Determinação da responsividade de fotodetectores de radiação

infravermelha
Laboratório de Novos Materiais Semicondutores (LNMS)
Instituto de Fı́sica da Universidade de São Paulo (IFUSP)
Relatório Final

Leonardo Bitencourt Vetritti

Orientador: Prof. Dr. Alain André Quivy

Modalidade: PIBIC/CNPq
Vigência da Bolsa: 01/08/2017 a 31/07/2018
Perı́odo do Relatório: 01/08/2017 a 31/07/2018

Resumo

Um fotodetector de radiação infravermelha é um dispositivo capaz de converter radiação eletromagnética com comprimento
de onda entre 0,76µm a 1mm em sinais elétricos. Este projeto busca dar continuidade no desenvolvimento de um arranjo
experimental e um programa que seja capaz de medir a responsividade de fotodetectores de radiação infravermelha de forma
que possibilite mensurar quantitativamente a sensibilidade desses dispositivos. Com o sistema de responsividade funcionando
será possı́vel fazer a análise do desempenho dos fotodetectores existentes no laboratório e fornecer um retorno aos crescedores
para que possa melhorar as caraterı́sticas deles.

1 Introdução

O Laboratório de Novos Materiais Semicondutores (LNMS) do Instituto Fı́sica da USP estuda propriedades
de diferentes materiais através de uso de técnicas experimentais. No Grupo de Epitaxia por Feixe Molecular
(MBE, Molecular Beam Epitaxy) vários tipos de nanoestruturas são criadas a partir de um processo que consiste
no crescimento de camadas cristalinas (MBE), processamento das amostras em sala limpa, e caracterização dos
dispositivos por várias tecnicas ópticas, elétricas e morfológicas.
Um fotodetector é um dispositivo normalmente fabricado com um material semicondutor capaz de captar ra-
diação eletromagnética e convertê-la em sinais elétricos. Esses dispositivos geralmente são construı́dos com o objetivo
de trabalhar em um intervalo de comprimentos de ondas bem definido sendo isto determinado pelo material e o
tipo de estrutura utilizada na construção. Os fotodetectores de radiação infravermelha são utilizados em diferentes
áreas na forma de câmeras de visão noturna, sensores térmicos, detectores para diagnóstico de tumores, etc. Para
se construir câmeras de qualidade com os detectores de radiação infravermelha é necessário desenvolver detectores
de alta eficiência, que é o foco de estudo deste projeto.
O objetivo deste projeto foi a continuidade do desenvolvimento de um arranjo experimental que seja capaz de
estimar a responsividade dos fotodetectores de radiação infravermelha. A responsividade é uma boa medida para
que se possa comparar a sensibilidade de diferentes detectores e é determinada através da razão entre a fotocorrente
I detectada no dispositivo e a potência luminosa incidente Pλ .

1
2 Procedimento Experimental 2

I qηG qηGλ
R= Pλ = hν = hc

onde q, η, G, λ, h, c são respectivamente a carga elementar do elétron, a eficiência quântica, o ganho fotocon-
dutivo do dispositivo, o comprimento de onda da radiação incidente, a constante de Planck e a velocidade da luz
no vácuo.

2 Procedimento Experimental

As medidas são feitas atualmente no laboratório através de um aparato experimental formado por um mono-
cromador, um detector de radiação, uma fonte de radiação, um chopper, uma roda de filtros, um lock-in e por um
computador que controla o experimento todo através de um programa desenvolvido na ferramenta LabWindows.
Esse programa permite a obtenção da curva de tensões/correntes em função dos comprimentos de ondas efetuando
mudanças dos filtros em certos comprimentos de onda com o objetivo de eliminar interferências das difrações de
ordens superiores.

Fig. 1: 1 - Monocromador; 2 - Fonte de Radiação Infravermelha (globar); 3 - Roda de Filtros; 4 - Detector de Silı́cio;
5 - Chopper; 6 - Lock-in; 7 - Computador

A radiação luminosa é emitida por uma fonte especı́fica que pode ser uma lâmpada comum ou uma fonte de
radiação infravermelha (“globar”), atravessa o chopper por onde é modulada, e então entra no monocromador.
O monocromador seleciona um comprimento de onda especı́fico da radiação luminosa através das suas redes de
difração e essa radiação com comprimento de onda bem definido sai do monocromador e passa por um dos filtros
da roda de filtros. Essa radiação é detectada através de um detector (pode ser um detector comercial de referência
que é usado para calibrar o sistema, ou aquele fabricado em nosso laboratório que desejamos analisar) que está
ligado a um lock-in e então o computador recebe as informações do lock-in e gera um gráfico com a intensidade da
tensão/corrente gerada pelo detector em função dos comprimentos de onda fornecidos pelo monocromador.
3 Desenvolvimento da função de cálculo da responsividade 3

