¿Cómo funciona la interferometría?

Introducción

La herramienta más utilizada en interferometría, el interferómetro de Michelson, fue

inventada por Albert Abraham Michelson en 1887, primer americano ganador de un
Premio Nobel de ciencia. Creó un sistema de espejos y espejos semitransparentes
(desdobladores del haz) para combinar haces de luz separados, que provienen de una
misma fuente. La interferometría láser es un método muy reconocido de medición de
distancias con la máxima precisión.

Principios básicos

Normalmente, un único haz luminoso de entrada constante se bifurca en dos haces

idénticos mediante un interferómetro de Michelson. Los dos haces viajan en direcciones
distintas, denominadas trayectorias, y se recombinan antes de llegar a un detector. La
diferencia de la distancia recorrida por los dos haces crea una diferencia de fases entre
ellos. Esta diferencia de fase introducida crea el patrón de interferencia entre las ondas
inicialmente idénticas, que se detecta en el detector. Si un único haz se ha bifurcado en
dos trayectorias (medición y referencia), entonces, la diferencia de fase diagnostica
cualquier cambio producido a lo largo de las trayectorias. Puede ser un cambio físico en
la longitud de la trayectoria o un cambio del índice de refracción sobre el que viaja el
haz.

Interferometría Michelson

El haz (1) sale de la fuente láser y se divide en dos haces (referencia 2 y medición 3) en
el interferómetro. Los haces se reflejan de vuelta desde los dos retrorreflectores y se
vuelven a combinar en el interferómetro antes de llegar al detector.
El uso de retrorreflectores asegura que los rayos que vuelven desde los brazos de
referencia y medición son paralelos cuando se combinan en el interferómetro. Los haces
combinados llegan al detector, donde interfieren entre ellos, de forma constructiva o
destructiva. Durante la interferencia constructiva, los dos haces están en fase y los picos
de ambos se refuerzan entre sí y producen una franja brillante, mientras que, durante la
interferencia destructiva, los haces están desfasados y los picos de uno son anulados por
el paso del segundo, lo que genera una franja oscura.

Procesamiento de señal

El procesamiento de señales óptico del detector, permite observar la interferencia de los

dos haces. El desplazamiento del haz de medición, provoca el cambio en la fase relativa
de los dos haces. Este ciclo de interferencia destructiva y constructiva hace que la
intensidad de la luz de los haces combinados sufra una variación cíclica. Cada vez que
se mueve la mitad del haz de medición/retrorreflector, se genera un ciclo de variación
de intensidad de iluminado a oscuro, que equivale a la mitad de la longitud de onda del
láser.

Precisión del sistema

La precisión de las mediciones de posición lineal depende de la precisión con que se

conozca la longitud de onda del haz del láser. La longitud operativa del haz láser
depende del índice de refracción del aire que atraviesa, y esta se altera con la
temperatura, la presión y la humedad relativa del aire. Por tanto, es necesario alterar
(compensar) la longitud de onda del haz para incorporar los cambios en estos
parámetros.

Sistemas RLE
RLE es un sistema exclusivo avanzado de interferometría láser Homodina, diseñado
expresamente para aplicaciones de captación de datos de posición precisos. Cada
sistema RLE se compone de una unidad láser RLU y uno o dos cabezales detectores
RLD10, y los modelos dependen de los requisitos específicos de cada aplicación.

Clave:
Unidad láser RLU Cabezal detector de RLD Ópticas de medición

¿Cómo funciona el RLE?

Fuente de Acoplamien Ópticas de Ópticas de Esquema de Señales

láser to de fibra interferóme medición detección información
tro del encóder

Encóder láser: Una o dos Interferencia de Espejos Conversión de Información de

HeNe laser salidas láser de luz láser con dieléctricos con franjas de posición de
Clase 2 fibra óptica que distintas recubrimiento interferencia en cuadratura
dirigen el láser trayectorias de óxido duro una señal analógica o
directamente a ópticas de alta electrónica digital estándar
las cabezas del reflectividad
detector RLD

¿Cómo funciona el RLU?

