DRY VACUUM PUMP

TECHNOLOGIES
Le tecnologie delle pompe a secco

Dr.Joris Cinquetti
Cinquepascal srl
 Drypumping Technology
La tecnologia del pompaggio a secco E UNA TECNOLOGIA BEN
STABILIZZATA; per le applicazioni industriali pi gravose si pu
contare su :
20 anni di esperienza
>150.000 drypump installate
Semiconductor Processing
Dusty Application (CVD)
Applicazioni Aggressive (Etching)
Processi Chimici
Processi con Acidi e solventi in applicazioni che presentano
spesso il rischio di ingestioni liquide
 Drypumping Technology

Quali sono le ragioni per

utilizzare le pompe a secco se
sono pi care delle pompe
tradizionali?
 Perch il pompaggio a secco?
Lolio il punto critico nei processi di pompaggio I meccanismi di
pompaggio sono senza olio (OIL FREE) e quindi non vi nessun
processo connesso al degrado dellolio nelle pompe a secco.
Con lolio quello che entra in pompa non ancora fuori dal processo!
Lingresso di polveri nellolio conduce alla formazione di una melma
compatta che pu rigare i meccanismi ed indurre perdita nelle
prestazioni della pompa, oppure pu occludere le linee di
lubrificazione danneggiando definitivamente i meccanismi. I vapori
condensabili (tipicamente lacqua) emulsionano nella pompa
modificandone le caratteristiche e potenzialmente corrodendola. Lolio
viene attaccato e degradato da molti prodotti di processo (solventi o
gas da plasma, etc)
 Vantaggi del pompaggio a secco
Riduzione dei costi di processo

Sicurezza e Affidabilit
I meccanismi non sono a contatto tra loro
Minima usura
Riduzione della manutenzione ordinaria
olio e filtri
Riduzione della manutenzione straordinaria
la pompa aggredita e corrosa tipica dellolio non pi cos frequente
e la manutenzione solamente dedicata alla integrit meccanica
(esempio i cuscinetti) e prevedibile su tempi lunghi (6 anni)
 Vantaggi del pompaggio a secco

Pompaggio di vapore acqueo, solventi ed aggressivi con

possibilit di diluizione forte per gas corrosivi, tossici e
piroforici
Possibilit di recuperare il solvente pulito allo scarico della
pompa
Possibilit per polveri solide di attraversare il meccanismo
pompante. Questa possibilit non esiste nelle pompe con olio
nelle quali la contaminazione solida finisce con rompere il
meccanismo
Possibilit di lavorare a qualsiasi pressione intermedia senza
particolari problemi
 Benefici comuni ai vari tipi
di pompe a secco
Benefici ambientali
Nessun olio da stoccare.
Nessun olio da smaltire
Nessun olio emesso in ambiente
Nessun olio respirato dal personale
Benefici tecnologici di processo
Uniformit nel tempo delle prestazioni delle pompe
Recupero facilitato dei gas pompati e facilit di trattamento degli
stessi
Processi puliti
Non vi inquinamento della camera di processo
Non vi inquinamento del gas pompato
Non vi cross contamination
 Applicazioni
Distillazione
Essiccamento
Evaporazioni
Reattori
Pompaggio e Recupero Solventi
Pompaggi in sterilizzatori con ossido di etilene
Impianti centralizzati
Pompaggio di gas con basse temperatura di auto-ignizione (T4)
Pompaggio di gas infiammabili (IIA,IIB)
Pompaggio di gas corrosivi
Pompaggio di acidi grassi
Ricircolo gas di processo (azoto elio etc)
Fornaci da vuoto (metallurgia)
Liofilizzazione
 Principi delle Dry Pump Technologies
Nellindustria:
Lobi tipo Roots e multiroots
Vite
Claw e multiclaw e
combinazioni
Palette di grafite
Le pompe a secco
debbono garantire che
potenziali contaminazioni
passino attraverso i
meccanismi.
Nei laboratori di ricerca
Scroll
Membrana
Pistone e multipistone
Grafite
Setacci molecolari
Rotativa a palette di grafite
Le pompe a secco debbono
principalmente garantire la
non contaminazione del
sistema in vuoto
Pompa a vite -Screw pump
 Screw Pumps - Generalit
Principio ben utilizzato per i compressori, adattato per il vuoto.
Il meccanismo pompante costituito da due viti senza fine, a passo
costante, che ruotano sincrone con piccole tolleranze. Il gas pompato
muove assialmente sospinto dal moto spiraleggiante della vite verso lo
scarico.
Le viti agiscono come una tenuta dinamica e tutto il pompaggio avviene
nellultimo quarto di giro.
Originalmente sono state sviluppate per il pompaggio di gas radioattivi, poi
per lindustria chimica (tolleranza al pompaggio di vapori e di liquidi) ed
infine per applicazioni nei semiconduttori.
Pu essere orizzontale o verticale dipende dal costruttore e dal settore
merceologico a cui si rivolge.
Il vuoto finale dato dal numero di eliche nella vite e dalle tolleranze tra le
eliche e lo statore. Vuoto ultimo misurato con Pirani : 0,001 mbar
Meccanismo a vite orizzontale
Screw pump- Pompa a vite
Pompa a vite orizzontale
Pompa a vite verticale
 Pompe a VITE : Caratteristiche positive

