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CENTRO

CENTRO DE
DOS TRES
Controlador multicanal
Manual de uso del GA 09,035 / 6,02

Gato. No.
003
1 004
235 003
235 004
Contenido

Contenido

1 Introducción . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1 Validez. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2 Uso previsto . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.3 versiones del producto. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
..5
1.4 La
seguridad . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

2 Datos técnicos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.1 Informacion
General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.2 Conexión a la red. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.3 Canales. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.4 Funciones de
conmutación. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.5 Salidas. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.6 Volumen de suministro. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. 14
2.7 Accesorios. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

3 Instalación. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.1 Desembalaje. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
15
3.2 Instalación mecánica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.3 Conexión. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18

4 Operación. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
4.1 Panel frontal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
4.2 Encendido y apagado. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
4.3 Modos de
funcionamiento. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
4.4 modo de medición. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
4.5 modo de parámetros. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
33

5 Parámetros. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
5.1 Cambio de parámetros de la función (PArA
SP). . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
5.2 parámetros de sensor (PArA SEN). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
39
5.3 Parametros generales (PArA GEN). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
47
5.4 Los parámetros de prueba (tESt para). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . 52

6 interfaz de la
computadora. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
6.1 Conceptos básicos. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . 57
6.2 Comunicación. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58

1 GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum


Contenido

6.3 Mnemotécnicos. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61

7 Mantenimiento y servicio. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
7.1 Mantenimiento. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
7.2 Modo de transferencia del programa. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
7.3 Calibración. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87

8 Solución de problemas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
8.1 Indicación de fallo. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
8.2 Error de mensajes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
8.3 Soporte técnico . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91

9 Almacenamiento y eliminación. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
9.1 Embalaje . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
9.2 Almacenamiento. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
9.3 Disposición. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91

Apéndice. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
Los parámetros por defecto. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
Literatura. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
Índice. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 3


Introducción

1 Introducción

1 1Validity

1.1.1 Numero de catalogo


Este documento se aplica a los siguientes productos:

Numero de catalogo Producto


CENTRO DE TRES con cable de
230 003 red,
versión de euros
CENTRO DE DOS con el cable de
230 004 red,
versión de euros
CENTRO DE TRES con cable de
235 003 red,
versión de EE.UU.
CENTRO DE DOS con el cable de
235 004 red,
versión de EE.UU.

El número de catálogo se puede encontrar en la placa de características


que está unido a un lado de la unidad.

1.1.2 Versión de firmware


Este Manual de funcionamiento se basa en la versión de firmware 302 a
533-F.
Si la unidad no funciona como se describe, por favor, compruebe si está
equipado con esta versión del firmware. VerCapítulo 5.4.2 versión de
firmware (PNR), ㄷ 52.

1.1.3 placa de características


Hay una etiqueta de tipo unido a un lado de la unidad. En todas las
comunicaciones con Oerlikon Leybold Vacuum, indique la información en la
placa de características. Para este propósito es posible que desee copiar la
información en el espacio siguiente:

Fig. 1-1 Tipo de etiqueta (ejemplo)


1 GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Introducción

1.2 Uso previsto


El CENTRO DOS y el centro TRES Controller Multi-canal es un dis-play y
unidad de control para transmisores hechas por Oerlikon Leybold Vacuum.
Se utiliza junto con los transmisores de la serie Thermovac, PENNINGVAC,
CERAVAC y IONIVAC y se utiliza para las mediciones de presión total. Los
transmisores deben ser operados de acuerdo con sus respectivos manuales
operac-ing.
En lo que sigue, el CENTRO DE DOS O TRES central del controlador
multicanal se denominan «multicanal Controller».

1.2.1 Responsabilidad y garantía


Oerlikon Leybold Vacuum no asume ninguna responsabilidad y la garantía
quedará automáticamente anulado y sin efecto si el usuario final o terceros
5888 No tenga en cuenta la información contenida en este documento
5889 Utilice el producto de una manera no conforme
5890 Realizar cualquier tipo de alteraciones (modificaciones, reparaciones, etc.) para el producto
5891 Utilizar el producto con accesorios no mencionados en la
documentación del producto correspondiente
Nos reservamos el derecho a introducir modificaciones técnicas sin previo
aviso. El higo-Ures son sin compromiso.

1.3 versiones del producto


El controlador de canal Multi- está disponible en dos versiones diferentes:
Centro de DOS y el centro de tres. Los dos productos difieren entre sí con
respecto a:
23 Número de canales
24 Número de funciones de conmutación
25 El consumo de energía
26 Peso
Ver Capítulo 2 Datos técnicos, ㄷ 9.
Este manual de instrucciones describe tanto el CENTRO DOS y el centro
TRES.
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Introducción

1.4 La seguridad

1.4.1 calificaciones del personal


Todo el trabajo descrito en este documento sólo puede ser llevada a cabo
por personas que tienen una formación técnica adecuada y la experiencia
necesaria o que han sido instruidos por el usuario final del producto.

1.4.2 Ilustración de peligros residuales


Este Manual de operación ilustra indicaciones de seguridad respecto a los
peligros residuales de la siguiente manera:

«Peligro» indica una situación de peligro inminente que, si no evitar de


Peligro opinión, puede provocar la muerte o lesiones graves.

«Advertencia» indica una situación potencialmente peligrosa que, de no


Adverte evitarse, podría provocar la muerte o lesiones graves.
ncia

«Precaución» indica una situación potencialmente peligrosa que, si no


se evita, puede provocar lesiones leves o moderadas o daños
Precauc materiales.
ión

Nota:
Una nota como ésta indica particularmente importante, pero no la
información relevante para la seguridad.

5888 GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum


1.4.3 Instrucciones generales de seguridad
Por todo el trabajo que se va a hacer, se adhieren a las normas de seguridad aplicables.
También observe todas las indicaciones de seguridad que figuran en este documento y enviar la informa-ción a
todos los demás usuarios del producto.
En particular, prestar atención a las indicaciones de seguridad siguientes:

Red eléctrica.
El controlador de Multi-Channel contiene partes que están conectados a la red eléctrica.
Asegúrese de que no haya objetos entran a través de las rejillas de ventilación de la unidad. Mantenga la
unidad seca. No abra la unidad.

Fig. 1-2 No inserte objetos a través de persianas y mantener la unidad seca

Uso inapropiado.
El uso incorrecto puede dañar el controlador multicanal.
Utilice el controlador multicanal sólo como previsto por el fabricante.
Ver Capítulo 1.2 Uso previsto, ㄷ 5.

instalación y operación de datos inadecuados.


datos de instalación y uso incorrecto puede dañar el controlador multicanal.
Cumplir estrictamente con los datos de instalación y operación estipulados.

Introducción

Peligro
Precaución

Precaución

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 7

Introducción

1.4.4 dispositivo de desconexión


El controlador multicanal está equipado con un dispositivo de desconexión
acuerdo-ción con la norma EN 61010-1.
El dispositivo de desconexión se encuentra en la parte posterior del control-
ler multicanal. VerFig. 1-3, ㄷ 8.
El dispositivo de desconexión debe ser fácilmente identificable y fácilmente
accesible por el usuario.
Con el fin de desconectar el controlador multicanal de la red eléctrica,
debe desenchufar el cable de red.
UN

Fig. 1-3 Parte de atrás del centro TRES

Un dispositivo de desconexión

23 GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Datos técnicos

2 Datos técnicos

2.1 Informacion General

2.1.1 datos mecánicos

Dimensiones Anchura: 106,3 mm


Altura: 128,5 mm (3 HE)
Profundidad: 207 mm
Ver La Fig. 2-1, ㄷ 9
Peso CENTRO DE DOS:
1,04 kg
CENTRO DE TRES:
1,16 kg
Utilizar unidad de escritorio
Panel de control montado
Montaje de la unidad en un bastidor

106.3
91.4 103
3.5
122,5

128,5

110

285
204.5 2.5

Fig. 2-1 Dimensiones (en mm)

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 9

Datos técnicos

2.1.2 Ambiente

Temperatura Almacenamiento: -20 ... + 60 ° C


Operación: + 5 ... + 50 ° C
Humedad relativa Max. 80% (bis 31 ° C),
la disminución de
máx. 50% (por encima de 40 ° C)
Utilizar sólo en interiores
Altitud máx. 2000 m NN
Grado de contaminación II

tipo de protección IP20


2.1.3 Operación
A través de 4 botones de control en el
A mano panel frontal

Control remoto A través de la interfaz RS-232C

2.2 conexión a la red

voltaje 90 ... 250 V CA

Frecuencia 50 ... 60 Hz
El consumo de energía CENTRO DE DOS:
Max. 45 W
CENTRO DE TRES:
Max. 65 W

Categoría de sobrevoltaje II

clase de protección 1
Conexión conector de dispositivo europea IEC
320 C14

5888 GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Datos técnicos

2.3 canales

conexiones de los
2.3.1 sensores

Número de canales CENTRO DE DOS: 2


CENTRO TRES: 3
las conexiones del sensor por RJ45 (FCC 68)
canal D-Sub, 15 pines, hembra
(Conectado en paralelo)
transmisores compatibles Thermovac:
TTR 90, TTR 91, TTR 96, TTR 100, TTR 101,
TTR 211 S, TTR 216 S
PENNINGVAC:
PTR 225, PTR 90
CERAVAC:
CTR 90, CTR 91, CTR 100, CTR 101, DI 200,
DI 201, DI 2000, 2001 DI, DI rel 2001
IONIVAC:
ITR 90, ITR 200

2.3.2 alimentación del transmisor


24 VDC ± 5%
voltaje
500 mA
Corriente (750 mA de corta duración)
900 mA a través de elemento PTC
Fusible
De rearme automático después de encender la unidad o
desconectar el sensor.
El suministro cumple con los requisitos de una
tierra de protección de bajo voltaje (MBTS).

2.3.3 técnica de medición

rangos de medición transmisor dependientes


Ganancia de error: ≤
Error de medida 0,005% FS
error Offset: ≤ 0,01% FS

Intervalo de medición 50 s-1

velocidad de visualización 10 s-1


Filtro de constante de
tiempo Lento:
Aprox. 1,0 s (fg = 0,16 Hz)
Normal (NOR):
Aprox. 0,3 s (fg = 0,53 Hz)
Rápido:
Aprox. 0,06 s (fg = 2,65 Hz)

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 11

Datos técnicos

Unidad de medida mbar, Pa, Torr, Micron

posibles ajustes transmisores lineales (CTR):


Cero-ajuste
transmisores logarítmicas (TTR, PTR, ITR):
factores de corrección fijos para N2, Ar, H2,
o una
factor de corrección variable en el rango
0.10 ... 9.99
Un convertidor A / D Resolución> 16 bits

Nota:
Las mediciones de la ITR / CTR 100 / CTR 101 se transfieren digitalmente.

2.4 funciones de conmutación


Número de funciones de conmutación CENTRO DOS: 4
CENTRO TRES: 6
Asignación Se puede configurar de cualquier manera

Tiempo de retardo constante que depende del tiempo de filtro

Rango de ajuste transmisor dependientes

Histéresis transmisores lineales (CTR): ≥ 1% FS


transmisores logarítmicas (TTR, PTR, ITR):

10% de la medición

2.4.1 Cambio de relé de función

Tipo de Contacto Cambio en contacto, flotando

Load (óhmica) Max. 60 VDC, 0,5 A


Max. 30 VAC, 1 A
Toda la vida Mecánico:
107 ciclos
Eléctrico:
105 ciclos a carga máxima
Conexión D-Sub, 25 pines, hembra.
Ver La Fig. 3-8, ㄷ 21.

23 GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Datos técnicos

2.4.2 relé de señal de error

Número 1

Tiempo de retardo ≤ 20 ms

Tipo de Contacto Cambio en contacto, flotando

Load (óhmica) Max. 60 VDC, 0,5 A


Max. 30 VAC, 1 A
Toda la vida Mecánico:
107 ciclos
Eléctrico:
105 ciclos a carga máxima
Conexión D-Sub, 25 pines, hembra.
Ver La Fig. 3-8, ㄷ 21.

2.5 salidas
2.5.1 Salida analógica

Número 1 por canal

Rango de voltaje 0 ... 10 V CC

La desviación de valor mostrado ± 50 mV

Resistencia interna 47 Ω
Relación entre la tensión y la transmisor
PRESION dependientes
Por
supuest
o
D-Sub, 9 pines,
Conexión macho.
Ver La Fig. 3-9, ㄷ 22.

2.5.2 salida del registrador

Número 1

Rango de voltaje 0 ... 10 V CC


Resolución 1 mV

Exactitud ± 20 mV

Resistencia interna 3300 Ω


Relación entre la tensión y la
PRESION Programable
Por
supuesto
D-Sub, 9 pines,
Conexión macho.
Ver La Fig. 3-9, ㄷ
22.

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Datos técnicos

2.5.3 interfaz de la computadora

Defecto RS232C

Protocolo ACK / NAK


ASCII con la mnemotécnica de 3
caracteres.
bidireccional de datos fluyen.
señales Sólo TXD y RXD utilizan

velocidad de transmisión 9600, 19200, 38400

Conexión D-Sub, 9 pines, hembra.


Ver Fig. 3-10, ㄷ 23.
Volumen de
2.6 suministro

Designacion Número

Controlador multicanal 1
cable de red 1
Tira de goma 1
Patas de goma 2
tornillos de cuello 4
Fundas de plastico 4

2.7 Accesorios

Designacion Número de producto


enchufe D-Sub para la con- DE
CONTROL 230 006
nection, tipo screwon

5888 GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Instalación
5889 Inspeccione visualmente
el controlador multicanal
para detectar signos de
daños

3 Instalación El producto dañado.


Poner un producto dañado en
funcionamiento puede ser
3.1 desembalaje
extremadamente peligroso.
23 inspeccionar visualmente el embalaje de transporte para detectar
Nunca trate de poner un
signos de daño externo
producto dañado en
24 Desempaquetar el controlador multicanal y poner a un lado del funcionamiento. Asegurar el
material de embalaje producto-presa edad de
operación no intencionada.
Nota: Enviar un informe de daños
Mantenga el material de embalaje para su uso posterior. El controlador a la empresa de transporte o
multicanal debe ser almacenado y transportado en sólo el material de el asegurador.
empaque original.
5888 Examine el controlador multicanal para la integridad
3.2 Instalación mecánica
El controlador de multiparámetros -Canal se puede utilizar de la siguiente
manera: Como una unidad de sobremesa, montado en un panel de control,
o montado en un rack de 19" En cada uno de estos casos se debe prestar
atención a la siguiente nota de seguridad.:

Temperatura ambiente demasiado alta.