Salida láser del RLU al RLD

Fuente de láser Sistema electrónico Acoplamiento de Estabilidad de

de estabilización fibra enfoque del láser

Encóder láser: HeNe Se utiliza para controlar Utiliza el exclusivo Imprescindible para
laser Clase 2 la estabilidad de sistema de transmisión garantizar una posición
frecuencia del láser de fibra óptica de del haz estable en la
mediante la modulación Renishaw óptica de medición en
del montaje del cabezal períodos de tiempo
del tubo láser prolongados

Procesamiento de señales de vuelta al RLD

Señales error del Estado del sistema Interpolación Señales de encóder

encóder digital analógicas

Líneas de error activas, El LED de interfaz de la Cuadratura digital Cabezal detector

individuales a cada eje parte delantera de la RS422 estándar del analógico en tiempo real
láser, que pueden unidad RLU sector, configurable por que puede integrarse
integrarse fácilmente en proporciona una el usuario directamente directamente en el
el sistema de indicación intuitiva del desde la unidad RLU, sistema de información
información de la estado de con opciones de de posición
máquina para un funcionamiento resolución hasta 10 nm
funcionamiento de bucle
cerrado

¿Cómo funciona el RLD?

Salida láser del RLD a las ópticas de medición

Ópticas de interferómetro Alineador del haz

Esquemas ópticos exclusivos con SDE minimizado, Óptica en cuña integrada utilizada para minimizar
compatibles con ópticas de medición de espejo el tiempo de instalación mediante un ajuste del haz
plano o retrorreflector angular simplificado

Entrada del láser desde las ópticas de medición del RLD

Señales de encóder analógicas Esquema de detección Ópticas de medición

Cuadratura analógica intrínseca El esquema de detección de franja Espejos dieléctricos con
generada desde el esquema de integrado convierte las franjas de recubrimiento de óxido duro de
detección, pasada directamente al interferencia de medición y alta reflectividad
RLU referencia en una señal electrónica

Sistemas HS20

El cabezal láser HS20 de Renishaw, combinado con un kit de ópticas lineales externas,
crea un sistema de encóder láser de interferómetro sin contacto de alta precisión para
aplicaciones de captación de posición lineal de ejes largos.
El cabezal láser HS20 puede incorporarse al bucle de control de posición de cualquier
sistema de control de moción configurado para aceptar señales de encóder con formato
de cuadratura analógica o digital. El cabezal láser puede reemplazarse directamente en
los sistemas de encóder lineal, en aplicaciones originales del fabricante o retrofit.

¿Cómo funciona el HS20?

Fuente de Sistema Ópticas de Señales de Señales

láser electrónico de medición error y información
estabilización advertencia del encóder

Estabilizado Clase
2 (<1 mW) láser Se utiliza para Soluciones de Líneas de error Cuadratura
HeNe controlar la ópticas de largo activas, analógica o digital
estabilidad de alcance para ejes individuales a cada estándar del sector
 frecuencia del láser de máquina con eje láser, que para información
mediante la longitudes hasta 60 pueden integrarse de posición de alta
modulación del m fácilmente en el resolución
montaje del control de la
cabezal del tubo máquina para un
láser funcionamiento de
bucle cerrado

Sistemas de compensación
Generalmente, se presupone que los interferómetros proporcionan automáticamente la
máxima precisión de medición. Sin embargo, en la práctica, la situación es más
compleja. Para medir desplazamientos lineales en el aire con el láser, el rendimiento del
sistema de compensación ambiental es especialmente importante. Las ópticas de
medición del láser y el interferómetro proporcionan unos niveles de resolución y
precisión muy altos, pero en las aplicaciones ‘en el aire', la unidad de compensación
ambiental es la principal responsable de la precisión de medición de los sistemas.
El desplazamiento se representa en forma de longitud de onda específica. Por
consiguiente, una medición precisa y repetible depende de la uniformidad de la longitud
de onda. Cuando el haz láser viaja por el aire, la longitud de onda varía en función del
índice de refracción.
Sin embargo, la medición del encóder no tiene en cuenta la expansión de la pieza de
trabajo o la estructura de la máquina debida a las variaciones de temperatura.
Para compensar este origen de error y garantizar la máxima precisión de las
aplicaciones ‘en el aire', se necesita un sistema de compensación.

