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GUIDA

APPLICATIVA ALLA
MISURAZIONE
misurazioni di SPESSORE/
LARGHEZZA

SOMMARIO
y Guida alla scelta··································································P. 2 - 3
y Principio di misurazione························································P. 4 - 5
y Misurazione dello spessore di vetri,
pellicole e membrane trasparenti··········································P. 6
y Misurazione dello spessore da un solo lato·····························P. 7
y Misurazione dello spessore di un foglio su un rullo···················P. 7
y Misurazione dello spessore mediante il passaggio del pezzo
fra due sensori····································································P. 8
y Misurazione della larghezza di una lastra (materiale spesso)····P. 9
y Misurazione della larghezza di un foglio (materiale sottile)······P. 9
y Misurazione della larghezza in un punto specificato·················P. 10
MISURAZIONE DI SPESSORI/L ARGHEZZE

METODO DI
MISURAZIONE DELLO Guida alla scelta
SPESSORE

 Il pezzo è trasparente?

Misurazione dello spessore di vetri,


N o n t rasp are nt e Trasp are nt e pellicole e membrane trasparenti
 P. 6
Prodotti consigliati
 Serie LK-G
* Per i principi di misurazione, fare riferimento a p. 4.

 È possibile fare passare il pezzo fra due strumenti di misurazione?

Misurazione dello spessore mediante il


Possibil e passaggio del pezzo fra due sensori
 P. 8
Prodotti consigliati
 Serie LK-G
* Per i principi di misurazione, fare riferimento a p. 4.

Misurazione dello spessore da un solo


Im p ossibil e lato
 P. 7
Prodotti consigliati
 Serie LK-G
 Serie LJ
* Per i principi di misurazione, fare riferimento a p. 4.

Misurazione dello spessore di un foglio


su un rullo
 P. 7
Prodotto consigliato
 Serie LS
* Per i principi di misurazione, fare riferimento a p. 4.

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MISURAZIONE DI SPESSORI/L ARGHEZZE

METODO DI
MISURAZIONE DELL A Guida alla scelta
L ARGHEZZA

 Il pezzo è spesso o sottile?

Misurazione della larghezza di un foglio


S p e ss o S ot til e (materiale sottile)
 P. 9
Prodotto consigliato
 Serie LS
* Per i principi di misurazione, fare riferimento a p. 4.

 Quale caratteristica occorre specificare per la misurazione della larghezza?

Misurazione della larghezza di una


lastra (materiale spesso)
 P. 9
Prodotti consigliati
 Serie LK-G
* Per i principi di misurazione, fare riferimento a p. 4.

Misurazione della larghezza in un punto


specificato
 P. 10
Prodotto consigliato
 Serie LJ
* Per i principi di misurazione, fare riferimento a p. 4.

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MISURAZIONE DI SPESSORI/L ARGHEZZE

PRINCIPIO DI MISURAZIONE

Principio di misurazione della Serie LK-G (modello a triangolazione) ALTA VELOCITÀ AMPIO INTERVALLO COLLEGAMENTO DI 12 TESTINE

Alla distanza di riferimento A breve distanza A grande distanza

Laser a Elemento di Laser a Elemento di Laser a Elemento di


semiconduttore ricezione della semiconduttore ricezione della semiconduttore ricezione della
luce luce luce

Lente del Lente del Lente del


trasmettitore trasmettitore trasmettitore

Lente Lente Lente


Ernostar Ernostar Ernostar

Elemento di Elemento di Elemento di


ricezione della luce ricezione della luce ricezione della luce

Il laser a semiconduttore emette il fascio laser verso il target come mostrato sopra. La luce riflessa dal target viene messa a
fuoco dalla lente Ernostar e forma un’immagine sull’elemento di ricezione della luce. La posizione dello spot del fascio riflesso
sull’elemento di ricezione varia in funzione della distanza del target. Tale variazione viene valutata e convertita in una misura della
posizione del target.

Principio di misurazione della Serie LJ (modello a triangolazione 2D) 2D 3D IN PIÙ PUNTI ALTA VELOCITÀ

Lente cilindrica Laser a semiconduttori


Processore GP64 Modello a triangolazione 2D
Il raggio laser viene emesso in una linea orizzontale
tramite una lente cilindrica e proiettato in modo diffuso
sulla superficie del target. La luce riflessa dal target
viene ricevuta sull’HSE3-CMOS e, rilevando le variazioni
di posizione e forma, vengono misurati lo spostamento
e le forme.

