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Forward

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Notazioni Statistiche

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Arthur, B. W., 1993, Why Do Things Become More Complex?, Scientific American, May edition, p.143.

Strutture complesse

Fondamenti e Metodi della Progettazione Industriale

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Strutture complesse

Metodi di Progettazione Industriale -2010

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Notazioni Statistiche

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Notazioni Statistiche

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Notazioni Statistiche

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Design of Experiments (DOE)

Design of Experiments: An information gathering exercise. DOE is a structured method for determining the relationship between process inputs and process outputs. Here, our objective is to intelligently choose the information we gather so that we can determine the relationship between the inputs and outputs with the least amount of effort L4(23) Orthogonal Array
Number of Variable Levels

L9(34) Orthogonal Array

Exp. Num 1 2 3 Variables X1 1 1 1 X2 1 2 3 X3 1 2 3 X4 1 2 3

Number of Variables

Exp. Num

Variables X1 1
1 2 2

X2 1
2 1 2

X3 1
2 2 1

L4(23)
Number of Experiments

1
2 3 4

4
5 6 7

2
2 2 3

1
2 3 1

2
3 1 3

3
1 2 2

Num of Experiments must be system degrees-of-freedom: DOF = 1 + (# variables)*(# of levels 1)

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8
9

3
3

2
3

1
2

3
1

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Example
With all these things said, lets get into an example
We are interested in determining the effect of 4 process parameters on the formation of certain surface defects in a chemical vapor deposition (CVD) process. The 4 parameters (factors) are: A) Temperature C) Settling Time B) Pressure D) Cleaning Method
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Example
1 2 3 4 5 6 7 8 9 A B C 1 1 1 1 2 2 1 3 3 2 1 2 2 2 3 2 3 1 3 1 3 3 2 1 3 Fondamenti3 Metodi della2 e
Progettazione Industriale

D 1 2 3 3 1 2 2 3 1

112

Example
Each of our factors will have 3 levels as shown in the following table: Factor A: Temp B: Press C: Set Time D: Clean
Levels 1 2 3 T0-25 T0 T0+25 P0-200 P0 P0+200 to to+8 to+16 None CM2 CM3
Fondamenti e Metodi della Progettazione Industriale 113

Red indicates the starting level for each factor.

Example
So for a problem with 4 factors at 3 levels each, we need an L (34) array. We see from our handout, that such an array does exist and that it is the L9 array (shown in part below).

Fondamenti e Metodi della Progettazione Industriale

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Example
1 2 3 4 5 6 7 8 9 A B C T0-25 P0-200 to T0-25 P0 to+8 T0-25 P0+200 to+16 T0 P0-200 to+8 T0 P0 to+16 T0 P0+200 to T0+25 P0-200 to+16 T0+25 P0 to T0+25 Fondamenti e Metodi della to+8 P0+200
Progettazione Industriale

D None CM2 CM3 CM3 None CM2 CM2 CM3 None

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Example
So we can see that each row of the matrix defines an entire configuration of our product or process. Now, we want to use this matrix experiment in some way to determine the best setting for each parameter such that our surface defects are minimized.
The first thing we need to do is determine how we will compute our observation value (this is akin to determination of our fitness in a GA).
Fondamenti e Metodi della Progettazione Industriale 116

Example
In our example, we are concerned with defects on the surface of a silicon wafer. So in order to determine the relative performance of each of our configurations, we will do the following.
Set up the CVD equipment according to the parameters Create a bunch of chips Count the defects in 3 areas on each of 3 of our produced chips for a total of 9 counts per experiment.
Fondamenti e Metodi della Progettazione Industriale 117

Example
We can then define a summary statistic, i, that is computed as follows (for experiment i): i = -10 log10 (mean square defect counti)
The mean square defect count is the average of the squared-counts in each of the 9 areas for each experiment. We will then call eta our observation value. Does anyone recognize this formulation? It is the signal to noise (S/N) ratio.
Fondamenti e Metodi della Progettazione Industriale 118

Example
We can then define a summary statistic, i, that is computed as follows (for experiment i): i = -10 log10 (mean square defect counti)
The mean square defect count is the average of the squared-counts in each of the 9 areas for each experiment. We will then call eta our observation value. Does anyone recognize this formulation? It is the signal to noise (S/N) ratio.
Fondamenti e Metodi della Progettazione Industriale 119

Example
We can calculate for this experiment as follows:
Mean squared defect count: ( 22 + 22 + 22 + 12 + 12 + 12 + 22 + 22 + 12) / 9 = 3.11

The observation value is then: = -10 * Log10( 3.11 ) = -4.93

Clearly, minimizing our surface defects becomes a job of maximizing our observation value.
Fondamenti e Metodi della Progettazione Industriale 120

Example
1 2 3 4 5 6 7 8 9 A T0-25 T0-25 T0-25 T0 T0 T0 T0+25 T0+25 T0+25 B C P0-200 to P0 to+8 P0+200 to+16 P0-200 to+8 P0 to+16 P0+200 to P0-200 to+16 P0 to P0+200 e Metodi della to+8 Fondamenti
Progettazione Industriale

D None CM2 CM3 CM3 None CM2 CM2 CM3 None

-20 -10 -30 -25 -45 -65 -45 -65 -70121

Example
Clearly we are not done, simply conducting the experiments and selecting the best one would make this a somewhat trivial approach.
What we have to do now is attempt to determine the effect that each factor has on the observation value based on what we observed in our matrix experiment.

Fondamenti e Metodi della Progettazione Industriale

122

Example
The first step will be to find the overall mean of the observation values m.

1 9 m i 41.67 9 i 1
Since each of our factor levels was represented evenly in our matrix experiment, m in this case is referred to as a balanced overall mean.
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Example
The effect of a factor level is defined as the deviation it causes from the overall mean. For example, we may wish to evaluate what effect temperature at level 3 has on the process.
To do this, we must calculate mean of the observation values in which temperature was at level 3. Note that there were 3 such experiments in our matrix experiment.
Fondamenti e Metodi della Progettazione Industriale 124

Example
The 3 experiments containing temperature at level 3 were #s 7, 8, and 9. So: mA3 = 1/3 (7 + 8 + 9) = -60 So the deviation from the overall mean caused by temperature at level 3 is: (mA3 m) = -60 (-41.67) = -18.3
Fondamenti e Metodi della Progettazione Industriale 125

Example
Notice that in each of experiments 7, 8, and 9, pressure, settling time, and cleaning method all take on levels of 1, 2, and 3 (in different orders).
Therefore, mA3 represents an average when the temperature is at level 3 where the averaging is done in a balanced manner over all levels of each of the other 3 factors.

The remaining factor level effects can be computed in the exact same fashion.
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Robust Design

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Fondamenti e Metodi della Progettazione Industriale

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Fondamenti e Metodi della Progettazione Industriale

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FINE

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