Universidade Federal de Santa Catarina

Blumenau
Engenharia de Materiais

Comportamento Mecnico de Filmes Finos

Allan Marciel Doring

Bruno Henrique Ristov
Guilherme Dias Zarur

Blumenau
2017
 Allan Marciel Doring
Bruno Henrique Ristov
Guilherme Dias Zarur

Comportamento Mecnico de Filmes Finos

Monografia apresentada como exigncia

para obteno do grau de Tecnologia em
Engenharia de Materiais da Universidade
Federal de Santa Catarina.

Orientador: Wanderson Santana da Silva

Blumenau
2017
 RESUMO

As propriedades mecnicas de filmes finos so muito diferentes se comparados aos

materiais no estado bulk devido, a grande influncia em parte, dos efeitos de
interfaces, da microestrutura material.
Para a compreenso das propriedades mecnicas de pelculas finas requerido o
conhecimento prvio das tenses deste tipo de estruturas, bem como um
entendimento dos mecanismos pelos quais estas sofrem deformao. E para tanto,
foram desenvolvidas tcnicas experimentais especializadas para determinao das
propriedades mecnicas e os estados de deformao e tenso para filmes livres e
filmes ligados a substratos.

Palavras-chave: Filmes finos, microestrutura, propriedades mecnicas, deformao,

tcnicas experimentais, tenso.

ABSTRACT

The mechanical properties of thin films are very different when compared to materials
in bulk due to the great influence in part of the interfaces effects of the material
microstructure.
In order to understand the mechanical properties of thin films, the prior knowledge of
the tensions of these structures is required, as well as an understanding of the
mechanisms by which they undergo deformation. To this end, specialized
experimental techniques were developed to determine the mechanical properties and
the stress and strain states for free films and films bound to substrates.

Key-words: thin films, microstructure, mechanical properties, stress, experimental

techniques, strain.
 SUMRIO

1 INTRODUO...........................................................................................................5
REFERNCIAS.............................................................................................................6
 8

1 INTRODUO

Embora certos materiais de filmes finos tenham sido desenvolvidos

especificamente para aplicaes mecnicas como, por exemplo, os revestimentos
resistentes ao desgaste, os revestimentos resistentes corroso, revestimentos
pticos, etc. Embora normalmente sejam pensados em dispositivos de filmes finos
em termos de suas principais propriedades eletrnicas, magnticas ou pticas,
muitos desses dispositivos so limitados por suas propriedades mecnicas, uma vez
que, a maioria destas aplicaes no incluiu cargas mecnicas como parte de seu
projeto e, como resultado, as caractersticas mecnicas dos filmes foram
frequentemente ignoradas. Contudo, porque mesmo os filmes sem aplicaes
estruturais diretas so frequentemente sujeitos a grandes esforos mecnicos
resultantes de condies de deposio especficas, a variao de temperatura
durante o processamento e em servio.
 8

REFERNCIAS

[1] HUTCHINSON, John W. STRESSES AND FAILURE MODES IN THIN FILMS AND
MULTILAYERS. 1. ed. Division of Engineering and Applied Sciences, Harvard University,
Cambridge, Massachusetts, 1996.

[2] NIX, William D. Mechanical Properties of Thin Films. 1. ed. Department of

Materials Science and Engineering, Stanford University, Stanford, California, 2005.

[3] VINCI, Richard P.; VLASSAK, Joost J. MECHANICAL BEHAVIOR OF THIN FILMS. 1.
ed. Department of Materials Science and Engineering, Stanford University, Stanford,
California, 1996.