Lente Ernostar HSE3-CMOS


2D

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MISURAZIONE DI SPESSORI/L ARGHEZZE

PRINCIPIO DI MISURAZIONE

Principio delle misurazioni 1D a sbarramento NUOVO LUNGA ELEVATA


ALTA VELOCITÀ
(Serie LS-9000) METODO DURATA PRECISIONE

[Principio] La luce del LED verde viene emessa come fascio


collimato uniforme. Il CMOS rileva la posizione del bordo tra i bordi
chiari e scuri della luce ricevuta e calcola i valori misurati.

13,3 volte più veloce rispetto ai sistemi convenzionali

Massima velocità nella sua categoria


Frequenza di campionamento

16000 Hz
La dotazione di un CMOS di rilevamento ad alta
Condensatore dalle LED verde
prestazioni elevate ad alta intensità velocità e di un LED verde ad alta intensità per
CMOS di monitoraggio CMOS di posizione del CMOS di rilevamento ad Il gruppo ottico mette Il LED verde ad alta intensità garantire una frequenza di campionamento
Il CMOS di monitoraggio target alta velocità correttamente a fuoco ha una durata superiore di 16000 Hz, supera di gran lunga le prestazioni
tiene traccia dell’inclinazione la luce LED. rispetto ai LED convenzionali,
del pezzo per correggere
Il CMOS misura la posizione IL CMOS di misurazione proprietario
assicurando una intensità dei sistemi precedenti. Migliora i tempi di ciclo
tra trasmettitore e ricevitore. è dotato di un amplificatore integrato
automaticamente gli errori di per massimizzare prestazioni e elevata e un’illuminazione della linea di produzione e garantisce misurazioni
inclinazione. distribuita in modo uniforme.
velocità. più stabili.

PUNTO Grazie alla sua struttura a stato solido, la Serie LS-9000 garantisce una lunga durata.
La Serie LS-9000 ha risolto
il problema della durata del
motore elettrico, uno dei punti
deboli del metodo basato sulla
scansione laser.

Laser a semiconduttore LED verde GaN ad alta intensità

Non vengono utilizzate parti in movimento!


Viene utilizzata una parte in movimento (motore elettrico)!

Principio delle misurazioni 2D a sbarramento (Serie TM) 2D ELEVATA PRECISIONE PIÙ PUNTI

Doppio sistema ottico telecentrico Illuminazione collimata uniforme con un LED verde. La matrice
Due lenti telecentriche assicurano che soltanto la luce collimata
venga utilizzata per l’imaging. Anche se la distanza tra l’oggetto e
CMOS bidimensionale rileva i bordi chiaro-scuri nella luce
le lenti varia, la dimensione dell’immagine sul CMOS non subisce ricevuta e misura le dimensioni.
alterazioni, offrendo una misurazione ad alta precisione.

Anche nel caso di spostamenti


dell’oggetto nell’area di
misurazione, la dimensione
dell’immagine non cambia.

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MISURAZIONE DI SPESSORI/L ARGHEZZE

SPESSORE Misurazione dello spessore di vetri, pellicole e membrane trasparenti

La luce incidente su un pezzo trasparente viene riflessa sia


Metodo di misurazione dalla sua superficie superiore, sia da quella inferiore. I fasci
riflessi dalla superficie superiore e da quella inferiore vengono
rilevati separatamente, consentendo di misurare la distanza fra
le superfici.

PUNTO Quando la riflettanza della superficie superiore è diversa da quella della superficie inferiore

Nei casi mostrati di seguito, il sensore tradizionale non è in grado di rilevare correttamente
Modello a triangolazione tradizionale
la luce proveniente dalla superficie inferiore.

Quando sotto il target è presente un corpo metallico Quando si misura un vetro fumé
Viene ricevuta la luce riflessa dalla superficie metallica. La luce riflessa dalla superficie inferiore diminuisce.