Buon vuoto finale ed elevate portate

Costruzione apparentemente semplice
Facile da smontare
Ottimo smaltimento di liquidi
Possibilit di flussare i solventi durante il pompaggio
Elevato rapporto di compressione
Mancanza di zone di intrappolamento per il gas o per le
polveri trascinate nel pompaggio
Il flusso nella pompa diretto
La pompa non richiede condensatori di interstadio
Possibilit di riscaldare uniformemente lo statore
prevenendo la condensazione
 Pompe a VITE : Limiti
Non vi compressione del gas se non nella elica che connessa allo scarico. Il volume costante
lungo lasse di pompaggio e non vi sono stadi di compressione
Il gas subisce una grande quantit di lavoro con conseguente consumo di energia
Lavora molto calda sullo scarico, la temperatura pu superare i 300 gradi in una zona limitata
vicino allo scarico
Le viti vanno cambiate a coppia e sono molto complicate da produrre I rotori sono molto cari
anche per il coating protettivo usato come letto sacrificale.
Nel tempo il valore del vuoto finale peggiora con il diminuire del coating (pu arrivare anche ad 1
decade)
Le polveri contribuiscono alla rovina del coating per abrasione fra i rotori in un moto circolare.

Il volume costante attraverso il meccanismo significa che un volume grande di gas viene
ricompresso allo scarico.Maggiore la ricompressione maggiore il consumo di energia (anche
vicino alla pressione finale) e pi alta la temperatura che pu arrivare ai 300 oC.
Il raffreddamento di una pompa a vite vitale soprattutto vicino allo scarico, vicino ai cuscinetti ed
allolio per rimuovere il calore in eccesso.

Molti gas e materiali di processo possono polimerizzare alle temperature elevate.

Le elevate temperature possono ridurre le vita dei componenti
 Pompa a vite
Il contatto evidente in questo
punto sullo scarico atmosferico

La tolleranza ed il numero di spire

cruciale per determinare il vuoto finale.
La portata determinata dal volume del
gas intrappolato tra le spire.SCREW
Curve tipiche della pompa a vite

400
350
300
Speed (m3/h)

250
200
150
100
C400 @ 60Hz
50 KDP 400 @ 60Hz
0
0,001 0,01 0,1 1 10 100 1000
Pressure (mbar)
 Considerazioni sui meccanismi a vite
I picchi di temperatura e
pressione possono causare
reazione nei gas pompati
Bisogna utilizzare molta
acqua & N2 per contenere
i picchi di temperatura
Valore
I solidi possono
condensare sulle superfici
La Ri_ compres- fredde
sione del gas
richiede molta
potenza TEMPERATURA

PRESSIONE
Posizione
 Considerazioni sui meccanismi a vite

Richiedono cuscinetti in alto vuoto in

alcuni modelli
I rotori vengono forzati ed abrasi dai
depositi: alcuni costruttori prevedono
Suscettibile ai fenomeni di la pulizia col vapore dopo i pompaggi
exhaust backpressure; 5 oil seals in alcuni modelli
possono esserci problemi
nellaccoppiamento con
tecnologie di abbattimento
vapori
Pompa a lobi rotanti -Roots Pump
Pompa Roots

