Surveillance Log: Metallic Impurities

Date X Y W-Lb1 Al-Ka P-Ka S-Ka Cl-Ka K-Ka Ca-Ka

mm mm cps E10 E10 E10 E10 E10 E10
30-Jul-13
JRRS-354-411
152.33 124.63 < 4413.6 183.68 < 159.87
151.11 122.34 < 4416.86 279.17 < 204.84
250 wafers 475.72 122.58 < 4333.54 355.35 < 136.67
(Total=250
wafers) JRRS-356-934
169.14 126.73 < 3973.18 526.1 < 165.17
168.78 123.8 < 3740.49 522.28 < 197.1
1402.95 120.97 < 3839.55 512.94 < 189.87

6-Aug-13
JRRS-359-859
1784.15 151.97 < 5057.69 126.01 < 55.8
195.72 151.15 < 5235.58 183.11 < 124.28
1681.32 150.27 < 5173.88 171.22 < 115.34

JRRS-359-829
1496.11 150.09 < 4922.76 140.43 < 64.56
202.52 148.67 < 5166.41 178.08 < 147.33
500 wafers 1372.3 143.7 < 5137.12 192.25 < 170.02
(Total=750
wafers) JRRS-358-110
189.57 139.88 < 4455.03 114.77 < 86.22
194.07 149.52 < 4774.3 191.23 < 103.59
1606.62 148.81 < 4807.55 196.81 < 136.93

JRRS-357-532
199.04 150.55 < 4706.58 559.42 < 47.31
216.85 159.62 < 4910.24 600.67 < 80.21
1734.13 144.12 < 4523.54 543.74 < 76.87

7-Aug-13
JRRS-359-934
209.51 151.27 711.59 4989.53 118.49 < 106.4
193.86 145.89 565.9 4849.7 165.94 < 81.21
250 wafers 1104.37 144.54 519.73 5056.2 163.17 < 121.1
(Total=1000
wafers) JRRS-358-076
1792.87 144.31 634.7 4249.15 499.19 < 60.52
 250 wafers
(Total=1000
wafers)

192.07 148.55 532.58 3986.65 578.92 < 60.09

1670.42 146.31 543.08 4404.92 499.84 < 69.23

20-Aug-13
JRRS-254-077
1364.46 129.15 < 3560.2 78.15 < <
173.07 133.86 < 4453.74 85 < 82.47
1386.04 138.86 < 4520.36 107.08 < 67.02

JRRS-254-816
500 wafers 211.48 142.25 < 3804.42 81.04 < <
(Total=1500 177.19 142.46 < 4344.45 103.54 < 32.28
wafers) 995.32 141.95 < 4557.98 127.73 < 73.27

JRRS-254-618
218.44 140.35 < 4068.29 415.2 < <
190.35 139.96 < 4234.06 452 < 17.72
1493.99 146.32 < 4399.43 472.59 < 23.77

27-Aug-13
JRRS-357-523
233.96 145.31 < 4188.87 119.13 < 3.77
189.21 143.87 < 4618.01 150.81 < 6.41
300 wafers 1661.71 140.97 < 4488.94 159.47 < 5.44
(Total=1800
wafers) JRRS-357-281
159.9 131.11 < 3669.08 305.96 < <
163.42 133.41 < 3902.26 332.64 < 31.06
371.04 130.09 < 3808.55 327.64 < 19.76

28-Aug-13
JRRS-254-667
175.14 142.2 < 3735.72 106.67 < 7.34
173.29 138.32 < 4377.86 98.74 < 80.49
314.88 139.53 < 4554.48 111.89 < 28.05

JRRS-254-669
500 wafers 239.11 133.88 < 3463.46 92.27 < 4.06
(Total=2300
wafers) 169.05 138.74 < 4455.09 114.64 < 82.94
670.68 134.34 < 4214.04 100.88 < 30.5

JRRS-254-674
176.31 125.38 < 3290.62 233.71 < 4.34
168.15 130.83 < 3898.44 282.46 < 133.63
 981.77 131.21 < 3725.3 281.43 < 14.14

29-Aug-13
JRRS-253-953
166.89 133.68 < 3952.7 106.58 < 76.52
175.87 132.91 213.51 4544.05 96.21 < 94.83
150 wafers 1540.69 134.06 < 4652.06 82.42 < 87.61
(Total=2450
wafers) JRRS-254-036
187.99 140.57 < 4108.23 191.1 < 63.47
182.85 146.12 < 4267.16 234.52 < 48.47
1496.34 147.88 < 4375.82 235.64 < 86.54

5-Sep-13
JRRS-360-300
175.06 136.13 < 3860.71 247.59 < <
182.52 135.53 < 3692.13 302.86 < <
1586.44 133.62 < 3721.99 292.67 < <

JRRS-360-040
100 wafers 284.65 139.09 < 3573.69 82.62 < <
(Total=2550
wafers) 159.65 134.12 < 3760.99 96.96 < <
456.96 141.15 < 3898.71 102.52 < <