La luce riflessa dal


Elemento Luce riflessa corpo metallico Luce riflessa dal
supera il livello di Elemento
di ricezione dal vetro vetro fumé
saturazione. di ricezione
della luce

Intensità della luce ricevuta


della luce
Intensità della luce ricevuta

La luce riflessa dalla


superficie inferiore
del vetro fumé
Elemento Elemento
diminuisce.
Obiettivo del di ricezione di ricezione
Obiettivo del
collimatore della luce della luce
collimatore
Luce riflessa in Luce riflessa in
modo speculare Superficie modo speculare
Superficie superiore superiore
Oggetto trasparente Vetro fumé
Posizione per la ricezione della Superficie Posizione per la ricezione della
Superficie inferiore Oggetto metallico
luce sul CCD inferiore luce sul CCD
Luce trasparente

Gli esempi riportati sopra mostrano che se i sensori del tipo a triangolazione non sono regolati correttamente, in modo da ottenere valori ottimali
dell’intensità della luce riflessa dalla superficie superiore e da quella inferiore, sorgono problemi di stabilità delle misurazioni.

Il “controllo multi-ABLE” ottimizza l’intensità della luce riflessa da ciascuna superficie,


Serie LK-G
consentendo una misurazione stabile dello spessore degli oggetti trasparenti.

Controllo multi-ABLE

Forma d’onda ottenuta ottimizzando la Forma d’onda ottenuta ottimizzando la


prima superficie mediante ABLE II seconda superficie mediante ABLE II
Applicazioni
Intensità della luce
Intensità della luce

ricevuta
ricevuta

Livello di
saturazione

Posizione sul dispositivo CMOS Posizione sul dispositivo CMOS

Misurazione dello spessore e


Forma d’onda sintetizzata mediante la funzione multi-ABLE del parallelismo di una tavola
Intensità della luce

La precisione e la stabilità delle


ricevuta

misurazioni sono rese possibili


dal fatto che il controllo multi-
ABLE II ottimizza in modo
indipendente ciascuna forma
Posizione sul dispositivo CMOS d’onda. Misurazione dello spessore di
un vetro

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MISURAZIONE DI SPESSORI/L ARGHEZZE

SPESSORE Misurazione dello spessore da un solo lato

La distanza “A” viene misurata come mostrato di seguito, e il suo punto di misurazione
Metodo di misurazione viene impostato su “0”.
La distanza “B” viene misurata al passaggio di un pezzo, quindi viene ricavato il valore di
spostamento “L” in funzione di “A”.
Serie LJ
I sensori di spostamento 2D della Serie LJ sono in grado di misurare lo spessore di un pezzo
come differenza di altezza basandosi sul profilo ottenuto.
B A
 Non occorre spostare né il pezzo, né lo strumento di misurazione

L Spessore L = A - B Pezzo

Profilo ottenuto

PUNTO La precisione di misurazione dipende dalla linearità.

Valore della misurazione effettiva


Linearità
Valore della
Linearità misurazione
effettiva
Il sensore di spostamento laser misura l’entità dello spostamento, ma il valore della misurazione effettiva devia
leggermente da una linea ideale. La linearità rappresenta l’entità della deviazione dalla linea ideale.
[Esempio] Se la condizione prevede una linearità pari a ±0,1% del fondo scala (F.S. = intervallo di misurazione) e
l’intervallo di misurazione è ±5 mm, la linearità del sensore di spostamento laser è pari a ±10 μm.
Linea ideale
Linearità: ±0,1% x 10 mm = ±10 μm
Ciò significa che uno strumento di misurazione con una linearità migliore è in grado di garantire misurazioni più precise. Distanza

Applicazioni

Misurazione dell’altezza di uno Misurazione dell’altezza di un


stampo in resina circuito integrato su una scheda

SPESSORE Misurazione dello spessore di un foglio su un rullo

Metodo di misurazione
La superficie del rullo viene impostata come punto di origine “0”. Una volta che la pellicola è avvolta strettamente sul rullo, è
possibile utilizzare la posizione della nuova superficie per calcolare lo spessore.

