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CAPITOLO I
e2 me v 2
(1.a) (forza di attraz. coulomb.) = (forza centrif .)
4π ε o r 2 r
e e2
(1.b) E pot = ⋅ (− e ) = −
4π ε o r 4π ε o r
(Febbraio 2009)
I.2
1 e2
ET = me v 2 −
2 4π ε o r
e2
(1.c) ET = −
8π ε o r
Questa osservazione fu recepita da Niels Bohr nel 1913, che ipotizzò per il modello
dell’atomo di idrogeno proposto da Rutherford i ben noti tre postulati:
a) che l'elettrone si possa muovere in orbite circolari di raggi ben precisi, alle quali
vengono associati valori discreti di energia; quando l’elettrone si trova in una di queste
orbite, non irradia. I valori di energia permessi prendono il nome di livelli energetici o stati
stazionari (si osservi che spesso nella materia trattata, come anche in vari testi
sull'argomento, si parla di livello di un atomo al posto della dizione più corretta di livello di
energia di un elettrone dell'atomo).
b) che l'elettrone possa irradiare (od assorbire) energia soltanto nella transizione da
un'orbita ad un'altra, cioè passando da uno stato energetico più alto (più basso) ad uno più
basso (più alto). La frequenza della radiazione emessa è legata alla differenza di energia
degli stati energetici E2 ed E1 interessati dalla transizione (con E2 maggiore di E1), dalla
relazione:
E 2 − E1
(1.d) f =
h
avendo indicato con h la costante di Planck (6,62 ⋅ 10-34 J ⋅ s, oppure 3,48 ⋅ 10-15 eV ⋅ s).
c) che i raggi delle orbite degli stati stazionari debbano soddisfare la condizione che il
momento della quantità di moto dell’elettrone sia un multiplo intero di h/2π, cioè
nh
(1.e) mev r = , con n = 1,2,3…
2π
Con questi postulati è possibile ricavare i raggi delle varie orbite e le energie relative
per l'elettrone dell'atomo di idrogeno; i valori di energia così ottenuti vengono indicati, come
sopra si è detto, con il nome di livelli energetici stazionari o stati energetici stazionari.
2
Elevando al quadrato entrambi i membri della (1.e) e sostituendovi l’espressione di v
ricavabile dalla (1.a), si ottiene l’insieme discreto dei raggi delle orbite circolari permesse
all’elettrone dell’atomo di idrogeno:
n2 h2 ε o
(1.f) rn =
me e 2 π
Per ricavare l’insieme discreto dei valori delle energie totali dell’elettrone è sufficiente
sostituire l’espressione appena trovata nella (1.c). Si ha così:
I.4
me e 4
(1.g) En = −
8 n2 h2 ε o
Esercizio: Determinare i valori dei raggi delle orbite per n=1, 2, 3, i corrispondenti valori
delle energie totali dell’elettrone dell’atomo di idrogeno e le frequenze delle
transizioni E3 – E2, E3 – E1, E2 – E1.
Esercizio: Calcolare la lunghezza d’onda in micron delle radiazioni emesse nelle transizioni
tra E2 ed E1 con valori pari a 1, 1,5 e 2 eV.
I.5
La teoria di Bohr, che si è utilizzata per ricavare i raggi delle varie orbite e le energie
relative per l’elettrone nell’atomo di idrogeno, non è in grado di spiegare i fenomeni
riguardanti atomi con più di un elettrone. Tale problema viene affrontato con l'ausilio della
meccanica quantistica che, oltre a confermare i risultati ottenuti con il modello atomico di
Bohr per l'idrogeno, è in grado di fornire i livelli energetici per sistemi più complessi ed in tal
senso gli stati energetici vengono individuati per mezzo di una quaterna di numeri quantici
(n, l, m, s) che sono stati introdotti nel Corso di Chimica di base.
Un risultato fondamentale della meccanica quantistica afferma che quando si
costituisce un sistema formato da due atomi identici (ad esempio una molecola biatomica),
per ogni livello energetico dell'atomo isolato si vengono a creare due livelli del sistema
complessivo, le cui energie sono prossime a quelle del livello dell'atomo isolato; la
separazione fra le energie dei due livelli cresce con il diminuire della distanza fra i due atomi.
Per chiarire questo fenomeno, consideriamo una situazione analoga presa in prestito
dall’analisi delle reti elettriche: se supponiamo di avvicinare ad un circuito risonante "LC"
senza perdite, in assenza quindi di dissipazioni di energia e caratterizzato da una frequenza
di risonanza f0 (vedi fig. 1), un secondo circuito identico al primo, creando così un
coefficiente di mutua induzione M fra le due bobine, vediamo che il sistema presenta due
frequenze di risonanza ( f1 ed f2 ), una un pò più alta ed una un pò più bassa del valore
originario f0. L'analogia fra i due casi è tra le frequenze di oscillazione del sistema dei due
risuonatori ed i valori di energia dei livelli occupati da elettroni nel sistema formato dai due
atomi.
L L
C L C C
Fig. 1
I.6
Se estendiamo il ragionamento fatto a sistemi con più atomi, è possibile intuire che nel
caso dei solidi, dove il numero di atomi che si influenzano reciprocamente è grandissimo e
dato che il numero di stati energetici è uguale alla somma degli stati degli atomi singoli, ogni
livello degli atomi (supposti tutti identici) costituenti il sistema darà luogo ad un numero così
grande di livelli di energia molto vicini tra loro ed a quello originario da poter considerare
praticamente continuo l'insieme di tali livelli; un insieme di questo tipo prende il nome di
banda di energia.
In un solido omogeneo, perfettamente regolare, senza impurità e costituito da un
proprio reticolo cristallino (struttura che ripete infinite volte la struttura di una cella
elementare), si indica con il nome di banda di valenza l'ultima banda occupata dagli
elettroni; la successiva banda, la banda di conduzione, è normalmente vuota. Prende il
nome di banda interdetta, così definita perché "proibita" agli elettroni, l'insieme dei valori di
energia compresi tra l'estremo inferiore della banda di conduzione (EC) e l'estremo superiore
della banda di valenza (EV).
