PROCESOS DE FABRICACIN NO CONVENCIONALES

MECANIZADO DE ALTA VELOCIDAD

Jess Durn Moreno

NDICE
INTRODUCCIN ORIGEN Y EVOLUCIN EQUIPOS NECESARIOS PARA EL FRESADO DE ALTA VELOCIDAD HERRAMIENTAS PARA EL MAV PORTAHERRAMIENTAS PARA EL MAV REFRIGERACIN PARA EL MAV SOFTWARE CAD/CAM MOTORES LINEALES LA MQUINA- HERRAMIENTA VENTAJAS E INCONVENIENTES APLICACIONES WEBGRAFA

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

INTRODUCCIN
QU ES EL MECANIZADO DE ALTA VELOCIDAD?

Actualmente, el MAV tiene muchas definiciones.

No significa obligatoriamente mecanizar a altas revoluciones de husillo, ya que muchas de las aplicaciones se realizan con velocidades de husillo moderadas (3.000 - 6.000 rpm) y herramientas de gran dimetro (25 30 mm) Dependern del material a mecanizar.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

INTRODUCCIN
QU ES EL MECANIZADO DE ALTA VELOCIDAD? Definicin: El Mecanizado de Alta Velocidad consiste en la optimizacin del mecanizado con las posibilidades existentes limitado por la pieza/material a mecanizar y las herramientas-mquinas (CAD/CAMCNC) disponibles. Esto puede suponer mecanizar a velocidades de corte entre 5 y 10 veces superiores a las que se utilizan de manera convencional para cada material.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

Origen y evolucin
Iniciado el siglo XXI es prcticamente inimaginable la revolucin experimentada por la tecnologa de fabricacin en los ltimos 10 - 15 aos. La evolucin de los ordenadores, de las nuevas tecnologas de comunicacin, etc., estn revolucionando el mundo en general y en particular el mundo empresarial. En el campo que nos concierne, mecanizado-fresado, el cambio o la revolucin ya ha llegado y, aunque todava queda mucho camino por recorrer, el denominado Mecanizado a Alta Velocidad (MAV) es ya una realidad que muchas empresas y mucha gente todava desconocen.

Quin lo ide?
Carl Salomn entre los aos 1924 y 1931 En que consista en sus inicios? Dado un material a mecanizar, existe una velocidad crtica ( 5 a 10 veces la usada en mecanizado convencional), a la que la temperatura de formacin de viruta comienza a descender. La disminucin es pequea en fundiciones y aceros, pero muy importante en materiales no ferrosos abriendo la posibilidad de mecanizar materiales con mas de 50 HRC.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

ORIGEN Y EVOLUCIN
Factores que han hecho posible la evolucin hasta la mecanizacin en alta velocidad.
Desarrollo de los materiales de las herramientas Mejor conocimiento de los mecanismos de obtencin de viruta Desgaste de las herramientas

Desarrollo de la propia mquina-herramienta

Equipos de CAD-CAM Controles numricos El crecimiento de la demanda de eficiencia ( tiempo-coste) Desarrollo de materiales mas complejos de mecanizar Demanda de mayor calidad en productos ( competitividad) La reduccin del ciclo de vida del producto

Otros factores a tener en cuenta

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

EQUIPOS NECESARIOS PARA EL FRESADO DE ALTA VELOCIDAD

Diseo de la maquina-herramienta Alcanzar una alta rotacin del husillo Moverse rpidamente gracias a motores lineales. Procesar datos en CN e inmediatamente volcarlos en la memoria Absorber grandes fuerzas generadas en las operaciones de corte Ofrecer un carenado correcto para la seguridad del operario Fiabilidad Debe ser capaz de trabajar a altas velocidades y para ello, es necesario:

La estructura de la mquina-herramienta es:

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

EQUIPOS NECESARIOS PARA EL FRESADO DE ALTA VELOCIDAD

Componentes bsicos de las mquinas de alta velocidad. Base de la mquina Husillo principal de alta frecuencia Carros Guas antifriccin Accionamiento de avance (hasta 100m/min)