Exceder la temperatura ambiente máxima permitida puede dañar la
unidad.
Asegúrese de que la temperatura ambiente máxima permitida no es ex
ceeded y que el aire puede fluir libremente a través de las rejillas. No
exponga la unidad a la luz solar directa.

3.2.1 unidad de escritorio


Para utilizar el controlador multicanal como una unidad de sobremesa,
proceda de la FOL-mínimos:
23 Girar el regulador multicanal boca abajo como se muestra en Fig.
3-1, ㄷ dieciséis Advertencia
24 Empuje la tira de goma suministrada sobre el borde inferior del panel
frontal
25 Se adhieren las patas de goma suministrados a la parte inferior de la
carcasa

Precaución

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 15

Instalación
Fig. 3-1 El uso del producto como una unidad de sobremesa

Girar el regulador multicanal de nuevo a orientación normal y colocarlo en


el lugar deseado

3.2.2 Panel de control montado


Con el fin de montar la unidad en un panel de control, se requiere la
siguiente recorte:

105
91.4

122,5
112

M3 (ø3,5)

Fig. 3-2 Panel de control del recorte (en mm)

Inserte el controlador multicanal en el recorte


Fijar la unidad con cuatro tornillos M3

Nota:
Con el fin de reducir la tensión en el panel frontal se recomienda SUP-
puerto de la parte inferior de la unidad.

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Instalación

3.2.3 Montaje de la unidad en un bastidor


El controlador de Multi-Channel está diseñado para instalarse en un
adaptador de chasis de bandeja de acuerdo con la norma DIN 41 494 (19" ,
3 HE). Para este propósito, 4 tornillos de cuello y 4 fundas de plástico se
suministran con la unidad.

Menor grado de protección de la cremallera. Advertencia


Si el producto se instala en un bastidor, que es probable que reducir la
clase de protección de la cremallera (protección contra los cuerpos
extraños y agua), por ejemplo de acuerdo con la normativa EN 60204-1
para armarios de distribución.
Tomar las medidas apropiadas para restaurar el grado de protección
requerido del bastidor.

Fig. 3-3 Montaje de la unidad en un bastidor

Nota:
Con el fin de reducir la tensión en el panel frontal se recomienda
equipar el chasis adaptador de rack con un carril de guía.

Nota:
Para una instalación segura y fácil de adaptadores de bastidor de
chasis pesado, es reco--rec dotar a la estructura del bastidor con
raíles de deslizamiento.
Fije el adaptador de chasis de bastidor en el bastidor
Inserte el controlador multicanal en el adaptador de chasis de rack
Fijar el controlador multicanal con los tornillos suministrados cuello y
mangas de plástico para el adaptador de chasis de rack

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 17

Instalación
Advertencia

3.3 Conexión

3.3.1 Cara posterior del dispositivo


Fig. 3-4, ㄷ 18 muestra la parte de atrás del centro de tres. La conexión para el canal 3 (punto C) no está
disponible en el CENTRO DOS.

U
N
J
s
e
g
u
n
d
y
o
o
d
o

r
e
H GK F mi

Fig. 3-4 Parte de atrás del centro TRES

conexión del transmisor, el canal 1


conexión del transmisor, el canal 2
conexión del transmisor, el canal 3
conexión de control
Interruptor para el modo de transferencia del programa
conexión RS-232C
Conexión a la red del dispositivo / desconectar
interruptor de red
tornillo de tierra
conexión del relé
Tornillo para conductor de protección interna. No aflojar este tornillo!

conductor de protección interna.


El conductor de protección interno está conectado a la carcasa con un tornillo (punto K). Si el conductor de
protección interna no está fijada la unidad puede ser extremadamente peligroso en caso de fallo.
No gire o aflojar el tornillo que sujeta el protector CONDUC-tor interno.
La configuración de las conexiones disponibles se describe en las siguientes secciones.

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

3.3.2 conexión a la red


La conexión a la red (Fig. 3-4, ㄷ 18, elemento G) está diseñado para un cable de red que contiene un conector
de dispositivo Europeo sobre el lado del dispositivo.
Un cable de alimentación se suministra con la unidad. Si el enchufe no es compatible con el enchufe de la pared,
usted tiene que conseguir un cable de red adecuado:
Cable de tres conductores con tierra de protección
Sección del conductor 3 × 1,5 mm2 o mayor

Fig. 3-5 Cable de tres conductores con tierra de protección (ejemplo)

Red eléctrica.
Indebidamente los dispositivos conectados a tierra pueden ser extremadamente peligrosos en caso de fallo.
Utilizar la red de tres hilos o cables de extensión con la tierra de protección solamente. Enchufe el cable de red
en los enchufes de pared con tierra de protección solamente.

fusionan Sin alimentación eléctrica.


El controlador multicanal no está equipado con un fusible de red.
El enchufe de pared debe estar protegido con un fusible (máx. 10 A).
Conectar el conector del aparato Europea del cable de red con la conexión de red de la unidad
Conecte el enchufe del cable de alimentación con la toma de corriente

Nota:
Si la unidad está instalada en un armario de distribución, la tensión de red puede ser sup-plegados a
través de un distribuidor de poder central conmutable.

3.3.3 Suelo
El tornillo de tierra (Fig. 3-4, ㄷ 18, inciso I) se pueden utilizar para conectar el controlador multicanal con la
tierra de protección de la estación de bombeo.
Si es necesario: Conecte la tierra de protección de la estación de bombeo con el tornillo de tierra. Use un
conductor de protección.

Instalación

Advertencia

Advertencia
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Instalación

3.3.4 SENSOR
La conexión del sensor se utiliza para conectar los transmisores.
Para cada canal, hay dos conexiones disponibles que están conectados en
paralelo: Un zócalo de aparato RJ45 8 pines y una toma de aparato D-Sub
de 15 pines. VerFig. 3-4, ㄷ 18, Un artículo en ... C.

asignación de pines

8 1

Fig.
3-
6SE
NSO
R
sock
et
apar
ato
(RJ4
5)
24
VD
1 C 5 Señal GND
PG
2 ND 6 Estado
Señ
3 al 7 HV_L
Iden
4 t 8 HV_EMI

8 1

15 9

Fig. 3-7SENSOR socket aparato (D-Sub, 15 polos)

1 EMI-Estado 9 Carolina del Norte


2 Señal 10 Ident
3 Estado 11 Supply_CDG
4 HV_EMI 12 Señal GND
5 PGND 13 RXD
6 Carolina del Norte 14 TXD
7 Degas 15 Chasis
8 Suministro

Precaución transmisores indebidos.


Transmisores que no están diseñados para su uso con la Con-Troller
multicanal puede dañar la unidad.
Operar el controlador multicanal con sólo transmisores adecuados.
VerCapítulo 2.3.1 Conexiones del sensor, ㄷ 11.

Precaución conexión múltiple.


Sólo un transmisor puede ser conectado a cada uno de los canales. En
cuanto al otro se dañarán los transmisores conectados.
Nunca conecte más de un transmisor por canal.

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Instalación

Conexión
Canal 1: conectar el sensor con el CH1-A o conexión CH1-B. Use un
blindado cable 1: 1.
Canal 2: Conexión del sensor con el CH2-A o conexión CH2-B. Use un
blindado cable 1: 1.
Canal 3: Conectar el sensor con el CH3-A o conexión CH3-B. Use un
blindado cable 1: 1.

3.3.5 RELÉ
Las funciones de conmutación y el sistema de supervisión de errores
influyen en el estado de varios relés interior del controlador multi -Canal. La
conexión de relés(Fig. 3-4, ㄷ 18, punto J) permite utilizar los contactos de
relé para la conmutación de PUR-poses. Los contactos del relé están libres
de potencial (flotante).

asignación de pines

13 1

25 14

Fig. 3-8 socket aparato relé (D-Sub, 25 polos)


Contacto Error maquillaje (NO)
GND Error de contacto común (COM)
Carolina del Norte SP 4 contacto de apertura (NC)
contacto de apertura de error (NC) SP 4 de contacto común (COM)
SP 1 ruptura de contacto (NC) SP 4 hacen contacto (NO)
SP 1 contacto común (COM) SP 5 contacto de apertura (NC)
SP 1 hacen contacto (NO) SP 5 de contacto común (COM)
GND SP 5 hacen contacto (NO)
SP 2 contacto de apertura (NC) SP 6 ruptura de contacto (NC)
SP 2 de contacto común (COM) SP 6 de contacto común (COM)
SP 2 hacen contacto (NO) SP 6 hacen contacto (NO)
SP 3 contacto de apertura (NC) 24 VDC, 200 mA. Cumple con las requerir-
SP 3 de contacto común (COM) mentos de una protección de baja tensión
SP 3 hacen contacto (NO) en edad de tierra adicional (SELV).

Carolina del Norte no conectado


contactos COMcommon
CAROLINA DEL NORTE contacto de apertura (normalmente cerrado)
NO hacer contacto (normalmente abierto)

Nota:
Pin 25 se utiliza para la alimentación de los relés con un poder de
corte superior. El contacto de alimentación está protegida a 200 mA
con un elemento de PTC. El elemento es auto-rearme cuando se
cambia de la unidad o desconectar el conector del relé.

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Instalación

Advertencia Voltaje peligroso.


Tensiones superiores a 60 V CC o 30 V CA y pueden causar lesiones
graves.
La conexión relé puede utilizarse para la conmutación de tensiones
de máx. 60 VDC o 30 VAC solamente. Estas tensiones deben cumplir
con los requisitos de una planta pequeña tensión de protección
(SELV).
Conectar los componentes periféricos con la conexión de relé. Utilice un
cable de conexión blindado.

3.3.6 CONTROLAR
La conexión de control (Fig. 3-4, ㄷ 18, punto D) contiene los siguientes
pines sig-nal:
Las salidas analógicas para las señales de los canales individuales
salida de la grabadora. Esta es una salida analógica programable que
puede ser tan-firmado a uno de los tres canales.
HV-EMI. Se utiliza para conmutar el circuito de alto vacío de la 225 transmisor
PTR encendido y apagado. Los niveles de señal son: On = 24 V. Off = 0 V.
VerReferencia [3].

asignación de pines

1 5

6 9

Fig. 3-9CONTROL clavija del aparato (D-Sub de 9 polos)

1 Salida analógica 1 6 Salida analógica 2


2 Salida analógica 3 7 salida del registrador
3 GND 8 GND
4 HV-EMI 3 9 HV-EMI 2
5 HV-EMI 1

Conectar los componentes periféricos con la conexión de control. Utilice


un cable de conexión blindado.

Nota:
Las salidas analógicas (patillas 1, 2, 6) se diferencian de los valores
mostrados por no más de ± 50 mV.
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Instalación

3.3.7 RS232C
La interfaz serial RS232C (Fig. 3- 4, ㄷ 18, ítem F) permite el control remoto
de la unidad a través de un ordenador o un terminal. VerCapítulo 6 Interfaz
del equipo, ㄷ 57.
Además, la interfaz puede ser usada para actualizaciones de firmware.
Vercapítulo 7.2 Modo de transferencia del programa, ㄷ 85.

asignación de pines

5 1

9 6

Fig. 3-10 socket aparato RS232C (D-Sub de 9 polos)

1 nc / SUP 6 DSR
Car
olina
del
Nort
2 TXD 7 e
3 RXD 8 CTS
4 Carolina del Norte 9 GND
5 GND

Conectar el puerto serie del ordenador con el RS232C connec-ción. Utilice


un cable blindado.

Nota:
Utilice un cable de extensión de serie con un conector de 9 pines y un
conector de 9 pines. El ca-ble no debe contener ningún alambres
cruzados.
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Operación

4 Operación

4.1 Panel frontal


La Fig. 4 -1, ㄷ 24 muestra el panel frontal del centro de tres. El CENTRO
dos no está equipado con el SP5 puntos de conmutación y SP6 (punto A) y
la pantalla para el canal 3 (punto F).

UN segundodo

re

mi

GRAMO

CENTRAR TRES

Fig. 4-1 Panel frontal del CENTRO DE TRES

Cambio de indicador de la función


modo de Parámetros
unidad de presión
Área de visualización para el canal 1
Área de visualización para el canal 2
Área de visualización para el canal 3
Los botones de control
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Operación

4.1.1 Monitor

funciones de conmutación
La esquina superior izquierda (punto A) de la pantalla indica los estados de
función de conmutación. Un triángulo iluminado por encima de un número
indica que la presión está por encima del valor umbral inferior. Un triángulo
iluminada por debajo de un número indi-Cates que la presión está por
debajo del valor de umbral superior. VerFig. 5-1, ㄷ 37.

modo de Parámetros
El indicador PARA (punto B) se ilumina cuando la unidad está ajustado en el
modo de paráme-ter.

unidad de presión
La esquina superior derecha (punto C) de la pantalla indica la unidad de presión: mbar,
Torr, Pa, o Micron.

canales
Hay una zona de visualización independiente para cada uno de los canales disponibles (punto D, E,
F). Desde la izquierda a la derecha, esta área muestra la siguiente información:

Monitor Significado

1, 2, 3 Numero de canal
FAIL (parpadeando) Error
DEG (iluminados) Degas se activa la función
HV (iluminados) circuito de alto vacío se activa

-8.8.8.8.8 + 18 Medición o estado de los mensajes


OFS (iluminados) corrección de la desviación se activa
la corrección del tipo de gas es
COR (iluminados) activado

4.1.2 Los botones de control

CH
El botón CH se utiliza para seleccionar un canal. Esto puede ser necesario
por ejemplo, si desea cambiar un transmisor particular, encendido o
apagado, o si desea modificar los parámetros del sensor. El número del
canal actualmente seleccionado parpadea durante unos segundos.

PARACA
El botón PARA se utiliza para seleccionar el modo de parámetros. El
indicador PARA (punto B) se ilumina y se puede modificar varios
parámetros. VerCapítulo 4.5 Modo de Parámetros, ㄷ 33.