Pompa a trasferimento di gas

che utilizza due o pi lobi rotanti
sincronizzati per muovere il gas.
Vuoto ultimo misurato con Pirani
: 0,0001 mbar
Oil free. Utilizzata normalmente
per aumentare il vuoto finale e la
portata della pompa di prevuoto.
Speed range 250 -
30.000 m3/h
Roots

Dry pump.swf
Meccanismo Roots Trilobato
 Roots pump
VANTAGGI
Alto rapporto di compressione
volumetrico alle basse pressioni
Meccanismo molto conosciuto
SVANTAGGI
Richiede pompa preliminare
(pi stadi di pompaggio)
Compressione bassa alle
alte pressioni
Dilatazione eccessiva (forte
raffreddamento)
 Pompa Booster

Il meccanismo roots un dispositivo senza valvole dove

una coppia di rotori a lobi, interconnessi e sincronizzati,
ruotano in direzione opposte con un minimo gioco luno
rispetto allaltro e rispetto alle pareti dello statore.
Il gas intrappolato allingresso di ogni lobo ed incanalato
verso luscita lungo le pareti dello statore.
Rimuove grandi volumi di gas ma non un vero
compressore
La sua efficienza al massimo tra 1 e 10-2 mbar
 Problemi di retroespansione del gas

Il meccanismo Roots non adatto per

scaricare ad alta pressione con un alto
rapporto di compressione. Una tale
operazione comporta un grande lavoro da
fare sul gas e comporta problemi di
riscaldamento che possono portare al blocco
del meccanismo stesso.
 Rapporto di compressione
50
Outlet pressure
Inlet pressure

40

30

20
Ratio of

10

-3 -2 -1 0 1 2 3
10 10 10 10 10 10 10
Inlet pressure (mbar)
la pompa booster opera solo in combinazione con altri meccanismi pompanti

un meccanismo a volume costante pressione variabile

opera su un relativamente piccolo rapporto di compressione

Meccanismo a dente - Claw Mechanism
 Meccanismo a Claw singolo
VANTAGGI
Autovalvolante
Buona compressione
allatmosfera con poco
calore generato
Capacit di pompare
vapori e polveri
Compattezza
Facilit di diluizione del
gas pompato con ballast
SVANTAGGI
Il vuoto finale di uno stadio
di un centinaio di millibar
Vi una zona di rientro gas
pompato che se riempito di
liquido potrebbe bloccare la
pompa
Necessit di gas per la pulizia
delle tenute
Poca compressione alle basse
pressioni
Claw Compression Ratio

Inlet pressure (mbar)

 Claw mechanism

50
Outlet pressure
Inlet pressure

Claw mechanism
40

30

20
Ratio of

10
Roots mechanism

-3 -2 -1 0 1 2 3
10 10 10 10 10 10 10
Outlet pressure (mbar)
Claw Mechanism

Claw pump.swf
 Meccanismi a stadi multipli

Meccanismi roots multistadi

Dente a claw
Meccanismi multi-claw
Multistadi claw invertiti
Multistadi claw invertiti con stadi roots
Meccanismi roots multistadio
Meccanismo a tre stadi con valvole interne

Tre stadi con cinghie

Compressione povera
Valvole di interstadio
Manutenzione complessa
Raffreddamento motore forzato
Disponibile solo per pompaggi molto
puliti
Minima capacit di pompaggio liquidi
No explosion testing
Inadatta agli attacchi chimici
Quasi scomparsa dal mercato
Tre stadi roots con condensatori dinterstadio
Compressione
inefficiente
Eccessiva generazione
di calore
Essenziale lInterstage
cooling
Rischi elevati di :
Cooler blockage
Condensation
Chemical attack
 Questo meccanismo a 6
stadi permette di
raggiungere 10-2 mbar.
I primi 3 meccanismi
bilobati non hanno
scambiatori di calore di
interstadio, mentre il
secondo gruppo di 3
rotori trilobati li prevede.

