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KELVIN PROBE: PRINCIPIO DI FUNZIONAMENTO Il metodo pi vantaggioso per misurare la funzione lavoro la tecnica di Kelvin che non danneggia il materiale sottoposto a misura e "pu essere impiegata per un intervallo pi esteso di materiali, temperature e pressione di qualsiasi altro metodo" [1]. La misura della funzione lavoro molto utile per la caratterizzazione delle superfici e per sensori chimici [2,3,4] poich solo la superficie (pochi strati atomici) contribuisce alla funzione lavoro di un materiale. Nei Kelvin Probe una tensione (quasi) costante VX applicata ai capi di un condensatore le cui armature sono costituite, rispettivamente, da un materiale di riferimento, A, e da un materiale campione, B, la cui funzione lavoro incognita. La carica Q immagazzinata nel condensatore dove AB la differenza di potenziale di contatto (che corrisponde alla differenza di funzione lavoro qAB) e C la capacit. Se la capacit varia nel tempo, C(t), la corrente di Kelvin (i.e. la corrente nel condensatore) pu essere espressa come

La tensione VX pu quindi essere cambiata (lentamente) finch la corrente viene azzerata, cio finch VX = AB ; in questo modo possibile misurare la differenza di funzione lavoro. In pratica, una capacit variabile nel tempo pu essere ottenuta in modi diversi: per un condensatore a facce piane (C=A/d), la costante dielettrica, , l'area delle armature, A, o la distanza tra i due piatti, d, pu essere variata; sebbene tutti questi metodi siano stati esplorati, il metodo pi utilizzato (introdotto da William Zisman) consiste nell'usare una distanza variabile nel tempo (condensatore vibrante). 2. SENSORI INTELLIGENTI (SMART SENSORS) I sensori costituiscono un ponte tra i sistemi elettronici e il mondo reale e sono quindi necessari per fabbricare "sistemi intelligenti", cio sistemi automatici in grado di acquisire informazioni sull'ambiente (sensori), elaborare le informazioni, e, eventualmente, operare di conseguenza. Nonostante ci, la diffusione commerciale dei sensori spesso limitata dalla loro complessit: per poter impiegare un sensore occorrono uno o pi trasduttori, circuiti analogici per acquisire e preelaborare i segnali, un convertitore analogico-digitale, circuiti digitali per implementare un opportuno protocollo di comunicazione, I sensori intelligenti risolvono queste difficolt integrando i trasduttori e i circuiti elettronici all'interno di un singolo chip o di un singolo package (in alcuni casi un numero minimo di componenti esterni accettabile) che pu essere collegato direttamente ad un sistema digitale remoto (microcontrollore o PC). I sensori intelligenti hanno generalmente costi minori e migliori prestazioni rispetto ai sensori tradizionali (grazie agli innumerevoli vantaggi dei circuiti integrati) e permettono di fabbricare sistemi sensoriali artificiali a basso costo, portatili, alimentati a batteria, vantaggi fondamentali per applicazioni di grande interesse commerciale. A solo titolo di esempio, la capacit di realizzare sensori intelligenti stata determinante per il successo di sensori di temperatura, accelerometri, sensori magnetici e sensori di flusso. Diversi sistemi commerciali per la misura della funzione lavoro impiegano la tecnica di Kelvin. Nonostante ci, non mai stato realizzato un "Kelvin Probe intelligente" a causa della complessit e delle difficolt di integrare un sistema di questo tipo. Due condensatori vibranti integrati sono stati descritti in letteratura [2,4], ma in entrambi i casi stata impiegata un'interfaccia esterna (costosa, voluminosa, pesante,). Oltre al sensore di idrogeno proposto, Kelvin Probe intelligenti potrebbero essere utili sia per le tradizionali applicazioni della tecnica di Kelvin, sia per applicazioni innovative. Ad esempio, potendo integrare un condensatore vibrante, sarebbe relativamente semplice integrare una matrice di condensatori vibranti nello stesso microsistema; i diversi