Per chiarire quanto definito, in fig. 2
viene indicata una rappresentazione tipica
E
delle bande di energia per un solido, avendo
riportato nell’asse x delle ascisse una banda di conduzione
qualsiasi direzione del reticolo cristallino e EC
nell’asse E delle ordinate l’energia totale E
banda interdetta
degli elettroni. Gli elettroni degli atomi che
costituiscono un solido, sono distribuiti nelle
EV
bande permesse, riempiendo in esse gli stati banda di valenza
stati energetici liberi. Nei conduttori, data la sovrapposizione delle bande, gli elettroni di
valenza, anche sotto l'azione di un debole campo elettrico, hanno la possibilità di occupare
un gran numero di stati liberi della banda di conduzione e quindi in tali materiali il fenomeno
della conduzione non solo è possibile, ma richiede dall'esterno una quantità minima di
energia.
Molto differente è la situazione degli isolanti: in questo caso, come è indicato
schematicamente in fig. 3.b), gli elettroni di valenza, fortemente legati al loro nucleo,
riempiono totalmente la banda di valenza e non possono occupare, a causa del valore
notevole della banda interdetta, gli stati liberi della banda di conduzione, tranne che non
venga loro impartita dall'esterno una energia molto elevata (ad esempio, nel caso della
rottura degli isolanti). Quindi in condizioni normali nei materiali isolanti il processo di
conduzione è impossibile.
E E E
EC
EV
EC EG EC
EG
EV
EV
x x x
Conduttore Isolante Semiconduttore
a) b) c)
Fig. 3
A temperatura maggiore dello zero assoluto, l'agitazione termica degli atomi può
produrre la rottura di qualche legame; ciò corrisponde, dal punto di vista energetico, alla
cessione di una quantità di energia pari o maggiore di EG a qualche elettrone che si trovi
nella banda di valenza che, così, "salta" nella banda di conduzione. A tale fenomeno è
essenzialmente legato il processo di conduzione nei materiali semiconduttori; in essi quindi
la conducibilità, come vedremo in seguito, viene fortemente influenzata dalla temperatura e,
in generale, dall'assorbimento di energia di qualsiasi tipo dall'esterno. Poiché l’altezza della
banda interdetta dipende dalla distanza interatomica, che intuitivamente varia con la
temperatura, ne consegue che anche la EG è funzione di T e diminuisce al crescere di T.
Esprimendo la temperatura T in gradi Kelvin, per i tre semiconduttori più comuni, germanio,
silicio ed arseniuro di gallio, i valori della banda interdeta EG, espressi in eV, valgono
rispettivamente:
E G ( T ) = 0 ,785 − 3 ,7 x 10 − 4 T per il Ge
−4 2
4 ,73 x 10 T
E G ( T ) = 1 ,17 − per il Si
T + 636
5 , 4 x 10 − 4 T 2
E G ( T ) = 1 , 52 − per il GaAs
T + 204
(*)
La costante di Boltzmann k vale 1,38 x 10-23 J/K pari ad 8,6 x 10-5 eV/K; il termine kT,
che a temperatura ambiente vale 0,026 eV, dà una misura dell'energia media di
agitazione termica.
I.9
(acquistare cioè energia cinetica) sotto l'azione di un campo elettrico; il materiale presenterà
dunque una certa conduttività elettrica, intermedia fra quella elevata di un conduttore
metallico e quella quasi nulla di un buon isolante. Dal processo che è responsabile della
presenza di questi elettroni, si desume che la conduttività di un materiale semiconduttore
sarà funzione della temperatura.
I materiali semiconduttori più comuni, come già detto, sono rappresentati dal
germanio, dal silicio e dall’arseniuro di gallio, per i quali EC - EV vale rispettivamente
0,67 eV, 1,11 eV e 1,43 eV a temperatura ambiente.
In realtà la conduzione della corrente elettrica nei semiconduttori non è dovuta
solamente agli elettroni presenti nella banda di conduzione. Ognuno di essi, infatti, ha
lasciato libero un "posto" (un livello energetico) nella banda di valenza, che in tal modo non
risulta più completamente occupata. E' possibile quindi agli elettroni dei livelli inferiori della
banda di valenza, occupare questi stati resi liberi, acquistando l'energia necessaria
(infinitesima) sotto l'azione del campo elettrico applicato. Questa conduzione, dovuta al moto
degli elettroni (cariche negative) nella banda di valenza, può considerarsi dovuta al moto dei
"posti liberi", assimilati a cariche positive mobili. Il concetto di lacuna mobile così introdotto,
dotata di una carica +e e massa dell'ordine di quella dell'elettrone, è utilissimo e
universalmente adottato. Il concetto può essere chiarito intuitivamente pensando al moto di
una bolla di aria entro un liquido: quando la bolla sale verso Ia superficie, è in realtà il liquido
che scende attorno ad essa; tuttavia è più facile considerare la bolla che sale come una
specie di massecola negativa che tende verso la posizione di minima energia potenziale (la
superficie del liquido) ed analogamente verso il livello EV per la lacuna.
Nel caso finora considerato di un cristallo semiconduttore perfettamente ordinato dal
punto di vista cristallografico ed omogeneo, privo cioè di elementi estranei (semiconduttore
intrinseco), il numero delle cariche "n" (elettroni) è sempre eguale al numero delle cariche
"p" (lacune), dato che per ogni elettrone che si rende libero nella banda di conduzione per
effetto della temperatura, si sarà creata una lacuna in banda di valenza, cioè queste cariche
vengono create a coppie.