I lobi sono montati su

una coppia di assi
diversi tra loro poich
un asse troppo lungo
potrebbe flettere sotto
carico e bloccare il
meccanismo

La pompa sostituisce una doppio stadio ad olio

 Osservazioni generali sui tre stadi Roots
Si genera eccessivo calore
I condensatori di interstadio
sono essenziali
Probabile punto di blocco
senza meccanismi di
sblocco
Condensazione con
probabile attacco chimico
Scarsa capacit di ingerire
liquidi
3 stadi
Spesso motore a cinghia
Compressione povera
Valvole di interstadio
Manutenzione continua
nei processi pesanti
Motore adeguato
Consigliata per le
applicazioni clean
Two Stage Claw Mechanism
Due stadi di compressione
Alti rapporti di compressione
Eccessiva produzione di
calore
Condensatore di interstadio
Condensazione
Corrosione
Rischio di blocco idraulico
Nessun meccanismo di
sblocco
Three-stage Reversed Claw Pump

INGRESSO

CLAWS
INVERTITI

SCARICO
Three-stage Reversed Claw Pump
 Gas Flow Path
Alcuni vantaggi del design con lobi invertiti
Non vi una riduzione della temperatura del gas tra gli
interstadi ust
ha
le eventuali Polveri sono pompate Ex
attraverso la pompa

l et
I n
 Multi stage inverted claw
Vantaggi Svantaggi
Il vuoto finale appena inferiore a 0.1 millibar
Il cammino del gas minimizzato (compattezza) Vi una zona di rientro gas pompato che se riempito di liquido potrebbe
prevenendo la condensazione e laccumulo di particolato bloccare la pompa
Eccellente pompaggio di polveri, solventi condensabili. Necessit di gas per la pulizia delle tenute
Il vuoto finale non cambia anche se uno stadio viene
corroso da polvere o vapore
Maccanismo autovalvolante con distribuzione continua
della temperatura di compressione
La pompa viene vestita in funzione del processo data la
facilit di diluizione del gas pompato con ballast
Vuoto ultimo misurato con Pirani : 0,001 mbar
 2 3
1 4
3-stage Claw

1 Inlet flange
2 Upper bearing in
5
removable cartridge
6 3 Integral water cooling
4 Heat exchanger for
cooling water circuit
5 Three stage claw
7 mechanism
6 Reversed claws for
shortest gas path
7 Blow-off valve for low
8
power consumption
8 Outlet flange
9 Gear box
10 Clutch assembly
10 9
Multi stage claw
Come nei dispositivi all-roots tutti gli stadi
claw (4 in questa figura) sono sullo stesso
albero
Se si segue landamento del gas si vede che
luscita da uno stadio e lentrata nello stadio
successivo non coincidono e quindi richiesto
un grande cammino per il gas nella pompa
stessa.
Se il cammino troppo lungo la velocit del
gas pu diminuire, la sua temperatura ridursi
fino ad avere condense localizzate o depositi
di particolato. Questo pu creare problemi alla
pompa ed aumentare i costi di manutenzione
 Claw with Roots
Vantaggi Svantaggi
Oltre ai vantaggi Velocit ridotta alla
precedenti utilizza le pressione atmosferica
prestazioni ottimali della Vi una zona di rientro
roots operante a pressioni gas pompato che se
inferiori di 1 mbar riempito di liquido
Aumento del vuoto finale potrebbe bloccare la
pompa
Necessit di gas per la
pulizia delle tenute
 Rapporti di compressione
50
Outlet pressure
Inlet pressure
Claw mechanism
40

30

20
Ratio of

10
Roots mechanism

-3 -2 -1 0 1 2 3
10 10 10 10 10 10 10
Outlet pressure (mbar)
Roots-claw pump mechanism

Claw invertita pi
roots
Edwards
patent
 Roots - Claw Mechanism

Flangia di accoppiamento Scarico

Tenute
5th 4th 3rd 2nd 1st
Ingranaggi

Cuscinetti Ingresso

Canned Motor

Roots multi-
lobi Claws & Roots
Acqua di raffreddamento
GV(M) Cutaway
 next generation chemical dry pump
THE BRIGHTEST STAR