condensatori vibranti possono essere pilotati in modo da rendere le interferenze reciproche trascurabili (attivando un solo condensatore vibrante alla volta oppure utilizzando frequenze di vibrazione diverse). Usando condensatori vibranti ricoperti da differenti materiali chimicamente interattivi, si otterrebbe un naso elettronico di Kelvin (finora mai realizzato a causa della complessit di un tale sistema). Il sistema sarebbe estremamente compatto, relativamente a basso costo e abbastanza "intelligente" da poter essere interfacciato direttamente ad un sistema digitale complesso. Il nostro obiettivo generale sviluppare conoscenze, tecnologie e tecniche per fabbricare Kelvin Probe intelligenti ad elevate prestazioni, cos da rendere la tecnica di Kelvin ancora pi vantaggiosa per le applicazioni tradizionali e utile per una variet di nuove applicazioni; come primo, importante, esempio applicativo, ci proponiamo di fabbricare un sensore di idrogeno intelligente, accurato, portatile, a basso costo, alimentato a batteria. 3. KELVIN PROBE INTEGRATI: STATO DELL'ARTE I Kelvin Probe tradizionali impiegano condensatori vibranti "macroscopici" e interfacce elettroniche discrete; per molte ragioni sarebbe conveniente realizzare Kelvin Probe integrati. In primo luogo, pu essere dimostrato che la sensibilit di un condensatore vibrante, definita come la derivata del valore massimo della corrente di Kelvin rispetto alla tensione applicata, inversamente proporzionale alla distanza media tra le armature del condensatore, d0. Di conseguenza, minore la distanza media tra le armature del condensatore, d0, maggiore la sensibilit del condensatore vibrante (vedi figura 1, in cui d1 la massima variazione della distanza, d1 < d0). La microfabbricazione consente di aumentare la sensibilit dei condensatori vibranti riducendo la distanza media d0 a pochi m; questo risultato teorico in accordo con risultati sperimentali presentati in [4]; in [2] stata ottenuta una sensibilit molto elevata, circa 1pA/200V, per un condensatore vibrante integrato con distanza media d0 pari a 3m. In questa ricerca verr realizzato un condensatore vibrante con una maggiore sensibilit (frequenza di vibrazione pi alta e distanza minima tra le armature pi piccola); inoltre, sensori di temperatura, riscaldatori ed elettronica per il controllo della temperatura saranno integrati per regolare in modo veloce ed accurato la temperatura del microsistema, che una variabile estremamente importante per i sensori chimici.

Figura 1. Sensibilit teorica di un condensatore vibrante (definite come la derivata del valore massimo della corrente di Kelvin rispetto alla tensione applicata) in funzione di e d0.

Allo stesso modo l'integrazione dell'interfaccia elettronica sarebbe estremamente vantaggiosa, poich garantirebbe minor peso e ingombro, minori interferenze, minore dissipazione di potenza e costi pi bassi, aprendo la strada a nuove applicazioni della tecnica di Kelvin. In particolare, la riduzione delle interferenze, la maggiore sensibilit dei condensatori vibranti integrati e la nuova interfaccia elettronica dovrebbero permettere misure accurate delle differenze di funzione lavoro. Infine interfacce integrate per Kelvin Probe potrebbero ridurre i costi dei Kelvin Probe attualmente sul mercato, che impiegano interfacce molto pi complesse. Nonostante i numerosi vantaggi, finora non stata descritta nessuna interfaccia integrata per Kelvin Probe. Infatti le interfacce tradizionali per Kelvin Probe sono complesse e usano lock-in o rivelatori di picco; di conseguenza questi sistemi sarebbero molto complessi da integrare. Occorre anche osservare che gli amplificatori lock-in rivelano solo una data componente armonica, mentre, per ottenere sensibilit elevate, necessario che la corrente di Kelvin abbia molte componenti armoniche; d'altra parte i rivelatori di picco non sono molto accurati, soprattutto a frequenze elevate. In pratica, l'accuratezza dei sistemi tradizionali limitata e per ottenere un errore accettabile in genere necessaria una complessa elaborazione del segnale (mediante PC). Per ottenere una misura accurata mediante un'interfaccia elettronica integrata in un'area di silicio ragionevole necessario sviluppare tecniche alternative. Oltre agli errori dell'interfaccia, in un Kelvin Probe integrato possibile ridurre altre non idealit (in particolare capacit parassite e interferenze). In questo progetto, lo scopo non necessariamente l'integrazione del microsistema complessivo in un unico chip; almeno all'inizio, per semplicit, si proceder all'integrazione separata dell'interfaccia elettronica e del microsistema contenente il condensatore vibrante, il sensore di temperatura e il riscaldatore. Infatti, per i microsistemi, spesso preferibile realizzare un sistema in un unico package (system in package) piuttosto che in un unico chip (system on chip), se questa scelta rende il progetto pi semplice e il sistema finale pi flessibile e accurato. Per lo stesso motivo, non essenziale impiegare un processo CMOS; processi BiCMOS, processi di tipo BCD ed anche un numero limitato di componenti esterni a basso costo (per esempio transistor di potenza per pilotare il condensatore vibrante) potrebbero essere accettabili, se questo pu garantire migliori prestazioni e una maggiore funzionalit. Per queste ragioni, l'obiettivo fondamentale non l'integrazione in un unico chip o l'impiego di un particolare processo, ma la realizzazione di un sensore di idrogeno intelligente, accurato, portatile, alimentato a batteria.