Botones de flecha (ARRIBA / ABAJO)


Se requieren los botones de flecha para introducir datos en el modo de
parámetros. Al pulsar uno de estos botones disminuir o aumentar el valor
que se muestra actualmente. A continuación, estos botones se conocen
como arriba y abajo, respectivamente.
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Operación

4.2 Encendido y apagado

4.2.1 Encendido
El interruptor de red se encienden. VerFig. 3-4, ㄷ 18, punto H.
Después de la conexión, el controlador multicanal llevará a cabo las
siguientes acciones:
Autotest
Identificar todos los transmisores
Restaurar los parámetros establecidos previamente
Activar el modo de medición
Adaptar los parámetros (si es un tipo de transmisor ha cambiado mientras
tanto)

4.2.2 Apagando
desconecte el interruptor de la red eléctrica. VerFig. 3-4, ㄷ 18, punto H.

4.2.3 Tiempo de espera

Precaución Tiempo de retardo.


Después del apagado, el controlador de Multi-Channel requiere
aproximadamente 10 segundos para inicializar de nuevo.
Espere al menos 10 segundos antes de encender el controlador
multicanal de nuevo.

Nota:
Si el controlador multicanal se ha instalado en un panel de control o un
estante, sino que también se puede encender y apagar a través del
distribuidor de energía central.
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Operación

4.3 modos de operación


El controlador multicanal se puede ajustar a uno de los siguientes
modos de funcionamiento:

modo de medición
El modo de medición es el modo de funcionamiento estándar. Muestra los
pres-Sure lecturas de los transmisores. En caso de un error, un mensaje de
estado es dis-jugó en su lugar. VerCapítulo 4.4 Modo de medición, ㄷ 27.

modo de Parámetros
El modo de parámetros le da acceso a varios parámetros. Puede
comprobar los ajustes de los parámetros o modificarlos utilizando los
botones de flecha. Esto le permite configurar el controlador multicanal.
VerCapítulo 4.5 Parámetro modo, ㄷ 33.

Modo de transferencia del programa


El modo de transferencia de programa se utiliza para transferir la versión
más reciente de la firma-ware al controlador multicanal. VerCapítulo 7.2
Programa de transferencia modo, ㄷ 85.

4.4 modo de medición

4.4.1 Selección
El controlador de Multi-Channel selecciona automáticamente el modo de
medición después de que se ha encendido.
Cuando la unidad está ajustado en el modo de parámetros, volverá
automáticamente al modo de medición, si no se pulsa ningún botón durante
10 segundos.
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 27

Operación

4.4.2 Descripción
El modo de medición es el modo de funcionamiento estándar. Muestra los
pres-Sure lecturas de los transmisores. Un mensaje de estado se muestra si
el pres-seguro excede del rango permitido. VerLengüeta. 4-1,ㄷ 28.

Monitor Presión
Significativamente por encima de lo
Hola er permisible
distancia
El indicador parpadeará FALLO
Los conmutadores de relé de señal
de error
Por encima de los límites permitidos.
Limite superior los
límite superior del rango de medición
es
desplegado.

Leyendo En el rango permisible


Por debajo de los límites permitidos.
Límite inferior los
límite inferior del rango de medición
es
desplegado.
Significativamente inferior a la
Lo er permitida
distancia
El indicador parpadeará FALLO
Los conmutadores de relé de señal
de error
Nosen Ver Lengüeta. 4-2,ㄷ 32
noid Ver Lengüeta. 4-2,ㄷ 32
apagado Ver Lengüeta. 5-15,ㄷ 53
Caliente Ver Capítulo 5.2.6, ㄷ 44
YO Ver Capítulo 5.2.8, ㄷ 44
CH 1 Ver Capítulo 5.2.8, ㄷ 44
CH 2 Ver Capítulo 5.2.8, ㄷ 44
CH 3 Ver Capítulo 5.2.8, ㄷ 44
Línea de Control Ver Capítulo 5.4.5, ㄷ 53

Lengüeta. 4-1 Visualización en el modo de medición

Los canales que no están conectados a una pantalla del transmisor Nosen.
Este mensaje de estado desaparece después de aproximadamente dos
minutos.
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Operación

4.4.3 funciones de los botones de control

4.4.3.1 Selección de un canal


Pulse el botón CH

Fig. 4-2 Al pulsar el botón CH

La unidad selecciona el siguiente canal. El número del canal seleccionado


es el flash-ción durante unos segundos.

4.4.3.2 Selección de modo de parámetros


Pulse el botón PARA

Fig. 4-3 Al pulsar el botón PARA

La unidad cambia al modo de parámetro. VerCapítulo 4.5 Modo de Parámetros,


33. Se volverá automáticamente al modo de medición, si no se pulsa
ningún botón durante 10 segundos.
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Operación

4.4.3.3 El circuito de conmutación de alto vacío en


El circuito de alto vacío de los siguientes transmisores se puede cambiar en
el hombre-dualmente: PTR 225.
Para ello, el control de la emisora se debe establecer en la
mano. VerCapítulo 5.2.6 activación del transmisor (S-on), ㄷ 44.
Pulse el botón CH para seleccionar el canal deseado
Mantenga pulsado el botón UP durante aproximadamente 1 segundo

Fig. 4-4 Pulse el botón UP durante 1 segundo

El transmisor en el canal seleccionado está encendido. El indicador se


ilumina HV. La pantalla muestra la lectura de la presión o un mensaje de
estado. VerLengüeta. 4-1,ㄷ 28.

4.4.3.4 desgasificar la función de conmutación de


La función de desgasificación de los siguientes transmisores se puede activar
de forma manual:
ITR.
Pulse el botón CH para seleccionar el canal deseado
Mantenga pulsado el botón UP durante aproximadamente 1 segundo. VerLa
Fig. 4-4, ㄷ 30.
La función de desgasificación del transmisor en el canal seleccionado está
encendido.
El indicador se ilumina DEG.
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Operación

4.4.3.5Switching circuito de alto vacío off


El circuito de alto vacío de los siguientes transmisores puede desconectarse
hombre-dualmente: PTR 225.
Para ello, el control de la emisora se debe establecer en la
mano. VerCapítulo 5.2.8 desactivación del transmisor (S-OFF),
ㄷ 44.
Pulse el botón CH para seleccionar el canal deseado
Mantenga pulsado el botón DOWN durante aproximadamente 1 segundo

Fig. 4-5 Pulse el botón durante 1 segundo

El transmisor en el canal seleccionado se apaga. El indicador HV es


oscuro. La pantalla muestra el estado de OFF.

desgasificar 4.4.3.6Switching funcionan fuera


La función de desgasificación de los siguientes transmisores se puede desconectar manualmente:
ITR.
Pulse el botón CH para seleccionar el canal deseado
Mantenga pulsado el botón DOWN durante aproximadamente 1
segundo. VerLa Fig. 4-5, ㄷ 31.
La función de desgasificación del transmisor en el canal seleccionado se apaga.
El indicador de DEG es oscuro.
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 31

Operación

4.4.3.7Identifying un transmisor
Mantenga los botones ARRIBA y ABAJO presionado durante
aproximadamente 1 segundo

Fig. 4-6 Pulse los botones ARRIBA y ABAJO durante 1 segundo

El área de visualización de los canales individuales muestra los transmisores


conectados.
Ver Lengüeta. 4-2,ㄷ 32.

Monitor Significado

TTR Thermovac (TTR)


ttr1 Thermovac (TTR 100, TTR 101)
ptr PENNINGVAC (PTR 225)
Ptr90 PENNINGVAC (PTR 90)
ctr CERAVAC (CTR 90, CTR 91, DI
200, DI 201, DI 2000, 2001 DI, DI
2001 rel)
Ctr1 CERAVAC (CTR 100, CTR 101)
ITR IONIVAC (ITR 90)
itr2 IONIVAC (ITR 200)
Nosen No se han encontrado transmisor
No identificación del transmisor
noid encontrado

Lengüeta. 4-2 identificación del transmisor

Nota:
En el caso de transmisores de ITR, se muestra también el número de
versión de software del sen-sor (por ejemplo, 1,20).
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Operación

4.5 modo de Parámetros

4.5.1 Selección
Presionando el botón PARA desde el modo de medición para el modo
de parámetros. El indicador se ilumina PARA.
Cuando la unidad está ajustado en el modo de parámetros, volverá
automáticamente al modo de medición, si no se pulsa ningún botón durante
10 segundos. El PARA indica-tor es oscuro.

4.5.2 Los grupos de parámetros


El modo de parámetros le da acceso a varios parámetros. Puede
comprobar los ajustes de los parámetros o modificarlos utilizando los
botones de flecha. Esto le permite configurar el controlador multicanal.
Lengüeta. 4-3,ㄷ 34 muestra todos los parámetros disponibles.

El grupo de parámetros parámetros

SP1-L
Paraca SP1-H
SP SP2-L
SP2-H
SP3-L
SP3-H
SP4-L
SP4-H
SP5-L
SP5-H
SP6-L
SP6-H

Paraca FiLt
GAS
SEn
FS
oFS
Degas
Hijo
S-apagado
EMi
FiL
Pre
Paraca unidad
bAud
GEn
dígito
dEF
Ao
Err-r

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 33

Operación

El grupo de parámetros parámetros

Paraca PNR
dt-C
prueba
tr-L
Línea de Control
rata
EP-t
EE-t
di-t
Ad-S
Ad-i
CALib
io-t
rS-t

Lengüeta. 4-3 Los grupos de parámetros y sus parámetros

Los parámetros disponibles se subdividen en los siguientes grupos de


parámetros:

Cambio de parámetros de la función (PArA SP)


Estos parámetros se utilizan para asignar funciones de conmutación
dependientes de la presión a los canales. Los puntos de conmutación 5 y 6 sólo
están disponibles en el CEN-TER tres. VerCapítulo parámetros de la función de
conmutación 5.1 (párr SP),
36.

parámetros de sensor (PArA SEN)


Estos parámetros se refieren al transmisor en el canal actualmente
seleccionado. Hay un conjunto individual de parámetros para cada canal.
VerCapítulo 5.2 Parámetros del sensor (párr SEN), ㄷ 39.

Parametros generales (PArA GEN)


Estos parámetros se utilizan para la configuración general de la unidad. Los
Parame-tros afectan a todos los canales. VerCapítulo 5.3 Parámetros generales
(párr GEN),
47.

Los parámetros de prueba (tESt para)


Este grupo de parámetros se utiliza para comprobar las funciones del
sistema individuales. No se requiere el grupo de parámetros durante el
funcionamiento normal. Por esta razón, se debe acceder de una manera
especial. VerCapítulo 5.4 Parámetros de la prueba (párrafo prueba), ㄷ 52.
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Operación

4.5.3 Operación básica


Comenzando en el menú de medición, se puede seleccionar y modificar
un parámetro específico de la siguiente manera:
Pulse el botón CH para seleccionar el canal deseado. (Esto sólo es nece
sario-si desea modificar un parámetro del sensor.)
Pulse el botón PARA
0 El menú de parámetros se selecciona
1 El indicador se ilumina PARA
Utilice los botones de flecha para seleccionar el grupo de parámetros requeridos
0 Se muestra el nombre del grupo de parámetros
Pulse el botón PARA para seleccionar el parámetro requerido
0 El nombre y el valor del parámetro se muestran
Utilizar las teclas de flecha (y el botón CH, si es necesario) para
modificar el valor del parámetro
0 Se cambia el valor del parámetro
Repetir los pasos 4 y 5 para cambiar otros parámetros de un mismo
grupo de parámetros
La unidad vuelve al modo de medición después ha sido visitada el último
parámetro de un grupo de parámetros. modificaciones de los parámetros
son efectivos inmediatamente, y que se guardan en la memoria EEPROM
de forma automática.
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 35

parámetros

5 parámetros

5.1 Cambio de parámetros de la función (PArA SP)


Este grupo de parámetros permite configurar las funciones de conmutación.
Los parámetros de la función de conmutación fol-lowing están disponibles
en el CENTRO DOS:
SP1-L
SP1-H
SP2-L
SP2-H
SP3-L
SP3-H
SP4-L
SP4-H
Además, el CENTRO TRES está equipada con los parámetros func-ción
siguiente de conmutación:
SP5-L
SP5-H
SP6-L
SP6-H

5.1.1 términos fundamentales

funciones de conmutación
El CENTRO DOS está equipado con cuatro relés que conmutan en
dependencia de la presión medida. Los contactos del relé están libres de
potencial y se pueden utilizar para la conmutación a través de la conexión del
relé. VerCapítulo 3.3.5 RELAY,
21. En este contexto se habla de las funciones de conmutación 1 ... 4.
El CENTRO TRES contiene un total de seis relés de función de
conmutación, es decir, las funciones de conmutación 1 ... 6 están
disponibles en esta unidad.

Límite de ventas
El comportamiento de conmutación de los relés individuales está
determinada por dos Parame-tros cada uno: El valor umbral inferior y el
valor umbral superior de la función de conmutación.
Valor de umbral inferior SP-L:
El valor umbral inferior es responsable de activar la función de
interruptor-ción asignada. El relé se conecta tan pronto como la presión
cae por debajo del valor umbral inferior. Esto significa que el contacto
común del relé se conecta al contacto de cierre.
Alto valor umbral SP-H:
El valor umbral superior es responsable de la desactivación de la
función de conmutación asignado. El relé se desconecta tan pronto
como la presión se eleva por encima del valor umbral superior. Esto
significa que el contacto común del relé se conecta al contacto de cierre.

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

parámetros

Histéresis
En el intervalo de presión entre los dos valores de umbral, se mantiene el
estado del relé anterior. El relé no cambia en este rango, y el estado del relé
depende de la historia curva de presión. VerFig. 5-1, ㄷ 37.

pag

SP-H

SP-L

NO NO NO
COM COM COM
CAR
OLIN
A
DEL
NOR CAROLINA DEL
TE NORTE CAROLINA DEL NORTE

Fig. 5-1 Comportamiento de una función de conmutación cuando los cambios de presión

Presión
TTIME
NO hacer contacto (normalmente abierto)
contactos COMcommon
CAROLINA DEL NORTE contacto de apertura (normalmente cerrado)

La región entre los valores de umbral genera una histéresis (retardo) entre
la activación y desactivación del relé. La histéresis impide que la función de
conmutación de conmutación rápidamente dentro y fuera cuando la presión
está cerca de uno de los valores de umbral.