CNC
Evacuacin de viruta y sistema de refrigeracin. Dispositivos de seguridad

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

EQUIPOS NECESARIOS PARA EL FRESADO DE ALTA VELOCIDAD

Estructura: Columna fija tipo C Columna mvil tipo C Puente mvil Puente fijo Columna fija o mvil, con caa.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

EQUIPOS NECESARIOS PARA EL FRESADO DE ALTA VELOCIDAD

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

10

EQUIPOS NECESARIOS PARA EL FRESADO DE ALTA VELOCIDAD

Guas:

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

11

HERRAMIENTAS PARA EL MAV

La herramienta es un factor clave El desgaste y los altos costes de las herramientas suponen actualmente una limitacin en el mecanizado. CAUSAS QUE PROVOCAN EL DESGASTE: Desgaste por abrasin. Debido a una mayor dureza del material que la herramienta La pieza se suelda a la herramienta Desgaste por adhesin. Desgaste por difusin.

Por difusin entre las redes cristalinas de la pieza y la herramienta

Debido a imperfecciones de la herramienta

Fallas mecnicas.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

12

HERRAMIENTAS PARA EL MAV

ESTUDIOS DE LAS HERRAMIENTAS: Para realizar el estudio de las herramientas seleccionaremos los tres campos clave en una herramienta: material de la herramienta, geometra y recubrimiento. Material. Aceros Acero rpido Carburo cementado o metal duro Carburo cementado recubierto Cerments Cermicos

Nitruro de Boro Cbico

Diamante policristalino

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

13

HERRAMIENTAS PARA EL MAV

GEOMETRA Espiga cnica. Para mejorar la rigidez Alma de gran dimetro. Mayor estabilidad.

Cuello de la herramienta rebajado. Mayor alcance en cajeras profundas

Mango cilndrico largo. Mejor sujecin y equilibrio Angulo de desprendimiento negativo ( -15) . Mayor estabilidad y resistencia del filo

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

14

HERRAMIENTAS PARA EL MAV

RECUBRIMIENTOS Recubrimiento de TiAlN. Basados en nitruros de titanio aluminio, son recubrimientos extraduros Recubrimiento de diamante. Para mecanizar materiales muy abrasivos como el grafito. Recubrimiento WC/C. Espesor de capa del rden de la micra. Son la ltima operacin dentro de los acabados de precisin. Recubrimientos de TiAlN monocapa combinado con WC/C. Sobre todo para aquellos mecanismos de desgaste que se dan en la formacin y evacuacin de viruta.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

15

HERRAMIENTAS PARA EL MAV

Herramientas de mecanizado de alta velocidad

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

16

HERRAMIENTAS PARA MAV

Las propiedades ms importantes para seleccionar la herramienta de corte son: Tenacidad a la fractura Elevada estabilidad fsico-qumica a altas temperaturas Elevada dureza a altas temperaturas Resistencia al desgaste

Resumen de las aplicaciones y condiciones de corte de referencia para algunos tipos de herramientas de fresado:

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

17

PORTAHERRAMIENTAS PARA MAV

El mecanizado de alta velocidad requiere altas precisiones de concentricidad de la herramienta de corte con el fin de evitar errores y aumentar la seguridad del proceso en el mecanizado a altas revoluciones de corte. TIPOS DE AJUSTES Mecnico. Este tipo de ajuste es el conocido universalmente como ajuste de tuerca y pinza (porta-pinzas). En el caso de tuerca de gran apriete, la pinza es cilndrica, en cambio, en el caso tradicional, de una tuerca normal, la pinza es cnica

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

18

PORTAHERRAMIENTAS PARA MAV

HIDRULICO. No es una opcin muy recomendable, ya que al girar a altas revoluciones (a partir de 20000 rpm.), la limitada rigidez, hace aumentar el salto radial de la herramienta. Las ventajas que presenta este portaherramientas es que no necesita ningn mecanismo secundario.

