Actuadores

electrostticos
Erick Martinez A01331212
Francisco Isa Cortina Trejo A01335583
Jos de Jess Osornio Coln A01336259
Noe Decuir A01334605
Principio de Funcionamiento

Se basan en los criterios establecidos de la electricidad, los cuales indican

que dos cargas ya sean iguales o diferentes, se repelen o atraen
respectivamente.
El concepto fsico que establece con qu fuerza se llevan a cabo la
interaccin de repulsin o atraccin entre las cargas es la Ley de Coulomb.
Actuadores
Electrostaticos

Si bien es poco comn utilizar las fuerzas electrostticos para generar

movimiento o trabajo, en los mecanismos ms pequeos se ha vuelto una
prctica muy comn.

Los Sistemas Microelectromecnicos o tambin conocidos MEMS por sus

siglas en ingls, han ampliado el uso de este tipo de fuerzas para generar trabajo
y desarrollar nuevas aplicaciones.

Video de prueba de un actuador electrostaico : https://www.youtube.com/watch?

v=6EJsuk_i9r0
Consideraciones
1. Para las microestructuras, la fuerza electrosttica es equivalente o anloga a la fuerza
elstica de la estructura mecnica y la fuerza de amortiguamiento del aire circundante, lo
cual hace necesario considerar todas las fuerzas de manera simultnea.

2. La fuerza electrosttica presenta un comportamiento no lineal en relacin a la

distancia. La accin simultnea de la fuerza electrosttica y elstica puede ocasionar
problemas de no linealidad e inestabilidad.

3. Puesto que las distancias entre los elementos mecnicos y las dimensiones de las
estructuras son comparables, los efectos de la fuerza electrosttica en los bordes deben
considerarse en diversas situaciones. .
Actuador Electrosttico Lineal
Video demostrativo de un
microespejo: https://www.
youtube.com/watch?
v=RdyACN_oLco
 Miden fuerza electrosttica entre placas fijas y mviles mediante un voltaje
aplicado.

Configuraciones principales: placas capacitivas colocadas paralelamente y

placas entrelazadas. (Parallel plate configuration, Integrated finger
configuration)
 El efecto electrosttico se basa en el rea superficial, mientras que la masa
en volumen, por tanto la fuerza electrosttica es buena para la aplicacin de
micro sensores y micro actuadores.
Dispositivos electrostticos de placas
paralelas.

Permitividad elctrica relativa :

r
Permitividad del material:
=r*o
Permitividad del espacio libre:
o
 Capacitancia entre dos placas:

Energa almacenada en el capacitor:

Se puede utilizar la Ley de Gauss para obtener la expresin de la

capacitancia:
 Sustituyendo en la ecuacin de la capacitancia:

La permitividad de un material puede ser influenciado por humedad,

reacciones qumicas y temperatura.
La fuerza debida a la atraccin electrosttica o repulsin entre placas:
 Si las placas se mueven a lo largo del eje normal a su superficie, la variable
del desplazamiento es d.

.
 Dispositivos electrostticos de placas
entrelazadas.
Km es la constante de resorte
la cual representa la rigidez
del mecanismo entre los
peines.
C y Cf tipos de capacitancia.

Video demostrativo de Comb

Drive:
https://www.youtube.com/watch?
v=E0yaGF10Kp8
 Capacitancia total del sistema:

De la imagen anterior, obtenemos:

Existen dos tipos de estos dispositivos ; Transversales y Longitudinales

Transversales

El diseo de la flexin del

mecanismo determinar el
sistema de rigidez y por tanto
el eje de movimiento.
 Cuando el peine superior se desva, la
capacitancia cambiar entre los dedos
siguientes.

Capacitancia total:
Longitudinales

Cambio de capacitancia asociada:

Obtencin de valores con ayuda de software

Campos
electromagnticos
Anlisis de elemento finito electromagntico

Campos elctricos e intensidades

Transistor de Puerta Resonante (RGT)
La RGT fue la primera demostracin de
micro actuadores electrostticos.
Estructura MOS con un resonador de oro.
Sirve como filtro de frecuencia para la
transmisin de seales.
Las fuerzas electrostticas controlan la
distancia entre la puerta y el sustrato
Micro resonadores

Realizan movimiento vibratorio

Reemplazan a los resonadores electrnicos utilizados en los sistemas de
filtros.
Utilizado en: Comunicacin mvil; cada telfono utiliza una frecuencia
precisa ubicada dentro de un intervalo dependiendo el protocolo.

(Esto para que no se realice una interferencia entre llamadas de otros

dispositivos)
 Los sistemas mecnicos tienen frecuencias de resonancia especficas.
Casi en todos los casos la primera frecuencia es en particular til.

Al tocar una cuerda, vibra y

posee todas las frecuencias en
un mismo tiempo. Pero la nota
que escuchamos es la
frecuencia natural de la cuerda.

Los micro resonadores utilizan

partes mecnicas de vibracin
para filtrar las seales de modo
que slo la frecuencia propia
de la estructura se mantenga.
 La vibracin se efecta gracias
a la seal elctrica de entrada.

En la salida, una polarizacin o

voltaje constante entre el
resonador y el electrodo de
salida permite la medicin de la
amplitud de la vibracin.

Fotos de varias arquitecturas de micro

resonadores de silicio
 Micromotor Electrostatico

Aparicin en 1987
Video: https://www.youtube.
Rotor central contiene una carga com/watch?v=n3YMjgbhvTA
El estator radial contiene la carga opuesta
Seis pares de polos son prendidos y apagados en
una cierta secuencia
Aplicaciones
Acelerometro:
https://www.youtube.
Sensores de Presin. com/watch?
v=i2U49usFo10
Acelerometros
Calibracin de micrfonos
Microswitches
Resonadores
Acelermetros
Acelermetro MEMS
Pros y Contras
Si se trabaja con distancias muy grandes, se requiere una mayor tensin de
accionamiento.
Un voltaje alto es sencillo de implementar en dispositivos grandes, pero en
uno pequeo no.
El circuito elctrico de estos sistemas es capacitivo, por lo cual el consumo
de energa es bajo.
El material utilizado entre los electrodos, de igual forma es un factor a
considerar, por ejemplo el agua es conductora a bajas frecuencias, por lo
cual este medio no es propicio para realizar accionamiento electrosttico,
los mejores medios resultan ser gases neutros o el vaco.
Ms Pros y Contras..

El comportamiento de histresis puede ser tanto un ventaja

como desventaja
Se requiere voltaje de operacion de 100V a 150V
Para los actuadores de tipo peine, es necesario una rea
superficial grande para poder generar fuerzas electrostticas
comparables a otros microactuadores.
Simplicidad y bajo consumo de potencia a bajas frecuencias.
Respuesta rapida, la cual est en funcin del tiempo de carga y
descarga, los cuales son pequeos para buenos conductores.
Otro video ?

https://www.youtube.com/watch?
v=bht9B5ku5R8
Para ms informacin consulte:

http://matthieu.lagouge.free.fr/mems/electrostatic.html

http://www.ptolomeo.unam.mx:8080/xmlui/bitstream/handle/132.248.52.100/213/A8.pdf?sequence=8

KI BANG LEE. (2011). Principles of Micromechanical Systems. Hoboken,

New Jersey: WILEY.
John A. Pelesko. David H. Bernstein. (2003). Modeling MEMS and NEMS.
New York: Chapman & Hall/CRC.