Progetto Comsol Guerra

Dipartimento di Ingegneria dell’Informazione
Corso di Progettazione di Sensori e Microsistemi
Simulazione della deflessione di un cantilever con il

software Comsol Multiphysics
Studente:
Gabriele Guerra
Anno Accademico 2023/2024

Indice
1 Introduzione 2
2 Descrizione del cantilever 2
3 Impostazione della simulazione Comsol 3

3.1 Scelta dello studio e dei moduli . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
3.2 Geometria e materiali . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
3.2.1 Nota importante per le convenzioni . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
3.3 Condizioni al contorno . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
3.4 Mesh . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
4 Analisi delle strutture in funzione dell’accelerazione 5

4.1 Risultati della simulazione . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
4.1.1 Configurazione A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
4.1.2 Configurazione D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.2 Confronto della simulazione con i modelli analitici . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
4.2.1 Configurazione A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
4.2.2 Configurazione D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5 Analisi dello spostamento in funzione dei parametri geometrici della struttura 27

5.1 Configurazione A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
5.1.1 Spostamento massimo al variare di L . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
5.1.2 Spostamento massimo al variare di b . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
5.1.3 Spostamento massimo al variare di e . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
5.2 Configurazione D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
5.2.1 Spostamento massimo al variare di L1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
5.2.2 Spostamento massimo al variare di b1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
5.2.3 Spostamento massimo al variare di e1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
1
1 Introduzione
Nel seguente elaborato progettuale viene presentata l’analisi strutturale di un microcantilever utilizzato come
applicazione per l’energy harvesting.
L’energy harvesting può essere implementato sfruttando la conversione dell’energia meccanica fornita dalle vi-
brazioni presenti nell’ambiente. Queste sollecitazioni hanno accelerazioni inferiori a quella di gravità terrestre
(sub-1g) e sono generalmente di bassa frequenza (sub-1kHz). È importante dunque progettare sistemi che possa-
no deformarsi molto alla risonanza, in modo da avere una buona conversione. [1]
La struttura di base di questi sistemi è un cantilever, schematizzabile come una trave incastrata da un lato e libera
dall’altro. I materiali impiegati per questi cantilever sono in genere materiali polimerici, che permettono di avere
una struttura a bassa frequenza di risonanza e possono garantire uno strain elevato. Per progettare questi sistemi
e valutarne l’efficacia si utilizzano spesso simulazioni numeriche che utilizzano il metodo agli elementi finiti.
In questo progetto le strutture sono state analizzate con il software Comsol Multiphysics e i risultati sono stati con-
frontati con diversi modelli analitici della teoria della trave. È stata valutata la deflessione massima delle strutture
quando sottoposte a diversa accelerazione, valutando anche l’effetto della variazione di parametri geometrici.
2 Descrizione del cantilever

I cantilever proposti nell’articolo di riferimento [1] hanno la forma di un parallelepipedo, con sezione rettango-
lare orizzontale e sono incastrati su un supporto in un’estremità. Sono stati analizzati solo due dei casi presenti
nell’articolo: “A” e “D”. Il primo consiste solo nel cantilever con un’estremità libera, mentre il secondo ha una
massa sospesa in punta (tip mass), cioè posta sull’estremità libera del cantilever.
La lunghezza del cantilever è indicata con L, la larghezza con b e lo spessore con e. La lunghezza della massa
sospesa è indicata con L1, la larghezza con b1 e lo spessore con e1. I valori per la trave A e la trave D sono indicati
in Tabella 1.
Strutture L (mm) b (µm) e (µm) L1 (µm) b1 (µm) e1 (µm)