TRMICO. El portaherramientas se somete a un proceso de calentamiento, con lo que aumenta el dimetro interior por dilatacin. Una vez dilatado se introduce la herramienta y tras el subsiguiente proceso de contraccin queda sujeta la

herramienta. Esta opcin es la mas recomendada

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

19

REFRIGERACIN EN EL MAV
En los procesos de corte, aproximadamente el 97% de la energa mecnica se transforma en energa trmica a travs del cizallamiento, corte y friccin entre la viruta y la cara de desprendimiento de la herramienta. FENMENOS NO DESEADOS EN EL PROCESO DE MECANIZADO. 1. La herramienta se fragiliza y se estimula el desarrollo del desgaste. 2. Respecto a la calidad final del componente mecanizado, la precisin geomtrica disminuye debido a la expansin de la herramienta y de la pieza con el calor. EN MAV SE DAN TRES FUNCIONES VITALES Lubricacin. Reduce las fuerzas de corte y el desgaste de la herramienta Refrigeracin. Mitiga el desequilibrio trmico entre pieza y herramienta

Retirada del material excedente. La evacuacin y transporte de las virutas es una de las funciones ms importantes de los fluidos lubricantes. Si stas permanecen cerca de la zona de corte calientan la pieza e influyen en la precisin final del componente mecanizado.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

20

REFRIGERACIN EN EL MAV

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

21

SOFTWARE CAD/CAM PARA MAV

Diferentes estrategias de corte que se emplean habitualmente en las operaciones de mecanizado a alta velocidad. OPERACIONES DE DESBASTE. Raster Toroides Perfilado

Entradas en Z

Arcos

Cambios de direccin

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

22

SOFTWARE CAD/CAM PARA MAV

OPERACIONES DE ACABADO
ZIG-ZAG o Raster Planos en Z Espiral

Radial

Offset

Mecanizado por zonas

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

23

SOFTWARE CAD/CAM PARA MAV

SIMULACIN DE MECANIZADO

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

24

MOTORES LINEALES PARA MAV

Dependiendo de las aplicaciones, se exigen mquinas cuyas velocidades de avance superen los 100 m / min, y ms importante quizs que el valor del avance es el valor de la aceleracin, sobre todo cuando se mecanizan formas complejas, considerndose necesarios valores de al menos 1g o incluso mayores. Hoy por hoy, la tecnologa de los accionamientos en mquina herramienta est dominada por los servomotores rotatorios usados en conjuncin con una serie de componentes mecnicos de transmisin como los husillos a bolas, los engranajes o las correas dentadas, siendo dichos componentes los que limitan en la actualidad los valores de velocidad y aceleracin alcanzables. Los motores lineales juntamente con potentes software CNCs, aparecen como una gran fuente potencial de prestaciones para mquinas herramienta de alta velocidad.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

25

MOTORES LINEALES PARA MAV

Hablando de un modo ms preciso, un motor lineal consiste en un elemento primario, donde se encuentran los devanados, y un elemento secundario que se extiende a lo largo de la distancia que se va a recorrer, aportando como ventaja la posibilidad de poder disponer de varios primarios sobre un mismo secundario. Al igual que en el caso de los motores rotatorios, pueden existir modelos sncronos y asncronos. Junto con las guas lineales, el sistema de medida lineal y el regulador electrnico forman el conjunto activo de accionamiento lineal.

C:\Users\Jess DM\Desktop\[58] Closed Loop Hybrid (2 Phase Brushless) Linear Motor Stage.mp4
INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX 26

MOTORES LINEALES PARA MAV

COMPARACIN DE PRESTACIONES ENTRE MOTOR LINEAL Y HUSILLO A BOLAS

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

27

LA MQUINA-HERRAMIENTA PARA MAV

CARACTERSTICAS CONSTRUCTIVAS DE LA MQUINA-HERRAMIENTA Materiales de construccin: Fundicin Estructuras soldadas Materiales polmeros

Estructura

Parmetros de diseo
Rigidez y elevada respuesta dinmica Guas Hidrodinmicas Lineal de bolas Lineal de rodillos Hidrostticas

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

28

LA MQUINA-HERRAMIENTA PARA MAV

CARACTERSTICAS CONSTRUCTIVAS DE LA MQUINA-HERRAMIENTA
Ejes De unin Directas Indirectas Husillo de bolas