Un primo passo nello studio dei materiali semiconduttori consiste nel determinare, per
data temperatura T, quanti elettroni (eguali ad altrettante lacune e quindi n = p) vi saranno
per unità di volume del semiconduttore. E' chiaro che il problema è di natura statistica: in
condizioni di equilibrio si avranno continuamente rotture e ricostituzioni di legami covalenti,
con conseguente bilanciamento dei due processi di generazione e di ricombinazione di
coppie lacuna-elettrone; si tratta di determinare dei valori medi. Il problema della
distribuzione degli elettroni fra i livelli energetici esistenti nei solidi è risolto dalla statistica di
I . 10
Fermi-Dirac, il cui risultato, per quanto riguarda questa trattazione, è rappresentato dalla
funzione di distribuzione di Fermi-Dirac:
1
(2.a) F( E ) = ( E −E F )
,
1 + e kT
Esercizio: Determinare i valori di E per cui F(E) vale 0,1 e 0,9 rispettivamente; si esprima
E - EF in unità kT per i due casi. (E - EF = ± 2,2 kT)
dato che la probabilità di trovare una lacuna a un certo livello è pari alla probabilità che il
livello non sia occupato da un elettrone.
I . 11
ECtop
n=∫ N ( E ) F ( E ) dE
EC
avendo indicato con ECtop il valore massimo di energia della banda di conduzione.
La funzione N(E) nella banda di conduzione è data da AC (E – EC)1/2, dove AC è una
costante che vale (
4π 2me* )32
h3 . Potendosi assumere che normalmente nei
semiconduttori intrinseci è E – EF >> kT, la F(E) si può approssimare in:
( E −E F )
−
F( E ) = e kT
Quindi si ha:
( E − EF )
ECtop −
n = AC ∫
1/ 2
EC
(E − E C ) e kT
dE
1/ 2 ( E − EC ) ( EC − E F )
ECtop E − Ec − − E − EC
n = AC (kT ) ∫
3/ 2
e kT
e kT
d
EC
kT kT
( EC −EF ) x'
∫
−
3/2
n = AC (kT ) e kT x 1 / 2 e − x dx
0
I . 12
con l’estremo x’ che si può assumere ∞ , dato che ECtop - EC >> kT ; in questo caso il valore
dell’integrale è noto e pari a π 2 . L’espressione trovata è identica alla (2.b) se si assume
per NC il valore AC ( kT ) 3 / 2 π 2 . Dal punto di vista grafico lo sviluppo dell’integrale è dato
da quanto rappresentato in fig. 6.
N(E), F(E)
1
F(E)
N(E)
0,5
0
EV EF EC E
Fig. 6
Prima di procedere oltre si noti che, analogamente a quanto sopra visto nel caso in cui
E – EF >> kT , è possibile ottenere una espressione semplificata della F(E) valida quando si
ha EF – E >> kT :
( E −E F )
−
F( E ) = 1 − e kT
Ciò risulta immediatamente dallo sviluppo in serie della funzione F(E) (binomio di Newton
troncato). La (2.b) dà, con queste approssimazioni:
( EC −EF ) ( EF −EV )
− −
(3) NC e kT = NV e kT = ni
EG
−
n i = NC NV e 2 kT
I . 13
Inoltre dalle (3) si ricava facilmente la posizione del livello di Fermi nel semiconduttore
intrinseco, che vale:
EC + EV kT N
(4) EF = + ln V = E i
2 2 NC
Nella (4) si è indicato con Ei il livello di Fermi per un semiconduttore intrinseco; esso è
al centro della banda interdetta se NC = NV. Poiché NC ed NV sono dello stesso ordine di
grandezza, in pratica Ei dista da (EC + EV)/2 di una quantità molto piccola, dell’ordine di kT/2
(a temperatura ambiente, kT = 0,026 eV, mentre EC - EV è 1,1eV per il silicio). Ciò giustifica,
fra l’altro, le approssimazioni fatte sopra per F(E) in vicinanza di EC ed EV. In sintesi, noto il
materiale semiconduttore e la temperatura T a cui esso si trova, si conosce la
concentrazione intrinseca ni.
Esercizio: Con i valori di NC ed NV dati nella tabella I, calcolare il numero dei portatori liberi
intrinseci ni = n = p per il silicio a temperatura ambiente.
Si Si Si Si Si Si
Si Si Si Si Si+ Si
e-
Si Si Si Si Si Si
a) b)
Fig. 7
atomi e non si hanno portatori mobili che possano condurre corrente elettrica. La fig. 7.b)
rappresenta il caso in cui si è creata una coppia elettrone-lacuna con la rottura di un legame:
il posto lasciato libero dall’elettrone (adesso mobile) può venir preso da un elettrone di un
atomo confinante praticamente senza spesa di energia: la lacuna, anche in questa
rappresentazione, è equivalente a una carica positiva mobile.
Occorre a questo punto sottolineare che, a temperatura ambiente, i valori delle
10 -3
concentrazioni intrinseche (cioè n = p = ni ) sia nel silicio (circa 10 cm ), sia nel germanio
(circa 1013 cm-3), sia ancora nell’arseniuro di gallio (circa 107 cm-3) sono di molti ordini di
22 -3
grandezza inferiori alle concentrazioni di elettroni liberi nei metalli (circa 10 cm ) e pertanto
è intuibile che la conducibilità dei semiconduttori intrinseci risulti molto bassa.
