Documenti di Didattica
Documenti di Professioni
Documenti di Cultura
Marino Colasuonno
colasuonno@civen.org
Outline
La tecnica PECVD Antiriflesso - Effetto moth-eyes:
Etching della plastica Crescita colonnare Hot-embossing
PECVD
Plasma Electronics Thin Films
Capacit 1 m3
VANTAGGI
Alta rate di deposizione. Gli impianti sono compatibili con altri processi in vuoto Depositare su qualsiasi substrato Buona omogeneit di deposizione
Aria Vetro
Moth-eye esempio di biomimetica Variazione graduale dellindice di rifrazione nessun fenomeno di riflessione Diminuzione Riflettivit Trattamento antiriflesso in tutto il visibile
luce
NanoMat 2010. Marghera, 12-11-2010
Differenti modi: 1. Etching della plastica 2. Crescita di nanostrutture (SiO2, ITO, TiO2,.) (Magnetron sputtering) 3. Hot Embossing
Morfologia + Chimica
T ~ 3%
800
Crescita colonnare
Target
Fenditura
Tilt 10
6 cm
30
GLAD deposition: Angolo di deposizione mi infuenza la crescita > 80 rivestimenti porosi e colonnari
> Antiriflesso
Risultati ottenuti
100
T > 3%
90
Rivestimento di SiOx su un lato del vetrino Variando langolo di deposizione si ha un incremento della trasmittanza
Vetrino Test 1 Test 2 Test 3 Test 4
T%
80 20 10 0 200
3.4 3.2 3.0 2.8 2.6 2.4 2.2 2.0 1.8 1.6 400 500 600
300
400
500
600
700
800
900
N TiOx 0 N TiOx 30vs TiOx 10 N TiOx 60vs TiOx 0 _10 sccm N TiOx 85 vs TiOx 0 _10 sccm N TiOx 89vs TiOx 10
(nm)
Rivestimento di TiOx su un lato del vetrino Variando langolo di deposizione si ha una variazione graduale dellindice di rifrazione
700
800
(nm)
Hot-Embossing
TiO2
Costo effettivo Economico e con bassi costi per volume di produzione Processo veloce. Semplice realizzazione industriale Compatibile con il processo roll-to-roll Fabbricazione di strutture con alta aspect ratio
CrN
Masters per Hot Embossing
Risultati su PMMA
CrN
T > 2%
T > 1% TiO2
Trasmittanza (u.a.)
2960
1728
Avio
1000
160
Rivestimenti acrilati
Primer, idrofilico Applicazioni mediche
Trasmittanza (u.a.)
2916
Naomi (UniTn)
Rivestimenti barriera
MultiSiOuX (brevettato)
Un solo processo continuo Controllo dello spessore dellinterfaccia per migliore adesione organico/inorganico Strati ceramici non continui
Applicazioni:
Rivestimenti barriera sui polimeri Packaging alimentare (polimeri biodegradabili es: PLA) OLED.
Rivestimenti barriera
Multilayer (10 layers) PS CO2 TR (cc/m224h bar) PS+acrylic CO2 TR (cc/m224h bar) PS+acrylic (benbing 2.2 %) CO2 TR (cc/m224h bar)
15 nm PS (130 m )
NT
30 nm
Processo a freddo
SiO2 270nm
PVC
Particelle di ZnO di diametro 100 nm inglobate in una matrice di SiO2 realizzata in PECVD Nessun invecchiamento della matrice e alterazione del substrato NanoMat 2010. Marghera, 12-11-2010
Rivestimenti fotocatalitici
Fotocatalisi
TiO2 su acciaio TiO2 on steel TiO2 su rame = 20 = 70
m TiO2 on 5 Cu
Rivestimenti DLC
DLC
Buona durezza (10000-15000 HV) Basso coefficiente di attrito = 0.02 Biocompatibilit
PECVD DLC
Riduce lusura dei componenti meccanici incrementando la durata e performance Riduce il riscaldamento dei componenti Applicazioni Meccanica (ingranaggi, viti, .) MEMS Plastic moulding Sportware
CNR ICS Roma
Distretto Meccatronica
Tecnica Spa
San Benedetto
Ringraziamenti
CIVEN researchers Tutti I ricercatori CIVEN
A.Patelli, S. Vezz, L. Zottarel, A. Surpi
for funding