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  • Deal-Grove Model

    Caricato da

    Jesús Martínez
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    Curvas de modelos de oxidación para oxigeno húmedo y seco en wafers de silicio (100) y (111)

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    Deal-Grove_Data_Sheet

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    di 1

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    Table and Graphs from S. Campbell, Fabrication Engineering at the Micro- and Nanoscale, 3rd edition.

    - For (111) silicon

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