Sensori Segnali Rumore - Prof. S. Cova - appello 26/09/2013 - P2 – pag.

PROBLEMA 2
Quadro dei dati
Sensori capacitivi piani:
εo = 8,85 pF/m costante dielettrica (aria)
A= 4 cm2 area degli elettrodi
l = 0,4 mm distanza tra gli elettrodi a riposo
A
quindi Co = ε o = 8,85 pF
ℓ
20 mV max tensione applicabile al condensatore
Preamplificatore differenziale
Alta resistenza di ingresso
∞
Larga banda > 10MHz
SV = 50nV Hz-1/2 densita’ efficace di rumore di tensione (unilatera)

Si = 0,1pA Hz-1/2 densita’ efficace di rumore di corrente (unilatera)

fc ≈ 10kHz corner-frequency delle componenti 1/f del rumore

Occorre misurare:

• traslazioni x statiche con valore costante per intervalli di tempo fino a 10s

• traslazioni x sinusoidali oscillanti a frequenza fo con ampiezza di oscillazione costante per

intervalli di tempo fino a 10s. La frequenza fo varia lentamente e casualmente nell’intervallo
tra 40 e 100Hz, ma è disponibile un segnale ausiliario sinusoidale con frequenza e fase
uguali all’oscillazione di x.

(A) Confronto tra sensore semplice e sensore differenziale

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Il principio di funzionamento è che il reciproco della capacità 1/C varia linearmente con x:
1 ℓ 1 ℓ+ x
a riposo con x=0 = εo con spostamento x = εo
C A C A

A1 Configurazione circuitale
Per misurare le variazioni di 1/C (ovvero dell’impedenza) si può utilizzare una configurazione a
ponte di Wheatstone

Nel caso di sensore semplice la capacità variabile C1 fa partizione con un condensatore costante
C2 = C0 .
Nel caso di sensore differenziale C1 e C2 sono le due capacità variabili (C1 tra gli elettrodi 1 e 3 e C2
tra gli elettrodi 2 e 3).
Il ramo di riferimento ha due impedenze fisse eguali Z3 e Z4 (p.es. resistenze R3 = R4 o condensatori
VA
C3=C4=C0) che forniscono la tensione di riferimento VR =
2

A2 Trasduzione con sensore semplice

La tensione sul nodo di destra del ponte a seguito dello spostamento x è

1 x
1+
Z1 C1 ℓ+x VA ℓ
VS = VA = VA = VA =
Z1 + Z 2 1 1 ℓ+x+ℓ 2 x
+ 1+
C1 C 2 2ℓ

x VA 1 + δ
posto δ = <1 si ha VS = si nota che la trasduzione non è lineare
ℓ 2 δ
1+
2

1
Limitando la dinamica di misura a δ ≤
100

la trasduzione è con buona approssimazione lineare

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δ V  δ δ2  V δ
(1 + δ ) 1 −  = A 1 + −  ≈ A 1 + 
VA
VS ≈
2  2 2  2 2  2  2

e si ottiene un segnale di uscita differenziuale dal ponte

VA V x
VU = VS − VR ≈ δ= A
4 4 ℓ

Usando VA = 40mV (cioè con tensione sul sensore massima consentita 20mV) la costante di
conversione da spostamento a tensione è

VU VA µV
GS = ≅ = 25
x 4ℓ µm

con dinamica di misura

ℓ
x≤ = 4µ m
100

A3 Trasduzione con sensore differenziale

1 ℓ+ x 1 ℓ−x
A seguito dello spostamento x si ha = e =
C1 ε o A C2 ε o A

La tensione sul nodo di destra del ponte a seguito dello spostamento x è

1
Z1 C1 ℓ+ x V  x V
VS = VA = VA = VA = A 1 +  = A (1 + δ )
Z1 + Z 2 1
+
1 ℓ+ x+ℓ−x 2  ℓ  2
C1 C2

Si nota che la trasduzione è lineare su tutta la dinamica δ < 1 senza approssimazione o limitazione.
Si ottiene un segnale di uscita differenziuale dal ponte

VA V x
VU = VS − VR = δ= A
2 2 ℓ

Usando VA = 40mV (cioè tensione sul sensore massima consentita 20mV) si ha costante di
conversione da spostamento a tensione

VU VA µV
GD = = = 50
x 2ℓ µm

con dinamica di misura

x < ℓ = 400µ m
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Si conclude che il sensore differenziale è vantaggioso in quanto offre

• dinamica di misura di x molto più ampia

• segnale di uscita maggiore a parità di x, quindi migliore spostamento minimo misurabile

(B) Misura di spostamenti statici

Il segnale di uscita dal ponte VU si confronta con il rumore all’ingresso del preamplificatore
differenziale. La frequenza fa della tensione sinusoidale di alimentazione del ponte VA va scelta in
modo da portare il segnale in una zona spettrale dove il rumore è meno forte. Il circuito equivalente
per valutare il rumore all’ingresso è

Utilizzando basse impedenze Z1 e Z2 (tipicamente due piccole resistenze eguali) il contributo del
generatore di corrente Si all’ingresso ad esse collegato risulta trascurabile rispetto agli altri e lo
spettro di rumore di tensione all’ingresso del preamplificatore è

2 1 1
S n = SV + Si Z S = SV + Si ≈ SV + Si
( 2π f ) ( C1 + C2 ) ( 2π f ) ( 2Co )
2 2 2 2

Consideriamo per ora solo le componenti bianche di Si e SV . Il contributo di Si è prevalente a bassa

frequenza, ma decresce al crescere della frequenza e si riduce eguale a quello di SV a