5.1.2 Configuración de las funciones de conmutación


Requisito: El grupo de parámetros SP-P se selecciona
Pulse el botón PARA para seleccionar el parámetro requerido
0 El nombre y el valor del parámetro se muestran
Utilice el botón CH para asignar la función de conmutación a un canal de
0 Las funciones de conmutación se pueden asignar a los canales de cualquier manera
1 Los dos valores de umbral de la función de conmutación son
siempre tan-firmado en el mismo canal
Utilice los botones de flecha para modificar el valor umbral
0 Se cambia el valor del parámetro
Repetir los pasos 1 a 3 para cambiar otros parámetros de un mismo
grupo de parámetros

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 37

parámetros

5.1.3 Rango de ajuste

Rango de ajuste del valor umbral inferior


El valor umbral más bajo de una función de conmutación se puede ajustar
en el rango de presión siguiente:

Transmisor SP-L min. [Mbar] max SP-L. [Mbar]

TTR 2 × 10-3 *) 5 ×102


TTR 100 2 × 10-3 *) 1.5× 103
PTR 1 × 10-9 1 × 10-2
PTR 90 5 × 10-9 5 ×102
CTR FS / 1000 FS

ITR 1 × 10-8 5 ×102


Lengüeta. 5-1 Rango de ajuste de los valores de umbral más bajos
-4
*) 2 × 10 mbar si está activado el PRE (ver Capítulo 5.2.12, ㄷ 46)

Rango de ajuste del valor umbral superior


El valor umbral superior de una función de conmutación se puede ajustar
en los siguientes rangos de presión:

Transmisor SP-H min. [Mbar] SP-H max. [Mbar]

TTR 1.1 SP-L 5 ×102


TTR 100 1.1 SP-L 1.5 × 103
PTR 1.1 SP-L 1 ×10-2
PTR 90 1.1 SP-L 5 ×102
CTR SP-L + 0,01 FS FS

ITR 1.1 SP-L 5 ×102


Lengüeta. 5-2 Rango de ajuste de los valores umbral superiores

Esto significa que las cantidades de histéresis a 10% del valor umbral
inferior (transmisores logarítmica) o a 1% del intervalo de escala completa
(transmisores lineales) por lo menos. Si otro tipo de transmisor está
conectado a un canal, los valores de umbral respectivos se ajustarán
automáticamente si es necesario.
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

parámetros

5.2 parámetros de sensor (PArA SEN)


Hay un conjunto individual de parámetros del sensor para cada canal.
Seleccionar el canal deseado antes de cambiar al menú de parámetros y
modificar los parámetros del sensor.
El número de parámetros disponibles depende del tipo de transmisor que
está conectado al canal seleccionado. VerLengüeta. 5-3,ㄷ 39. S-apagado
Degas
GAS

Transmisor
oFS

Hijo

EMi
FiLt

Pre
FiL
FS

TTR   
TTR 100   
PTR    
PTR 90  
CTR   
CTR 100   

ITR  
ITR 200   

Lengüeta. 5-3 parámetros de los sensores disponibles

5.2.1 filtro de medición (FiLt)


El filtro de medición mejora mediciones cuando la señal es ruidoso o
perturbada. El filtro afecta a las lecturas en la pantalla, la salida RS232C, la
salida del registrador, y las funciones de conmutación. Las salidas
analógicas, la forma de la historia, no se ven afectados.
El filtro se puede fijar a uno de los siguientes valores:
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parámetros

Rápido
Rápido. El controlador multicanal responde rápidamente a las variaciones
de señal. Esto hace que sea más sensible a la señal de ruido.

pag

Fig. 5-2 Medición con el conjunto de filtro para FASt (ejemplo)

ni
Normal. Esta es la configuración predeterminada. Se ofrece un buen
compromiso entre el tiempo de respuesta y la sensibilidad al ruido.

pag

Fig. 5-3 Medición con el conjunto de filtro para ni (ejemplo)

SLo
Lento. El controlador multicanal responde lentamente a las variaciones de
señal. Esto hace que sea menos sensible a la señal de ruido. Esta
configuración se recomienda para mediciones de comparación pre-Cise.

pag

t
Fig. 5-4 Medición con el conjunto de filtro para SLo (ejemplo)

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

parámetros

ctr
Para los transmisores de CTR. La respuesta del controlador de
multiparámetros -Canal para señalar los cambios depende del rango de
medición. La pantalla es especialmente estable en el rango de medida baja.

Rango de medición Filtrar

0,1 ... 1 FS ni (normal)


0.04 ... 0.1 FS SLo (lento)
0.01 ... 0,04 FS Aprox. 2 × SLo
0 ... 0,01 FS Aprox. 4 × SLo

Lengüeta. 5-4 Medición con el conjunto de filtro para Ctr

5.2.2 Tipo de gas (GAS)


Los transmisores están normalmente calibrados para una medición en nitrógeno o en aire.
El parámetro de gas se usa para configurar el canal con otros tipos de gas.

Monitor Significado
Nitrógeno o aire. no se requiere corrección de cualquier
n2 tipo.
Argón. La lectura de la presión se determina utilizando
Arkansas una
factor de corrección para argón. COR se ilumina.
Hidrógeno. La lectura de la presión se determina la
H2 utilización de
un factor de corrección para el hidrógeno. COR se
ilumina.
Otros gases. La lectura de la presión se determina
cor utiliz-
ing un factor de corrección variable. COR se ilumina.

Lengüeta. 5-5 ajustes de los parámetros GAS

cor
Si desea realizar mediciones de la presión en un tipo de gas sin un factor de
corrección fija, es posible multiplicar la lectura con un factor de corrección de
presión variable. Con este fin proceder como sigue:
Ajuste el parámetro a GAS Cor
Pulse el botón PARA
0 Se muestra el factor de corrección
Utilice los botones de flecha del modificar el factor de corrección
0 Se cambia el valor del parámetro
1 El indicador se ilumina COR
Se puede ajustar el factor de corrección de un transmisor en el rango 0.10 ... 9.99.
El ajuste de 1.00 devuelve la lectura de la presión sin corregir.
Nota:
Para los transmisores de tipo ITR und PTR 90, la corrección del tipo de
gas es effec-tiva sólo para p <10-2 mbar; en caso de TTR100 y TTR 101
sólo para p <10 mbar.

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 41


parámetros

5.2.3 Rango de medición (FS)


transmisores lineales (CTR) requieren especificación del rango de escala
completa. Puede establecer este valor utilizando las teclas del cursor. Los
siguientes valores están disponibles:
0.01 mbar
0,01 Torr, 0,02 Torr, 0,05 Torr
0,10 mbar, 0,25 mbar, 0,50 mbar
0,10 Torr, 0,25 Torr, 0,50 Torr
1 mbar, 2 mbar, 5 mbar
1 Torr, 2 Torr, 5 Torr
10 mbar, 20 mbar, 50 mbar
10 Torr, 20 Torr, 50 Torr
100 mbar, 200 mbar, 500 mbar
100 Torr, 200 Torr, 500 Torr
1000 mbar, 1100 mbar
1000 Torr
2 bar, 5 bar, 10 bar, 50 bar

cabezales de medición DI
200 mbar (DI200)
2 bar (ED2)
2 bar relativo (dir2)

5.2.4 Compensar (oFS)


Cuando se activa la corrección de la desviación, un valor de
desplazamiento especificado anteriormente se resta de cada lectura de la
presión. Esto permite convenientemente mea-seguro de la presión relativa
con respecto a una presión de referencia.
La corrección de la desviación afecta a las lecturas en la pantalla, la salida
RS232C, salida de la grabadora, y las funciones de conmutación. Las
salidas analógicas, la forma de la historia, no se ven afectados.

El establecimiento de un valor de desplazamiento y la activación de la


corrección de la desviación
Seleccionar el parámetro oFS
Mantenga pulsado el botón UP durante aproximadamente 2 segundos
0 La lectura de la presión actual se convierte en el nuevo valor de
desplazamiento
1 La corrección de la desviación se activa
2 El indicador se ilumina OFS

Desactivación de la corrección de la desviación


Seleccionar el parámetro oFS
Pulse el botón ABAJO
0 La corrección de la desviación se desactiva
1 La pantalla muestra oFF
2 El indicador es oscuro OFS

La activación de la corrección de la desviación


Seleccionar el parámetro oFS
Pulse el botón UP
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum
parámetros

La corrección de la desviación se activa


El indicador se ilumina OFS

Nota:
Desactive siempre la corrección de la desviación antes de ajustar el
desplazamiento de un transmisor.

Ajuste del punto de un CTR cero digital


Seleccionar el parámetro oFS
Mantenga pulsado el botón DOWN durante aproximadamente 2 segundos
0 El punto de la cero del transmisor se ajusta
1 El indicador se ilumina después de OFS> 2 s y el tiempo que se
presiona el botón

Nota:
Primero se regula el transmisor, entonces el controlador multicanal.

Nota:
Después de ajustar el punto cero, se muestra un valor cero. Debido a la
resolución mea-suring del CTR 100 y CTR 101 (ruido, la deriva), un cero
con más / menos se muestran varios dígitos.

5.2.5 función Degas (Degas)


transmisores de ionización con un cátodo caliente son sensibles con
respecto a deposi-ciones en los electrodos. Estos depósitos pueden causar
fluctuaciones de la señal.
La función de desgasificar es horneado y de ese modo limpiar el sistema de
electrodos del transmisor. VerReferencia [6].
ITR 200 transmisor:
La función de desgasificar sólo afecta el filamento activo
actualmente. VerReferencia [15].

La activación de la función de desgasificación


Seleccionar el parámetro Degas
Pulse el botón UP
0 La función de desgasificar se activa
1 La pantalla muestra el
2 El indicador se ilumina DEG
El proceso de limpieza tarda aproximadamente 3 minutos. A continuación, la
función de desgasificación se apaga automáticamente. También puede
desactivar esta función manualmente.

La desactivación de la función de desgasificación


Seleccionar el parámetro Degas
Pulse el botón ABAJO
0 La función se desactiva desgasificar
1 La pantalla muestra oFF
2 El indicador de DEG es oscura

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 43


parámetros

5.2.6 la activación del transmisor (Hijo)


Este parámetro determina la forma en que el transmisor está encendido. La
activación del transmisor se puede fijar a uno de los siguientes valores:

Mano
A mano. El transmisor se puede activar pulsando el botón UP. Ver
Capítulo 4.4.3.3 de conmutación de circuito de alto vacío en, ㄷ 30.

Caliente
Arranque en caliente. El transmisor se enciende automáticamente cuando la
unidad está encendida. Después de un fallo de alimentación de la medición se
reanudará automáticamente.

CH 1
Por el canal 1. El parámetro posterior t-on se utiliza para especificar el
umbral de conexión. El transmisor se enciende cuando la presión en el
canal 1 cae por debajo del umbral de conexión.

CH 2
Por el canal 2. El parámetro posterior t-on se utiliza para especificar el
umbral de conexión. El transmisor se enciende cuando la presión en el
canal 2 cae por debajo del umbral de conexión.

CH 3
Por el canal 3. Este ajuste sólo está disponible si la unidad está equipada
con tres canales. El parámetro posterior t-on se utiliza para especificar
umbral el interruptor -on. El transmisor se enciende cuando la presión en el
canal 3 cae por debajo del umbral de conexión.

5.2.7 Encender umbral (tonelada)


Este parámetro sólo está disponible si el parámetro de activación transmisor
está ajustado a CH 1, CH 2 o CH 3. Véase Capítulo 5.2.6 activación del
transmisor (S-on), ㄷ 44.
El parámetro t-on se utiliza para especificar un umbral de conexión. El
transmisor se enciende cuando la presión en el canal respectivo cae por
debajo del umbral de conexión.

5.2.8 la desactivación del transmisor (S-OFF)


Este parámetro determina la forma en que el transmisor está apagado. La
desactivación del transmisor se puede fijar a uno de los siguientes valores:

Mano
A mano. El transmisor puede ser apagada pulsando el botón ABAJO.
Ver Capítulo 4.4.3.5 de conmutación de circuito de alto vacío apagado, ㄷ
31.

YO
Auto control. El parámetro posterior t-off se utiliza para especificar el umbral
de desconexión. El transmisor se apaga cuando la presión en el sensor
excede el umbral de desconexión.

CH 1
Por el canal 1. El parámetro posterior t-off se utiliza para especificar el
umbral de desconexión. El transmisor se apaga cuando la presión en el
canal 1 excede el umbral de desconexión.
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum
parámetros

CH 2
Por el canal 2. El parámetro posterior t-off se utiliza para especificar el
umbral de desconexión. El transmisor se apaga cuando la presión en el
canal 2 supera el umbral de desconexión.

CH 3
Por el canal 3. Este ajuste sólo está disponible si la unidad está equipada
con tres canales. El parámetro posterior t-off se utiliza para especificar el
umbral de desconexión. El transmisor se apaga cuando la presión en el
canal 3 excede el umbral de desconexión.

5.2.9 De desconexión umbral (petimetre)


Este parámetro sólo está disponible si el parámetro transmisor desactivación se
establece a CH 1, CH 2 o CH 3. Véase Capítulo 5.2.8 desactivación del
transmisor (S-OFF),
44.
El parámetro t-off se utiliza para especificar un umbral de desconexión. El
transmisor se apaga cuando la presión en el canal respectivo supera el
umbral de desconexión.

5.2.10 Emisión (EMI)


Este parámetro define las normas para la conmutación de la emisión en las.

Monitor Significado
Emisión se enciende y se apaga por el
Auto transmisor
electrónica
Hombre Emisión se enciende y se apaga manualmente

Lengüeta. 5-6 EMi parameter values

5.2.11 Filament selection (FiL)


This parameter defines the rules for selecting the active filament.

Display Significance
Auto The transmitter alternately selects one of the two
filaments
Fil 1 Filament 1 ist active
Fil 2 Filament 2 ist active

Tab. 5-7 FiL parameter values

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 45


Parameters

5.2.12 Pirani range extension (PrE)


Extend the display and the setpoint adjustment range.

Display Significance

oFF Normal operation


on Range extension:
-5
„ Display down to 5 × 10 mbar
„ Setpoint adjustment range

down to 2 × 10-4 mbar


Tab. 5-8 PrE parameter values

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Parameters

5.3 General parameters (PArA GEn)


These parameters are used for general configuration of the unit. The
parame-ters affect all channels.