Factores ambientales que afectan a la precisión

Factores del índice de refracción:

Temperatura del aire Humedad relativa Presión del aire

Expansión térmica:

Temperatura del material

Unidad de compensación RCU10

El sistema de compensación de cuadratura en tiempo real RCU10 corrige directamente

las fuentes de errores ambientales en sistemas de desplazamiento lineal para mejorar la
precisión y repetibilidad del proceso.
El sistema RCU10 controla el entorno ambiental de la máquina mediante una serie de
sensores y procesamiento de señales digitales avanzado para compensar en tiempo real
las señales de información de posición. La unidad envía las señales de información
corregidas al control de moción en formato de encóder analógico o digital.

¿Cómo funciona el RCU10?

El diagrama siguiente muestra el esquema de trabajo de RCU10.

La unidad de compensación RCU10 recibe las señales de cuadratura digital,
acompañadas de los datos ambientales obtenidos por una serie de sensores, y calcula la
compensación total necesaria para corregir la posición del eje. Seguidamente, se aplica
la compensación necesaria mediante el escalado e inyección de cuadratura (adición o
supresión de pulsos de cuadratura) a la señal de información del encóder, y se completa
el proceso total con la mínima latencia para el control de moción. Las señales de
información corregidas se envían al control de moción en formato de encóder digital o
analógico.

Explicación de la interferometría

La interferometría láser es un método muy reconocido de

medición de distancias con la máxima precisión.
Principios básicos
La 'interferometría' es un método de medición que aplica el fenómeno de interferencia
de las ondas (generalmente, ondas de luz, radio o sonido). Las mediciones pueden
incluir otras determinadas características de las propias ondas y los materiales por los
que se propagan. Además, la interferometría se utiliza para describir las técnicas que
utilizan ondas de la luz para estudiar los cambios de desplazamiento. La interferometría
de medición de desplazamiento se utiliza ampliamente en la calibración y el control de
movimiento en la fase mecánica del mecanizado de precisión.
Mediante dos rayos de luz (normalmente, un rayo desdoblado en dos), se forma un
patrón de interferencia donde se superponen los dos rayos. Puesto que la longitud de
onda del rayo visible es muy corta, pueden detectarse pequeños cambios en las
diferencias de las trayectorias ópticas (distancia recorrida) entre los dos rayos (ya que
las diferencias producen cambios notables en el patrón de interferencia). Por
consiguiente, la interferometría óptica ha sido una técnica de medición muy valiosa
desde hace más de cien años. Su precisión se ha mejorado con la aparición del láser.
En 1887, Albert A. Michelson desarrolló el primer interferómetro y demostró el uso del
principio de la interferencia de la luz como herramienta de medición. Aunque la
tecnología (y la precisión de medición) ha avanzado mucho con el paso de los años, el
principio básico del interferómetro de Michelson aún subyace en el núcleo de la
interferometría.
Un interferómetro de Michelson se compone de un desdoblador del haz (espejo mitad
plateado) y dos espejos. Cuando la luz atraviesa el espejo mitad plateado/desdoblador
del haz (que refleja parcialmente) se divide en dos rayos con distintas trayectorias
ópticas (una hacia el espejo 1 y otra hacia el espejo 2). Los rayos de vuelta se reflejan en
los espejos y se vuelven a combinar en el desdoblador del haz antes de llegar al
detector. La diferencia de trayectoria de los dos rayos genera una diferencia de fase que
forma un patrón de borde de interferencia. Seguidamente, se analiza el patrón en el
detector para evaluar las características de la onda, las propiedades del material o el
desplazamiento de uno de los espejos (dependiendo de la medición para la que se utiliza
el interferómetro).
Interferometría aplicada
Para generar un patrón de interferencia con alta precisión (bordes distintos), es muy
importante disponer de una fuente de longitud de onda muy estable, y esto se consigue
en el láser XL-80 laser.
Existen varias configuraciones diferentes basadas en el principio de Michelson, no
obstante, la configuración lineal es el tipo más fácil de explicar.
En el sistema láser XL-80, los dos espejos (utilizados en el interferómetro de
Michelson) son retrorreflectores (prismas que reflejan la luz incidente de vuelta en
sentido paralelo a la dirección de llegada). Uno de ellos se sujeta al desdoblador del haz
para formar el brazo de referencia. El otro retrorreflector forma el brazo de medición de
longitud variable, ya que su distancia varía respecto al desdoblador del haz.
El haz láser (1) sale del cabezal láser XL-80 y se divide en dos rayos (que se reflejan [2]
y transmiten [3]) en el desdoblador del haz polarizador. Los haces se reflejan de vuelta
desde los dos retrorreflectores y se vuelven a combinar en el desdoblador del haz antes
de llegar al detector. El uso de retrorreflectores asegura que los rayos que vuelven desde
los brazos de referencia y medición son paralelos cuando se combinan en el desdoblador
del haz. Los haces combinados llegan al detector, donde interfieren entre ellos, de forma
constructiva o destructiva. Durante la interferencia constructiva, los dos haces están en
fase y los picos de ambos se refuerzan entre sí y producen una franja brillante, mientras
que, durante la interferencia destructiva, los haces están desfasados y los picos de uno
son anulados por el paso del segundo, lo que genera una franja oscura.