Cabezal Rodamientos Las caractersticas mecnicas de un cabezal estn determinadas por los rodamientos

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

29

LA MQUINA-HERRAMIENTA PARA MAV

CARACTERSTICAS CONSTRUCTIVAS DE LA MQUINA-HERRAMIENTA Cabezal Tipos de cabezales Cabezal con transmisin para correas

Cabezal con acoplamiento directo

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

30

LA MQUINA-HERRAMIENTA PARA MAV

CARACTERSTICAS CONSTRUCTIVAS DE LA MQUINA-HERRAMIENTA Cabezal integrado

Elementos auxiliares en el mecanizado Cambio automtico de la herramienta Cambio automtico de palets Evacuadores de viruta

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

31

LA MQUINA-HERRAMIENTA PARA MAV

CARACTERSTICAS CONSTRUCTIVAS DE LA MQUINA-HERRAMIENTA Nuevas tendencias Hexpodos. Los hexpodos son construcciones de mquinas-herramienta que basan los movimientos del cabezal en 6 barras accionadas por servomotores.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

32

VENTAJAS DEL MAV

Disminucin de las fuerzas de corte en los materiales dctiles, posibilidad de mecanizar Mayor precisin de los contornos , mejor calidad superficial y tolerancias dimensionales Reduccin del tiempo de pulido. Mecanizado de una sola pasada para el desbaste y acabado. Mecanizado de paredes finas. paredes delgadas (0,2 mm). ms precisas.

Reduccin del tiempo de mecanizado y coste global.

Disminucin del coeficiente de rozamiento viruta-herramienta. Evacuacin casi total del calor por medio de la viruta. Aumento en la vida de la herramienta. Posibilidad de mecanizado de aceros duros (50 HRC)

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

33

INCONVENIENTES DEL MAV

Volumen de trabajo muy irregular con relacin al volumen prismtico deseable. Gran tamao global de la mquina, en comparacin con el volumen de trabajo. Complejidad de control. Constante interpolacin de 5 ejes y complejas rutinas de control no lineal. Dificultad de puesta a punto. Dificultad de compensacin de errores.

Elevado coste.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

34

APLICACIONES

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

35

COMPARATIVA

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

36

WEBGRAFA
http://biblioteca.sena.edu.co/exlibris/aleph/u21_1/alephe/www_f_spa/icon/45896/Infor mador66/htmls/fresado.html http://campus.fi.uba.ar/file.php/295/Material_Complementario/Mecanizado_de_Alta_Ve locidad.pdf http://www.inti.gov.ar/mecanica/pdf/mav.pdf http://www.tecsafer.com/pdf/Introduccion%20al%20Mecanizado%20de%20Alta%20Velo cidad.pdf http://www.fundaciocim.org/es/investigacion-i-desarollo/Fabricacion-yproduccion/Mecanizado-multieje-de-alta-velocidad http://www.fundaciocim.org/sites/default/files/Proyecto%20MODRAP.pdf http://herramientasdecorte.wordpress.com/tag/industria/page/2/ http://www.interempresas.net/MetalMecanica/Articulos/52291-Nuevas-calidades-ymayores-prestaciones-en-el-taladrado-y-fresado.html http://www.fundaciocim.org/sites/default/files/Proyecto%20PROTOTIPOS%20CER%C3%8 1MICOS.pdf

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

37

PROCESOS DE FABRICACIN NO CANVENCIONALES

MICROMECANIZADO

Jess Durn Moreno

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX 38

NDICE
INTRODUCCIN HISTORA TECNICAS DE MICROMECANIZADO TECNOLOGA DE DEPOSICIN DE CAPAS FINAS TRATAMIENTO-PROCESADO LOCAL DE SUPERFICIES MICROMECANIZADO SUPERFICIAL MICROMECANIZADO EN VOLMEN TCNICAS MICROMTRICAS DE PRODUCCIN EN TRES DIMENSIONES

TCNICAS LIGA
DEPOSICIN FSICA DE VAPOR BOMBARDEO POR HAZ DE ELECTRONES BOMBARDEO CON PARTICULAS ATMICAS DEPOSICIN QUMICA DE VAPOR (CVD)

WEBGRAFA

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

39

INTRODUCCIN
La nanotecnologa se ha convertido en un tema de gran repercusin meditica que, en cierta medida, refleja la fascinacin que provoca la capacidad de controlar la forma y composicin de la materia a escala atmica y molecular, usando tcnicas y aproximaciones muy diversas.

