELLA CAPACITA

Figura 4.1: Sezione del condensatore

Detto ci` o sostituendo ai parametri le dimensioni del dispositivo ssate nei paragra precedenti ` e possibile calcolare la capacit` a a riposo del condensatore. Inoltre si ` e anche in possesso di una funzione che mette in relazione la capacit` a con lo spostamento della massa. Lanalisi eettuata per` o presenta diversi limiti. In primo luogo laver trascurato leetto bordo non garantisce risultati realistici. Inoltre in questo caso si trascurano le capacit` a presenti tra la massa e la metallizzazione sottostante, prendendo in considerazione esclusivamente le capacit` a relative ai denti. Per superare ci` o si ` e eettuata un analisi agli elementi niti argomento della prossima sezione.

4.3

Calcolo numerico della capacit` a

Per la valutazione della capacit` a si ` e utilizzato il tool di simulazione elettromagnetica presente in COMSOL 4.3a Il calcolo ` e stato eettuato immergendo il dispositivo in aria ed utilizzando il valore per la costante dielettrica presente nella libreria del programma. Inoltre sono stati impostati i materiali per la massa oscillante e i denti sottostanti. Poich e oltre al valore della capacit` a ` e necessario ottenere una funzione C (x) (funzione che lega la capacit` a alloscillazione della massa) si aveva la necessit` a di riprodurre la geometria direttamente allinterno del software cos` da poter operare lanalisi parametrica. La presenza di numerosi denti rendeva questo processo lungo e dispendioso e cos` si ` e optato nella realizzazione di una sola parte del componente come in gura 4.2.

` 4.3. CALCOLO NUMERICO DELLA CAPACITA

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Figura 4.2: Parte del condensatore

Nella simulazione questa parte ` e considerata costante isolata dalle altre. Tuttavia ` e facile notare che essa ` e in parallelo con tutte le altre e cos` ` e possibile con buona approssimazione, considerare la capacit` a totale come la somma di ogni parte presente nel sistema. Con questo spirito si ` e eseguita una simulazione parametrica, variando la distanza x del sistema dalla posizione centrale di riposo. In gura 4.3 ` e riportato landamento della capacit` a in funzione dello spostamento. Linterpolazione di tali dati ci dar` a lespressione analitica di tale funzione e verr` a utilizzata nelle simulazioni di funzionamento successive.

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` CAPITOLO 4. CALCOLO DELLA CAPACITA

Figura 4.3: Parte del condensatore