E E
≅ 0,05 eV
EC EC
ED
Ei Ei
≅ 0,05 eV
EA
EV
EV
x x
a) b)
Fig. 10
Precisamente, per quanto si è detto sopra, i “livelli donatori” (ED in fig. 10.a), generati
dalla presenza nel reticolo di elementi del V gruppo, si troveranno molto vicini (circa 0,05 eV
al di sotto) al margine inferiore della banda di conduzione EC, mentre i ”livelli accettori” (EA
in fig. 10.b), generati dalla presenza di elementi del III gruppo, si troveranno circa 0,05 eV al
di sopra del margine superiore della banda di valenza EV. E' facile prevedere che a
temperature non troppo basse, la maggior parte degli elettroni degli atomi donatori riceverà
dalla agitazione termica l'energia necessaria per portarsi nella banda di conduzione:
similmente, la maggior parte degli atomi accettori catturerà elettroni, cioè “cederà lacune”
alla banda di valenza. L’effetto del “drogaggio” (presenza di impurità) sulla distribuzione degli
elettroni consiste nello spostare, per il semiconduttore drogato, la posizione del livello di
Fermi EF, che non coinciderà più con il valore intrinseco Ei. La posizione del livello si
avvicinerà a EC o a EV a seconda che prevalga l'effetto degli atomi donatori o degli atomi
accettori. Per vedere ciò, richiamiamo le espressioni date dalle (3) ed utilizziamo le formule
approssimate per la funzione di Fermi F(E); si ha:
( EC −EF ) ( EF −EV )
− −
(5) n = NC e kT p = NV e kT
Dato che le funzioni che forniscono la distribuzione della densità degli stati energetici
nelle bande di conduzione e di valenza non variano con il drogaggio, il metodo utilizzato per
arrivare alle (5) resta comunque valido. Ma poiché il drogaggio altera le concentrazioni n e p,
l’unica quantità che varia con il drogaggio non può che essere la posizione del livello di
Fermi EF. Si noti altresì che, facendo il prodotto membro a membro delle (5), si ottiene:
I . 17
( EC −EV ) EG
− −
(6) pn = NC NV e kT = n i2 ∩ T 3 e kT
Richiamando quanto sinora spiegato, sono state introdotte, con differenti significati e
ruoli, le concentrazioni dei portatori mobili, le concentrazioni delle cariche fisse e delle
cariche mobili, e le concentrazioni dei portatori maggioritari e minoritari. Facciamo vedere
che la costanza del prodotto pn in condizioni di equilibrio in un semiconduttore drogato può
essere dimostrata per altra via. Riassumendo gli effetti dovuti alla presenza di impurità nei
materiali semiconduttori, si può affermare che:
- Il piccolo numero di cariche libere presenti in un cm3 di semiconduttore intrinseco porta
alla necessità di considerare la possibilità di introdurre piccole concentrazioni di
impurità prescelte che siano in grado di modificare drasticamente la disponibilità di
10 -3 22
portatori liberi nei semiconduttori (nel silicio ni vale circa 10 cm , vi sono circa 10
atomi di silicio in un cm3, la concentrazione di impurità introdotte è normalmente di 1
per 106 di atomi di silicio, il numero di elettroni liberi nel semiconduttore drogato sarà
16 -3
dell’ordine di 10 cm , dato che ogni atomo donatore genera un elettrone libero).
- I due tipi di impurità esaminati sono normalmente costituiti sia da atomi di elementi del
V gruppo e vengono indicati come atomi donatori, dato che danno luogo ad elettroni
liberi, già a temperatura ambiente, nella misura di 1 elettrone per ogni atomo donatore,
sia da atomi accettori che generano lacune nella stessa misura e che sono costituiti
da elementi del III gruppo.
Sappiamo inoltre che, anche se i due effetti sono sempre presenti, il processo a) richiede,
affinché avvenga, una quantità di energia maggiore di quella richiesta normalmente dal
processo b). Immaginiamo inoltre di essere in condizioni di equilibrio termico definito
come segue:
1) La temperatura è uniforme in ogni punto del cristallo semiconduttore e non varia nel
tempo (regime stazionario).
2) Non vi sono campi elettrici, o magnetici, o radiazioni elettromagnetiche che dall’esterno
interagiscono con il cristallo.
3) Il moto di elettroni e lacune presenti è completamente casuale e le concentrazioni di
questi sono costanti e determinate statisticamente.
R = r nn pn
ove r è una funzione di EG e di T. Poiché in equilibrio, come si è detto sopra, deve essere
Gth = R, segue che nel nostro caso è Gth = r nn pn , e pertanto si ha:
G th
nn pn =
r
G th
(8) = n i p i = n i2
r
I . 20
Sostituendo questo valore di Gth r nella precedente, si ottiene la relazione già chiamata
"legge di azione di massa":
(9) nn pn = ni2
Risolvendo la prima per nn, e scartando la soluzione con il segno meno per evidenti ragioni,
si ottiene:
ND − N A (N D −NA )2
nn = + + n i2
2 4
n i2
(10) nn = ND - NA pn =
(N D −NA )
n i2
(11) pp = NA – ND np =
(N A −ND )
Si ricordi che questo risultato è stato ottenuto partendo dall’ipotesi che tutte le impurità
immesse nel reticolo fossero ionizzate.
La legge di azione di massa, espressa dalla (9), esprime la proprietà che al crescere del
drogaggio ND cresce la concentrazione dei portatori maggioritari e diminuisce quella dei
portatori minoritari. Esprime altresì la proprietà che un semiconduttore, inizialmente di tipo p
con un drogaggio NA, può essere convertito in un semiconduttore di tipo n aggiungendo una
concentrazione di ND maggiore di quella NA. Un caso molto interessante si ha allorché nel
semiconduttore si verifichi la condizione NA = ND ; in tal caso il semiconduttore si dice
I . 21
compensato e dal punto di vista delle concentrazioni dei portatori liberi è identico ad un
semiconduttore intrinseco.
Il risultato espresso dalla legge di azione di massa (9) permette di esprimere sia p che
n in funzione di ni, di Ei e di EF. Infatti si ha:
( EC −EV )
− ( E F −E i )
NC NV e 2 kT
np n
(12) n= = ni i = ni ( EF −EV )
= ni e kT
p p −
NV e kT
dove si è fatto uso della definizione di Ei data dalla formula (4). Analogamente si ricava per
la concentrazione delle lacune:
( E i −EF )
(13) p = ni e kT
In un semiconduttore di tipo n l'eccesso di elettroni fornito dagli atomi donatori porta a una
diminuzione del numero delle lacune rispetto al caso intrinseco, in base alla (9), avendosi
n > ni e, per la (12), EF > Ei. Viceversa avviene nel caso di drogaggio di tipo "p".
17 3
Esercizio: Per un semiconduttore drogato con 10 atomi di impurità per cm calcolare la
distanza media tra due impurità. (d = 2,16 x 10-6 cm =216 Å)
-3
Indichiamo con NA ed ND le concentrazioni (cm ) delle impurità accettori e donatori.
