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gg Il candidato spieghi cosa sono i MEMS e i sensori inseriti nei MEMS. Spieghi
inoltre come poter migliorare la affidabilit di questi dispositivi. Ipotizzi che il
MEMS serva per misurare la portata di un gas mediante due termocoppie tra
le quali inserito un riscaldatore. Le termocoppie abbiano entrambe una
sensibilit di uu mV/C a 0 C, temperatura alla quale sono mantenuti i giunti
freddi. La prima termocoppia ha i morsetti caldi, mantenuti a una
temperatura di kk C, si calcoli la tensione da essa misurata. Quando fluisce
il gas nel condotto ai capi della seconda termocoppia si misura una tensione
di hh mV, si calcoli la temperatura alla quale si portata la seconda
termocoppia. La velocit del gas legata al salto termico attraverso la
costante k=ll m/sC, se la sezione circolare del condotto allinterno del MEMS
ha un diametro di tt mm, si calcoli la portata volumetrica del gas. Il
flussometro ha una portata massima di ff m3/h, si traggano le conclusioni.