A 1 200 20
D 0.94 300 30 380 500 70
Tabella 1: Parametri delle strutture
Il materiale utilizzato per il cantilever è un polimero denominato SU-8 con modulo di Young (Ecant ) di
4.6 GP a, densità (ρcant ) di 1150 Kg/m3 e rapporto di Poisson (νcant ) di 0.4. La massa sospesa ha invece un
modulo di Young (Etip ) di 50 GP a, una densità (ρtip ) di 4500 Kg/m3 e un rapporto di Poisson (νtip ) di 0.4.
2
3 Impostazione della simulazione Comsol
La versione di Comsol utilizzata per le simulazioni è la 6.1.0.282. Le due configurazioni A e D sono state analizzate
con due file separati.
3.1 Scelta dello studio e dei moduli
Le travi sono state simulate con uno studio stazionario e utilizzando il modulo “Solid Mechanics”, non essendo
interessati ai fenomeni elettrostatici e a quelli di trasporto termico e di corrente, ma solamente a quelli meccanici.
3.2 Geometria e materiali
È stata dapprima creata la geometria del cantilever, definendo L, b, e come parametri e utilizzando una semplice
geometria a parallelepipedo. Per la trave D è stato aggiunto un altro parallelepipedo che rappresenta la massa
sospesa in punta, dove L1, b1 e e1 sono stati impostati come parametri.
In seguito alla creazione della geometria, sono stati definiti i materiali, in quanto non presenti nella libreria di
Comsol. Il materiale “SU8” è stato creato utilizzando solo i parametri essenziali cioè Ecant , νcant e ρcant ed è
stato assegnato al parallelepipedo corrispondente al cantilever. Nella configurazione D è stato creato il materiale
“tip” (riferito alla massa sospesa in punta), con i parametri Etip , ρtip , νtip .
3.2.1 Nota importante per le convenzioni
Per analizzare oggetti geometrici è necessario stabilire un sistema di riferimento. Rispetto al sistema di riferi-
mento studiato a lezione per la trattazione analitica (Figura 1(b)), il sistema di riferimento di Comsol è diverso
(Figura 1(a)). Di fatto cambiano gli assi e inoltre nella teoria il sistema era centrato sull’asse neutro, mentre
in comsol parte dal vertice della struttura. Per confrontare i risultati è stato scelto il sistema di riferimento di
Comsol, apportando quindi un segno meno alla funzione analitica calcolata. Ad esempio uno spostamento verso
il basso nel sistema di riferimento dei modelli analitici, positivo e lungo y, sarà considerato negativo e lungo z
nel sistema di riferimento di Comsol, in modo da poter avere un confronto diretto con i dati esportati dal software.
((a)) Sistema di riferimento utilizzato da Comsol ((b)) Sistema di riferimento della trattazione teorica
Figura 1: Sistemi di riferimento
3
3.3 Condizioni al contorno
Come condizioni al contorno, per entrambe le configurazioni è stato impostato il vincolo di “fixed constraint”
applicato alla superficie rettangolare a sinistra. Questo vincolo impone l’assenza di spostamento per i punti di
questa superficie, modellizzando quello che è l’incastro. L’articolo di suggerimento ha simulato anche il supporto,
ma è ragionevole supporre che il supporto sia fisso e che lo sia anche la parte di trave al di sopra di esso, come
confermato anche dalle simulazioni nell’articolo che riportano uno spostamento nullo in corrispondenza del
supporto. La lunghezza analizzata in questa simulazione è dunque solo quella del tratto “utile” del cantilever,
indicato con L.
Per simulare l’effetto dell’accelerazione (a) è stata utilizzata la condizione di “body load”, che impone una forza
per unità di volume in ogni punto del valore di –ρ a, con il segno meno perché è stata considerata un’accelerazione
verso il basso. L’accelerazione viene definita come parametro con valore positivo. Nel caso della trave D, essendo
la punta di densità diversa, anche la forza per unità di volume sarà diversa.
La risoluzione computazionale potrebbe essere alleggerita applicando una condizione di simmetria lungo il piano
xz (piano che taglia a metà il cantilever lungo L). Tuttavia, non essendo una struttura di grandi dimensioni e non
volendo considerare altri fenomeni oltre quelli meccanici, il peso computazionale non è eccessivo e simulare la
struttura per intero non crea troppi problemi.
3.4 Mesh
Essendo strutture non troppo complesse dal punto di vista computazionale, è stata scelta una mesh estremamente
fine per tutte le simulazioni, in modo da avere un risultato il più attendibile possibile. Il numero di domini calcolati
è di 7392 per la configurazione A e di 17272 per la configurazione D e sono mostrati in Figura2.
È stata creata una mesh fine aggiuntiva per confrontare i risultati ottenuti con quella estremamente fine a parità
di condizioni della struttura. Il numero di domini calcolati è di 1372 per la configurazione A e di 1365 per la
configurazione D e sono mostrate in Figura 3.
((a)) Caso A ((b)) Caso D
Figura 2: Mesh estremamente fine delle strutture
4
((a)) Caso A ((b)) Caso D
Figura 3: Mesh fine delle strutture
4 Analisi delle strutture in funzione dell’accelerazione
4.1 Risultati della simulazione
In questa simulazione è stato analizzato il comportamento del sistema sottoposto a varie accelerazioni, impostan-
do ”auxiliary sweep” nello studio. In particolare, sono stati analizzati 10 valori diversi nel range [0.5 − 9.5] m/s2 ,
equispaziati di 1 m/s2 , per entrambe le configurazioni.
Tramite “derived values” e “minimum” è possibile valutare lo spostamento massimo della struttura, valutato su
tutto il volume, per ogni valore di accelerazione. Si sceglie minimum poiché essendo l’accelerazione verso il basso
lo spostamento lungo z sarà negativo per il sistema di riferimento di Comsol.
In seguito è stato calcolato lo stress massimo nella struttura in modo simile al caso precedente, scegliendo invece
”maximum”. In particolare è stato calcolato lo stress di Von Mises , un parametro che tiene conto dello stato di
stress complessivo in ogni punto della struttura, espresso secondo l’equazione (1).
Il valore massimo che si ha va confrontato con il limite oltre il quale il materiale non ha più comportamento
elastico, cioè lo yield strength, considerato 80 MPa per l’SU8. [2]
I grafici sono stati ottenuti esportando i dati in Matlab, che permette un’analisi dati più rapida ed efficace. Alcuni
grafici che non necessitano di particolari trattamenti sono stati presi invece da Comsol.
r
1 2
(1)

σVM = 2 + σ 2 + 2τ 2 + 2τ 2 + 2τ 2
σxx + σyy zz xy xz yz
2
4.1.1 Configurazione A
Plot 3D dello stress e dello spostamento lungo z

È possibile osservare un plot 3D a colori che indica lo stato di stress in ogni punto (Figura 4) e lo spostamento
lungo z in ogni punto (Figura 5) . Quello che è importante è la mappa di colori, che resta invariata per ogni
accelerazione, ma cambiano solo i valori della scala.
È possibile avere una rappresentazione della deflessione, come nella Figura 6, ma questa rappresentazione non è
realistica, in quanto viene moltiplicata per un fattore di scala (impostato con 5000) e serve solo per dare un’idea
5
di come si deformi la trave.
È utile riportare anche i valori in sezioni diverse, cioè degli ”slice plot”. È possibile osservare l’uniformità dei
valori di spostamento in ogni sezione, minimo, in modulo, vicino all’incastro (Figura 7(a)) e l’andamento dello
stress lungo z, massimo in superficie e minimo al centro, in accordo con quanto visto a lezione (Figura 7(b)).
Figura 4: Caso A. Plot 3D dello stress
Figura 5: Caso A. Plot 3D dello spostamento verticale
Figura 6: Caso A. Plot 3D dello spostamento verticale con deformazione della trave
6
((a)) Spostamento verticale ((b)) Stress
Figura 7: Slice plot della trave A
Deformata della trave e stress in superficie alle varie accelerazioni

Per avere i risultati in un certo range di punti del solido, tramite cutline 3D sono stati creati nuovi dataset in
corrispondenza di alcune linee principali. Nel caso A, consideriamo la linea dell’asse neutro (Figura 8(a)), che
va da (0, 2b , 2e ) a (L, 2b , 2e ). In Figura 9 sono riportati i valori dello spostamento verticale lungo l’asse neutro alle
varie accelerazioni, interpolando i punti ottenuti dalla simulazione. Più ci si allontana dall’incastro, maggiore è
la deflessione verso il basso.
Viene riportato anche il valore massimo di stress di Von Mises lungo x (Figura 10), che si ottiene prendendo i
punti lungo un asse centrale passante per la superficie superiore, che va da (0, 2b , e) a (L, 2b , e) (Figura 8(b)) .
Quest’ultima è la superficie in cui lo stress è maggiore, come si vede anche dagli slice plot precedenti. Come ci
si aspetta, lo stress è massimo vicino all’incastro, anche se in realtà il massimo non compare precisamente a x = 0.
((a)) Spostamento verticale: linea dell’ asse neutro ((b)) Stress: linea in superficie
Figura 8: Caso A. Dataset lungo una linea presi con cutline 3D
7
Figura 9: Caso A. Spostamento verticale lungo l’asse neutro al variare dell’accelerazione
Figura 10: Caso A. Stress in superficie lungo x al variare dell’accelerazione
Massimo spostamento verticale e stress massimo in funzione dell’accelerazione