Fig. 2: Processo de medição

Uma medida completa consiste em usar inicialmente o detector comercial de referência (que vem com uma curva
de calibração) para calibrar o nosso experimento e determinar a intensidade de cada comprimento de onda oriundo
da fonte de radiação (lâmpada ou globar). Em seguida, o detector comercial é substituido pela nossa amostra
(detector fabricado em nosso laboratório) e a fotocorrente dela é medida para cada comprimento de onda calibrado
na etapa anterior, produzindo uma curva com valores arbitrários de corrente (ou voltagem). Esta curva se tornará
uma verdadeira curva de responsividade (com valores absolutos calibrados em A/W ou V/W) após levar em conta
a intensidade real de cada comprimento de onda da fonte, assim como fatores de correção devidos por exemplo à
diferença de tamanho entre o sensor de referência e a amostra, ou à absorção da janela de ZnSe (ou de Ge) do
criostato em que se encontra a amostra (ela tem que ser resfriada para produzir um bom sinal).

3 Desenvolvimento da função de cálculo da responsividade

Como o objetivo da medida de responsividade é determinar a sensibilidade do detector a ser analisado (a razão
entre a corrente gerada nele e o número de fótons incidindo sobre ele), é necessário que este número de fótons
seja estimado corretamente. Isso é feito comparando a medida do detector com a medida feita por um sensor de
referência (calibrado) nas mesmas condições experimentais.
O primeiro passo foi desenvolver uma função que calculasse o número de fótons de cada comprimento de onda que
chegam nas amostras a serem medidas. Isso é feito com a ajuda do sensor de referência, fazendo uma medida com
ele instalado no arranjo experimental e dividindo essa medida (ponto a ponto) pelo espectro do sensor de referência
fornecido pelo fabricante. Esses espectros são geralmente impressos em papel e necessitam ser digitalizados. Isso foi
feito através do programa G3Data Graph Analyzer para as curvas de 2 sensores de referência que temos atualmente
no laboratório (um de Si e outro de HgCdTe(MCT)) e que operam em regiões distintas do espectro eletromagnético.
3 Desenvolvimento da função de cálculo da responsividade 4

Fig. 3: Espectro digitalizado do sensor de referência S-010-H de Si (acima) e do sensor de referência de HgCdTe
normalizado (abaixo)

A rotina foi desenvolvida através da introdução de um botão na interface gráfica do programa de controle
que, após uma medida de calibração com um detector de referência, permite a seleção do espectro digitalizado
do fabricante correspondente através de uma lista e então faz uma interpolação linear do espectro digitalizado
do fabricante para assegurar que cada ponto da medida realizada (com o sensor de referência) tenha um valor
correspondente no gráfico digitalizado do fabricante. Então, a rotina faz a razão ponto a ponto entre o espectro da
fonte de radiação medido com o sensor de referência e o espectro de referência do fabricante gerando no fim um
arquivo de calibração no formato clb, que contém a potência de cada comprimento de onda que chegou no sensor
de referência (i.e. o número de fótons de um certo comprimento de onda multiplicado pela sua energia).
3 Desenvolvimento da função de cálculo da responsividade 5

Fig. 4: Curva obtida com o sensor de referência de Si iluminado pela fonte de radiação (lâmpada halógena) no
setup de responsividade antes (em cima) e depois (em baixo) de ser dividida pelo espectro digitalizado do
fabricante.