A B A FASE 1 Impostazione del punto di origine del rullo


Fare ruotare il rullo senza che sul medesimo sia presente un pezzo. Servendosi
del sensore di temporizzazione, ottenere il valore di “A” nel punto specifico.
Premere il pulsante ZERO del controllore.
Sensore di
temporizzazione
Spessore t = A - B
B FASE 2 Misurazione del pezzo
La flessione del rullo viene annullata automaticamente.
Avvolgere il pezzo sul rullo. Come nella fase 1, ottenere il valore di “B” mediante
(con il sensore di temporizzazione attivato)
il sensore di temporizzazione, quindi effettuare il calcolo servendosi del valore
di “A” ottenuto nella fase 1, misurando di conseguenza lo spessore in modo
Sensore di continuo.
Applicazioni temporizzazione

Misurazione dello
spessore di una pellicola

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MISURAZIONE DI SPESSORI/L ARGHEZZE

SPESSORE
Misurazione dello spessore mediante il passaggio del pezzo fra due
sensori
Ciascun sensore misura in modo indipendente la distanza dalla superficie del pezzo.
Metodo di misurazione Lo spessore viene ottenuto sottraendo la somma dei valori misurati (A e B nella figura
che segue) dalla distanza di installazione (C nella figura che segue).

Disporre un sensore Il valore di (A + B) non FASE 1 FASE 2


al di sopra del pezzo varia anche se il pezzo si Regolazione dell’asse Regolazione della
e uno al di sotto, sposta verso l’alto o verso ottico distanza
orientandoli in modo il basso; gli spostamenti
che siano rivolti l’uno del pezzo vengono Effettuare la regolazione Effettuare la regolazione
verso l’altro. pertanto annullati. in modo che l’asse dei in modo che le tensioni
due sensori si trovi sulla di uscita del sensore
stessa linea retta. superiore e di quello
A inferiore diventino uguali
C in caso di spostamento
B del pezzo da A verso B.

Spessore t = C - (A + B) FASE 3 Impostazione del pezzo master


Immettere nel controllore le dimensioni del pezzo master. Misurare il pezzo di spessore
Calcolato specifico, quindi premere il pulsante ZERO del controllore per completare l’impostazione.
automaticamente dal
controllore.

PUNTO Misurazioni stabili mediante il campionamento sincrono


La misurazione dello spessore dal lato superiore e da quello inferiore non risente degli eventuali spostamenti del pezzo verso l’alto; il valore di (A
+ B) è costante. Per eseguire il campionamento sincrono sono tuttavia necessarie due testine sensore. La Serie LK-G supporta il campionamento
sincrono mediante due testine sensore.

Testina sensore A Con A+B NOTA


campionamento
sincrono Se le due testine sensore non
effettuano il campionamento in
Spostamento in su modo sincrono, quando il target
A e in giù Costante
C si sposta in su o in giù il valore
B Testina sensore B A+B di (A + B) fluttua a causa della
leggera discrepanza delle fasi dello
Spessore t = C - (A + B)
spostamento.
Spostamento in su Senza
e in giù campionamento Fluttuante * Si verifica una leggera discrepanza delle fasi e il valore fluttua.
sincrono

Misurazioni di precisione dello spessore tramite campionamento Variazione dello


spessore
La cadenza di campionamento del sensore di spostamento laser è un fattore
essenziale per una misurazione di precisione dello spessore.
[Esempio] Quando si misurano target in movimento a una velocità di 10 m/sec con
una cadenza di campionamento del sensore di spostamento pari a 5 μs, A mano a mano che la cadenza di campionamento diminuisce, le variazioni
l’intervallo di campionamento risulta pari a 0,5 mm. dello spessore vengono rilevate in modo sempre meno preciso.

Se la cadenza di campionamento viene portata a 100 μs e la velocità rimane


invariata, l’intervallo di campionamento diventa pari a 10 mm.

Applicazioni

Misurazione dello spessore Rilevamento doppio pezzo


di un foglio

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MISURAZIONE DI SPESSORI/L ARGHEZZE

L ARGHEZZA Misurazione della larghezza di una lastra (materiale spesso)

Metodo di misurazione Applicazioni


Come nel caso della misurazione dello
A L B
spessore illustrata sopra, il target viene misurato
C
facendolo passare fra i due sensori.
Lunghezza L = C - (A + B)

Il valore di (A + B) non varia anche se il pezzo


Calcolato
si sposta verso destra e verso sinistra; gli
automaticamente dal
spostamenti del pezzo vengono pertanto
annullati.
controllore. Misurazione delle
dimensioni di una lastra

PUNTO Misurazioni stabili mediante il campionamento sincrono


Se le due testine sensore non effettuano il campionamento in modo sincrono quando Testina sensore A Con
A+B
il target passa fra i due sensori per la misurazione, in caso di spostamenti del pezzo campionamento
sincrono
verso destra e verso sinistra si verificano degli errori.
Spostamento in su
e in giù Costante

Testina sensore B A+B

Spostamento in su Senza
e in giù campionamento Fluttuante
sincrono * Si verifica una leggera
discrepanza delle fasi e
il valore fluttua.