È possibile osservare in Figura 11(a) il massimo spostamento verticale, valutato in tutti i punti del solido, in
funzione dell’accelerazione.
Sono valori negativi a causa del sistema di riferimento di Comsol, dunque con massimo si intende il valore più
negativo (i.e. con modulo maggiore). È possibile notare che all’aumentare dell’accelerazione, lo spostamento
aumenta in modulo (i.e. diventa più negativo) e questa dipendenza è lineare, come mostrato dal fit dei dati.
Per quanto riguarda lo stress massimo, anche questo aumenta linearmente in funzione dell’accelerazione, come
mostrato in Figura 11(b). Il massimo valore raggiunto è 2074.4 Pa, dunque lo yield strength non viene superato.
Questi valori di accelerazione quindi garantiscono il corretto funzionamento della struttura.
8
((a)) Spostamento massimo in funzione dell’accelerazione ((b)) Stress massimo in funzione dello stress
Figura 11: Fit dati configurazione A
Derivazione della costante elastica equivalente

Tramite “variables” è possibile definire la costante elastica del sistema come rapporto tra la forza (massa x accele-
razione) e lo spostamento verticale massimo. Quest’ultimo viene valutato costruendo un operatore che valuta il
minimo dello spostamento lungo z (w) in tutto il volume (quindi trovando il valore più negativo) e moltiplicando
per meno si ottiene il modulo di questo valore in modo da far tornare la costante elastica positiva.
Essendo lo spostamento verticale dipendente linearmente dall’accelerazione, di fatto il rapporto è costante con
l’accelerazione (come si vede nell’equazione 2) e questo è confermato dai valori calcolati in Tabella 2, che diffe-
riscono solo a partire dalla tredicesima cifra decimale.
Ftot mtot a
keq = = (2)
|w|max |w|max
mtot è la massa totale del sistema e |w|max è lo spostamento massimo lungo z.
a (m/s2 ) 0.5 1.5 2.5 3.5 4.5

keq (N/m) 5.132060265878806 5.132060265878819 5.132060265878827 5.132060265878784 5.132060265878791
a (m/s2 ) 5.5 6.5 7.5 8.5 9.5
keq (N/m) 5.132060265878823 5.132060265878835 5.132060265878788 5.132060265878819 5.132060265878806
Tabella 2: Caso A. Costante elastica equivalente calcolata nella simulazione Comsol
9
Risultati della configurazione A con mesh fine
I risultati sono visibili in Figura 12, 13 e 14. Si può notare che il plot dello spostamento è molto simile a quello
della mesh estremamente fine (Figura 12(b)), mentre quello dello stress indica una zona di massimo più distribuita
intorno all’incastro (Figura 12(a)) rispetto al caso precedente .
In particolare, confrontando i risultati tra le mesh per 9.5 m/s2 , si nota che l’andamento dello spostamento
verticale (Figura 13(b)) cambia di poco, mentre, per quanto riguarda lo stress (Figura 13(a)), si nota che con la
mesh fine non si verifica il picco di stress vicino all’incastro, presente invece nella mesh estremamente fine.
Questo influenza i valori di stress massimi calcolati ad ogni accelerazione. Infatti, come si vede in Figura 14(a), la
dipendenza lineare è mantenuta ma devia dalla mesh fine per valori elevati di accelerazione, con una pendenza
minore per via dei valori minori trovati. L’andamento dello spostamento resta invece invariato (Figura 14(b)).
La costante elastica equivalente calcolata è di 5.179 N/m, a differenza di 5.132 N/m della mesh estremamente
fine.
((a)) Stress ((b)) Spostamento verticale
Figura 12: Caso A. Mesh fine con plot 3D
((a)) Stress in superficie ((b)) Spostamento verticale lungo l’asse neutro
Figura 13: Caso A. Risultati lungo cutline 3D con mesh fine e confronto con mesh estremamente fine a 9.5 m/s2
10
((a)) Stress massimo in funzione dell’accelerazione ((b)) Massimo spostamento in funzione dell’accelerazione
Figura 14: Caso A. Confronto tra risultati con mesh fine e estremamente fine
4.1.2 Configurazione D
Plot 3D dello stress e dello spostamento lungo z

In Figura 15 sono mostrati i plot 3D dello stress e in Figura 16 dello spostamento lungo z. Anche in questo caso
la mappa di colori resta invariata per ogni accelerazione e cambiano solo i valori della scala. Si può notare che,
a parità di accelerazione, questa struttura deflette maggiormente verso il basso rispetto alla configurazione pre-
cedente, a causa della presenza della massa sospesa in punta. Una visualizzazione della deflessione è in Figura
17 dove anche qui il fattore di scala è 5000. I valori dello spostamento verticale e dello stress in sezione sono
mostrati in Figura 18 e anche questi mostrano le stesse caratteristiche del caso A.
Figura 15: Caso D. Plot 3D dello stress
11
Figura 16: Caso D. Plot 3D dello spostamento verticale
Figura 17: Caso D. Plot 3D dello spostamento verticale con deformazione della trave
Figura 18: Slice plot della configurazione D
12
Deformata della trave e stress in superficie alle varie accelerazioni
Il dataset per lo spostamento verticale è stato preso considerando la linea dell’asse neutro, la stessa del caso A,
ma che termina a L+L1 (Figura 19(a)), mentre il valore massimo di stress di Von Mises lungo x è stato ottenuto
prendendo i punti lungo un asse centrale passante per la superficie superiore del cantilever, la stessa del caso A,
e poi sulla superficie della punta (Figura 19(b) e 19(c)), distante e1
2 − e
2 da quelli sulla superficie del cantilever.
Lo spostamento verticale in funzione dell’accelerazione è in Figura 20, lo stress in superficie in Figura 21. An-
che qui si nota un picco di stress vicino all’incastro, ma vi è una discontinuità in x = L, anche se non ben visibile.
((a)) Linea dell’asse neutro ((b)) Linea superficie cantilever ((c)) Linea superficie punta
Figura 19: Caso D. Dataset lungo una linea presi con cutline 3D
Figura 20: Caso D. Spostamento verticale lungo l’asse neutro al variare dell’accelerazione
Figura 21: Caso D. Stress in superficie lungo x al variare dell’accelerazione. Le due immagini non sono in scala.
13
Massimo spostamento verticale e stress massimo in funzione dell’accelerazione
Anche in questo caso è stato calcolato lo spostamento verticale massimo in funzione dell’accelerazione e si vede
ancora la dipendenza lineare, come mostrato dal fit dei dati (Figura 22(a)). Anche lo stress massimo segue una
dipendenza lineare in funzione dell’accelerazione come mostrata in Figura 22(b).
I valori non superano lo yield strength, garantendo anche in questo caso il corretto funzionamento della struttura.
((a)) Spostamento massimo in funzione dell’accelerazione ((b)) Stress massimo in funzione dell’accelerazione
Figura 22: Fit dati Configurazione D