Com a função de calibração desenvolvida, foi feito uma função para calcular a responsividade que recebe os
dados de dois gráficos, sendo um de calibração obtido com um sensor de referência e outro de medida da amostra a
ser avaliada, e faz a razão ponto a ponto entre eles. A razão entre esses gráficos resulta na responsividade espectral
da amostra desconhecida, visto que a medida com o sensor de calibração serve para determinar o número de fótons
de cada comprimento do onda que é emitido pela fonte de radiação usada cujo espectro não é conhecido (não é um
corpo negro calibrado). A responsividade neste caso é determinada pela seguinte equação:
amostra
R = α ref erência

onde α é um fator de correção devido a parâmetros como tamanho da amostra e o espectro de transmissão da
janela do criostato, amostra é o espectro de medida da amostra a ser avaliada e ref erência é a curva de calibração
(arquivo .clb) do sensor de referência, isto é, o espectro medido com o sensor de referência dividido (ponto a ponto)
pela curva de calibração fornecida pelo fabricante e digitalizada.
Como mostrado na fórmula acima, a responsividade será dada pela razão entre o sinal da amostra (i.e. a medida
feita da amostra com o arranjo experimental da figura 1) e a potência luminosa incidindo na amostra, que será
determinada com a ajuda da mesma medida feita com um sensor de referência localizado no mesmo lugar que a
amostra para ter certeza que receberá a mesma quantidade de fótons.
4 Testes Experimentais 6

4 Testes Experimentais

Foram feitas algumas medidas com o detector de Silı́cio na faixa de comprimento de onda entre 200nm a 1100nm
(intervalo no qual o detector de Silı́cio absorve mais radiação). Neste processo, o detector de Silı́cio foi posicionado
no arranjo experimental em frente a roda de filtros (na posição de maior intensidade) para tomar diversas medidas
de responsividade usando ele mesmo como amostra só que deslocando-o de forma frontal e lateral. Esse teste serviu
para mostrar a influência da posição do detector caso o sensor de referência e amostra sejam colocados em posições
diferentes.

Fig. 5: Deslocamento lateral de 1mm, 2mm, 3mm, 5mm. (quanto maior o deslocamento, menor a intensidade)

O gráfico mostra que nos deslocamentos laterais pequenos de 1mm e 2mm há pouca alteração na curva de
responsividade. Entretanto, para maiores deslocamentos há uma queda na responsividade e uma alteração no
padrão da curva.

Fig. 6: Deslocamento frontal de 0mm, 1mm, 2mm, 3mm, 5mm, 7mm, 1cm, 1,5cm, 2cm e 3cm
5 Processamento de amostras 7

O gráfico mostra que a alteração de valores de responsividade é menos sensı́vel ao deslocamento frontal sendo
apenas mais perceptı́vel no maior deslocamento que foi de 3cm.
Houve uma tentativa de medir a responsividade de um sensor infravermelho desenvolvido no laboratório no
intervalo de comprimento de ondas de 2000nm a 15000nm com o detector de MCT como sensor de referência. Para
essa medida, o detector de MCT foi resfriado com nitrogênio liquido para que não houvesse elétrons excitados
por agitação termica e a amostra (sensor desenvolvido em nosso laboratório) foi colocada num criostato onde foi
feito o vácuo com uma bomba turbomolecular (∼ 10−5 T orr) e posteriormente resfriado com nitrogênio liquido.
Infelizmente, não foi possı́vel obter um espectro pois as poucas amostras disponı́veis encontradas eram velhas ou
com os contatos quebrados. Novas amostras estão sendo processadas e serão testadas em breve.

5 Processamento de amostras

Em paralelo às atividades de desenvolvimento das rotinas de cálculo da responsividade, comecei também a apren-
der o processamento dos fotodetectores que eu medirei mais tarde com o arranjo experimental de responsividade. O
processamento das amostras é realizado por etapas e é feito inteiramente dentro de uma sala limpa cujas condições
de temperatura e umidade são controladas (21 ± 1°C e 45 ± 10%), a iluminação (amarela) não possui radiação ultra
violeta, e o ambiente contém cerca de um milhão de vezes menos poeiras em suspensão que em salas comuns (classe
ISO6).

Fig. 7: Sala limpa do LNMS do tipo ISO 6. 1- Capelas para processos quı́micos e litográficos; 2- Alinhadora de
Máscaras; 3- Microscópio Óptico; 4- Cabine de fluxo laminar; 5- Monitor de pressão e temperatura da sala

Essas etapas consistem na limpeza das amostras e dos utensilios que serão usados, na deposição sobre elas de
uma camada fina de fotorresiste (resina fotossensı́vel) num “spinner”, no seu aquecimento (soft bake a 90°C por
4 minutos) para evaporar o solvente do fotorresiste, na exposição desta camada fotossensı́vel numa alinhadora de
máscara (litografia) para transferir um padrão especı́fico que determinará o tamanho dos dispositivos, na revelação
desse padrão, numa segunda etapa de aquecimento (hard bake a 120°C por 20 minutos) para preparar as amostras
para o ataque quı́mico (uma solução de ácido sulfúrico, água oxigenada e água deioinzada na proporção 1:8:40) que
gravará definitivamente o padrão nelas (com uma taxa corrosão de cerca de 1 µm/minuto no caso de arsenetos).
6 Conclusão 8