L ARGHEZZA Misurazione della larghezza di un foglio (materiale sottile)

Metodo di misurazione Applicazioni


Il valore di (A + B) non
varia anche se il pezzo si
sposta verso destra e verso
sinistra; gli spostamenti del
C pezzo vengono pertanto
annullati.
L
A B
Larghezza L = C - (A + B)

Calcolato automaticamente
dal controllore.
Misurazione della Misurazione del passo
larghezza del substrato a dei pin dei connettori
cristalli liquidi
La procedura è identica a quella per le testine sensore del tipo
riflettente.

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MISURAZIONE DI SPESSORI/L ARGHEZZE

L ARGHEZZA Misurazione della larghezza in un punto specificato

Metodo di misurazione
Per la misurazione si utilizza la Serie LJ (sensore di spostamento laser 2D). Posizione (coordinate XZ)
La larghezza viene misurata in un punto specifico sulla base del profilo del
pezzo. Oltre alla larghezza, le misurazioni 2D permettono inoltre di misurare
simultaneamente l’altezza e il gradino.

Larghezza

PUNTO H S E 3- C M O S * HS= High Speed, E3 = Enhanced Eye Emulation

La Serie LJ-V7000 è dotata del nuovo HSE3-CMOS. Modello convenzionale LJ-V HSE 3-CMOS
Oltre a una maggiore velocità, la gamma dinamica
Pezzo fermo
è stata ulteriormente potenziata rispetto al
consolidato E3-CMOS convenzionale. Anche con
un tempo di esposizione estremamente breve di
64 kHz (15,6 μs), ha raggiunto una sensibilità che
consente di misurare in modo affidabile diversi tipi
di superfici, da quelle nere (a riflessione contenuta)
a quelle lucide (a riflessione marcata).
La misurazione è impossibile a causa di È stato possibile misurare tutti gli
un'intensità della luce insufficiente. intervalli.

Pezzo in
movimento

Intervallo
dinamico

2400x
Essendovi un'intensità della luce ancora Anche se il tempo di esposizione è
più bassa, era impossibile eseguire breve, è stato possibile misurare tutti gli
qualsiasi misurazione. intervalli senza problemi.

Funzione affidabile di correzione della θ → Correzione X


posizione (X/Y/Z) Area di misurazione
Area di
misurazione
Il sensore corregge le variazioni della posizione del
target, che darebbero altrimenti origine a errori dei
Correzione
risultati delle misurazioni.
Si ha la garanzia di misurazioni esenti da errori
anche quando i target si presentano in modo casuale
o il posizionamento risulta difficile.
L’area di misurazione segue la
variazione della posizione del target.
Quando la posizione del target
cambia ...

Applicazioni

LARGHEZZA E POSIZIONE
Posizionamento dei pannelli del materiale da costruzione
La posizione e l’inclinazione del materiale da costruzione vengono misurate quando il
materiale viene trasportato durante il processo di taglio e i risultati di misura vengono
Larghezza reimmessi nella macchina da taglio. Questo rende possibile l’alta velocità e un
controllo accurato quando si esegue un lavoro con macchine e robot.

Posizione

10
Gamma di strumenti di misura di spostamento/dimensioni
Strumento di misurazione a riflessione
Sensore di spostamento laser CMOS ad Scanner laser 2D/3D ad alta velocità
elevata precisione e velocità Serie LJ-V7000
Serie LK-G5000

ALTA VELOCITÀ 2D/3D

AMPIO INTERVALLO DI MISURA MISURE IN PIÙ PUNTI

COLLEGAMENTO DI 12 TESTINE ALTA VELOCITÀ

PROFILI

Strumento di misurazione a sbarramento


Micrometro ottico ad alta velocità Sensore di misurazione 2D ad alta velocità
Serie LS-9000 Serie TM

2D
LED VERDE
MISURE IN PIÙ PUNTI
LUNGA DURATA

ELEVATA PRECISIONE

ALTA VELOCITÀ
P E R C O N T A T T A R C I
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