1 Si
f nc = ≈ 18kHz
4π Co SV

Scegliendo fa > 5fnc il segnale viene portato a una frequenza fa alla quale il contributo di Si risulta
trascurabile rispetto a SV. Scegliamo

f a = 100kHz

Considerando anche le componenti di rumore 1/f questa scelta di fa si conferma appropriata,

perchè le componenti 1/f hanno frequenza d’angolo molto più bassa fc ≈ 10kHz << fa e pertanto
alla frequenza fa sono molto inferiori alle componenti bianche.
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Dunque dal ponte abbiamo un segnale sinusoidale a frequenza f a = 100kHz a banda stretta

∆fU ≈ 0,1Hz (circa reciproco dell’intervallo di tempo a cui si possono osservare variazioni
dell’ampiezza) e il rumore nella banda del segnale è

Sn ( f a ) ≈ SV

Effettuiamo il filtraggio a banda stretta utilizzando un lock-in-amplifier (LIA). Come riferimento

usiamo la tensione di alimentazione del ponte di Wheatstone e regoliamo il filtro passabasso interno
del LIA in modo che l’uscita segua bene le variazioni dello spostamento nel tempo, cioè in modo
che la sua frequenza di taglio passabasso fL stabilisca una banda passante di filtraggio ∆ fL = 2 fL un
pò più larga di quella del segnale

∆f L ≈ 2 f L ≈ 10∆fU ≈ 1Hz

All’uscita del LIA contribuiscono solo le componenti di ingresso che hanno frequenza e fase eguale
al riferimento. In termini dei valori all’uscita del ponte si ottiene

S VU
 =
N 2 S n ,u ( f a ) f L

il minimo segnale misurabile è

VU min = 2 Sn ,u ( f a ) f L ≈ 2SV f L ≈ 70nV

il corrispondente spostamento minimo misurabile risulta

VU min
xmin = = 1, 4 nm
GD

(C) Misura di spostamenti oscillatorii

Rimangono valide le considerazioni fatte in B riguardo al rumore e la conseguente scelta della

frequenza di alimentazione del ponte fa.
Lo spostamento oscillante è descritto nel dominio di Fourier da un segnale con una riga spettrale a
fo . Quindi la modulazione dovuta alla alimentazione alternata del ponte a frequenza fa sposta in
frequenza il segnale, che risulta ora composto di due righe spettrali alle frequenze

fa ± fo
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Possiamo ancora impiegare il LIA che utilizza come riferimento l’alimentazione del ponte alla
frequenza fa. Il moltiplicatore del LIA sposta in frequenza queste righe, portandole rispettivamente
in giù a ± f o ed in su a 2 f a ± f o .

Anzitutto occorre cambiare la regolazione del filtro passabasso del LIA perchè con fL ≈ 0,5 Hz
l’oscillazione a frequenza fo arriverebbe molto attenuata all’uscita del LIA. Occorre avere almeno
f L > 10 f o e quindi adottiamo

f Lo = 10kHz

Il rumore in uscita dal LIA aumenta però di un fattore f Lo f L ≈ 100 , degradando il S/N e

aumentando di questo fattore il segnale minimo misurabile. Inoltre all’uscita del LIA dovremo
misurare l’ampiezza di un segnale sinusoidale e non più un segnale in continua come in B.

Per evitare questa degradazione del S/N, occorre filtrare ulteriormente l’uscita del LIA. Il segnale
da misurare è sinusoidale a banda stretta ∆fU ≈ 0,1Hz (circa reciproco dell’intervallo di tempo a cui
si possono osservare variazioni dell’ampiezza), pertanto è utile filtrare a banda stretta centrata sulla
frequenza del segnale fo. Questa frequenza però varia erraticamente nel tempo e quindi un filtro
risonante (filtro passabanda a parametri costanti) non risulta adatto. È opportuno invece utilizzare
un secondo Lock-in-amplifier, che chiamiamo LIA2. Diamo a LIA2 come ingresso l’uscita di LIA1
e come segnale di riferimento il segnale ausiliario che ha frequenza e fase eguali a quelli dello
spostamento oscillatorio da misurare.
Osserviamo passo passo gli spostamenti in frequenza prodotti dalla alimentazione del ponte a
frequenza fa e dalla demodulazione effettuata dal LIA1 con riferimento a frequenza fa. Si nota che:

a) la porzione di spettro di rumore bianco SV centrata sulla frequenza fa all’ingresso di LIA1, viene
portata all’uscita di LIA1 in bassa frequenza, centrata su f=0 e contenuta nella banda fLo definita
dal filtro passabasso di LIA1

b) per l’effetto di “spectrum folding”, questa densità spettrale all’uscita di LIA1 risulta raddoppiata
2SV .

c) il segnale viene riportato alla frequenza ± f o con la sua ampiezza corretta

Pertanto LIA2 riceve in ingresso

• il segnale oscillante a frequenza fo con ampiezza VU

• uno spettro di rumore bianco con densità 2SV limitato in banda fino a fLo
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Per misurare l’ampiezza del segnale oscillante possiamo utilizzare nel LIA2 il filtro passabasso con
taglio f L ≈ 0,5Hz come discusso in B e otteniamo

S VU
 =
N 4 SV f L

La minima ampiezza misurabile è quindi

VU min = 4SV f L ≈ 100 nV

e la corrispondente ampiezza minima misurabile di spostamento oscillante risulta

VU min
xmin = = 2 nm
GD