DISEÑO DE UN SPIN COATER PARA DEPÓSITO DE PELÍCULAS DELGADAS “ELECTRO 2018”

G. Esquivel-Ríos1, E. Amezcua-López1, L.F. Corral-Martínez1, I.A. Garduño-Wilches2

Instituto Tecnologico de Chihuahua
1
Divisiónde Estudios de Posgrado e Investigación.
Ave. Tecnológico #2909, Col. 10 de mayo, Chihuahua, Chih. México, CP 31310.
Tel: +52 (614) 2-01-2000, Fax: +52 (614) 4-13 5187
2 Cátedras CONACYT/Centro de Investigació en Ciencia Avanzada y Tecnología Aplicada del IPN
Calzada Legaria #694, Col. Irrigación, Ciudad de México, CP11500
Tel: +52 (55) 57296000 Ext: 67729 y 67777

1. RESUMEN. 3. INTRODUCCIÓN

El siguiente trabajo describe el diseño y construcción de un
equipo de Spin-Coater para depósito de películas delgadas
que utiliza la técnica de Spin-Coating. El objetivo fue el
diseño del Spin-Coater, el cual, mediante una interfaz
gráfica hecha en LabView es capaz de programar rampas
de aceleración o tiempos en el funcionamiento,
mostrándolos en la propia interfaz, así como guardar y
abrir procesos previamente guardados.
El equipo es controlado con una fuente de voltaje
KEYSIGHT System DC Power Supply 6655A, la cual es
manejada desde la interfaz en LabView. La construcción
del equipo está realizada con técnicas de impresión 3D
haciendo uso de los materiales y equipos que se encuentran
en los laboratorios del Instituto Tecnológico de Chihuahua
y en la División de Estudios de Postgrado e Investigación
de la institución -con el fin de que el instituto cuente con el
equipo y sea usado con fines de investigación y
educacionales-.
Palabras Clave: Spin-Coater, LabView, impresión 3D.
2. ABSTRACT.
The following work describes the design and construction
of a Spin-Coater equipment for depositing thin films using
the Spin-Coating technique. The objective was the design
of the Spin-Coater, which, through a graphical interface
made in LabView, is capable of programming acceleration
ramps or operating times, showing them in the interface
itself, as well as saving and opening previously saved
processes.
The equipment is controlled with a voltage source System
KEYSIGHT DC Power Supply 6655A, which is managed
from the interface in LabView. The construction of the
equipment is made with 3D printing techniques making use
of the materials and equipment found in the laboratories of
the Instituto Tecnológico de Chihuahua and in the División
de Estudios de Postgrado e Investigación in order for the
institute to count with equipment and sea used for research
and education purposes.
Keywords: Spin-Coater, LabView, 3D printing.
El proyecto surge de la necesidad en las ingenierías
química y de materiales para la síntesis de materiales en
forma de película delgada empleando la técnica de Spín-
Coating. La cual ya ha probado su valía en el depósito
de películas de alta calidad.
El proceso típico consiste en depositar una pequeña
porción de sustancia (ésta depende del proceso a
utilizar) en el centro del substrato a recubrir, para
después hacerlo girar a velocidades angulares diferentes,
que dependen de la etapa en la que se encuentre el
proceso. La descripción de las principales etapas del
proceso son (Figura 1):
● Depósito: Se coloca una porción de resina o
solución sobre el disco giratorio.
● Spin-up: Al aplicar aceleración y velocidad
angular al substrato, el líquido fluye
radialmente hacia afuera llevado por la fuerza
centrífuga y cubriendo la totalidad de la
superficie (es posible juntar las dos primeras
etapas).
● Spin-off: El líquido que llega al borde se
elimina en forma de gotas.
● Evaporación o secado: La evaporación ocurre
desde el comienzo mismo de todo el proceso.
El proceso de spin-coating es altamente dependiente de
la velocidad y aceleración angular del substrato, por lo
que se requiere de un buen control de estas variables, así
como de la variable tiempo.
Dado lo anterior, en este trabajo se tiene como objetivo
el diseñar y construir un sistema de spin-coating de bajo
costo, cuyo software permita:
● Controlar las variables de aceleración angular,
velocidad angular y el tiempo durante el cual se
mantiene la velocidad angular.
● Mantener velocidades angulares desde 120 rpm
hasta 5000 rpm
● Diseñar procesos que requieran desde una hasta
ocho etapas.
 ● Visualizar los datos que se envían al equipo.
● Uso de la fuente de voltaje KEYSIGHT System
DC Power Supply 6655A (existente en nuestro
laboratorio).
● Poder guardar procesos con configuraciones ya
probadas.
● Abrir y cargar en el equipo configuraciones de
procesos previamente guardados.
drenaje. Este último, permite la conexión de una
manguera que dirige los residuos hacia el exterior del
sistema. El soporte también cuenta con los cinco puertos
mencionados para la alimentación y calibración del
motor.