Anche in questo caso la costante elastica non dipende dall’accelerazione, come mostrato in Tabella 3, e ha un
valore minore rispetto al caso A, pari a 6.079 N/m. Questa struttura è dunque più rigida e deflette di meno a
parità di accelerazione rispetto al caso A.
a(m/s2 ) 0.5 1.5 2.5 3.5 4.5

keq (N/m) 6.079278253932430 6.079278253932419 6.079278253932426 6.079278253932423 6.079278253932443
a(m/s2 ) 5.5 6.5 7.5 8.5 9.5
keq (N/m) 6.079278253932432 6.079278253932429 6.079278253932444 6.079278253932435 6.079278253932432
Tabella 3: Costante elastica equivalente calcolata nella simulazione Comsol
14
Risultati della configurazione D con mesh fine
I risultati sono visibili nelle Figure 23, 24, 25. Le considerazioni sono le stesse fatte per il caso A. La costante
elastica equivalente calcolata è di 6.137 N/m, a differenza di 6.079 N/m della mesh estremamente fine.
Figura 23: Caso D. Mesh fine con plot 3D
((a)) Stress massimo in funzione dell’accelerazione ((b)) Massimo spostamento in funzione dell’accelerazione
Figura 24: Caso D. Confronto tra risultati con mesh fine e estremamente fine
((a)) Spostamento verticale lungo l’asse neutro ((b)) Stress in superficie
Figura 25: Caso D. Risultati lungo cutline 3D con mesh fine
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4.2 Confronto della simulazione con i modelli analitici
Per entrambe le configurazioni, i dati di Comsol di spostamento verticale (w) nei punti dell’asse neutro e stress
in superficie (σ) sono stati confrontati con i modelli analitici calcolati utilizzando le equazioni della linea elastica.
I dati di Comsol presi per questo scopo sono gli stessi dei dataset presi con “cutline 3D”.
Sono stati considerati 2 modelli per A e 3 modelli per D, calcolando per ciascuno il momento flettente e lo spo-
stamento verticale. Lo sforzo nomale, dalla teoria, è assente data la sola presenza di carichi verticali. I vari grafici
con i dati di Comsol, le funzioni analitiche e i fit sono stati analizzati con Matlab.
Per avere un parametro che stimi l’aderenza di un modello analitico ai dati della simulazione, è stato calcolato il
RMSE (Root Mean Square Error), calcolato solo per 9.5 m/s2 nel caso di deformata e stress in superficie.
Questo parametro viene definito secondo l’equazione (3) e indica la discrepanza quadratica media fra i valori degli
n dati osservati (quelli della simulazione Comsol, indicati con x̂i ) ed i valori dei dati stimati secondo il modello
analitico, indicati con xi . Un adattamento perfetto tra simulazione e modello analitico implica un RMSE nullo.
Se confrontiamo più modelli, quello che ha RMSE minore è quello che si avvicina di più ai dati di Comsol.
r Pn
i=1 (xi − x̂i )2
RM SE = (3)
n
Modelli per la configurazione A
• Modello 1A
La trave A è incastrata e ha una forza concentrata al centro F = mcant a = ρcant L b e a. (Figura 26(a))
Reazione vincolare pari a Va = F e momento all’incastro pari a Ma = − F2L
Momento flettente pari a:

 M +V x
a a per 0 < x < L
2
M (x) =
 0 per L
2 <x<L
• Modello 2A
Modello in cui la trave A è incastrata, ma considera un carico distribuito, cioè rappresenta il cantilever
come un corpo con densità omogenea qcant = ρcant b e (Figura 26(b)).
2
Reazione vincolare pari a Va = qcant L e momento all’incastro pari a Ma = − qcant
2
L
qcant x2
Momento flettente pari a: M (x) = Ma + Va x − 2
((a)) Modello 1A ((b)) Modello 2A
Figura 26: Modelli per la configurazione A
16
Modelli per la configurazione D
• Modello 1D
Considera la trave D come nel 2A ma aggiunge un tratto in più all’estremità con una forza concentrata al
centro che rappresenta la massa sospesa, pari a F = mtip a = ρtip L1 b1 e1 a (Figura 27(a)).
Reazione vincolare pari a: Va = F + qcant L
2
Momento all’incastro pari a: Ma = − qcant
2
L
− F (L + L1
2 )


qcant x2
 M − + (F + qcant L) x per 0 < x < L
 a 2


2
M (x) = Ma + qcant L
2 +F x per L < x < L + L1
2


per L + L1

 0 2 < x < L + L1
• Modello 2D
Modello che considera una trave incastrata lunga L con un carico distribuito (quello del cantilever) e con
all’estremità la forza concentrata della massa sospesa (la stessa dell’1D) e un pattino. (Figura 27(b))
La struttura è iperstatica e l’unica reazione che si può trovare è quella all’incastro pari a Va = qcant L + F ,
da cui si ricava l’espressione del taglio:
T (x) = Va − qcant x
• Modello 3D
Simile al modello 1D ma è aggiunto un carico distribuito all’estremità, che rappresenta la massa sospesa in
punta come un corpo con densità omogenea, qtip = ρtip b1 e1. (Figura 27(c))
Reazione vincolare pari a: Va = qcant L + qtip L1
2
Momento all’incastro pari a: Ma = − qcant
2
L
− qtip L1 (L + L1
2 )


x2
 Ma + Va x − qcant
2 per 0 < x < L
M (x) =
(x−L)2
L
per L < x < L + L1
 M +V x−q
a a cant L x − 2 − qtip 2
((a)) Modello 1D ((b)) Modello 2D ((c)) Modello 3D
Figura 27: Modelli per la configurazione D. Il tratto rosso rappresenta la massa sospesa.
17
4.2.1 Configurazione A
Confronto tra la deformata lungo l’asse neutro simulata e quella calcolata analiticamente
Utilizzando le equazioni della linea elastica otteniamo un’espressione analitica per la deformata e la confrontiamo
con i dati ottenuti dalla simulazione. Lo spostamento w è espresso nel sistema di riferimento di Comsol, dunque
tutte le equazioni sono state moltiplicate per meno. Di fatto, l’equazione che lega il momento flettente a w è:
d2 w(x) M (x)
2
= (vale per il sistema di riferimento di Comsol)
dx EJ
Modello 1A:

 F
6 Ecant Jcant x3 + Ma
2 Ecant Jcant x2 per 0 < x < L
2
w(x) = 3 2
 − FL
24 Ecant Jcant −
FL
8 Ecant Jcant (x − L
2) per L
2 <x<L
Modello 2A:
qcant L2 qcant L qcant
w(x) = − x2 + x3 − x4
4 Ecant Jcant 6 Ecant Jcant 24 Ecant Jcant
b e3
Dove appare il momento di inerzia del cantilever Jcant = 12 . In Figura 28 sono riportati i dati ottenuti dalla
simulazione Comsol e i rispettivi modelli analitici per il valore di accelerazione di 0.5 e 9.5 m/s2 .
Si può vedere bene come entrambi i modelli si adattino bene ai punti della simulazione nel tratto iniziale, cor-
rispondente a piccoli spostamenti. Tuttavia, per grandi spostamenti viene meno la validità delle equazioni del-
la linea elastica e entrambi iniziano a deviare dalla simulazione. Il modello 2A, maggiormente corrispondente
alla realtà fisica della trave, mantiene però un buon andamento, come confermato dal valore di RMSE pari a
2.19 × 10−4 µm, inferiore rispetto all’1A che ha RMSE pari a 3.92 × 10−4 µm.
Per tutti i valori di accelerazione, l’errore relativo resta lo stesso, per questo le 2 immagini sembrano uguali. Ad
esempio all’estremità libera si raggiunge l’errore relativo massimo di 0.046. Quello che cambia è la scala di valori
sull’asse y dei grafici. Essendo l’errore relativo costante, a grandi spostamenti, che si hanno per valori elevati di
accelerazione, noteremo un discostamento effettivo maggiore e più evidente, come si osserva in Figura 29.
Figura 28: Deformata configurazione A. Confronto tra dati di Comsol e modelli analitici
18
Figura 29: Deformata configurazione A. Confronto tra dati di Comsol e modello 2A per ogni accelerazione
Confronto tra stress in superficie lungo x simulato e calcolato analiticamente

Utilizzando la formula di Navier σ(x, z) = − M (x)
J
z
, con z = e
2 è possibile valutare lo stress in superficie. (Il
meno è dovuto al cambio di sistema di riferimento)
Modello 1A

Fe L
per 0 < x < L

e 
2 Jcant 2 −x 2
σ x, =
2  0 per L
<x<L
2
Modello 2A
qcant x2
e
e
σ x, = −Ma − Va x +
2 2 Jcant 2
In Figura 30 sono riportati i dati ottenuti dalla simulazione Comsol e i rispettivi modelli analitici per il valore di
accelerazione di 0.5 e 9.5 m/s2 . Anche qui il modello 2A è quello che segue meglio i dati di Comsol, poiché ha
RMSE di 79.29 P a, inferiore rispetto ai 195.59 P a dell’1A.
In particolare, nel modello 2A l’adattamento è buono per i valori vicini all’estremità libera, mentre all’incastro si
perde, poiché i dati della simulazione presentano un picco, già visto nei paragrafi precedenti.
Il confronto tra modello 2A e i dati della simulazione per tutti i valori di accelerazione è visibile in Figura 31.
19
Figura 30: Stress in superficie lungo x, configurazione A. Confronto tra dati di Comsol e modelli analitici
Figura 31: Stress in superficie lungo x, configurazione A. Confronto tra dati di Comsol e modello 2A per tutti i
valori di accelerazione
Massimo spostamento verticale in funzione dell’accelerazione

Dalle deformate si vede che lo spostamento massimo (il più negativo) è in punta, quindi consideriamo quello per
la parte analitica. Dal modello 2A si ottiene che lo spostamento deve seguire una dipendenza lineare in funzione
dell’accelerazione, come specificato nella formula (4).
Questo è in accordo con il fit della Figura 11(a) della sezione 4.1.1 e, come si vede in Figura 32(a), il modello 2A
segue bene i dati di Comsol, fornendo un RMSE calcolato pari a 2.37×10−4 µm rispetto al valore di 6.63×10−4 µm
per l’1A. Minore è l’accelerazione e minore è lo spostamento in punta e dunque più valido è il modello analitico.
qcant L4 3 L4 ρcant a
w(L) = − =− (4)
8 Ecant Jcant 2 Ecant e2
20
Massimo stress in funzione dell’accelerazione: confronto tra simulazione e modello analitico
Il massimo di stress calcolato nelle soluzioni analitiche è all’incastro (x=0), come riportato nella formula (5). Si
nota che le equazioni rispettano la dipendenza lineare di σ massima con l’accelerazione, come prevista in Figura
11(b) della sezione 4.1.1, e, in entrambi i modelli 1A e 2A, il valore massimo è lo stesso a parità di accelerazione,
come si può notare dalla sovrapposizione delle rette in Figura 32(b).
e Ma e qcant L2 e
σ 0, =− = (5)
2 2 Jcant 4 Jcant
L’accordo è buono solo per i primi valori di accelerazione e entrambi i modelli hanno un RMSE di 264.45 P a.
Questo può sembrare in contrasto con la Figura 30, in quanto si vede che il valore massimo della simulazione e
del modello sono molto vicini, anche a 9.5 m/s2 .
In realtà bisogna considerare che in Figura 32(b) viene riportato il valore massimo di stress calcolato da Comsol in
tutto il volume, che non coincide necessariamente con quello massimo calcolato lungo la cutline 3D in superficie.
Ad esempio a 9.5 m/s2 lungo la cutline in superficie porta come valore massimo 1700 P a (Figura 30), mentre
in Figura 32(b) riporta 2100 P a. Questo vuol dire che nella struttura ci sono punti sollecitati maggiormente, che
non sono stati considerati nella cutline 3D e quindi discostano molto dal modello analitico.
((a)) Spostamento massimo in funzione dell’accelerazione ((b)) Stress massimo in superficie in funzione dell’accelerazione
Figura 32: Configurazione A. Confronto tra dati di Comsol e modelli analitici

Si calcola anche in questo caso facendo il rapporto tra forza (in questo caso la forza peso del cantilever) e sposta-
mento massimo, che di fatto è all’estremità libera del cantilever.
Per il modello 1A si ottiene keq = 48Ecant Jcant
5L3 = 5.89 N/m.
Per il modello 2A, più corretto, si ottiene keq = 8Ecant Jcant
L3 = 4.91 N/m.
Rispetto al valore simulato di 5.13 N/m, il modello 1A la sovrastima, mentre il 2A la sottostima, ma si avvicina
di più .
21
4.2.2 Configurazione D
Confronto tra la deformata lungo l’asse neutro simulata e quella calcolata analiticamente
Utilizzando le equazioni della linea elastica otteniamo un’espressione analitica per la deformata per tutti i modelli.
Modello 1D:




