LA PROGETTAZIONE MECCANICA

DEI MICROSISTEMI:
L’INGEGNERIA DEL MILLE VOLTE PIÙ PICCOLO

Eugenio Brusa e Francesco De Bona

DIEGM – Università di Udine
CV et Studiorum del Prof. Francesco De Bona

Nato a Udine, l'8 luglio 1959.

1983: Laurea in Ingegneria Meccanica, presso il Politecnico di Torino
1987: Dottorato di ricerca in Progettazione Meccanica e Costruzione di Macchine,
presso il Politecnico di Torino
1988-1995: Responsabile del laboratorio di Micromeccanica della Sincrotrone di
Trieste
1995-1998: Ricercatore universitario presso l'Università di Udine
1998-2000: Professore associato presso l'Università di Udine
2000-oggi: Professore straordinario di Progettazione Meccanica e Costruzione di
Macchine presso l'Università di Udine.

Attività di ricerca in progettazione e sperimentazione meccanica in campo biomedico,

aerospaziale e dei microsistemi.
Coordinatore scientifico di 3 progetti di ricerca comunitari sui microsistemi.
Oltre 50 pubblicazioni scientifiche, 3 brevetti.

CV et Studiorum del Prof. Eugenio Brusa

Nato a Torino l’8 febbraio 1969.

1993: Laurea in Ingegneria Aeronautica, presso il Politecnico di Torino (stage in Alenia).
1997: Dottorato di Ricerca in “Progettazione e Costruzione di Macchine”, presso il
Dipartimento di Meccanica del Politecnico di Torino.
1997-oggi: Docente nei corsi di M.Sc.Degree in ME of the University of Illinois at Chicago,
tenuti al Politecnico di Torino.
1998-2001: Ricercatore universitario presso il Dipartimento di Meccanica del Politecnico di
Torino.
1998-2001: Responsabile della Sala prove centrifugazione organi rotanti presso il
Laboratorio del Dipartimento di Meccanica del Politecnico di Torino.
2001-2002: Ricercatore universitario presso il Dipartimento di Ingegneria Elettrica,
Gestionale e Meccanica, dell’Università degli Studi di Udine.
Dal 1°/11/2002: Professore Associato di Progettazione e Costruzione di Macchine presso
l’Università degli Studi di Udine, DIEGM..

Attività di ricerca: metodologie di progettazione e sperimentazione di sistemi meccanici e

meccatronici, con particolare riguardo per la dinamica delle strutture e dei sistemi rotanti.
Campi di applicazione: controllo delle strutture, costruzione di satelliti scientifici (progetti
ASI) e sistemi di propulsione spaziale (INTAS), sospensioni magnetiche attive (progetto
ESA/AEVI), dinamica del veicolo e progettazione di microsistemi elettromeccanici.
Autore di circa 60 pubblicazioni scientifiche, e di materiale per la didattica per corsi in Italia
e all’estero (Università di Delft 2001, Università di Helsinki, 2003).
Stazione litografica della linea di
microfabbricazione realizzata
dall’Università di Udine presso il
laboratorio di luce di Sincrotrone
Elettra a Trieste
Microstrutture realizzate con tecnologia
LIGA ad Elettra
Esempi di microstrutture rotte
 Studio agli elementi finiti del
comportamento termoelastico di
una microstruttura durante il
processo di microfabbricazione
 Progettazione meccanica dei
microsistemi

Microturbina in silicio realizzata

presso AT&T Bell Labs nel 1988
“First, researchers must
understand the mechanics of such
small devices: how friction, wear,
abrasion, lubrication, stress,
deformation, fatigue, and other
factors behave at this level.
They also must be learn about the
material properties of the various
substances that could be used in
micromachines and determine
which are appropriate for different
jobs, as well as look for the best
ways to design and build the
devices.”
Science, 1988
 Assemblaggio di microsistemi

Micromotore elettrico con riduttore

epicicloidale: il microsistema si
ottiene assemblando 10
microcomponenti, alcuni dei quali
di dimensione inferiore a 100
micrometri.
 θ θ

Meccanismo forcella spinotto e

micromeccanismo a cerniera
elastica
Microtraslatore realizzato utilizzando un
sistema di microtravi deformabili

V.P. Jaecklin, et alii, J. Micromech.MicroEng. 1992

 Valutazione del comportamento in
grande inflessione di microtravi mediante
approccio analitico

Valutazione del comportamento in

grande inflessione di microtravi mediante
approccio FEM innovativo
0.3
Unstable equilibrium
0.2

