Sensores de aceleración realizados por micromecánica de superficie

Aplicación
Los sensores de aceleración realizados por micromecánica de superficie y destinados a los
sistemas de retención de pasajeros detectan los valores de desaceleración de un choque frontal o
lateral y provocan la activación de los tensores de cinturón, el disparo de los airbag y la actuación
del arco antivuelco en el caso de los convertibles.
Estructura y funcionamiento
Estos sensores, utilizados primero para detectar altas aceleraciones (50 a 100 g) en sistemas de
protección de pasajeros, son también apropiados para medir aceleraciones de reducida intensidad.
Comparados con los sensores de silicio realizados por micromecánica de volumen, son mucho
más compactos y están alojados junto con la electrónica de evaluación (ASIC) en una caja estanca
al agua. Su sistema de masa-resorte está montado sobre la superficie de la plaquita de silicio por
un procedimiento aditivo.
La masa sísmica, cuyos electrodos tienen la forma de un peine, está suspendida elásticamente
dentro de la célula de medición. A ambos lados de esos electrodos móviles hay colocados sobre el
chip electrodos fijos, asimismo en forma de peine (6). Esta disposición de electrodos fijos y móviles
corresponde a una conexión en serie de dos condensadores diferenciales C 1 y C2 (capacidad de la
estructura de peine, aprox. 1 pF) . A los bornes de estos condensadores se aplican tensiones
alternas de fases opuestas, cuya superposición es detectada en el punto C M (capacidad de
medición) entre los condensadores, o sea, en la masa sísmica.
Como la masa sísmica está suspendida de resortes (2), una aceleración lineal a en el sentido de
detección ocasiona una variación de la distancia entre los electrodos fijos y móviles y, por
consiguiente, una variación de capacidad en los condensadores C 1 y C2. De ello resulta una
variación de la señal eléctrica que en la electrónica de evaluación (ASIC) es amplificada, filtrada y
digitalizada para su transmisión a la unidad de control de los airbag. Por razón de la reducida
capacidad de aprox. 1 pF, la electrónica de evaluación está integrada directamente en el sensor
sobre el mismo chip o estrechamente unida al sensor. Es posible la realización de sistemas
reguladores de posición con vuelta electrostática al estado inicial.
El circuito de evaluación dispone también de una compensación de desviaciones del sensor y de
una autodiagnosis durante la fase de puesta en funcionamiento. Para la autodiagnosis, unas
fuerzas electrostáticas provocan el desplazamiento de la estructura en forma de peine y simulan
así el proceso que tiene lugar durante la aceleración en el vehículo.

Existen también sensores micromecánicos "dobles", utilizados p. ej. en el programa electrónico de

estabilidad ESP para la regulación de la dinámica de marcha. Están constituidos en realidad por
dos sensores individuales. Un sensor de convolución (sensor de viraje o derrapaje) y un sensor de
aceleración micromecánicos forman un módulo compacto. De ese modo se reduce el número de
componentes y de líneas transmisoras de señales. Además, se necesitan menos puntos de fijación
y espacio de montaje.