Figura 2.- a) Disco giratorio para ensamble a motor, b)

Carcaza de Spin-coater.

Una vez diseñadas las piezas en el software, se procedió

a su construcción, que se realizó mediante la técnica de
impresió en 3D, esto con el fin de reducir los costos del
Figura 1.- Etapas del proceso de Spin-coating prototipo. La impresión del sistema se llevóa cabo en
una impresora 3D Makerbot Replicator que se
encuentra en el Instituto Tecnológico de Chihahua. Las
4. DISEÑO Y CONSTRUCCIÓN DEL QUIPO SPIN- piezas finales se muestran en la figura 3, en donde se
COATER. puede percibir más claramente la manguera de salida de
los residuos drenados y al menos dos de los cinco
El diseño del equipo se llevó a cabo en el software Solid puertos mencionados.
Works, que nos permitió generar imágenes en 2D y 3D Para las impresiones finales se llevó un total de 392.29
del modelo. Dicho modelo consideró las dimensiones y gramos de filamento PLA (sin tomar en cuenta los
características del motor seleccionado: Globe Motors desperdicios), para el fijado de la base al motor se
P/N 403A692, de 24V de corriente directa. El motor usaron cuatro tornillos, para el desagüe se usaron 40cm
requiere de cinco puertos de comunicación, tres de ellos de manguera traslucida y dos entradas para cable banana
para la calibración y dos de ellos para la alimentación; para la alimentación de voltaje.
cuenta con una rueda dentada ajustada al eje, que fue
aprovechada para diseñar el portamuestras y tiene unas
dimensiones de XX de altura y XXX de diámetro.
Tomando en cuenta el diámetro de la rueda dentada
ajustada al eje (XX mm), el número de dientes que
presenta (X) y el tamaño de substrato a montar (2.5x2.5
cm), se realizó el diseño del portamuestras tal como se
muestra en la figura 2a. Este tiene un diámetro de la
base de (XXXcm), un diámetro del anillo de
acoplamiento con la rueda dentada de (XX cm), una
altura del plato de (XX cm) y una altura total de (XX
cm).
El diseño del soporte del motor y el sistema de drenado
de residuos culminó en una estructura como la que se
muestra en la figura 2b. Esta estructura tiene un
diámetro total de (XX cm ) y una altura de (XX cm),
cuenta en su interior con un diseño toroidal que permite
la captura de los residuos expelidos por el substrato
durante la etapa de spin-off, llevándolos al fondo y, Figura 3 Disco giratorio acoplado al Motor.
mediante una diferencia de alturas, dirigirlos hacia el
5. ETAPA DE CONTROL Y DISEÑO DE INTERFAZ
La etapa de control y diseño de interfaz se realizó en el
software LabView. Para ello se requirió de establecer la
comunicación de la computadora con la fuente de
alimentación, obtener la función de transferencia del
motor, y programar la interfaz con las características
mencionadas previamente.
Para establecer la conexión entre la computadora y la
fuente de voltaje se utilizó un controlador ya existente
en la base de datos de National Instruments, el cual
contempla el uso de un puerto GPIB.
La caracterización del motor se realizó con la ayuda del
encoder HEDS-5505 A04 que viene integrado en el
motor. El encoder fue conectado a un osciloscopio
KEYSIGHT InfiniiVision DSO-X 2004A y la
alimentación del motor a la fuente de voltaje
KEYSIGHT 6655A, ya mencionada. Ambos equipos
fueron controlados por computadora, también mediante
un programa de LabView, lo cual permitió obtener una
serie de datos de voltaje Vs rpm. Al realizar una
regresion lineal de los datos obtenidos, se obtuvo la
relación entre estas dos variables, la cual es lineal y tiene
la forma:
𝑟𝑝𝑚 = 257.06𝑉 − 56.11 (1)
Donde V es el voltaje aplicado a la alimentación del
motor.
La interfaz de usuario se muestra en la figura 4, en ella