5.3.1 Unit of measurement (unit)


Unit of measurement for pressure values. The unit affects displayed
pressure readings, threshold values, etc.

Display Significance

bAr unidad mbar de presión o bar


torr Unidad de presión Torr
PASC Unidad de presión Pascal
uC Unidad de presión Micron

Lengüeta. 5-9 valores de los parámetros unidad

La unidad de medida se indica en la pantalla. VerLa Fig. 4-1, ㄷ 24, artículo


C.

Nota:
La unidad de presión «Torr» se puede bloquear. En este casotorr no
está disponible para la selección. VerCapítulo 5.4.4 bloqueo Torr (tr-L), ㄷ
53.

5.3.2 Velocidad de transmisión (baudios)


La tasa de transferencia de la interfaz RS232C.

Monitor Significado

9600 9600 baudios


19200 19200 baudios
38400 38400 baudios

Lengüeta. 5-10 valores de los parámetros de transmisión en baudios

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parámetros

5.3.3 Desplegar formato (dígito)


Número de dígitos que se muestran en la pantalla.

Monitor Significado

2 dos dígitos

por ejemplo 2.5-1 o 370


3 tres dígitos

por ejemplo, 2,47 a 1 o 373

Lengüeta. 5-11 valores de los parámetros dígitos

Nota:
los parámetro dígitos no tiene ningún efecto en el transmisor CTR.

Nota:
Cuando PrE está activado, la pantalla de transmisores de TTR en el
intervalo de presión p <10-4 mbar se reduce por un dígito.

5.3.4 Los parámetros por defecto (def)


Restablecer todos los parámetros a los valores por defecto (ajustes de
fábrica). Tenga en cuenta que esta acción no se puede deshacer.
Proceder de la siguiente manera para restablecer los parámetros:
Seleccionar el parámetro dEF
Presione tanto la UP y el botón ABAJO al mismo tiempo,
0 La pantalla muestra SEt
1 Todos los parámetros se restablecen a los valores
predeterminados

5.3.5 salida Recorder (Ao)


La salida del registrador es una salida analógica programable. La tensión
de salida del registrador es una función de la presión en el transmisor. La
relación entre la presión y la tensión se llama la curva característica de la
salida. Puede seleccionarse.

modificación de parámetros
Seleccionar el parámetro Ao
Utilice el botón CH para asignar la salida de la grabadora a un canal
Utilice los botones de flecha para seleccionar la curva característica de la
salida “ Se cambia el valor del parámetro

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum


parámetros

curvas características
Fundamentalmente hay que distinguir entre las curvas logarítmicas y
lineales carac-rística. Una curva característica logarítmica es útil si el
intervalo de presión abarca varios órdenes de magnitud en la medición. En
este caso es apropiado para tomar el logaritmo de la presión y luego escalar
el resultado de una manera adecuada.
Una curva característica lineal es útil si el intervalo de presión cubre sólo
unos pocos órdenes de magnitud en la medición. En este caso el volt-edad
salida del registrador es proporcional al valor de presión. Puede especificar
qué valor de presión dará lugar a la tensión de salida máxima.
Las curvas características disponibles se describen en la siguiente. En cada
caso se muestra cómo calcular la presión p (en mbar) de la tensión de
salida del registrador U (en voltios).

Iniciar sesión
representación logarítmica de todo el rango de medición.

Transmisor Presión (en mbar)

TTR p = 10 ^ [U / (10/7) - 4]
TTR 100 p = 10 ^ [U / (10/7) - 4]
PTR p = 10 ^ [U / (10/7) - 9]
PTR 90 p = 10 ^ [U / (10/12) - 9]
CTR p = 10 ^ [U / (10/4) - 4] * FS
ITR p = 10 ^ [U / (10/12) - 9]

log A
representación logarítmica de todo el rango de medición (compatible con el
Una serie).

Transmisor Presión (en mbar)

TTR p = 10 ^ [U / (10/6) - 3]
TTR 100 p = 10 ^ [U / (10/7) - 4]
PTR p = 10 ^ [U / (9/7) - 9 - 7/9]
PTR 90 p = 10 ^ [U / (10/11) - 8]
CTR p = 10 ^ [U / (10/4) - 4] * FS
ITR 90 p = 10 ^ [(U - 7,75) /0.75]
ITR 200 p = 10 ^ [U - 8]

LoG -6
representación logarítmica de un rango de medición parcial (2,5 V / década).

Transmisor Presión (en mbar)

Todos los tipos p = 10 ^ [U / (10/4) - 10]

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 49


parámetros

LoG -3
representación logarítmica de un rango de medición parcial (2,5 V / década).

Transmisor Presión (en mbar)

Todos los tipos p = 10 ^ [U / (10/4) - 7]

LoG 0
representación logarítmica de un rango de medición parcial (2,5 V / década).

Transmisor Presión (en mbar)

Todos los tipos p = 10 ^ [U / (10/4) - 4]

LoG 3
representación logarítmica de un rango de medición parcial (2,5 V / década).

Transmisor Presión (en mbar)

Todos los tipos p = 10 ^ [U / (10/4) - 1]

LoGC1
representación logarítmica adaptada a la siguiente combinación de sensor:
TTR en el canal 1
PTR 225 en el canal 2

Transmisor Presión (en mbar)

TTR + PTR 225 p = 10 ^ [U / (10/12) - 9]

LoGC2
representación logarítmica adaptada a la siguiente combinación de sensor:
CTR en el canal 1
CTR en el canal 2
Esta curva característica sólo es útil si los transmisores tienen diferentes
rangos de MEA-suring. El rango de medición total de la combinación del
sensor es repre-SENTED logarítmicamente en el rango de 0 ... 10 V.

LoGC3
representación logarítmica adaptada a la siguiente combinación de sensor:
CTR en el canal 1
CTR en el canal 2
CTR en el canal 3
Esta curva característica sólo es útil si los transmisores tienen diferentes
rangos de MEA-suring. El rango de medición total de la combinación del
sensor es repre-SENTED logarítmicamente en el rango de 0 ... 10 V.

Nota:
Los tres transmisores deben ser ordenados de acuerdo con su rango
de medición (FS). El orden de clasificación puede ser creciente o
decreciente.

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum


parámetros

Lin n
representación lineal. U = 10 V es equivalente a mbar p = 10n. El
exponente n puede ser cualquier valor entero en el rango de -10 ... + 3.

Transmisor Presión (en mbar)

Todos los tipos p = U / 10 * 10n


iM221
representación logarítmica de la IM controlador 221 (1 V / década). U = 8 V
es equivalente de p = 10-2 mbar.

Controlador Presión (en mbar)

IM 221 p = 10 ^ [U - 10]

LoGC4
representación logarítmica de 12 décadas (0,83 V / década) adaptada a la
siguiente combinación de sensor:
TTR 100 o TTR 101 en el canal 1
ITR 200 en el canal 2

Transmisor Presión (en mbar)

TTR 100 + ITR 200 p = 10 ^ [U / (10/12) - 9]


TTR 101 + ITR 200

U = 10 V es equivalente de p = 1,000 mbar. El punto de conmutación


entre los transmisores es 10-2 mbar.
PM411
curva característica no lineal de la salida como con la placa de PM 411.

5.3.6 relé de señal de error (Err-r)


El parámetro Err-r se utiliza para especificar qué tipo de error se activará el
relé de señal de error.

Monitor Significado

TODAS todos los errores


nariz Los errores de dispositivos
CH 1 Sensor 1 y del dispositivo errores
CH 2 Sensor 2 y del dispositivo errores
CH 3 Sensor 3 y el dispositivo errores

Lengüeta. 5-12 valores de los parámetros Err-r

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 51

parámetros
5.4 Los parámetros de prueba (tESt para)
Este grupo de parámetros está destinado para fines de prueba y de
servicios. Se utiliza para examinar los datos adicionales del sistema, para
establecer los parámetros básicos del sistema, y para controlar las
funciones individuales del sistema.
La prueba de grupo de parámetros no se requiere para el funcionamiento
normal. Por esta razón no se puede acceder normalmente.

5.4.1 Selección

Cuando se enciende
La prueba de grupo de parámetros que se disponga, si se cambia en el
controlador multi-Chan-nel de la siguiente manera:
Pulse el botón para y mantenerlo presionado
El interruptor de red se encienden. VerFig. 3-4, ㄷ 18, punto H.
0 El controlador multicanal está encendido
1 La prueba de grupo de parámetros se selecciona
2 El indicador se ilumina PARA

Durante el funcionamiento normal


Durante el funcionamiento normal, también es posible activar la prueba
de grupo de parámetros desde el modo de medición:
Pulse el botón PARA
0 El menú de parámetros se selecciona
1 El indicador se ilumina PARA
Mantenga los botones ARRIBA y ABAJO presionado durante aproximadamente
5 segundos
0 Se muestra la versión del firmware
1 La prueba de grupo de parámetros se selecciona

Nota:
Cuando el grupo de parámetros ensayo se selecciona, el controlador
multicanal no volverá automáticamente al modo de medición. Con el fin de
volver al modo de medición, presione el botón PARA repetidamente hasta
que todos los parámetros de las pruebas se han ejecutado a través.

5.4.2 Versión de firmware (PNR)


Muestra el número de versión del firmware. El último carácter representa el
índice de mod-ficación.
Ejemplo: 302-533-F

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

parámetros
5.4.3 control de Watchdog (dt-C)
Comportamiento del sistema de supervisión del sistema (control watchdog)
en caso de un error.

Monitor Significado
Auto Un mensaje de error del control de vigilancia es
acknowledged automatically after 2 seconds
oFF An error message from the watchdog control
must be acknowledged by the user

Tab. 5-13 dt-C parameter values

5.4.4 Torr lock (tr-L)


This parameter affects the general parameter unit. When the lock is
activated, the unit of measurement «Torr» cannot be selected. See Chapter
5.3.1 Unit of measurement (unit), ᄃ 47.

Display Significance

oFF Unit of measurement «Torr» can be selected


on Unit of measurement «Torr» cannot be selected

Tab. 5-14 tr-L parameter values

5.4.5 Parameter setup lock (LoC)


This parameter affects the parameter mode. When the lock is activated, the
user can inspect but not modify parameter values.

Display Significance

oFF Parameters can be inspected and modified


on Parameters can be inspected only

Tab. 5-15 LoC parameter values

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 53

Parameters
5.4.6 RAM test (rA-t)
Prueba de la memoria principal. Pulse el botón UP para iniciar la prueba.

Monitor Significado

correr Prueba se está ejecutando


PASAR Prueba se ha realizado sin errores
Errar Prueba completada y detecta errores
Lengüeta.
5-16 prueba de RAM

Por favor, póngase en contacto con su centro de servicio local de Oerlikon


Leybold Vacuum si la prueba falla repetidamente.

5.4.7 prueba de EPROM (EP-t)


Prueba de la memoria de programa.
Pulse el botón UP para iniciar la prueba.

Monitor Significado

correr Prueba se está ejecutando


PASAR Prueba se ha realizado sin errores
Prueba completada y detecta errores. A cuatro
Errar dígitos
Se muestra la suma de comprobación.

Lengüeta. 5-17 prueba EPROM

Por favor, póngase en contacto con su centro de servicio local de Oerlikon


Leybold Vacuum si la prueba falla repetidamente.

5.4.8 prueba de EEPROM (EE-t)


Prueba de la memoria de parámetros.
Pulse el botón UP para iniciar la prueba.

Monitor Significado

correr Prueba se está ejecutando


PASAR Prueba se ha realizado sin errores
Errar Prueba completada y detecta errores

Lengüeta. prueba 5-18EEPROM

Por favor, póngase en contacto con su centro de servicio local de Oerlikon


Leybold Vacuum si la prueba falla repetidamente.

GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum


5.4.9 Prueba de la pantalla (di-t)
Probar la pantalla. En esta prueba todos los segmentos de la pantalla se iluminan simul-táneamente al principio. A
continuación, los segmentos individuales de la pantalla se activan uno tras otro.
Pulse el botón UP para iniciar la prueba.

señal 5.4.10A convertidor A / D ( Ad-S)


Visualizar la señal de salida del convertidor A / D (en voltios) para cada uno de los canales. Cuando se aplica una
tensión de referencia a la clavija de señal de entrada del sensor con-nection, esto le permite comprobar los
convertidores A / D de la canal respectivo. VerCapítulo 3.3.4 SENSOR, ㄷ 20.

Nota:
Cuando la señal de entrada no está conectado, un valor fluctuante rápidamente es dis-jugador, debido a la
alta sensibilidad de medición de la unidad.
Pulse el botón UP para iniciar la prueba.

ID 5.4.11A convertidor A / D ( Ad-i)


Para cada canal, mostrar una señal (en voltios) que es causada por una resistencia en el interior del transmisor
conectado. Esta señal se utiliza para la identificación del transmisor conectado.
Pulse el botón UP para iniciar la prueba.

5.4.12I / test O ( io-t)


Test all relays. In this test the relays are switched on and off one after the other, and the relay states are shown on
the display. A circuit indicator or an ohmmeter may be used to verify the relay states on the RELAY connection.
See Chapter 3.3.5 RELAY, ᄃ 21.
Press the UP button to start the test.

Relay test.
In this test the relays switch irrespective of the actual pressure. This may cause unintended switching of
devices.
Unplug the RELAY connection before performing a relay test.

Display Significance

off All relays switched off


r1-H Switching function 1 relay on
r1-L Switching function 1 relay off
r2-H Switching function 2 relay on
r2-L Switching function 2 relay off
r3-H Switching function 3 relay on
r3-L Switching function 3 relay off

Parameters
Caution

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 55

Parameters

Display Significance
r4-H Switching function 4 relay on
r4-L Switching function 4 relay off
r5-H Switching function 5 relay on
r5-L Switching function 5 relay off
r6-H Switching function 6 relay on
r6-L Switching function 6 relay off
r7-H Error signal relay on
r7-L Error signal relay off

Tab. 5-19 Relay test

5.4.13 RS232C test (rS-t)


Test the RS232C interface. In this test, the Multi-Channel Controller echoes
each character received from from the serial interface back to the interface.
The test starts as soon as the rS-t parameter has been selected. You may e.g.
use a terminal program and input characters via the keyboard. Each of the input
characters is returned to the terminal from the Multi-Channel Controller. The data
transfer between the two units is visible on the terminal screen only.
Press the PARA button to quit the test and to return to the measurement
mode.