Ma
2 Ecant Jcant x2 + F +qcant L
6 Ecant Jcant x3 − qcant
24 Ecant Jcant x4 per 0 < x < L






−6Ma L−3(F +qcant L) L2 +qcant L3





 w(L) − 6 Ecant Jcant (x − L)
L2
 q
Ma + cant +F L 2 3
w(x) =
 + 2
2 Etip Jtip (x − L) + F
6 Etip Jtip (x − L) per L < x < L + L1
2






2
+qcant L3

L1
+ (− −6Ma L−3(F +qcant L) L




 w L+ 2 6 Ecant Jcant
q L2

Ma + cant +F L
per L +
 F L1
L1
+ 2
L1 + L12 ) x − L − < x < L + L1

2 Etip Jtip 8 Etip Jtip 2 2
Modello 2D:

 − 3 Va L−qcant L2 x2 + Va
x3 − qcant
x4 per 0 < x < L
12 Ecant Jcant 6 Ecant Jcant 24 Ecant Jcant
w(x) =
 w(L) per L < x < L + L1
Modello 3D:




Ma 2 Va 3 qcant
2 Ecant Jcant x + 6 Ecant Jcant x − 24 Ecant Jcant x
4
per 0 < x < L




w(x) =
Ma L Va L 2 qcant L3



 w(L) + Ecant Jcant + 2 Ecant Jcant − 6 Ecant Jcant (x − L)
qcant L2


 Ma + 2 +qtip L L1 2 q L1 3 qtip 4
per L < x < L + L1

+ 2 Etip Jtip (x − L) + 6 Etip tip Jtip
(x − L) − 24 Etip Jtip (x − L)
Nota: la ”D” in 1D, 2D e 3D non indica alcun tipo di dimensionalità ma indicano rispettivamente il primo, il
secondo e il terzo modello per D.
In Figura 33 sono riportati i dati ottenuti dalla simulazione Comsol e i rispettivi modelli analitici per il valore
di accelerazione di 0.5 e 9.5 m/s2 . Il valore di RMSE per i modelli 1D e 3D è di 0.0032 µm, mentre per il modello
2D è di 0.052 µm . Il modello 2D rispecchia di meno la realtà in quanto è adatto per sistemi in cui la massa della
punta è molto maggiore del cantilever e quindi si può modellizzare il sistema con un pattino all’estremità. In
questo caso il rapporto tra la massa della punta e quella del cantilever è di 6.15, dunque sono confrontabili. Il
modello 1D e il modello 3D invece seguono di fatto lo stesso andamento e entrambi seguono bene i punti della
simulazione nel tratto iniziale, corrispondente a piccoli spostamenti.
In Figura 34 si riportano i risultati del modello 3D per tutte le accelerazioni considerate.
22
Anche in questo caso vale lo stesso discorso fatto sull’errore relativo per la configurazione A. Per piccoli sposta-
menti, entrambi i modelli 1D e 3D interpretano bene i dati della simulazione, non discostano molto dai valori in
punta e si sovrappongono, dunque sembrano egualmente validi. In realtà, come si vedrà nel prossimo paragrafo,
essi non descrivono lo stesso andamento per lo stress in superficie.
Figura 33: Deformata configurazione D. Confronto tra dati di Comsol e modelli analitici
Figura 34: Deformata configurazione D. Confronto tra dati di Comsol e modello 3D per tutti i valori di accelera-
zione
Confronto tra lo stress in superficie lungo x simulato e quello calcolato analiticamente

Utilizziamo la formula σ(x, z) = − M (x)
J
z
con z = e
2 per valutare lo stress sulla superficie superiore del cantile-
ver e z = e1
2 per la superficie della massa sospesa.
23
Modello 1D

qcant x2
 σ x, e
2 = M a − 2 + (F + q cant L) x − e
per 0 < x < L
2 Jcant


 qcant L2
e1
σ x, 2 = Ma + 2 + F x − 2 Je1tip per L < x < L + L1
2


σ x, e1 = 0 per L + L1


2 2 < x < L + L1
Modello 2D
Avendo solo il taglio, il momento si ricava dall’equazione della linea elastica. Inoltre, avendo schematizzato il
sistema con un pattino al posto della massa sospesa, non ha senso definire lo stress nella regione da L a L+L1.
e 3 V L − q 2

a cant L qcant 2 e
σ x, = − Va x + x
2 6 2 2 Jcant
Modello 3D

qcant x2
 σ x, 2e = Ma + Va x − 2
e
− 2 Jcant per 0 < x < L

qcant L2 2
e1
− 2 Je1tip per L < x < L + L1

 σ x,
2 = Ma + 2 + qtip L1 x − qtip (x − L)
In Figura 35 sono riportati i dati ottenuti dalla simulazione Comsol e i rispettivi modelli analitici per il valore di
accelerazione di 0.5 e 9.5 m/s2 . Il valore di RMSE per il modello 3D è 779.65 P a, per 1D è 780.85 P a, per 2D è
8326.49 P a, quindi il modello 3D è quello che interpreta meglio i risultati della simulazione. 3D e 1D hanno lo
stesso andamento lungo il cantilever, ma cambia sulla massa sospesa. Infatti, come si vede nello zoom in Figura
36, nel caso 1D la presenza della forza peso concentrata porta a un andamento lineare a tratti dello stress sulla
punta, rispetto al caso 3D che invece considera l’effetto del carico distribuito ed ha un andamento quadratico,
avvicinandosi di più alla simulazione. Il modello 2D, come per la deformata, è il meno adatto.
La Figura 37 riporta l’andamento del modello 3D per tutte le accelerazioni.
Figura 35: Stress in superficie lungo x, configurazione D. Confronto tra dati di Comsol e modelli analitici
24
Figura 36: Zoom sul tratto della massa sospesa in punta e confronto tra modelli 1D e 3D
Figura 37: Stress in superficie lungo x, caso D: confronto tra dati di Comsol e modello 3D per ogni accelerazione
Massimo spostamento verticale in funzione dell’accelerazione