El procesamiento de señales óptico del detector, permite observar la interferencia de los

dos haces. El desplazamiento del brazo de medición, provoca el cambio en la fase
relativa de los dos haces. Este ciclo de interferencia destructiva y constructiva hace que
la intensidad de la luz de los haces combinados sufra una variación cíclica. Cada vez
que se mueve el brazo de medición/retrorreflector 316,5 nm, se genera un ciclo de
variación de intensidad de oscuro a iluminado, que equivale a la mitad de la longitud de
onda del láser (ya que este movimiento genera una trayectoria óptica de cambio de 633
nm, que es la longitud de onda del láser). Por tanto, para calcular el movimiento, se
mide el número de ciclos mediante la siguiente fórmula:
Donde d es el desplazamiento (en micras), λ es la longitud de onda del láser (0,633
micras) y N es el número de bordes pasados. La resolución más alta de 1 nm se alcanza
mediante la interpolación de fases entre estos ciclos.
Independientemente de la calidad de la unidad láser (es decir, su precisión y estabilidad)
la exactitud de las mediciones de posición lineal depende de la precisión con la que se
detecta la longitud de onda del haz. La longitud operativa del haz láser depende del
índice de refracción del aire que atraviesa, y esta se altera con la temperatura, la presión
y la humedad relativa del aire. Por tanto, es necesario alterar (compensar) la longitud de
onda del haz para incorporar los cambios en estos parámetros.

Compensación ambiental
Sin una compensación fiable y precisa de la longitud de onda, serían frecuentes los
errores de lectura de medición lineal entre 20 y 30 ppm al combinar las variaciones
temperatura, humedad y presión de los valores nominales (incluso si las condiciones del
ensayo permanecen estables). Es posible reducir estos errores utilizando una unidad de
compensación ambiental (XC-80), que garantiza la precisión de las mediciones en el
sistema XL-80 en condiciones muy variadas. El siguiente gráfico, a la derecha, muestra
un ejemplo del error en un sistema de interferometría sin compensar y el origen de los
errores.

El compensador XC-80 mide la temperatura, presión y humedad del aire y luego calcula
el índice de refracción de este (y, por ende, la longitud de onda del láser). Luego, la
lectura del láser se ajusta automáticamente para compensar cualquier variación que se
produzca en la longitud de onda del láser. La ventaja de un sistema automático es que
no interviene el usuario y que la compensación se actualiza frecuentemente.
Nota: Con el sistema láser de Renishaw NO se necesita compensación ambiental para
mediciones angulares o de rectilinealidad. Esto se debe a que las compensaciones se
calculan comparando las diferencias entre dos haces colocados a muy corta distancia,
donde los factores ambientales no causan desviaciones. Al igual que en los ejes
rotatorios, las mediciones de cuadratura y planitud se basan también en estas
mediciones, que tampoco requieren compensación ambiental.
Interferometría remota
Algunos sistemas llevan instalado el interferómetro y el desdoblador del haz en el
cabezal láser. La expansión térmica del cabezal modifica la longitud de la trayectoria,
por tanto, se necesita un tiempo de precalentamiento antes de iniciar una medición de
precisión. Renishaw ha solucionado este problema utilizando un desdoblador del haz
remoto.