se puede establecer el número de etapas del proceso,
teniendo un máximo de 8 etapas. A cada etapa le puede
ser programada la velocidad angular inicial y final de la
etapa y el tiempo inicial y final de la misma. Estos
parámetros permiten controlar la aceleración angular y
el tiempo de sostenimiento de la velocidad angular. La
interfaz fue programada para poder guardar los procesos
utilizados y permite cargar procesos previamente
utilizados. Así mismo, permite desplegar de manera
gráfica las distintas etapas en las que se encuentra el
equipo durante el proceso.
Figura 4 interfaz de usuario final
6. M ATERIAL USADO Y COSTOS.
La tabla 1 muestra el tipo y costo de material comprado
para el desarrollo de este proyecto:
Tabla 1 Costos Totales del material para el Spin-Coater.
Material usado Costo MXN
1 Motor de 24V $305.49
490 gr de filamento PLA $653.33
2 Bases para impresión 3D $120
4 Tornillos $8
40 cm de Manguera traslucida $20
Total $1106.82
.
De esta tabla se puede concluir que el costo del equipo
es bajo, lo cual era uno de los objetivos de este proyecto.
Al momento lo que eleva el costo es la necesidad de la
fuente de voltaje; sin embargo, es posible, y queda como
trabajo a futuro, el diseñar un circuito que permita
adaptar la corriente nominal del laboratorio a la
requerida por el motor y comunicarse con la
computadora con el fin de controlar el voltaje aplicado a
las terminales de alimentación.
7. CONCLUCIONES
Se logró cumplir con el objetivo principal que fue el
diseño y construcción de un equipo de Spin-coater
de bajo costo.
Se logró controlar la velocidad del motor de
corriente directa que es base en un equipo de Spin-
coating. Así como implementar en el software hasta
ocho etapas de proceso y el sostenimiento de
voltaje.
Se llegó a la creación de una interfaz gráfica en la
cual se pueden observar las variables a controlar:
velocidad inicial, velocidad final, tiempo de llegada
a velocidad final, duración de velocidad final,
guardado del proceso generado y dar la opción de
abrir procesos utilizados anteriormente.
Los costos fueron mínimos a comparación de los
equipos en el mercado.
La presencia del encoder y de las terminales de
calibración permiten monitorear de manera
periodica la función de transferencia del motor y
mantenerla actualizada en el programa.
El programa realizado quedó abierto para
adecuaciones o mejoramiento de su funcionalidad
en trabajos futuros, ya sea agregándole pasos para el
control de válvulas de inyección o cualquier
aditamento que el Spin-coater requiera en un futuro.
8. REFERENCIAS
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Madrid: CSIC - CSIC Press, 2003, pp. 319-334.
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[3] U. o. L. M. T. Center, «louisville,» 12 Noviembre
2013. [En
línea].Available:louisville.edu/micronano/files/documen
ts/standard-operating-procedures/SpinCoatingInfo.pdf.
[Último acceso: 14 Noviembre 2017].
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http://bibing.us.es/proyectos/abreproy/20018/fichero/pro
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Vigil Santos, A. Jimenez González y M. A. Blesa,
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Agua Segura Usando Nuevas Tecnologías / Plataforma
Solar de Almería, Misiones , 2005, pp. 140-142.
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acceso: 2017 Octubre 19].
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línea]. Available:https://www.keysight.com/en/pd-
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120v-4a?nid=-35689.384728&cc=US&lc=eng.
[12] solidworks, «solidworks,» 23 Ocutbre 2017. [En
línea]. Available: http://www.solidworks.es/.

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