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Computer interface

Computer interface

1Basics

6.1.1 Connection
The Multi-Channel Controller is able to communicate with a computer via a
serial interface (RS232C). The connection socket and the required
connection cable are described in Chapter 3.3.7 RS232C, ᄃ 23.

6.1.2 Nomenclature
The following terms and symbolic styles will be used in the description of the
computer interface:

Term Significance

Host Computer or terminal

Sending (S) Data transfer from the Host to the Multi-Channel Con-
troller
Receiving (R) Data transfer from the Multi-Channel Controller to the
Host
ASCII American Standard Code for Information Interchange

Tab. 6-1 Terms

Square brackets [...]


Square brackets identify optional parameters. The items enclosed by the
brackets may appear, but they are not essential. The brackets are not
actually used in the command.

Angle brackets <...>


Abbreviations enclosed by angle brackes identify control characters. The
entire expession including the brackets is replaced by a numerical value.
See Tab. 6-2, ᄃ 57.

Term Value Significance


<EXT> 03h End of text (Ctrl-C). Reset the interface. Delete
the input buffer.
<ENQ> 05h Enquiry (Ctrl-E). Request data transmission.
<ACK> 06h Acknowledge. Positive acknowledge.
<LF> 0Ah Line feed. Line feed.
<CR> 0Dh Carriage return. Carriage return.
<NAK> 15h Negative acknowledge. Negative acknowledge.

Tab. 6-2 Control characters

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Computer interface

6.2 Communication

6.2.1 Protocol
The following protocol is used in the communication:
8 data bits
No parity bit
1 stop bit
The baud rate can be selected. See Chapter 5.3.2 Baud rate (bAud), ᄃ 47.
Hardware handshake is not used.
Messages are transferred as ASCII strings. Blanks (spaces) in the string are
ignored. The information is exchanged bidirectionally, i.e. data and control
commands can be exchanged in both directions.
The input buffer of the Host must have a capacity of at least 75 bytes.

6.2.2 Sending (Host --> Unit)


Messages of the Host are composed of mnemonics and parameters. Mne-
monics are command abbreviations and always consist of three ASCII char
- acters. See Chapter 6.3 Mnemonics, ᄃ 61. The control characters <CR> or
<CR><LF> signal the end of the message.
The Multi-Channel Controller checks every message it receives. Afterwards
it sends a positive or a negative acknowledgement to the Host.
In a symbolic representation this process can be illustrated as follows:
S: Mnemonic [parameters]<CR>[<LF>]
R: <ACK><CR><LF> or <NAK><CR><LF>

6.2.3 Receiving (Unit --> Host)


The Host may request data from the unit. To this end the Host first sends a
message which describes what kind of data is requested. The Multi -Channel
Controller then stores the requested data in the output buffer of the interface.
Afterwards the Host sends the control character <ENQ> to the unit. This
prompts the unit to send to contents of the output buffer to the Host.
In a symbolic representation this process can be illustrated as follows:
Mnemonic [parameters]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
Data<CR><LF>
If the Multi-Channel Controller receives a message which cannot be inter-
preted (syntax error) it stores the respective error status in the output buffer.
See Chapter 6.3.9 ERR, ᄃ 67.

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6.2.4 Examples

Inquiring the transmitter identification


TID<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
TTR,CTR,noSen<CR><LF>

Inquiring the transmitter status


HVC<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
0,0,0<CR><LF>

Inquiring parameters of the switching function 1


SP1<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
0,2.0000E-01,5.0000E+00<CR><LF>

Inquiring parameters of the switching function 2


SP2,0,9E-1,2.2E0<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
0,9.0000E-01,2.2000E+00<CR><LF>

Setting the filter


FIL,1,2,1<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
1,2,1<CR><LF>

Behavior in case of a syntax error


FOL,1,2,1<CR>[<LF>]
<NAK><CR><LF>
<ENQ>
0001<CR><LF>

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6.2.5 Number formats


The following data is always stored in the exponential format in the Multi-
Channel Controller:
Pressure values
Offset values
Threshold values

Output
The above data is always output in the exponential format. A five-digit man-
tissa and a two-digit exponent are used. Both parts of the number may
contain a sign.
Symbolic representation: ±a.aaaaE±aa
Example: 1.2500E-01
In the case of logarithmic transmitters (TTR, PTR, ITR) the last two digits of
the mantissa are always zero. Linear transmitters (CTR) use all digits of the
mantissa.

Input
The above data may be input either in the exponential format or in the fixed
point format. The input data is automatically converted to the exponential for-
mat by the unit.
Example: 1.25E-1 and 0.125 are both valid input data.

6.2.6 Continuous transmission of measurements


After the unit has been switched on, it starts to continuously send measure-
ments to the serial interface. By default one set of measurements is sent
every second.
The continuous measurement transmission stops when the Host sends a
character to the serial interface. The transmission can be resumed with the
COM command. See Chapter 6.3.4 COM, ᄃ 64.

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6.3 Mnemonics

6.3.1 Overview

Mnemonic Significance

AOM Analog output mode. Characteristic curve of the


recorder output.
BAU Baud rate. Transfer rate of the RS232C interface.
COM Continuous mode. Continuous transmission of mea-
surements to the serial interface.
COR Correction factor.
DCD Display control digits. Number of digits shown in the dis-
play.
DGS Degas.

ERA Error relay allocation.


ERR Error status.
EUM Switch the emission.
FIL Filter. Measurement filter.
FUM Select the filament.
FSR Full scale range. Full scale range of linear transmitters
(CTR, DI).
GAS Gas type correction.
HVC High vacuum circuit on/off. Switch the high vacuum cir-
cuit of transmitters on/off.
ITR Read a data string from the ITR/CTR 100/CTR 101
transmitter.
LOC Parameter setup lock.
OFC Offset correction. Offset correction function for linear
transmitters (CTR).
OFD Offset display. Offset correction values for linear trans-
mitters (CTR).
PNR Program number. Firmware version number.
PR1 Pressure sensor 1. Pressure reading of transmitter 1.
PR2 Pressure sensor 2. Pressure reading of transmitter 2.
PR3 Pressure sensor 3. Pressure reading of transmitter 3.
PRE Pirani range extension.

PRX Pressure sensors. Pressure readings of all transmitters.


RES Reset. Reset the serial interface.

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Computer interface

Mnemonic Significance

SAV Save parameters to EEPROM.


SC1 Sensor 1 control. Transmitter 1 control.
SC2 Sensor 2 control. Transmitter 2 control.
SC3 Sensor 3 control. Transmitter 3 control.
SP1 Setpoint 1. Switching function 1.
SP2 Setpoint 2. Switching function 2.

SP3 Setpoint 3. Switching function 3.


SP4 Setpoint 4. Switching function 4.
SP5 Setpoint 5. Switching function 5.
SP6 Setpoint 6. Switching function 6.
SPS Setpoint status. Switching function status.
TAD Test A/D converter. Test the A/D converter.

TDI Test display. Test the display.


TEE Test EEPROM. Test the EEPROM.
TEP Test EPROM. Test the EPROM.
TID Transmitter identification.
TIO Test I/O. Test the relays.
TKB Test keyboard. Test the keyboard.
TLC Torr lock.
TRA Test RAM. Test the RAM.
TRS Test RS232C interface. Test the RS232C interface.
UNI Unit of measurement.
WDT Watchdog control.

Tab. 6-3 Mnemonics

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Computer interface
6.3.2 AOM
Analog output mode. Characteristic curve of the recorder output. See
Chapter 5.3.5 Recorder output (Ao), ᄃ 48.
AOM[,a,b]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b<CR><LF>

Parameters Significance

a Channel number
0 = Channel 1
1 = Channel 2
2 = Channel 3
b Characteristic curve
0 = Logarithmic LoG
1 = Logarithmic LoG A
2 = Logarithmic LoG -6
3 = Logarithmic LoG -3
4 = Logarithmic LoG +0
5 = Logarithmic LoG +3
6 = Logarithmic LoGC1
7 = Logarithmic LoGC2
8 = Logarithmic LoGC3
9 = Linear Lin -10
10 = Linear Lin -9
11 = Linear Lin -8
12 = Linear Lin -7
13 = Linear Lin -6
14 = Linear Lin -5
15 = Linear Lin -4
16 = Linear Lin -3
17 = Linear Lin -2
18 = Linear Lin -1
19 = Linear Lin +0
20 = Linear Lin +1
21 = Linear Lin +2
22 = Linear Lin +3
23 = iM221
24 = Logarithmic LoGC4
25 = PM411

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Computer interface
6.3.3 BAU
Baud rate. Transfer rate of the RS232C interface. See Chapter 5.3.2 Baud
rate (bAud), ᄃ 47.
BAU[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>

Parameters Significance

a Transfer rate
0 =9600 baud (default)
1 = 19200 Baud
2 = 38400 Baud

Note:
The acknowledgement of the BAU command will already be sent with
the changed transfer rate.

6.3.4 COM
Continuous mode. Continuous transmission of measurements to the
serial interface.
COM,a<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
The acknowledgement is immediately followed by the continuous measure-
ment transmission. The measurements are always output in the exponential
format.
R: b,±c.ccccE±cc,d,±e.eeeeE±ee,f,±g.ggggE±gg <CR><LF>

Parameters Significance

a Period
0 = 100 milliseconds
1 = 1 second (default)
2 = 1 minute
b Status of channel 1
0 = Measurement data ok
1 = Underrange
2 = Overrange
3 = Transmitter error
4 = Transmitter switched off
5 = No Transmitter
6 = Identification error
7 = ITR error
±c.ccccE±cc Reading of transmitter 1 in current unit of mea-
surement

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Computer interface

Parameters Significance
d Status of channel 2
(see above)
±e.eeeeE±ee Reading of transmitter 2 in current unit of mea-
surement
f Status of channel 3
(see above)
±g.ggggE±gg Reading of transmitter 3 in current unit of mea-
surement

6.3.5 COR
Correction factor. See Chapter 5.2.2 Gas type (GAS), ᄃ 41.
COR[,a.aa,b.bb,c.cc]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a.aa,b.bb,c.cc<CR><LF>

Parameters Significance

a.aa Correction factor of channel 1


0.10…9.99 (default: 1.00)
b.bb Correction factor of channel 2
(see above)
c.cc Correction factor of channel 3
(see above)

Note:
The correction factor is only used when the gas type is set to «Other
gas». See Chapter 6.3.14 GAS, ᄃ 70.

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Computer interface

6.3.6 DCD
Display control digits. Number of digits shown in the display. See
Chapter 5.3.3 Display format (diGit), ᄃ 48.
DCD[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>

Parameters Significance

a Number of digits
2 = 2 digits (default)
3 = 3 digits

Note:
When PrE is enabled, the display of TTR transmitters in the pressure
range p < 10-4 mbar is reduced by one digit.

6.3.7 DGS
Degas. See Chapter 5.2.5 Degas function (dEGAS), ᄃ 43.
DGS[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>

Parameters Significance

a Transmitter 1
0 = Degassing off (default)
1 = Degassing on
b Transmitter 2
(see above)

Note:
The degas function is switched off automatically after 3 minutes. It
may be also be stopped prematurely.

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Computer interface
6.3.8 ERA
Error relay allocation. See Chapter 5.3.6 Error signal relay (Err-r), ᄃ 51.
ERA[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>

Parameters Significance

a Error relay allocation


0 = All errors
1 = Device errors
2 = Sensor 1 and device errors
3 = Sensor 2 and device errors
4 = Sensor 3 and device errors

6.3.9 ERR
Error status.
ERR<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
aaaa<CR><LF>

Parameters Significance

aaaa Error status


0000 = No error
1000 = Device error (FAIL illum.)
0100 = Hardware not installed
0010 = Parameter invalid
0001 = Syntax error

Note:
The error status is a binary number. It may be combined by the logical
operator OR. Example: 1001 = Device error and syntax error.

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Computer interface
6.3.10 EUM
Switch the emission. See Chapter 5.2.10 Emission (EMi), ᄃ 45.
EUM[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>

Parameters Significance

a Emission for channel 1


0 = Manually
1 = Automatic (default)
b Emission for channel 2
(see above)
c Emission for channel 3
(see above)

6.3.11 FIL
Filter. Measurement filter. See Chapter 5.2.1 Measurement filter (FiLt), ᄃ 39.
FIL[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>

Parameters Significance

a Filter for channel 1


0 = Fast
1 = Medium (default)
2 = Slow
3 = CTR
b Filter for channel 2
(see above)
c Filter for channel 3
(see above)

6.3.12FSR
Full scale range. Full scale range of linear transmitters (CTR, DI). See
Chapter 5.2.3 Measuring range (FS), ᄃ 42.
FSR[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>

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Computer interface

R: a,b,c<CR><LF>

Parameters Significance

a Full scale range of transmitter 1


0 = 0.01 mbar
1 = 0.01 Torr
2 = 0.02 Torr
3 = 0.05 Torr
4 = 0.10 mbar
5 = 0.10 Torr
6 = 0.25 mbar
7 = 0.25 Torr
8 = 0.50 mbar
9 = 0.50 Torr
10 = 1 mbar
11 = 1 Torr
12 = 2 mbar
13 = 2 Torr
14 = 5 mbar
15 = 5 Torr
16 = 10 mbar
17 = 10 Torr
18 = 20 mbar
19 = 20 Torr
20 = 50 mbar
21 = 50 Torr
22 = 100 mbar
23 = 100 Torr
24 = 200 mbar
25 = 200 Torr
26 = 500 mbar
27 = 500 Torr
28 = 1000 mbar
29 = 1100 mbar
30 = 1000 Torr
31 = 2 bar
32 = 5 bar
33 = 10 bar
34 = 50 bar
35 = DI200 mbar
36 = DI2 bar
37 = DI2 bar relative
b Full scale range of transmitter 2
(see above)
c Full scale range of transmitter 3
(see above)

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Computer interface

6.3.13FUM
Select the filament. See Chapter 5.2.11 Filament selection (FiL), ᄃ 45.
FUM[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>

Parameters Significance

a Filament for channel 1


0 = Automatic (default)
1 = Filament 1
2 = Filament 2
b Filament for channel 2
(see above)
c Filament for channel 3
(see above)

6.3.14GAS
Gas type correction. See Chapter 5.2.2 Gas type (GAS), ᄃ 41.
GAS[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>

Parameters Significance

a Gas type for channel 1


0 = Nitrogen/air (default)
1 = Argon
2 = Hydrogen
3 = Other gas
b Gas type for channel 2
(see above)
c Gas type for channel 3
(see above)

Note:
When «Other gas» is selected, the gas type dependence of the
measure-ments will be corrected by a variable correction factor. See
Chapter 6.3.5 COR, ᄃ 65.

