Le due forme principali, la valvola termoionica e il dispositivo a semiconduttore, conobbero uno sviluppo parallelo.

Nel 1873 il fisico britannico Frederick Guthrie illustr il principio di funzionamento del diodo termoionico. Nel 1880 Edison incocci autonomamente nell'effetto termoionico (tanto che esso viene chiamato anche effetto Edison) mentre lavorava al perfezionamento della lampada a incandescenza, cercando di capire il motivo della rottura dei filamenti. Scopr che una corrente invisibile fluiva dal filamento a una placca metallica inserita nel bulbo quando questa era collegata al polo positivo. Lo brevett qualche anno dopo, senza [1] tuttavia indicarne un uso concreto. Venti anni dopo il britannico John Ambrose Fleming, che collaborava con la Marconi Company ma era stato impiegato di Edison, si accorse che l'effetto Edison poteva essere utilizzato come rilevatore di precisione di frequenze radio e brevett il primo diodo termoionico funzionante, la "valvola di Fleming", nel novembre [2] 1904. Solo due anni dopo Lee De Forest invent il triodo. Circa il diodo a stato solido, gi nel 1874 il tedesco Karl Ferdinand Braun, sperimentando contatti tra metalli e cristalli (come la galena e la pirolusite), scopr la capacit di tali giunzioni di far scorrere la corrente in un [3] solo senso, principio fondamentale su cui si basa il funzionamento dei moderni transistor. Nel 1897 l'indiano Jagadish Chandra Bose fu il primo a presentare un apparato che usava un rilevatore radio [4] a galena.