Anche in questo caso consideriamo come massimo spostamento quello all’estremo libero della struttura, in ac-
cordo con le equazioni della linea elastica. Dai modelli analitici possiamo osservare che per x = L + L1 il valore
di spostamento è una somma di termini tutti proporzionali a Va , Ma , qcant , qtip , i quali a loro volta dipendono
linearmente dall’accelerazione. Dunque lo spostamento deve seguire una dipendenza lineare con l’accelerazione,
come previsto dal fit dei dati nei paragrafi precedenti. Come si vede in Figura 38(a), questa dipendenza lineare
è molto vicina ai dati di Comsol per i modelli 1D e 3D, che hanno un RMSE di 0.0032 µm, rispetto al RMSE del
modello 2D di 0.0577 µm.
25
Massimo stress in funzione dell’accelerazione: confronto tra simulazione e modello analitico
Il massimo di stress calcolato nelle soluzioni analitiche è all’incastro (x=0). Per entrambi i modelli 1D e 3D è pari a:
!
L1
e Ma e 3 ρcant L12 6 ρtip b1 e1 (L + 2 )
σ 0, =− = + a
2 2 Jcant e b e2
Questa equazione rispetta dunque la dipendenza lineare con l’accelerazione e, in entrambi i modelli 1D e 3D il
valore massimo è lo stesso, come si può notare dalla sovrapposizione delle rette in Figura 38(b). Anche il modello
2D rispetta la dipendenza lineare con l’accelerazione, ma non segue i dati di Comsol. Infatti il valore di RMSE è
di 2845.8 P a per i modelli 1D e 3D e di 8102.8 P a per il modello 2D.
Come nella configurazione A, anche in questo caso il modello analitico segue bene i dati della simulazione solo
per i valori più bassi di accelerazione, ma lo stress massimo calcolato in tutto il volume non coincide con quello
della cutline, come già visto per il caso A.
((a)) Spostamento massimo in funzione dell’accelerazione ((b)) Stress massimo in superficie in funzione dell’accelerazione
Figura 38: Configurazione D. Confronto tra dati di Comsol e modelli analitici

Per il modello 2D si ottiene 41.93 N/m, come ci si aspetta da una struttura più rigida come quella con il pattino.
Per il modello 1D e 3D, più corretti, si ottiene 5.80 N/m, che è molto vicino al valore trovato con la simulazione
di 6.07 N/m.
Questi valori sono stati calcolati scrivendo le equazioni su Matlab. Non viene riportata la loro forma analitica
poiché molto lunga e complessa.
26
5 Analisi dello spostamento in funzione dei parametri geometrici del-
la struttura
È stato studiato l’effetto della variazione dei parametri geometrici della struttura sulla deflessione massima di
quest’ultima. Per la configurazione A sono stati variati i lati del cantilever uno alla volta, lasciando inalterati
gli altri e valutando lo spostamento massimo con un’accelerazione di 9.5 m/s2 . Per la configurazione D, invece,
sono stati variati i lati della massa sospesa in punta uno alla volta, senza alterare gli altri parametri e valutando
lo spostamento massimo a 9.5 m/s2 . La variazione dei parametri è stata impostata con ”parametic sweep”, che,
a differenza dell’auxiliary sweep, ricalcola la mesh per ogni valore del parametro poiché varia la geometria del
sistema. In entrambi i casi, è stato fatto un fit dei risultati ottenuti con la simulazione di Comsol per studiare il
tipo di dipendenza. Si è scelto poi il modello analitico più adatto a rappresentarli, sulla base delle considerazioni
dei paragrafi precedenti.
5.1 Configurazione A
Il modello analitico utilizzato è stato il 2A poiché è quello più adatto (con sistema di riferimento quello di Comsol,
dunque lo spostamento è negativo). Il modello analitico 2A porta alla seguente equazione :
3 L4 ρcant a
w(L) = −
2 Ecant e2
Questa equazione mostra una dipendenza:
• di quarto grado per L;
• costante con b;
• inversamente proporzionale al quadrato per e;
5.1.1 Spostamento massimo al variare di L
L’intervallo di valori di L analizzato va da 1 mm a 8 mm con intervalli di 0.5 mm.

L’equazione per il fit è mostrata in Figura 39, con L in mm e w = f (L) in µm.
L’equazione che deriva dal modello analitico segue bene i dati della simulazione (RMSE pari a 0.0258 µm) e anche
il fit con un polinomio di quarto grado segue la stessa dipendenza. Infatti, come si vede dall’equazione del fit, i
coefficienti dei termini di grado inferiore al quarto sono di un ordine di grandezza inferiore rispetto a quello del
quarto grado.
27
Figura 39: Caso A. Spostamento massimo al variare di L
5.1.2 Spostamento massimo al variare di b
L’intervallo di valori di b analizzato va da 100 µm a 800 µm con intervalli di 100 µm.

L’equazione per il fit è mostrata in Figura 40, con b in µm e w = f (b) in µm.
Il modello 2A ha un RMSE pari a 7.03 × 10−4 µm. I risultati di Comsol mostrano un andamento non costante,
ma seguono quello di un polinomio di terzo grado, come si vede dal fit. In prima approssimazione, però, può
essere considerato costante poiché i coefficienti dei termini dal primo grado in su hanno valori trascurabili. Se b
diminuisce inizia a essere confrontabile con lo spessore e fissato e dunque l’ipotesi di trave monodimensionale
considerata nel modello analitico è più valida. Invece, per b elevato, la struttura inizia a comportarsi come una
membrana invece che una trave, poiché L e b iniziano a essere confrontabili, e l’accordo si perde.
Figura 40: Caso A. Spostamento massimo al variare di b
28
5.1.3 Spostamento massimo al variare di e
L’intervallo di valori di e analizzato va da 10 µm a 80 µm con intervalli di 10 µm.

L’equazione per il fit è mostrata in Figura 41, con e in µm e w = f (e) in µm.
L’equazione del modello analitico segue bene i dati della simulazione, con RMSE pari a 5.81 × 10−4 µm, e anche
il fit segue la stessa dipendenza. Più e aumenta e più si avvicina a b fissato, quindi la sezione è meno allungata e
i dati rispondono meglio al modello e all’ipotesi di trave monodimensionale.
Figura 41: Caso A. Spostamento massimo al variare di e
5.2 Configurazione D
Il modello analitico utilizzato è stato il 3D poiché è quello più adatto. Il modello analitico 3D porta alla seguente
equazione:
3 ρcant L4 a 4 ρtip b1 e1 a L3 L1 9 ρtip b1 e1 a L2 L12 6 ρtip b1 e1 a L L13 2 ρcant a L3 L1 3 ρtip a L14

w(L+L1) = + + + + +
2 Ecant e2 Ecant b e3 Ecant b e3 Ecant b e3 Ecant e2 2 Etip e12
Questa equazione mostra una dipendenza:
• con un polinomio di quarto grado per L1, w(L1) = c0 + c1 L1 + c2 L12 + c3 L13 + c4 L14 ;
• lineare con b1, w(b1) = c0 + c1 b1;
• mista tra lineare e inversamente quadratica con e1, w(e1) = c0 + c1 e1 + c2 e1−2 ;
5.2.1 Spostamento massimo al variare di L1
L’intervallo di valori di L1 analizzato 0.08 mm a 0.8 mm con intervalli di 0.1 mm.