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Computer interface
6.3.15 HVC
High vacuum circuit on/off. Switch the high vacuum circuit of transmitters
on/off. See Chapter 4.4.3 Control button functions, ᄃ 29.
HVC[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>

Parameters Significance

a Transmitter 1
0 = Off
1 = On
b Transmitter 2
(see above)
b Transmitter 3
(see above)

Note:
In order to switch a transmitter on/off, the transmitter control must be
set to «Hand». See Chapter 6.3.26 SC1, ᄃ 77.

6.3.16 ITR
Read a data string from the ITR/CTR 100/CTR 101 transmitter.
The measurements of the ITR/CTR 100/CTR 101 are transferred digitally. A
data string consists of 8 bytes (hexadecimal numbers) which are separated
from each other by a comma. See Reference [6]. The data strings of the
trans-mitters are separated from each other by double space characters.
ITR<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
aa,aa,aa,aa,aa,aa,aa,aa bb,bb,bb,bb,bb,bb,bb,bb cc,cc,cc,cc,cc,
cc,cc<CR><LF>

Parameters Significance

aa,aa,aa,aa,aa,aa,aa,aa Data string of transmitter 1


bb,bb,bb,bb,bb,bb,bb,bb Data string of transmitter 2
cc,cc,cc,cc,cc,cc,cc,cc Data string of transmitter 3

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Computer interface
6.3.17 LOC
Parameter setup lock. See Chapter 5.4.5 Parameter setup lock (LoC), ᄃ 53.
LOC[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>

Parameters Significance

a Parameter setup lock


0 = Off (default)
1 = On

6.3.18 OFC
Offset correction. Offset correction function for linear transmitters (CTR). See
Chapter 5.2.4 Offset (oFS), ᄃ 42.
OFC[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>

Parameters Significance

a Offset correction of channel 1


0 = Off (default)
1 = On
2 = Determine the offset value and activate offset
correction function
3 = Adjust the zero point of a CTR 100/CTR101
b Offset correction of channel 2
(see above)
c Offset correction of channel 3
(see above)

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Computer interface
6.3.19 OFD
Offset display. Offset correction values for linear transmitters (CTR). See
Chapter 5.2.4 Offset (oFS), ᄃ 42.
OFD[,±a.aaaaE±aa,±b.bbbbE±bb,±c.ccccE±cc] <CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
±a.aaaaE±aa,±b.bbbbE±bb,±c.ccccE±cc<CR><LF>

Parameters Significance
±a.aaaaE±aa Offset value of transmitter 1 in current unit of
measurement
Default: 0.0000E+00
±b.bbbbE±bb Offset value of transmitter 2 in current unit of
measurement (see above)
±c.ccccE±cc Offset value of transmitter 3 in current unit of
measurement (see above)

6.3.20 PNR
Program number. Firmware version number. See Chapter 5.4.2 Firmware
ver-sion (Pnr), ᄃ 52.
PNR<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>

Parameters Significance

a Firmware version
Example: 302-533-F

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 73

Computer interface
6.3.21 PR1
Pressure sensor 1. Pressure reading of transmitter 1.
PR1<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,±b.bbbbE±bb<CR><LF>

Parameters Significance

a Status of channel 1
0 = Measurement data ok
1 = Underrange
2 = Overrange
3 = Transmitter error
4 = Transmitter switched off
5 = No Transmitter
6 = Identification error
7 = ITR error
±b.bbbbE±bb Pressure reading of transmitter 1 in the current
unit of measurement

Note:
The commands PR2 and PR3 concern the transmitters 2 and 3,
respec-tively. The commands are analogous to the PR1 command.

6.3.22PRE
Pirani range extension. See Pirani range extension (PrE).
PRE[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>

Parameters Significance

a Range extension for transmitter 1


0 = Off (default)
1 = On
b Range extension for transmitter 2
(see above)
c Range extension for transmitter 3
(see above)

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Computer interface

6.3.23PRX
Pressure sensors. Pressure readings of all transmitters.
PRX<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,±b.bbbbE±bb,c,±d.ddddE±dd,e,±f.ffffEff<CR><LF>

Parameters Significance

a Status of channel 1
0 = Measurement data ok
1 = Underrange
2 = Overrange
3 = Transmitter error
4 = Transmitter switched off
5 = No Transmitter
6 = Identification error
7 = ITR error
±b.bbbbE±bb Pressure reading of transmitter 1 in the current
unit of measurement
c Status of channel 2
(see above)
±d.ddddE±dd Pressure reading of transmitter 2 in the current
unit of measurement
e Status of channel 3
(see above)
±f.ffffE±ff Pressure reading of transmitter 3 in the current
unit of measurement

6.3.24RES
Reset. Reset the serial interface.
Deletes the input buffer. All queued error messages are sent to the Host.
The unit returns to the measurement mode.
RES[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
b,c,d,...<CR><LF>

Parameters Significance

a 1 = Perform reset

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 75

Computer interface

Parameters Significance
b,c,d... Queued error messages
0 = No error
1 = Watchdog has triggered
2 = Task(s) not executed
3 = EPROM error
4 = RAM error
5 = EEPROM error
6 = Display error
7 = A/D converter error
8 = UART error
9 = Transmitter 1 general error Error
10 = Transmitter 1 ID error
11 = Transmitter 2 general error Error
12 = Transmitter 2 ID error
13 = Transmitter 3 general error Error
14 = Transmitter 3 ID error

6.3.25SAV
Save parameters to EEPROM.
The command SAV,0 resets all parameters to their default values (factory
set-tings). See Chapter 5.3.4 Default parameters (dEF), ᄃ 48.
The command SAV,1 saves parameter values which have been changed via
the serial interface in the EEPROM. These values will be preserved even
when the unit is switched off.
SAV,a<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>

Parameters Significance

a Save parameters
0 = Save default parameters
1 = Save user parameters

Note:
Parameters which have been changed manually (control buttons) are
saved in the EEPROM automatically. The SAV command is not
required in this case.

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Computer interface

6.3.26 SC1
Sensor 1 control. Transmitter 1 control. See Chapter 5.2.6 Transmitter activa-tion
(S-on), ᄃ 44 and Chapter 5.2.8 Transmitter deactivation (S-oFF), ᄃ 44.
SC1[,a,b,c.ccE±cc,d.ddE±dd]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c.ccE±cc,d.ddE±dd<CR><LF>

Parameters Significance

a Transmitter activation
0 = Manual (default)
1 = Hot start
2 = By channel 1
3 = By channel 2
4 = By channel 3
b Transmitter deactivation
0 = Manual (default)
1 = Self control
2 = By channel 1
3 = By channel 2
4 = By channel 3
c.ccE±cc Activation value in current unit of measurement
d.ddE±dd Deactivation value in current unit of measure-
ment

Note:
The commands SC2 and SC3 concern the transmitters 2 and 3, respec-
tively. The commands are analogous to the SC1 command.

6.3.27SP1
Setpoint 1. Switching function 1. See Chapter 5.1 Switching function parame-
ters (PArA SP), ᄃ 36.
SP1[,a,b.bbbbE±bb,c.ccccE±cc]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b.bbbbE±bb,c.ccccE±cc<CR><LF>

Parameters Significance

a Switching function assignment


0 = Channel 1
1 = Channel 2
2 = Channel 3

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 77

Computer interface

Parameters Significance
b.bbbbE±bb Lower threshold value in the current unit of mea-
surement
c.ccccE±cc Upper threshold value in the current unit of mea-
surement

Note:
The commands SP2…SP6 concern the switching functions 2…6, re-
spectively. The commands are analogous to the SP1 command.

6.3.28 SPS
Setpoint status. Switching function status. See Chapter 5.1 Switching
function parameters (PArA SP), ᄃ 36.
SPS<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c,d,e,f<CR><LF>

Parameters Significance

a Status of switching function 1


0 = Off
1 = On
b Status of switching function 2
(see above)
c Status of switching function 3
(see above)
d Status of switching function 4
(see above)
e Status of switching function 5
(see above)
f Status of switching function 6
(see above)

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Computer interface

6.3.29TAD
Test A/D converter. Test the A/D converter. See Chapter 5.4.10 A/D
converter signal (Ad-S), ᄃ 55 and Chapter 5.4.11 A/D converter ID (Ad-i), ᄃ
55.
TAD<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
±a.aaaa,±b.bbbb,±c.cccc,±d.dddd,±e.eeee,±f.ffff <CR><LF>

Parameters Significance

±a.aaaa ADC channel 1 Reading of transmitter 1 in volts.


0.0000 …+11.0000
±b.bbbb ADC channel 2. Reading of transmitter 2 in volts.
0.0000 …+11.0000
±c.cccc ADC channel 3. Reading of transmitter 3 in volts.
0.0000 …+11.0000
±d.dddd ADC channel 4. Identification of transmitter 1 in
volts.
0.0000 …+5.0000
±e.eeee ADC channel 5. Identification of transmitter 2 in
volts.
0.0000 …+5.0000
±f.ffff ADC channel 6. Identification of transmitter 3 in
volts.
0.0000 …+5.0000

6.3.30 TDI
Test display. Test the display. See Chapter 5.4.9 Display test (di-t), ᄃ 55.
TDI[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>

Parameters Significance

a Test status
0 = Off
1 = On

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 79

Computer interface

6.3.31TEE
Test EEPROM. Test the EEPROM. See Chapter 5.4.8 EEPROM test (EE-t),
54.

Caution EEPROM life.


A large number of write operations will reduce the EEPROM life.
Do not repeat the EEPROM test more often than necessary (e.g. in pro-
gram loops).
TEE<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
aaaa<CR><LF>
The control character <ENQ> starts the test. It takes approximately one sec-
ond to complete the test.

Parameters Significance

aaaa Error status. See Chapter 6.3.9 ERR, ᄃ 67.

6.3.32TEP
Test EPROM. Test the EPROM. See Chapter 5.4.7 EPROM test (EP-t), ᄃ 54.
TEP<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
aaaa,bbbb<CR><LF>
The control character <ENQ> starts the test. It takes approximately 5
seconds to complete the test.

Parameters Significance

aaaa Error status. See Chapter 6.3.9 ERR, ᄃ 67.


bbbb Check sum (hexadecimal)

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Computer interface

6.3.33 TID
Transmitter identification. See Chapter 4.4.3.7 Identifying a transmitter, ᄃ 32.
TID<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>
Parameters Significance

a Identification of transmitter 1
TTR
TTR100
PTR
PTR 90
CTR
ITR
ITR200
noSen
noid
b Identification of transmitter 2
(see above)
c Identification of transmitter 3
(see above)

6.3.34TIO
Test I/O. Test the relays. This command allows to switch a single relay or
sev-eral relays at a time.

Relay test. Caution


In this test the relays switch irrespective of the actual pressure. This may
cause unintended switching of devices.
Unplug the RELAY connection before performing a relay test.
TIO[,a,bb]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,bb<CR><LF>

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 81

Computer interface

Parameters Significance

a Test status
0 = Off
1 = On
bb Relay status
00 = All relays off
01 = Switching function 1 relay on
02 = Switching function 2 relay on
04 = Switching function 3 relay on
08 = Switching function 4 relay on
10 = Switching function 5 relay on
20 = Switching function 6 relay on
40 = Error signal relay on
7F = All relays on

Note:
The relay status is a hexadecimal number. It may be combined by the
logical operator OR. Example: 24 = Switching functions relays 3 and 6
on.

6.3.35TKB
Test keyboard. Test the keyboard.
TKB<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
aaaa<CR><LF>
The control character <ENQ> starts the test. The Multi-Channel
Controller polls the keyboard and sends a message to the computer.

Parameters Significance

aaaa Keyboard status


0000 = No button pressed
1000 = CH pressed
0100 = PARA pressed
0010 = DOWN pressed
0001 = UP pressed

Note:
The keyboard status is a binary number. It may be combined by the
log-ical operator OR. Example: 0011 = DOWN and UP pressed at the
same time.

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Computer interface

6.3.36 TLC
Torr lock. See Chapter 5.4.4 Torr lock (tr-L), ᄃ 53.
TLC[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>

Parameters Significance
a Torr lock
0 = Off (default)
1 = On

6.3.37TRA
Test RAM. Test the RAM. See Chapter 5.4.6 RAM test (rA-t), ᄃ 54.
TRA<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
aaaa<CR><LF>
The control character <ENQ> starts the test. It takes approximately one sec-
ond to complete the test.

Parameters Significance

aaaa Error status. See Chapter 6.3.9 ERR, ᄃ 67.

6.3.38TRS
Test RS232C interface. Test the RS232C interface. See Chapter 5.4.13
RS232C test (rS-t), ᄃ 56.
TRS<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
The control character <ENQ> starts the test. The test can be stopped by
pressing Ctrl-C.

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 83

Computer interface

6.3.39 UNI
Unit of measurement. See Chapter 5.3.1 Unit of measurement (unit), ᄃ 47.
UNI[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>

Parameters Significance
a Unit of measurement
0 = mbar/bar (default)
1 = Torr
2 = Pascal
3 = Micron

6.3.40WDT
Watchdog control. See Chapter 5.4.3 Watchdog control (dt-C), ᄃ 53.
WDT[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>

Parameters Significance

a Error acknowledgement
0 = Manually
1 = Automatic (default)

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Maintenance and service

7 Maintenance and service

7.1 Maintenance
The Multi-Channel Controller does not require any special maintenance work.

7.1.1 Cleaning
For cleaning the outside of the unit, a slightly moistened cloth will usually do.
Do not use any aggressive or scouring cleaning agents.

Mains power. Danger


The Multi-Channel Controller contains parts which are connected to the
mains supply.
Make sure that no objects enter through the louvers of the unit. Keep
the unit dry. Do not open the unit.