DRYSTAR CDX 850

THE NEXT GENERATION

...available in 2002
 Zavorra dazoto
La zavorra dazoto usata in molti meccanismi a secco ha le seguenti
funzioni:
Gas ballast
previene la condensazione di vapori chimici nella pompa
Purge
mantiene la velocit del gas
Tenuta dinamica di sicurezza sulle guarnizioni dellalbero motore
mantiene pulite le guarnizioni e garantisce la ermeticit dellaccoppiamento
segnala anomalie
Diluizione gas
tossici,corrosivi,piroforici ed ossidanti
 Obiettivi ed innovazioni per le nuove
generazioni di pompe a secco industriali

Capacit di lavorare molto calde

Aumentare la capacit di pompare polveri
Non avere cuscinetti in vuoto
Ridurre la Potenza
Non necessitare di gas di tenuta sullalbero
Ridurre od eliminare acqua di raffreddamento
Ridurre il footprint
 Principi delle Dry Pump Technologies
Nellindustria:
Lobi tipo Roots e multiroots
Vite
Claw e multiclaw e
combinazioni
Palette di grafite
Le pompe a secco
debbono garantire che
potenziali contaminazioni
passino attraverso i
meccanismi.
Nei laboratori di ricerca
Scroll
Membrana
Pistone e multipistone
Grafite
Setacci molecolari
Rotativa a palette di grafite
Le pompe a secco debbono
principalmente garantire
la non contaminazione del
sistema in vuoto
Pompa a membrana

Pompa a trasferimento di gas

che utilizza il moto oscillante di
un diaframma per muovere il
gas.
Vuoto ultimo misurato con
Piezoresistivo nei modelli a pi
stadi : 1 mbar
Pompa oil free. Resiste a molti
processi chimici di laboratorio
Meccanismo a pistone multiplo
Pompa scroll

Pompa a trasferimento di gas che

utilizza il moto rototraslatorio di
una chiocciola di profilo
particolare per muovere il gas
Vuoto ultimo misurato con
Pirani : 0,01 mbar
Applicazioni Oil free.
Hanno una capacit limitata nel
pompare vapori o gas chimici
dato che non sopportano liquidi
Non sono adatte ad utilizzi
industriali eccetto per le load
lock.
 Principio delle pompe Scroll
Due meccanismi scroll(chiocciola), uno inserito nellaltro.
Uno fisso, laltro mobile in un moto rototraslatorio.
Il meccanismo scroll intrappola tasche di gas e le
trasferisce continuamente verso il centro della chiocciola
fissa.
Ogni chiocciola ha 5 orbite per trasferire e comprimere il
gas prima che raggiunga lo scarico
La pressione ultima di circa 10-2 mbar.
Quindi il valore di vuoto simile a quello di una pompa
rotativa a bagno dolio doppio stadio.
 Principio di funzionamento
OUTLET
INLET
GAS