JRRS-360-289
232.17 137.49 < 3834.84 91.23 < <
174.75 137.65 < 4568 97.94 < <
1578.42 133.94 < 4061.69 106.48 < <
Ti-Ka Cr-Ka Mn-Ka Fe-Ka Ni-Ka Cu-Ka Zn-Ka
E10 E10 E10 E10 E10 E10 E10
30-Jul-13

< < < 4.49 0.51 0.74 1.43

< < < 5.01 0.98 < 1.54
< < < 4.5 0.48 < 0.69

< < < 2.22 0.45 < 1

< < < 3.11 0.27 0.46 0.69
< < < 3.18 0.69 < 1.55

6-Aug-13

< < < 1.85 0.75 < 1.74

< < < 1.15 < < 1.05
< < < 1.39 < < 1.06

< < < 1.58 0.57 < 1.09

< < < 0.64 < < 0.7
< < < 0.97 0.45 < <

< < < 1.05 0.86 < 2.27

< < < 0.92 0.45 < 3.29
< < < 2.15 0.88 < 2.74

< < < 1.15 1.05 < 0.88

< 0.67 < 1.38 0.53 0.46 <
< < < 1.59 0.74 < 0.71

7-Aug-13

1.15 < < 2.83 0.82 0.49 2.04

< < < 1.69 0.67 < 1.21
< < < 1.67 0.93 < 2.6

< < < 3.78 1.39 < 1.09

< < < 1.92 1.1 < 1.14
< < 0.99 2.45 1.67 < 2.69

20-Aug-13

< < < 1.59 < < <

< < < 1.59 0.56 < 0.82
< < < 2.32 < < 2.16

< < 1.5 2.82 1.43 0.88 1.96

< < < 2.57 0.62 < 2.96
< < < 3.23 0.41 < 3.23

< < 0.79 2.21 1.22 1.13 1.14

< < < 2.36 1.16 0.85 1.99
< < < 2.24 1.85 < 2.51

27-Aug-13

< < < 1 0.42 0.73 2.64

< < < 1.43 0.55 0.38 1.52
< < < 2.18 0.74 < 1.94

< < < 1.01 0.53 0.64 0.71

< < < 1.59 0.41 < <
< < < 1.71 < < <

28-Aug-13

< < < 1.81 0.38 0.76 0.8

< < < 1.68 < 0.46 0.86
< < < 1.75 0.42 < 0.65

< < < 1.03 0.5 < 0.77

< < < 2.28 0.32 0.37 0.82
< < < 2.43 < < <

< < < 1.2 0.53 < <

< < < 2.37 0.48 < 0.65
< < < 1.41 < < 0.69

29-Aug-13

< < < 1.96 0.36 < 0.62

< < < 2.54 0.75 < 0.75
< < < 2.68 0.62 < 0.97

< < < 1.57 0.53 < 0.71

< < < 2.39 0.36 < 0.76
< < < 2.41 0.82 < 0.59

5-Sep-13

< < < 0.31 < < 1.9

< < < 0.55 < < 2.06
< < < 1.16 < < 2.95

< < < 1.28 0.43 < 4.47

< < < 0.67 0.42 0.92 4.01
< < < 1.1 0.55 < 4.94

< < < 0.88 0.47 0.65 4.31

< < < 0.58 < < 1.82
< < < 1.41 < < 5.24
 Specifications <1000 <5 <500
Remarks X Y W-Lb1 Al-Ka P-Ka S-Ka Cl-Ka K-Ka Ca-Ka
mm mm cps E10 E10 E10 E10 E10 E10
1792.87 144.31 634.7 4249.15 499.19 60.52
192.07 148.55 532.58 3986.65 578.92 60.09
1670.42 146.31 543.08 4404.92 499.84 69.23

Al P S Cl Ca Mn Fe Ni
x y cps E10A/cm2 E10A/cm2 E10A/cm2 E10A/cm2 E10A/cm2 E10A/cm2 E10A/cm2
0 0 144.31 634.7 4249.15 499.19 60.52 ND 3.78 1.39
26 26 148.55 532.58 3986.65 578.92 60.09 ND 1.92 1.1
-26 -26 146.31 543.08 4404.92 499.84 69.23 0.99 2.45 1.67
Average 146.392 570.118 4213.571 525.984 63.28 0.33 2.717 1.389
Sigma 2.121 56.173 211.394 45.847 5.154 0.571 0.956 0.284
R(%) 2.896 17.912 9.927 15.158 14.431 300 68.344 40.911
C.V.(%) 1.449 9.853 5.017 8.716 8.144 173.205 35.193 20.456
NDlevel 22.91 14.4 8.32 2.28 0.4 0.3 0.25
 <5 <5 <5 <5 <5 <5
Ti-Ka Cr-Ka Mn-Ka Fe-Ka Ni-Ka Cu-Ka Zn-Ka
E10 E10 E10 E10 E10 E10 E10
ND 3.78 1.39 1.09
ND 1.92 1.1 1.14
0.99 2.45 1.67 2.69

Zn *W-Lb
E10A/cm2 cps
1.09 1792.87
1.14 192.07
2.69 1670.42
1.642 1218.451
0.912 890.979
97.84 131.38
55.53 73.124
0.34