La habilidad para fabricar estructuras en la micro y nanoescala es de crucial importancia, no solo en los chips para anlisis biomolecular, sino en general en el avance de las micro y nanotecnologas y el estudio de las nonociencias.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

40

INTRODUCCIN
La micro-fabricacin puede llevarse a efecto utilizando tcnicas de conformacin tradicionales adaptadas (micro-inyeccin), mediante arranque de viruta en mquinas herramienta (utilizando herramientas de geometra adecuada) o recurriendo a otro tipo de tcnicas de conformacin avanzadas (lser, ultrasonidos, conformado foto-qumico, difusin trmica, descarga elctrica, entre otros.) Se trata de procesos de fabricacin de alta precisin, con aplicaciones en sectores punteros como los siguientes:

Industria mdica
Industria electrnica Industria aeroespacial. Industria de automocin Relojera: Micro-mquinas Modelismo y maquetacin

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

41

HISTORIA
Copa de Licurgo ( siglo IV )

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

42

HISTORIA
Coloracin por cementacin en piezas cermicas ( lustre ): En esta tcnica, con la progresin del tratamiento trmico reductor se produca el crecimiento de un tamao aproximado de 10 nm de cristales de AgO y Cu2O, dentro de una capa de grosor comprendido entre 200 y 500 nm del vidriado, que son los responsables de las especiales caractersticas pticas del lustre. Se puede considerar, por tanto, como la primera capa metlica nanoestructurada y reproducible realizada por el ser humano Coloracin por cimentacin en las vidrieras medievales

Estas coloraciones son un ejemplo de la aplicacin de la coloracin por cementacin en vidrio. Se produce un intercambio inico, nucleacin y un posterior crecimiento/agregacin de nanopartculas metlicas dispersas en la matriz de vidrio. El desarrollo de esta metodologa permiti a los maestros de la poca disponer por primera vez de una herramienta para obtener diversas tonalidades de color en el mismo espesor.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

43

HISTORIA
CURIOSIDADES Mediante estas tcnicas se ha logrado construir la guitarra mas pequea del mundo, de aproximadamente el tamao de un glbulo rojo.

En 2001 James Gimzewski construye la calculadora ms pequea del mundo (rcords Guinness)

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

44

TCNICAS DE MICROMECANIZADO
Los microsistemas pueden ser construidos de partes producidas usando diferentes tecnologas sobre diferentes substratos y unidos o conectados juntos, es decir, un sistema hbrido. Tecnologa de deposicin de capas finas Tratamiento / Procesado local de superficies Micromecanizado superficial (surface micromachining) Micromecanizado en volumen (bulk micromachining)

Tcnicas micromtricas de produccin en tres dimensiones

Tcnicas LIGA

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

45

TCNICAS DE MICROMECANIZADO
TECNOLOGA DE DEPOSICIN DE CAPAS FINAS Consiste en construir microsistemas mediante sucesivas etapas de deposicin y grabado en finas capas superficiales. Mtodo spin casting Deposito de capas de material en fase gaseosa

Crecimiento epitexial
Metalizacin (plating) Serigrafa Pulverizacin de plasma

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

46

TCNICAS DE MICROMECANIZADO
TRATAMIENTO / PROCESADO LOCAL DE SUPERFICIES Son una serie de tcnicas que consisten en modificar las propiedades de la superficie, no como las tcnicas sealadas anteriormente que se basan en depositar capas sobre un substrato que quedaba inalterado. Se puede mencionar el dopado muy frecuentemente utilizado en electrnica.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