FIXED SCROLL
2
1 3
7 Scroll Pump.swf

4
6 5

ORBITING
SCROLL

Movement of gas in a scroll mechanism

 Scroll pump

B aOrbita
ckFixed
Scroll
fissa

R eRetro
a r o f dellorbita
O rmobile
biting
Scroll
Orbita Dividing
Frontside
mobile W aDivisore
ll
ofOrbiting
Scroll
Fronte
F r o n t F ifisso
xed
 Seconda generazione Scroll Pumps
Piccole portate
Pompaggio chimico
Minimo consumo energetico
Manutenzione semplice
Pompa ad assorbimento 1
Pompa a cattura, statica, che utilizza
materiale adsorbente ad alta superficie
raffreddato in un bagno di azoto liquido.
I gas sono fisicamente assorbiti sulla
superficie di stracci molecolari od altri
materiali porosi
Vuoto tipico (funzione del volume da
vuotare): 10-2 mbar
Applicazioni: Oil free. Pompaggio
preliminare a pompe tipo ion getter.
Effetti di saturazione, portata
decrescente nel tempo
Effetti di pompaggio selettivo dei gas;
pompa poco H2 o gas nobili
 Pompa ad assorbimento 2
Tipicamente un contenitore in alluminio od in acciaio inossidabile con
alette per il trasferimento del calore immerso in un bagno di azoto liquido,
riempito dio materiale adsorbente
Il materiale tipico sono le zeolite come la Zeolite 13X-allumino silicato
alcalino (in pellets di 5-8 mm per 3 di diametro) o pi raramente il carbone
attivo
Le porosit consigliate dei setacci molecolari sono di 0,4 nm (diametro
molecolare N2=0,32 nm e O2=0,29 nm); il rapporto superficie interna peso
tipicamente 550m2/g e le cariche vanno da 300 a 1200 g.
es. la 13X ha una superficie di 13 m2/g, diametro pori 13A, 5 1018 molecole
assorbite per ogni mm2, che per N2 corrispondono a 2*10-4 g od 0,2 mbar*l.
In un sistema da 15 l di volume con aria pulita si raggiungono da 0,02 a
0,04 mbar con una carica di 300 g.
Lutilizzo di due sistemi in serie permette di raggiungere qualche 10 -4 mbar
Pompa ad assorbimento 3
IPX
La pompa IPX una pompa primaria
sviluppata per il mercato dei
semiconduttori
Motore e meccanismi pompanti
integrati in un unico albero ad elevata
velocit
Meccanismo di pompaggio combinato
tra:
Uno o pi stadi drag a bassa pressione
Holweck
Multistadi fluidodinamici per lalta
pressione
Scarico alla pressione atmosferica e pressioni
da 10-2 a 10-5 mbar.
 IPX Drag Holweck
Drag Statore
Stadio single drag Holweck Cilindro stazionario

Inlet Outlet

Canale ad elica Cilindro rotante

Drag Rotore

Cilindro rotante con scanalatura ad elica stazionaria

o
Rotore con scanalatura ad elica rotante e cilindro
stazionario
Opera nei regimi molecolare e di Knudsen
 IPX Meccanismo Fluidodinamico
FD Rotore Ingresso
Uscita Stadio singolo FD

Rotore
Sezione A-A
del canale
A
A

Lama

Canale
del flusso Cammino
FD Statore del gas
Tipico cammino
delle molecole di
Statore
gas
Le lame, aerodinamicamente sagomate allo scopo,
ruotano ad elevata velocit causando delle spirali
vorticose di flusso nei canali
Servono multistadi per raggiungere la necessaria
compressione
Normalmente opera in regime viscoso
 IPX - Cross Section
Vacuum Inlet
Low Pressure Inlet Strainer
Drag Stages

High Pressure Fluid Seals

Dynamic Stages
Water Outlet
Exhaust
Upper Bearing
Drive
EMC Filter Pack

Motor
Lower Bearing

Water Inlet

Oil Filter Oil Pump

 IPX Stadi e Vuoto

2 Stadi 100 m3/hr

IPX100
convenzionali
5 x 10-3 mbar
Drag

3 Stadi 180 m3/hr

convenzionali
IPX180 1 x 10-4 mbar
Drag

1 Rotore ad
elica pi 4 500 m3/hr
IPX500 stadi
convenzionali 1 x 10-6 mbar
Drag
 IPX100 Speed curve

1000

100
Speed (m3/h)

10

0.1
0.001 0.01 0.1 1 10 100 1000
Pressure (mbar)
 IPX Speed Curves
600 IPX500
500

400
Speed (m3/hr)

300

200 IPX180
100
IPX100
0
1.E-07 1.E-06 1.E-05 1.E-04 1.E-03 1.E-02 1.E-01 1.E+00 1.E+01 1.E+02 1.E+03

Pressure (Torr)
 IPX500 gas speed curves
Speed Curves for Gas Species IPX 500

600

500 Argon new

Nitrogen (new)
Helium (3 SLPM N2)
Hydrogen (3 SLPM N2)
400
Speed m3/hr

300

200

100

0
1.00E-06 1.00E-05 1.00E-04 1.00E-03 1.00E-02 1.00E-01 1.00E+00 1.00E+01 1.00E+02 1.00E+03
Pressure mbar
 IPX

Compatta Vibrazioni
ridottissime
Pulita (non ci sono
cuscinetti in vuoto) Rumore non
eccessivo
Elevata
affidabilit/minima Bassi consumi
manutenzione
meccanismi non a
contatto
nessuna usura (non
genera particolati)