Per i drogaggi che si usano nella maggior parte dei dispositivi a semiconduttore, EF, pur
discostandosi da Ei, resta relativamente lontano dai margini della zona proibita (e anche dai
livelli accettori e donatori, EA ed ED); d'altra parte solo in questo caso valgono gli sviluppi
precedenti, dato che per F(E) abbiamo usato le espressioni approssimate. Allora il numero di
atomi donatori ionizzati sarà dato da:
−
( E D −E F )
N D [1 − F ( E D )] = N D 1 − e kT ≅ ND
I . 22
−
( E F −E A )
N A [F ( E A )] = N A 1 − e kT ≅ NA
Praticamente, sia gli atomi donatori sia quelli accettori saranno completamente
ionizzati. Se sono presenti soltanto atomi donatori, con concentrazione ND>>ni come di solito
avviene, la concentrazione n degli elettroni disponibili è praticamente data da ND; nel caso di
drogaggio con soli atomi accettori, se NA>>ni , è invece p = NA. Il caso di drogaggio
simultaneo p ed n , cioè presenza di NA ed ND nello stesso semiconduttore, merita
un’attenzione particolare, come già detto. Se è ND > NA , il semiconduttore risulta del tipo n ,
con concentrazione di elettroni data approssimativamente da ND – NA. Ciò perché gli atomi
accettori, ionizzandosi, impegnano NA elettroni che quindi non risultano disponibili per la
conduzione (è più probabile che un atomo accettore impegni un elettrone libero anziché
estrarne uno della banda di valenza). Analogamente nel caso NA > ND le lacune
effettivamente disponibili per la conduzione sono p = NA – ND. Come si è già accennato, i
risultati fin qui ottenuti valgono per le concentrazioni di impurità normalmente impiegate.
Al crescere del drogaggio, il livello EF si discosta da Ei tendendo verso uno dei
margini della zona proibita; quando EF dista da EA o da ED di una quantità paragonabile o
minore di kT , l’uso delle formule approssimate non è più giustificato e la trattazione si
19 -3
complica. In pratica ciò si verifica per drogaggi NA o ND superiori a 10 cm ; un
semiconduttore così fortemente drogato si chiama degenere. Per il seguito ci limiteremo
sempre, tranne in casi particolari che saranno evidenziati, all’analisi di dispositivi che
utilizzano semiconduttori non degeneri. E’ bene rendersi conto a questo punto che anche in
questo caso il drogaggio percentuale è molto piccolo: una concentrazione di 1019 atomi di
3 3
impurità per cm corrisponde per il silicio (densità 2,33 g/cm , peso atomico 28) a una
concentrazione relativa di:
6 x 10 23
10 19 ≈ 2 x 10 −4
28 : 2 ,33
cioè a una purezza del 99,98% in volume.
16 3
Esercizio: Per silicio drogato. con 10 atomi di boro per cm , determinare la posizione
del livello di Fermi a temperatura ambiente (27 °C) e a 100 °C.
(27 °C : EF = Ei - 0,351 eV ; 100 °C : EF = Ei - 0,285 eV).
I . 23
(14) ρ = q (p – n + ND – NA) = 0
da cui:
p – n = NA – ND
In generale, nell’espressione data dalla (14), detta anche legge della neutralità della
carica totale, dovrebbe farsi riferimento, per quanto riguarda la concentrazione delle cariche
fisse, a quella percentuale di impurità che alla data temperatura risultino ionizzate; cioè
l’espressione esatta che tiene conto di una ionizzazione parziale è:
- +
(15) p – n = NA – ND
con:
1 1
N A− = N A [F (E A )] = N A ( E A −E F ) ; N D+ = N D [1 − F (E D )] = N D ( E F −E D )
1 + e kT 1 + e kT
n ( x 1016 cm-3)
si ottiene un set di 3 equazioni con le quali è
possibile ricavare le concentrazioni dei 2
portatori n e p e la posizione del livello di
Fermi a qualsiasi temperatura. Ripetiamo, le n
ND
formule valgono finché NA ed ND non sono
troppo elevati (< 10 cm ).
19 -3 1
La fig. 12 mostra l’andamento in ni
funzione della temperatura del numero di
3
T (K)
elettroni mobili per cm in un campione di
0 300 600
silicio drogato con 1,2 x 1016 atomi donatori
3 Fig. 12
per cm . In un vasto campo di temperatura la
concentrazione nn è costante ed è pari a ND. A temperature molto basse la percentuale di
I . 24
N − N + n i2
+ 4 n i2 ;
1
pp =
A D (N A − ND )2
np =
2 pp
cinetica provoca un aumento delle ampiezze delle vibrazioni degli atomi. Il valore medio dei
percorsi compiuti dall’elettrone tra due collisioni successive viene indicato col nome di
cammino libero medio.
E
5 5
2 2
6 6
1 1
4 4
3 3
a) b)
Fig. 13
v iniziale + v finale
(17) v= = qEt c (2m * )
2
ove si è indicato con tc il tempo libero medio tra collisioni successive e con m* la massa
(*)
effettiva della carica .
(*)
La massa effettiva o efficace m* (in genere leggermente minore della massa dell’elettrone
libero) è quella quantità che sostituisce nei cristalli la massa della carica nel vuoto per
tener conto degli effetti della presenza del reticolo sulla accelerazione della carica stessa.
I . 26
(18) µ = q tc / (2m*)
Si osservi però che una trattazione rigorosa fatta in base alla meccanica quantistica dà
per la mobilità un'espressione simile a quella ricavata ma senza il coefficiente 2 a
denominatore.
Le collisioni che le cariche libere subiscono in un semiconduttore sono di due tipi: le
collisioni con gli atomi del reticolo e quelle con le cariche fisse (atomi di impurità ionizzati);
questi due fenomeni influenzano fortemente il tempo libero medio tc e quindi la mobilità. Le
analisi teoriche e gli studi sperimentali effettuati mostrano una dipendenza della mobilità
dalla concentrazione delle impurità e dalla temperatura.