L’equazione per il fit è mostrata in Figura 42, con L1 in mm e w = f (L1) in µm.
Il fit rispetta molto bene la dipendenza con un polinomio di quarto grado, cosı̀ come il modello analitico 3D, che
29
ha un RMSE pari a 0.0117 µm e si avvicina molto per i valori di L più bassi. Diminuendo L, infatti, l’influenza
della punta si riduce e si ricade sempre di più nel caso A.
Figura 42: Caso D. Spostamento massimo al variare di L1
5.2.2 Spostamento massimo al variare di b1
L’intervallo di valori di b1 analizzato va da 100 µm a 1000 µm con intervalli di 100 µm.

L’equazione per il fit è mostrata in Figura 43, con b1 in um e w = f (b1) in µm.
Anche in questo caso sia il fit sia il modello analitico 3D (con un RMSE pari a 0.00643 µm) seguono bene l’anda-
mento dei dati, in particolare per i primi valori. All’aumentare di b1, come per il caso A, la larghezza della punta
inizia a essere confrontabile con la sua lunghezza e la struttura è più piatta e l’ipotesi di trave meno valida.
Figura 43: Caso D. Spostamento massimo al variare di b1
30
5.2.3 Spostamento massimo al variare di e1
L’intervallo di valori di e1 analizzato va da 10 µm a 100 µm con intervalli di 10 µm.

L’equazione per il fit è mostrata in Figura 44, con e1 in µm e w = f (e1) in µm.
Osservando il grafico, può sembrare che sia il fit sia il modello analitico 3D mostrino una dipendenza lineare.
Il motivo di questa linearità è che il termine c2 e1−2 è molto piccolo in entrambi i casi poiché è inversamente
proporzionale al quadrato del valore di e1 e il coefficiente c2 è dello stesso ordine di grandezza degli altri. Dunque
questo termine è trascurabile sia nell’equazione del fit sia in quella del modello, portando a una dipendenza di
fatto lineare.
L’equazione non discosta molto dai dati della simulazione (RMSE pari a 0.00465 µm) e all’aumentare dello
spessore la soluzione analitica inizia a discostarsi, con un effetto contrario a quello dello spessore nel caso A,
probabilmente a causa della soppressione del termine con e1−2 .
Figura 44: Caso D. Spostamento massimo al variare di e1
Riferimenti bibliografici
[1] Nouha ALCHEIKH, Hussein NESSER, Hélène DEBEDA, Cedric AYELA, and Isabelle DUFOUR. Dynamic
characterization and mechanical simulation of cantilevers for electromechanical vibration energy harvesting.
In Proceedings of the 2013 COMSOL Conference in Rotterdam, 2013.
[2] Tingge Xu, Jun Hyeon Yoo, Sachin Babu, Samit Roy, Jeong-Bong Lee, and Hongbing Lu. Characterization
of the mechanical behavior of su-8 at microscale by viscoelastic analysis. Journal of Micromechanics and
Microengineering, 26(10):105001, 2016.
31

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Corso di Progettazione di Sensori e Microsistemi

Simulazione della deflessione di un cantilever con il

Anno Accademico 2023/2024

2 Descrizione del cantilever 2

3 Impostazione della simulazione Comsol 3

4 Analisi delle strutture in funzione dell’accelerazione 5

5 Analisi dello spostamento in funzione dei parametri geometrici della struttura 27

2 Descrizione del cantilever

Strutture L (mm) b (µm) e (µm) L1 (µm) b1 (µm) e1 (µm)

Tabella 1: Parametri delle strutture

3.1 Scelta dello studio e dei moduli

3.2 Geometria e materiali

3.2.1 Nota importante per le convenzioni

Figura 1: Sistemi di riferimento

((a)) Caso A ((b)) Caso D

Figura 2: Mesh estremamente fine delle strutture

Figura 3: Mesh fine delle strutture

4 Analisi delle strutture in funzione dell’accelerazione

4.1 Risultati della simulazione

Plot 3D dello stress e dello spostamento lungo z

Figura 4: Caso A. Plot 3D dello stress

Figura 5: Caso A. Plot 3D dello spostamento verticale

Figura 7: Slice plot della trave A

Deformata della trave e stress in superficie alle varie accelerazioni

Figura 8: Caso A. Dataset lungo una linea presi con cutline 3D

Figura 10: Caso A. Stress in superficie lungo x al variare dell’accelerazione

Massimo spostamento verticale e stress massimo in funzione dell’accelerazione

Figura 11: Fit dati configurazione A

Derivazione della costante elastica equivalente

mtot è la massa totale del sistema e |w|max è lo spostamento massimo lungo z.

a (m/s2 ) 0.5 1.5 2.5 3.5 4.5

Tabella 2: Caso A. Costante elastica equivalente calcolata nella simulazione Comsol

((a)) Stress ((b)) Spostamento verticale

Figura 12: Caso A. Mesh fine con plot 3D

((a)) Stress in superficie ((b)) Spostamento verticale lungo l’asse neutro

Plot 3D dello stress e dello spostamento lungo z

Figura 15: Caso D. Plot 3D dello stress

((a)) Stress ((b)) Spostamento verticale

Figura 18: Slice plot della configurazione D

Figura 22: Fit dati Configurazione D

Derivazione della costante elastica equivalente

a(m/s2 ) 0.5 1.5 2.5 3.5 4.5

Tabella 3: Costante elastica equivalente calcolata nella simulazione Comsol

((a)) Stress ((b)) Spostamento verticale

Figura 23: Caso D. Mesh fine con plot 3D

((a)) Spostamento verticale lungo l’asse neutro ((b)) Stress in superficie

Figura 25: Caso D. Risultati lungo cutline 3D con mesh fine

((a)) Modello 1A ((b)) Modello 2A

Figura 26: Modelli per la configurazione A

Momento flettente pari a:

Momento flettente pari a:

((a)) Modello 1D ((b)) Modello 2D ((c)) Modello 3D

Confronto tra stress in superficie lungo x simulato e calcolato analiticamente

Massimo spostamento verticale in funzione dell’accelerazione

Figura 32: Configurazione A. Confronto tra dati di Comsol e modelli analitici

Derivazione della costante elastica equivalente

Confronto tra lo stress in superficie lungo x simulato e quello calcolato analiticamente

Massimo spostamento verticale in funzione dell’accelerazione

Figura 38: Configurazione D. Confronto tra dati di Comsol e modelli analitici

Derivazione della costante elastica equivalente

Questa equazione mostra una dipendenza:

• di quarto grado per L;