47

TCNICAS DE MICROMECANIZADO
MICROMECANIZADO SUPERFICIAL Esta es una tcnica de fabricacin aditiva para construir microestructuras sobre la superficie de una oblea o substrato, mediante sucesivos procesos de deposicin de capas finas, transmisin de patrones sobre dichas capas (litografa) y ataque selectivo. Son mtodos habituales el ataque seco para marcar los patrones deseados sobre el plano XY de las capas depositadas y el ataque hmedo isotrpico para liberar las capas.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

48

TCNICAS DE MICROMECANIZADO
MICROMECANIZADO EN VOLUMEN Es una tcnica de fabricacin substractiva para construir microestructuras por eliminacin de material sobrante de un substrato base, mediante el mecanizado de canales y carriles. Un mtodo muy comn es el de fototransmisin del patrn seguido de un ataque qumico del substrato.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

49

TCNICAS DE MICROMECANIZADO
TCNICAS MICROMTRICAS DE PRODUCCIN EN TRES DIMENSIONES Para la construccin de microestructuras tridimensionales de mayor complejidad que las anteriormente dichas. El material se elimina de forma directa Microtaladros, tornos de diamante, etc. O mediante ablacin lser o el EDM (Electrical Discharge Machining)

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

50

TCNICAS DE MICROMECANIZADO
TCNICAS LIGA (Lithographie Galvanoformung Abfomung) Se trata de una tcnica de obtencin de microestructuras a partir de moldes creados mediante litografa de rayos X seguida de metalizado o simplemente obtencin de las propias microestructuras realizadas por litografa de rayos X con metalizado.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

51

DEPOSICIN FSICA DE VAPOR

Se convierte un material en su fase de vapor en una cmara de vaco mediante un procedimiento fsico, y se condensa sobre una superficie de sustrato como una pelcula muy delgada, de las dimensiones de micras.

Materiales de aplicacin: metales, aleaciones, cermica, compuestos inorgnicos, e incluso

ciertos polmeros.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

52

BOMBARDEO POR HAZ DE ELECTRONES

Se dirige una corriente de electrones a alta velocidad para bombardear la superficie del material fuente con el fin de provocar la vaporizacin del material

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

53

BOMBARDEO CON PARTICULAS ATMICAS

Si la superficie de un slido se bombardea mediante partculas atmicas de energa suficientemente alta, los tomos individuales de la superficie pueden adquirir suficiente energa debido al choque, de modo que se proyecten de la superficie.

Con Gas ionizado ( ej: Argn ).

Provoca que los tomos de la superficie escapen y se depositen en un sustrato, formando una pelcula delgada sobre l.

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

54

DEPOSICIN QUMICA DE VAPOR (CVD)

La tcnica de CVD consiste en la reaccin de una mezcla de gases en el interior de una cmara de vaco (reactor) para dar lugar a la formacin de un material en forma de capa delgada. Los subproductos de la reaccin son evacuados hacia el exterior mediante un sistema de alta velocidad de bombeo (bomba 'roots' apoyada con rotatoria).

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

55

WEBGRAFA
https://www.google.es/url?sa=t&rct=j&q=&esrc=s&source=web&cd=3&ved=0CD8QFjAC &url=http%3A%2F%2Fdialnet.unirioja.es%2Fdescarga%2Farticulo%2F3959372.pdf&ei=xZ gMU7ipKqvM0AWYjYGIBQ&usg=AFQjCNGTd4ax13l5s3DGfmziJcLE6nk4g&sig2=c4U9E4jpQZ9WYQhhfKiUtg&cad=rja http://www.micromanufacturing.net/didactico/Desarollo/microtechnologies_es/1-7clasificacion/1-7-1-mems-processes http://www.icmm.csic.es/fis/espa/cvd.html http://www.interempresas.net/MetalMecanica/Articulos/43234-Nuevas-tendencias-parael-mecanizado.html http://www.tekniker.es/docs/all/PDF/Especializacion/VisionEspecialista_Completo_ES.pd f

INGENIERA DE LOS PROCESOS DE FABRICACIN. UEX

56