Fig. 8: Etapas de um processamento completo. I- Amostra crescida; II- Deposição do fotorresiste; III- Aplicação
de máscara das mesas e exposição à radiação ultravioleta; IV- Revelação; V-Ataque Quı́mico; VI- Remoção
do fotorresiste; VII- Deposição de uma nova camada de fotorresiste; VIII- Aplicação de máscara de contatos
e exposição à radiação ultravioleta; IX- Revelação; X- Deposição metálica Ni/Ge/Au; XI- Lift-off; XII-
Recozimento térmico rápido e micro solda.

Após a obtenção da altura esperada das mesas na etapa de corrosão (conferida com a ajuda de um perfilômetro
de precisão), a amostra é limpa com acetona, álcool isopropilico e água de maneira a remover o fotorresiste que
protegia as mesas para então passar novamente por uma etapa de aplicação de fotorresiste, soft bake e ser exposta
outra vez à radiação UV, mas desta vez na presença de uma máscara para definir a localização dos contatos. A
amostra é levada novamente para revelação e está preparada para a etapa de metalização (ainda não fui treinado
para as 3 últimas etapas do processamento que constam na figura 8).

Fig. 9: Foto de uma amostra no microscópio após a segunda exposição e revelação (etapa 9), mostrando as mesas de
0.4 mm x 0.4 mm e o lugar dos pequenos contatos de 0.1 mm x 0.1 mm em cima delas que serão fabricados
nas etapas seguintes de metalização e lift off (etapas X e XI).

6 Conclusão

O programa de responsividade se mostrou funcional durante os testes executados com os detectores de Silı́cio
6 Conclusão 9

e MCT. Entretanto, não foi possı́vel efetuar a medida de um sensor de radiação infravermelha desenvolvido no
laboratório pois os disponı́veis eram velhos ou quebrados, e ficou claro que os detectores devem ser de boa qualidade
para serem analisados com este novo arranjo experimental já que a fonte de radiação usada (globar) é fraca (100W),
e que os comprimentos de onda são analisados um a um através de um monocromador, o que lhes confere uma
potência baixa (da ordem do microWatt).
Durante o perı́odo de iniciação cientifica também foram feitos processos para aprofundamento do entendimento
da execução da técnica de processamento que me proporcionou uma experiência prática bastante importante para
o desenvolvimento do meu conhecimento em Fı́sica de Materiais. Para terminar o projeto, ainda falta adicionar o
fator de correção da responsividade referente a absorção da janela do criostato no qual a amostra é inserida. Por
fim, faremos medidas com novos detectores processados para confirmar as faixas de comprimento de onda em que
estão absorvendo e a eficiência deles (valor absoluto da responsividade).
As notas obtidas durante esse ano foram:
Primeiro semestre:
Disciplina Nota
Mecânica Quântica II 1,5
Fundamentos da Astronomia 6,9
Eletromagnetismo I 6,4
Fundamentos de Quı́mica para Fı́sica 6,1
Filosofia da Fı́sica 7,1

Segundo Semestre:

Disciplina Nota
Introdução à Fı́sica Atomica e Molecular 8,6
Introdução à Relatividade 7,9
Fı́sica dos Materiais 7,3
Eletrodinâmica I 9,8
Esporte na Graduação 9,6

Referências

[1] http://droneng.com.br/wp-content/uploads/2015/11/tabela1.png

[2] https://www2.ifsc.usp.br/portal-ifsc/deteccao-de-radiacao-infravermelha-para-diagnostico-de-tumores/

[3] LAMAS, Tomás. EPITAXIA POR FEIXE MOLECULAR DE CAMADAS DOPADAS DO TIPO P PARA A
CONSTRUÇÃO DE DISPOSITIVOS OPTOELETRÔNICOS. São Paulo, 2004.

[4] MAIA, Álvaro. CRESCIMENTO, FABRICAÇÃO E TESTE DE FOTODETECTORES DE RADIAÇÃO IN-

FRAVERMELHA BASEADOS EM PONTOS QUÂNTICOS. São Paulo, 2012.