0.1
F
y/L 0 Load step:
∆F l 2
-0.1 = 14.4
EI
-0.2
-0.4 -0.2 0 0.2 0.4 0.6 0.8

(b) x/L
 Banco ad interferometria laser per la
caratterizzazione di dispositivi ad elementi
deformabili
 Microattuatore pneumatico con
sistema di afferraggio a cerniere
elastiche

S. Butefisch et alii, 2001

 Prima fase del processo di
microfabbricazione LIGA:
Litografia con luce di sincrotrone
Ottimizzazione strutturale di una cerniera
elastica per microstrutture prodotte con
tecnica litografica
b
umax Thickness t
B
ϕmax

Rotazione con errore

di posizionamento
h1
del centro di
istantanea rotazione
D
h

E
Confronto a parità di
r sollecitazione
AA C O massima e di errore
e b1 x0 cinematico

(a) (b)
 Effetti dovuti alla scala del sistema
Geometria (riduzione di massa, di peso…)

Superficie / Volume = 1/10000 mm (elefante) ;

1/10 mm (libellula)

Forze di tipo meccanico

F = m a & lunghezza4 / tempo2
Forze di tipo elettrostatico
F & lunghezza2
Forze di tipo magnetico
F & lunghezza4

Es.: una riduzione di dimensioni di 1000 volte

riduce una forza elettrostatica di 1 milione di vv,
una forza magnetica di 1 milione di milioni di vv. !
Sviluppo di metodi numerici per lo
studio di sistemi Elettro-Meccanici
accoppiati (FEM)

uy
V ux
Comportamento dinamico di microtravi
soggette a forze elettrostatiche
 Modelli di sintesi per lo studio della
dinamica di microattuatori azionati da
forze elettrostatiche

1 GDL P 192 EI y
km = =
x l3
km FEM
m P
i
v fe
x
Γ
l/2 l/2

ω / ω0

Pivots

FEM + Newmark solution

Parabolic approximation

Voltage [V]
 Tecnologia dei materiali
piezoelettrici per la realizzazione
di microattuatori dinamici

Azionamenti
piezoceramici

Circuiti
elettronici
ottimizzati per
l’attuazione e
la lettura dei
segnali
Progetto di un microsensore capacitivo
per misure di pressione in medicina
Armatura
Supporto superiore superiore
(deformabile)
Armatura inferiore

Supporto inferiore

Principio di Modello numerico per la

funzionamento predizione del
comportamento meccanico
 Prof. Luca Selmi (selmi@uniud.it)

Electronic nanotechnology
•Expertise: characterization, simulation and
optimization of carrier transport (terminal
currents) and reliability properties (aging) of
MOS based nano-devices.
•Research topics: mobility and transport in
SOI substrates and devices. Non-volatile
memories based on localized trapping
materials.
•Projects: partner of the EU NoE SINANO
on silicon based nanotechnology (6FP) and
EUROSOI coordinated action. Partner of one
FIRB project.
• Main collaborations: LETI (Grenoble),
Philips Res. Labs.(Leuven), Infineon
(Villach), STM (Agrate and Crolles)
Prof. Michele Midrio (midrio@uniud.it)
(Campi elettromagnetici )

Cristalli fotonici
 TEMI DI RICERCA:
1. MICROFABBRICAZIONE CON TECNOLOGIA
LIGA
2. ERRORI DIMENSIONALI DOVUTI A CARICHI
TERMICI NEL PROCESSO LIGA
Partners: Sincrotrone Trieste – FZK Karlsruhe
Finanziamenti : Contratto europeo

3. PROGETTAZIONE MECCANICA DI
MICROMECCANISMI A ELEMENTI
DEFORMABILI:
• a sistemi di microtravi
• a cerniere elastiche
Partners: PAUL SCHERRER Institute Zurich –
Universitatea Transilvania Brasov,
Romania
Finanziamenti: MIUR

4. COMPORTAMENTO MECCANICO STATICO E

DINAMICO DI MICROSTRUTTURE
SOTTOPOSTE A CARICHI ELETTROSTATICI
5. METODOLOGIE NUMERICHE DI SUPPORTO
ALLA PROGETTAZIONE DI MICROSISTEMI
Partners: Politecnico di Torino – ST
Microelectronics – Universitatea
Transilvania Brasov, Romania
Finanziamenti: MIUR
 GRUPPO DI RICERCA:

Staff
Prof. Francesco De Bona
Prof. Mircea Gh. Munteanu
Prof. Eugenio Brusa
Elvio Castellarin
Studenti di Dottorato di Ricerca
Ing. Andrea Collenz
Ing. Giulio Manzoni
Collaboratori
Ing. Andrea Secomandi