Con riferimento alle collisioni con il reticolo, queste aumentano di frequenza con
l’aumentare di T poiché le oscillazioni degli atomi del reticolo crescono di ampiezza
all’aumentare di T. Pertanto la mobilità per queste collisioni diminuisce al crescere di T con
la legge T - n con n che varia tra 1,5 e 2,5. Lo scattering dovuto invece alle collisioni con le
impurità ionizzate decresce con T in quanto all’aumentare di T cresce la velocità di
agitazione degli elettroni e le traiettorie vengono influenzate meno dalla presenza del campo
elettrico sferico che nasce attorno alle impurità ionizzate; in questo caso la mobilità cresce
con T. La mobilità è anche influenzata dalla presenza di difetti reticolari o dalla presenza di
impurità non desiderate nel senso che la mobilità si riduce.
Se più effetti agiscono simultaneamente sul movimento degli elettroni o delle lacune, la
mobilità complessiva di questi si compone come le resistenze in parallelo, cioè:
La meccanica quantistica mostra che m* dipende dalla struttura delle bande di energia.
Per gli scopi della materia trattata si tenga presente che m* è differente per elettroni e
lacune e ciò spiega la differenza tra i valori di NC ed NV che dipendono anche da m*.
I . 27
Fig. 14
Esercizio: Determinare per il silicio intrinseco il tempo libero medio degli elettroni e delle
lacune a temperatura ambiente (si supponga me* = m*lac = m ).
(0,815 ·10-12 sec ; 0,281·10-12 sec)
Esaminiamo adesso il processo di conduzione (che è analogo a quello che avviene nei
conduttori) nel caso di una barretta di semiconduttore omogeneo di tipo n, alla quale venga
applicata una differenza di potenziale tra due
estremità opposte (fig. 15). Si prevede n
intuitivamente che la conducibilità elettrica
macroscopica del semiconduttore sarà funzione
della concentrazione delle cariche libere e della
loro mobilità. Per trovare tale relazione
consideriamo un parallelepipedo elementare Fig. 15
della barretta in esame (fig. 16), percorso dalla
2
densità di corrente J (A/cm ) quando il campo E
elettrico applicato E è nella direzione dell'asse A B
x. Consideriamo due sezioni A e B normali ad x J J
e di area S, distanti di una quantità
e e
numericamente pari alla velocità media di x
scorrimento degli elettroni v. Se la v
concentrazione degli elettroni è n, osserviamo
S
che, a regime, nell’elemento di volume Fig. 16
compreso tra le sezioni A e B il numero di
elettroni non cambia, se entro il volume considerato non vi sono fenomeni di generazione o
di ricombinazione di cariche. Il meccanismo della conduzione comporta che un elettrone che
attraversa la sezione A venga rimpiazzato da un elettrone entrante dalla sezione B . Quindi
entro il volume considerato vi sono S n v elettroni; dato che tutti gli elettroni si muovono nella
direzione x con una velocità media di scorrimento pari a v, ogni secondo tutti quelli presenti
nel volume considerato vengono rimpiazzati da nuovi elettroni in pari numero. Pertanto in un
secondo attraverso la sezione A transitano S n v elettroni e la densità di corrente J con i
versi indicati in figura e con q > 0 vale:
Jn = - n q v
I . 29
Essendo v = - µn E , si ottiene:
(19) Jn = q n µn E
(20) Jp = q p µp E
(21) J = Jn + Jp = q E( n µn + p µp )
da cui la conducibilità σ [S/cm] per un semiconduttore drogato, per confronto con la legge
di Ohm per i conduttori massicci J = σ E, vale:
(22) σ = q ( p µp + n µn )
(23) σi = q ni ( µp + µn )
in questa regione il semiconduttore drogato si comporta alla stessa stregua dei materiali
conduttori.
Esercizio: Calcolare la proporzione in peso di fosforo (peso atomico 31) che deve essere
aggiunta ad un cristallo di silicio perché la sua resistività a temperatura
ambiente sia di 200 Ωּcm . Se il cristallo viene ulteriormente drogato con 1014
3
atomi di gallio per cm , qual è la resistività del cristallo? E’ di tipo p o n ?
Si è esaminato il processo di e e e e e
e e eee e e e e e e e
conduzione dovuto all’applicazione del e e e e e e e e e
e e e e e e
e e e e e e e e e
e e e e
campo elettrico e le relazioni tra la
densità di corrente di scorrimento ed il
n
campo in funzione delle caratteristiche
del semiconduttore. In tali materiali,
però, oltre a questo tipo di corrente,
esiste un secondo tipo di meccanismo
atto a dare origine ad una corrente di
diversa natura, che, dal processo che
la genera, prende il nome di corrente
di diffusione. Si definisce corrente di
diffusione quella dovuta al flusso x
complessivo, per unità di superficie, di Fig. 17
elettroni e lacune libere che si muovono
a caso da una regione ad alta concentrazione ad una a bassa concentrazione. E’ lo stesso
processo che avviene in un recipiente pieno di gas con pressioni inizialmente differenti; in
esso le molecole si muovono in modo da stabilire una pressione uniforme in tutto il
recipiente. Occorre osservare che il moto di diffusione delle cariche libere tende a portare il
I . 31
dn
(24) Fn = − D n
dx
dp
(25) Fp = −D p
dx
µ n kT µ p kT
(26) Dn = Dp =
q q
dn
(27) J n = q Dn
dx
dp
(28) J p = −q D p
dx
(*)
L’effetto fotoelettrico si distingue in effetto fotoelettrico interno, che è quello appena
descritto ed effetto fotoelettrico esterno, che si ha allorché il fotone ha energia sufficiente
a liberare un elettrone dal materiale sul quale il fotone incide.
I . 33
della banda di valenza, dell’energia necessaria per portarlo nella banda di conduzione. Ciò
richiede che la frequenza della luce incidente sia ν > (EC - EV) / h . In seguito alla sparizione
del fotone incidente si viene così a creare una coppia elettrone-lacuna (cioè p ed n) in
2
eccesso rispetto al valore di equilibrio (pn = ni ) .
Se abbiamo un certo flusso di fotoni incidenti, si
E
può venire a creare un numero notevole di portatori in
eccesso. Le lacune in eccesso saranno eguali in
EC
numero agli elettroni in eccesso: ∆ n = ∆ p.