7.2 Program transfer mode


If your Multi- Channel Controller requires an updated firmware version, e.g.
for using a new transmitter type, please contact your local Oerlikon Leybold
Vac-uum service center.
The user parameters set by you are generally still available after the
firmware update. It is however recommended that you make a note of the
settings before updating. See Section «Default parameters», ᄃ 92.

7.2.1 Preparations and selection


Switch the Multi-Channel Controller off
Connect the RS232C socket (Fig. 3-4, ᄃ 18, item F) with a serial inter-face of
the PC (e.g. COM1). See Chapter 3.3.7 RS232C, ᄃ 23.
Press the button behind the opening (Fig. 3-4, ᄃ 18, item E) with a pen-cil
and switch the Multi-Channel Controller on

Note:
The display remains dark. The Multi-Channel Controller is set to the
pro-gram transfer mode.

7.2.2 Program transfer


The firmware for the Multi-Channel Controller is delivered as a self-
extracting *.exe file or as a packed *.zip file.
Copy the *.exe or the *.zip file into an empty directory
Unpack the file. One of the extracted files is a batch file *.bat.
By default, the program transfer is assumed to run via the COM1 serial interface.
Proceed as follows if you want to use another serial interface:
3.1 Click the batch file with the right mouse button
A menu appears
3.2 From the menu, select the option «Edit»

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 85


Maintenance and service

The batch file is loaded into a text editor


3.3 Change the COM1 entry to the interface you want to use (e.g.
COM2)
3.4 Save and close the modified batch file
Execute the batch file by double-clicking it with the mouse
The new firmware is being transferred to the Multi-Channel Controller. You
can monitor the individual steps on the PC screen. After approximately 1
min-ute the transfer is completed.

7.2.3 Restarting
Proceed as follows after the firmware has been transferred completely:
Switch the Multi-Channel Controller off
Wait at least 10 seconds to make sure that the Multi-Channel Controller can
initialize
Switch the Multi-Channel Controller on again
Check if the current parameter settings still agree with the previous ones.
See Section «Default parameters», ᄃ 92.
The Multi-Channel Controller is ready for operation again.

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Maintenance and service


7.3 Calibration

7.3.1 Basics
The Multi- Channel Controller can only measure with high accuracy when it
is calibrated precisely. The Multi-Channel Controller is calibrated by Oerlikon
Leybold Vacuum before it is shipped. Normally there is no need to change
the calibration data.

Calibration. Caution
If you input incorrect calibration data, the Multi-Channel Controller
cannot perform accurate measurements anymore.
The interface commands for calibrating the unit are intended for
service technicians of Oerlikon Leybold Vacuum only.
The calibration affects the A/D converters of the individual channels. The
mea-suring curve of an ideal A/D converter is a straight line which has a
slope of one and runs through the origin, i.e.:
Factor = 1 (slope of the line)
Offset = 0 (intersection with the y axis)
The curves of real A/D converters differ slightly from these ideal values. Cali-
brating the unit means to determine the gain factors and the offset voltages of
the individual A/D converters and to store these calibration values.
The interface commands CAF and CAO are used to access the calibration
data of the unit.

7.3.2 CAO
Calibration offset. Calibration offset of the A/D converter. The command is
intended for service technicians of Oerlikon Leybold Vacuum only.
CAO[,±a.aaaaE±aa,±b.bbbbE±bb,±c.ccccE±cc] <CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
±a.aaaaE±aa,±b.bbbbE±bb,±c.ccccE±cc<CR><LF>

Parameters Significance

±a.aaaaE±aa Calibration offset of channel 1


±b.bbbbE±bb Calibration offset of channel 2
±c.ccccE±cc Calibration offset of channel 3

Note:
The CAO command can also be used with other parameters. See
Chapter 7.3.4 Calibrating the unit, ᄃ 88.

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 87

Maintenance and service


7.3.3 CAF
Calibration factor. Calibration factor of the A/D converter. The command is
intended for service technicians of Oerlikon Leybold Vacuum only.
CAF[,a.aaaaE±aa,b.bbbbE±bb,c.ccccE±cc] <CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a.aaaaE±aa,b.bbbbE±bb,c.ccccE±cc<CR><LF>

Parameters Significance

a.aaaaE±aa Calibration factor of channel 1


b.bbbbE±bb Calibration factor of channel 2
c.ccccE±cc Calibration factor of channel 3

Note:
The CAF command can also be used with other parameters.
See Chapter 7.3.4 Calibrating the unit, ᄃ 88.

7.3.4 Calibrating the unit


The Multi-Channel Controller can be calibrated automatically with the interface
commands CAF and CAO. The following auxiliary tools are required:
D-Sub plug, 15-pin
Soldering equipment
High-precision voltage source for 10 volts
(10.000 V)

Calibration offset
Unplug the transmitter of the respective channel
Connect pin 2 (Signal) and Pin 12 (Signal-GND) of a 15-pin D-Sub plug with
a wire strap. See Chapter 3.3.4 SENSOR, ᄃ 20.
Put the D-Sub plug with the wire strap onto the sensor connection of the
respective channel
0 The input of the A/D converter is short-circuited
Use the serial interface to send the command CAO,a to the unit. For the
parameter a, use:
0 0 = Channel 1
1 1 = Channel 2
2 2 = Channel 3
The calibration offset of the respective channel is determined and stored in
the EEPROM.

Calibration factor
Remove the D-Sub plug with the wire strap from the sensor connection of
the respective channel

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Maintenance and service


Connect pin 2 (Signal) and pin 12 (Signal-GND) of a 15-pin D-Sub plug with a
high-precision voltage source. See Chapter 3.3.4 SENSOR,
ᄃ 20.
Pin 2 = +10.000 V
Pin 12 = GND
Put the D-Sub plug with the voltage source connections onto the sensor
connection of the respective channel
Use the serial interface to send the command CAF,a to the unit. For the
parameter a, use:
0 0 = Channel 1
1 1 = Channel 2
2 2 = Channel 3
The calibration factor of the respective channel is determined and stored in
the EEPROM. Now the channel is calibrated.

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 89

Troubleshooting
8 Troubleshooting

8.1 Fault indication


A fault in the Multi-Channel Controller is indicated as follows:
„ FAIL flashes and the display shows an error message. See Chapter 8.2 Er-
ror messages, ᄃ 90.
„ The error signal relay opens

8.2 Error messages

Display Possible cause and corrective action


SE Sensor error. Error in the connection of the respective
transmitter.
Press PARA to acknowledge. If the cause has not been
removed, then noSEn or noid will be displayed.
dt The watchdog control has been triggered. Severe elec-
trical fault or an operating system error.
Or: The Multi-Channel Controller has been switched off
and on without sufficient delay.
Press PARA to acknowledge. The Multi-Channel Con-
troller will acknowledge automatically after 2 s if the
watchdog control is set to auto.
rA Error in the main memory (RAM).
Press PARA to acknowledge.
EP Error in the program memory (EPROM).
Press PARA to acknowledge.
EE Error in parameter memory (EEPROM).
Press PARA to acknowledge.
di Error in the display driver.
Press PARA to acknowledge.
Ad Error in the A/D converter.
Press PARA to acknowledge.
tF Task fail. Error in the operating system.
Press PARA to acknowledge.
UA Error in UART.
Press PARA to acknowledge.
Er x Error message ITR 90.
0 = No communication with the transmitter.
x = Error code (High-Byte).
See Reference [6].
Er xx Error message ITR 200.
xxH = Error code.
See Reference [15].

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum


Storage and disposal

8.3 Technical support


If the fault persists even after the message has been acknowledged several
times and/or the transmitter has been exchanged, please contact your local
Oerlikon Leybold Vacuum service center.
9 Storage and disposal

9.1 Packaging
Please keep the original packaging. The packaging is required for storing
the Multi-Channel Controller and for shipping it to an Oerlikon Leybold
Vacuum service center.

9.2 Storage
The Multi-Channel Controller may only be stored in a dry room. The
following requirements must be met:

Ambient temperature -20…+60 °C

Humidity As low as possible. Preferably in an


air-tight plastic bag with a desiccant.

9.3 Disposal
The product must be disposed of in accordance with the relevant local
regula-tions for the environmentally safe disposal of systems and electronic
compo-nents.

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 91


Appendix

Appendix

Default parameters

Display Default User

SP -L 1 × 10-11 mbar
SP -H 9 × 10-11 mbar
FiLt nor

GAS n2

Cor 1.00
FS 1000 mbar
oFS oFF
0.0000E+00 mbar
S-on HAnd
1.00E-03 mbar
S-oFF HAnd
1.00E-03 mbar
unit bAr

bAud 9600
PrE oFF

diGit 2
Ao LoG

Err-r ALL

dt-C Auto

tr-L oFF

LoC oFF

EMi Auto

FiL Auto

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum


Appendix

Literature

Operating Manual
THERMOVAC Transmitter TTR 90
GA 09.220
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln

Operating Manual
THERMOVAC Transmitter TTR 211 S
GA 09.216
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln

Operating Manual
PENNING Transmitter PTR 225
GA 09.308
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln

Operating Manual
CERAVAC Transmitter CTR 90
GA 09.040
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln

Operating Manual
CERAVAC Transmitter CTR 91
GA 09.040
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln

Operating Manual
IONIVAC Transmitter ITR 90
GA 09.420
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln

Operating Manual
THERMOVAC Transmitter TTR 100, TTR 100 S2
GA 09.221
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln

Operating Manual
THERMOVAC Transmitter TTR 101, TTR 101 S2
300344581_002_A0
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln

Operating Manual
THERMOVAC Transmitter TTR 91, TTR 91 S
GA 09.222
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln

Operating Manual
THERMOVAC Transmitter TTR 96 S
GA 09.223
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln

Operating Manual
PENNINGVAC Transmitter PTR 90
GA 09.313
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 93


Appendix

Operating Manual
Gauge Heads DI 200, DI 201, DI 2000, DI 2001, DI 2001
rel GA09611_002_A1
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln

Operating Manual
CERAVAC Transmitter CTR 100
17200257_002_00
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln

Operating Manual
CERAVAC Transmitter CTR 101
130002066_002_A0
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln

Operating Manual
IONIVAC ITR 200 S, ITR 200 SP, ITR 200 SD
17200137_002_00
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Appendix
Index

A
A/D converter calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
A/D converter test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55 , 79
Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

B
Back side . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Baud rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .47 , 64

C
Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
Calibration factor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
Calibration offset . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
Catalog number . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Characteristic curve of recorder output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
Communication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
Continuous transmission of measurements . . . . . . . . . . . . . . . . . . .60 , 64
Number formats . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
Protocol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
Receiving . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
Sending . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
Computer interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .23 , 57
Resetting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
Testing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .56 , 83
Connections
CONTROL. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Mains connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
RELAY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
RS232C. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
SENSOR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Continuous transmission of measurements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .60 , 64
Control buttons. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
CONTROL connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Control panel mounted. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Correction factor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41 , 65

D
Default parameters
Loading . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
48, 76 Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . 92 Degas
function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43 , 66
Switching
off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Switching
on . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Degassing
see degas function
Disconnecting device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . 8 Display
Format. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .48 , 66
Testing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55 , 79
Display elements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
25
Disposal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
91
GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold
Vacuum

95

Appendix

E
EEPROM test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
54, 80
EPROM test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
54, 80
Error
messages. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
90
Error signal relay. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
51, 67
Error
status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
67

F
Factory settings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48 ,
76, 92
Fault
indication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
90
Filament selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . 45
Filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
39, 68
Firmware
Update . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . 85
Version. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 ,
52, 73
Front
panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24

G
General
parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
Baud
rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
47
Default parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . 48
Display
format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
Error signal
relay . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
Recorder output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . 48
Unit of
measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
Ground
connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19

H
Hysteresis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . 37

I
I/O test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
55, 81
Identifying transmitters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
32, 81
Intended use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
....5

L
Literature. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . 93
Lower threshold
value. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Adjustment
range. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38

M
Mains
connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . 85
Measurement filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
39, 68
Measurement
mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Identifying a
transmitter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
Selecting a
channel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Status report . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . 28
Switching a transmitter
off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Switching a transmitter
on . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Switching the degas function
off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Switching the degas function
on . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Measuring range . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
42, 68
Mnemonics
Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . 58
Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum


Appendix

Mounting the unit in a rack . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17

O
Offset . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42 , 72
Operating modes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Measurement mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Parameter mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Program transfer mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85

P
Parameter groups . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Parameter mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Basic operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Parameter setup lock . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .53 , 72
Parameters
General parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
Sensor parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
Switching function parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Test parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
Pin assignment
CONTROL. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
RELAY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
RS232C. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
SENSOR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Pirani range extension . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
Product versions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5

R
RAM test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .54 , 83
Range extension . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
Recorder output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .48 , 63
RELAY connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Residual dangers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
RS232C connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
RS232C test. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .56 , 83

S
Safety notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
SENSOR connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Sensor parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
Degas function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .43 , 66
Filament selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
Gas type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41 , 70
Measurement filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .39 , 68
Measuring range . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42 , 68
Offset . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42 , 72
Pirani range extension . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
Switching the emission . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .68 , 70
Switching the emission on. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
Transmitter activation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44 , 77
Transmitter deactivation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44 , 77
Storage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
Switching function parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Switching functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .36 , 78
Configuring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
Switching off

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 97


Appendix

Degas function. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Transmitter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 , 71
Switching on
Degas function. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Transmitter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 , 71
Switching the emission on . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45

T
Technical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Test parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
A/D converter ID . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55 , 79
A/D converter signal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55 , 79
Display test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55 , 79
EEPROM test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54 , 80
EPROM test. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54 , 80
Firmware version . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52 , 73
I/O test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55 , 81
Keyboard test. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
Parameter setup lock. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53 , 72
RAM test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54 , 83
RS232C test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56 , 83
Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
Torr lock. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53 , 83
Watchdog control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53 , 84
Threshold values. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36 , 77
Adjustment range. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
Torr lock . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53 , 83
Transmitter
Degassing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Identifying . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
Selecting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Switching off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 , 71
Switching on . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 , 71
Transmitter control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44 , 77
Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
Type label . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4

U
Unit of measurement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47 , 84
Update . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
Upper threshold value. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Adjustment range. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38

W
Waiting time . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Warranty . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Watchdog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53 , 84

GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum

Appendix
GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 99
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ga09. 035/ 6. 02
Oerlikon Oerlikon
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