In un semiconduttore di tipo n per cui è ND >> ni ,
EF
è anche nn >> pn , dove il pedice si riferisce al tipo di hν
16 -3
semiconduttore. Per esempio, se si ha ND = 10 cm ,
EV
per un cristallo di silicio si avrà approssimativamente
nn = 1016 cm-3 e pn = 2 x 104 cm-3. Se in un certo
8 3
istante si hanno 10 coppie elettrone-lacuna per cm in x
eccesso dovute a generazione fotoelettrica, sia n che p Fig. 18
saranno aumentate di questo valore. Percentualmente, però, mentre si è avuto un drastico
4 8 -3
aumento delle cariche minoritarie (da 10 circa a 10 cm ), il numero delle cariche
maggioritarie è rimasto pressoché invariato: 1016 + 108 ≅ 1016 cm-3.
Questa situazione, in cui la variazione percentuale di concentrazione è notevole solo
per le cariche minoritarie, si definisce iniezione a basso livello; lo studio di essa è molto
semplificato rispetto al caso generale.
Per studiare la dinamica della concentrazione delle cariche minoritarie, vediamo di
scrivere, per un semiconduttore di tipo n, un bilancio tra la creazione e la scomparsa di
coppie elettrone-lacuna, e la variazione nel tempo della concentrazione dei portatori
minoritari pn = pn(t), inizialmente nel caso in cui essa non dipenda dalla posizione; una tale
situazione si può realizzare illuminando il semiconduttore in modo tale che l’assorbimento
dei fotoni incidenti sia uniforme entro tutto il volume del semiconduttore. Si può quindi
scrivere:
dpn
= GL + Gth − R
dt
dove GL indica la velocità di generazione [ cm-3 s-1] dovuta al flusso luminoso incidente, Gth
la velocità di generazione termica ed R la velocità di ricombinazione delle coppie elettrone-
lacuna.
Possiamo definire una velocità di ricombinazione effettiva U:
I . 34
U = R – Gth
dpn
(29) = GL − U
dt
dpn p − pno
(30) = GL − n
dt τp
Se GL non varia nel tempo, si raggiungerà un regime stazionario (che non è una situazione
di equilibrio) per cui dpn / dt = 0 ; la (30) dà allora per la concentrazione finale pL il valore:
(31) pL = pno + GL τp
Se, una volta raggiunto questo regime, si elimina bruscamente l’illuminazione, cioè si rende
GL = 0 , la concentrazione varierà nel tempo in modo da soddisfare l’equazione differenziale
dpn p − pno
(32) =− n
dt τp
Fig. 19
Esercizio: Una barretta di silicio di tipo n è illuminata uniformemente. La vita media delle
lacune è 1 µsec e la resistività all’oscuro è 10 Ω cm. L’illuminazione provoca la creazione di
22 3
10 coppie elettrone-lacuna per cm e per secondo. Determinare la resistività sotto
illuminazione. (ρL = 0,33 Ω cm)
Fig. 20
∂ pn
S ∆x
∂t
(
= S F p1 − F p 2 )
dato che la differenza fra le lacune entranti e quelle uscenti si ritrova in una variazione delle
lacune contenute nel volumetto. Al limite per ∆x → 0, si ha:
I . 36
∂ pn ∂ Fp
S = −S
∂t ∂x
∂ pn ∂ Fp
(34) =−
∂t ∂x
∂ p n (t ) ∂ Fp p n − p no
(35) =− + GL −
∂t ∂x τp
J = q (Fp – Fn)
I due flussi sono determinati dalla diffusione e dal campo elettrico E e, come visto
precedentemente, assumono la forma:
∂p n
(36) Fp = −Dp +µp E pn
∂x
∂n n
(37) Fn = − D n −µn E nn
∂x
∂p n ∂n n
(
F p − Fn = E µ p p n + µ n n n − D p ) + Dn =0
∂x ∂x
∂pn ∂n
Dp − Dn n
(38) E = ∂x ∂x
(
µ p pn + µ n n n )
∂ pn Dp −Dn
E≅
∂x µn nn
∂ pn µ p pn
Fp = −Dp + Dp −Dn ( )
∂ x µn nn
∂ pn
(39) Fp = − D p
∂x
Tale espressione ci dice che il flusso delle cariche minoritarie è determinato,
praticamente, soltanto dalla diffusione. Questo risultato (che non è valido per Fn, come si
vede facilmente) è di grande importanza per lo studio del funzionamento dei dispositivi a
semiconduttore e risulta verificato anche nel caso di passaggio di corrente, cioè quando il
semiconduttore fa parte di un circuito elettrico attivo.
I . 38
Sostituendo la (39) nella (35), il bilancio completo risulta espresso dalla seguente
equazione differenziale in pn(x,t) :
∂ pn ∂ 2 pn p n − p no
(40) = Dp +GL −
∂t 2 τp
∂x
∂ 2 pn p n − p no
(41) Dp +GL − =0
∂ x2 τp
luce
Come è noto, la soluzione completa è
una combinazione lineare di una soluzione
particolare della (41) e della soluzione
dell’equazione omogenea associata:
∂ 2 pn pn
Dp − =0
∂x 2 τp 0 x
che vale:
x x pn
−
Lp Lp
pn = A e +B e
pno
Nella soluzione completa, le costanti A e
B dovranno determinarsi in base alle
x
condizioni al contorno del problema; la
Fig. 21
I . 39
∂p n
(42) − Fp = Dp = S p [ p n ( 0 ) − p no ] per x = 0
x =0 ∂x x =0
(43) p n ( ∞ ) = p L = p no + G L τ p per x = ∞.
x
Sp −
L
(44) p n (x ) = pL − (pL − pno ) e p
Dp
Sp +
Lp
Esercizio: Dimostrare che la (44) è la soluzione della (41) con le condizioni al contorno
(42) e (43).
(*)
La presenza del termine Fp implica come si è detto la presenza di un flusso Fn di valore
eguale, per la condizione J = 0 .
I . 40
∂ 2 pn p n − p no
(45) Dp − =0
2 τp
∂x
Le condizioni al contorno per questo caso sono:
luce
pn(0) = pLO per x = 0
x
pno
−
Lp
(46) p n = pno − (p no − pLo ) e
Lp x
ed è rappresentata in fig. 22. Si noti che il
parametro L p = D p τ p corrisponde al Fig. 22
parametro τ p della (32): la legge con cui la concentrazione p tende al valore finale nei due
casi, rispettivamente in funzione del tempo e dello spazio, è dello stesso tipo.
Esercizio: Nel caso illustrato nella fig. 22, esprimere pLO in funzione del flusso luminoso
incidente, I (watt/cm2), per il caso di iniezione a basso livello. Si assuma che
I . 41
ogni fotone incidente produca una coppia elettrone-lacuna e che la luce sia
monocromatica di lunghezza d'onda λ.
Lp I λ
( pLo = pno + )
Dp h c
Abbiamo considerato finora variazioni in funzione del tempo e di una sola variabile
spaziale. L'estensione di quanto sopra al caso generale in cui le grandezze studiate
dipendono da tre coordinate spaziali è immediata: basta riscrivere in forma vettoriale le
principali relazioni. Per esempio, il flusso dovuto alla diffusione sarà per le lacune:
F p = − D p ∇p
∂p
= −∇ • F p
∂t
∂p p − po
= D p ∇ 2 p + GL − .
∂t τp
(*)
Le considerazioni precedenti hanno mostrato che il parametro τ è determinante per
lo studio dei fenomeni di non-equilibrio. È opportuno cercare di vedere quali parametri
determinano a loro volta τ, ossia studiare il fenomeno della ricombinazione delle cariche
minoritarie. Per trattare questo processo ci riferiamo ad un semiconduttore di tipo p, in cui le
cariche minoritarie sono elettroni; ciò al solo scopo di evitare di dover considerare una carica
positiva fittizia, e ragionare sull’elettrone che è un’entità più facilmente visualizzabile.
Ci si chiede: se in qualche modo viene a crearsi un eccesso di elettroni rispetto alla
condizione di equilibrio, dopo quanto tempo essi si saranno ricombinati? Il meccanismo più
(*)
Nel testo si è fatto riferimento alle lacune, ma identiche considerazioni valgono per un
semiconduttore di tipo p, in cui il parametro essenziale è τn , tempo di vita media degli
elettroni (cariche minoritarie).
I . 42
(*)
σ rappresenta l’area formata dalla proiezione del contorno dell’ostacolo (centro di
ricombinazione) su un piano perpendicolare alla direzione del moto dell'elettrone
incidente.
I . 43
Questi ∆np elettroni si sono ricombinati nell’intervallo tempo ∆t = ∆x / vth ; quindi nell’unità di
tempo si avrà:
∆ np ∆ np
= ( )
v th = n p − n po σ v th N T
∆t ∆x
τn = (vth NT σ)-1
In realtà avremmo dovuto considerare solo quei centri di ricombinazione che non
erano già occupati da elettroni, cioè NT [1 - F(ET)]. Risulta però che i centri di ricombinazione
più efficaci sono quelli per i quali ET è prossimo al centro della banda proibita,
ET = (EC + EV)/2 ; in un semiconduttore di tipo p a temperatura ambiente (vedi fig. 23), F(ET)
è trascurabile. Inoltre, lo stesso risultato si sarebbe ottenuto considerando i centri come
puntiformi e gli elettroni dotati di sezione trasversa σn.
Concludendo, poiché identica trattazione si potrebbe fare per il caso delle lacune in
un semiconduttore di tipo n, i tempi di vita media delle cariche minoritarie nei due casi sono
date da:
7
La velocità vth è dell’ordine di 3 kT / m = 10 cm/sec a temperatura ambiente. Le
-15 2
sezioni d’urto (in inglese "cross sections”) σp e σn sono dell'ordine di 10 cm .
-6
Esercizio: Per un semiconduttore di tipo n in cui τp = 10 sec, si calcoli la concentrazione
-15 2
dei centri di ricombinazione. Si assuma σp = 5 x 10 cm .
Fy = q vp B
ovvero
I . 45
Fy = - q vn B
-
L
VA
vn vp
I +
W y
z B
x
a
Fig. 25
E’ facile osservare che, sia che si tratti di elettroni, sia che si tratti di lacune, i portatori
mobili vengono sempre deflessi verso il basso in quanto cambiano di segno sia la carica sia
la direzione della velocità.
Allorquando le cariche libere vengono deflesse verso il basso, la superficie superiore
della barretta si carica positivamente (nel caso di drogaggio ND) o negativamente (nel caso
di drogaggio NA) per effetto degli ioni fissi non più compensati da una eguale densità di
cariche mobili presenti. Si forma così un doppio strato di cariche, che dà origine ad un
campo elettrico ortogonale alla faccia superiore della barretta; a regime, la forza dovuta a
questo campo elettrico e la forza di Lorentz, entrambi agenti sulle cariche mobili, si devono
bilanciare.
A questo campo elettrico corrisponde una differenza di potenziale VH, detta tensione
di Hall, misurabile tra le due facce della barretta con il voltmetro VA . Con il riferimento
indicato nella fig. 25, il valore positivo o negativo da esso indicato fornisce l’informazione
desiderata, nel senso che se la barretta è di tipo “p”, VH sarà positiva, se è di tipo “n”, VH
sarà negativa.
Se tra le dimensioni della barretta è verificata la disuguaglianza W << a , il campo
elettrico di Hall, EH , potrà considerarsi uniforme e diretto lungo y, di modulo pari a:
I . 46
VH
EH =
W
VH q
=qvnB
W
e da questa si ha:
VH
vn =
W B
q n VH I
=
W B aW
IB
n=
q a VH
V ρL L
R= = =
I aW aW σ
σ
µn =
qn
I . 47
1 1
RH = − ovvero RH = −
qn qp
πVW VW
ρ= ln 2 ≅ 4,532
I I
I . 48
2sπV
ρ=
I
VW F
ρ = 4,532
I
avendo definito con F una funzione correttiva che ha l’andamento indicato in fig. 27 al
variare del rapporto W/s.
0,9
0,8
0,7
0,6
1 2 W/s
Fig. 27
I . 49
Tabella I.a
I . 50
Tabella I.b