Curso Sistema de Vácuo1

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CURSO: SISTEMA DE VCUO
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1- INTRODUO
1.1 PRESSO :
Estamos habituados a idia de presso dada pela frmula P=F/S, ou seja, fora distribuda por rea , e sempre
utilizamos as unidades: Kgf/cm ou N/m (S.I.).
A presso atmosfrica Patm foi obtida atravs da experincia de Torrecilli que deu origem as unidades Torr ou
mmHg. Da a presso atmosfrica ao nvel do mar ser 760Torr ou 760mmHg.
A presso atmosfrica diminui proporcionalmente com o aumento da altitude em relao a superfcie da terra .
Para altitudes de 100Km temos alto vcuo e para altitudes acima de 400Km temos ultra vcuo .
A unidade mbar foi adotada como unidade de medida standard praticada em sistema de vcuo, como um
consenso, portanto no pertence ao S.I. Vale a observao que no existe diferena significativa em se trabalhar
com a unidade Torr ou mbar, a unidade em mbar muito mais conveniente . Ex. 1mbar = 0,75Torr = 10Pa.
Para Patm teremos 10mbar = 1 bar
Apresentamos abaixo a tabela de converso de unidades de vcuo:
Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

Editado por: Toni Carlos
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1.2 - AR, GASES E VAPORES

Nossa atmosfera terrestre est preenchida por vrios tipos de gases, mostramos abaixo sua composio :
As partculas constituintes de um gs ou ar movem-se com muita liberdade e com movimentos retilneos e

uniforme, mantendo uma grande distncia entre si , isto ocorre devido a quase no existir atrao eltrica entre
as partculas e por possurem energia eltrica constante.
Isto significa que os gases e o ar tm a propriedade de expandir-se ou ser comprimido, ou seja em um
recipiente fechado a presso do ar ser igual em qualquer um dos pontos medidos, pois o ar ou gs se distribui
por igual no volume interno do recipiente.
Da os gases e o ar obedecerem a lei dos gases ideais dada pela frmula de Clapeyron:
PV=*R*T
Obs.1: Est lei no se aplica a gases prximos de suas condies de condensao .
Obs.2: As molculas do ar a temperatura ambiente possuem velocidade de at 3600Km/h.

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A gua apresenta diferentes comportamentos quando as sua condies de presso e temperatura, para isto
observemos o diagrama de fases da gua apresentado abaixo:
Pelo diagrama de fases da gua apresentado podemos observar que a gua estar na forma liquida se estiver
submetida a presso atmosfrica ( 1atm) e com temperatura menor do que 100C.
Porm para est mesma presso e com temperatura maior do que 100C, a gua estar na regio de vaporizao.
Ainda para mesma presso e agora diminuirmos a temperatura para abaixo de 0C, a gua ir para regio de
solidificao , at aqui tudo bem.
Chamamos a ateno para diferentes condies a que submetida a gua em um processo de vcuo, onde a
presso de trabalho menor do que 10-mbar, neste caso as molculas da gua so separadas indo ao estado de
sublimao, que para ns e conhecido com a 4 fase (gases).
Gases produzidos durante o processo de evaporao de alumnio ou vapores de gua so bombeados pelas
bombas de vcuo, os vapores de gua podem ser captados eficientemente utilizando sistemas de serpentinas
tipo polycold ou Nitrognio, mas vale ressaltar que alguns outros tipos de gases e gases proveniente de
evaporao de alumnio no podem ser liqefeitos.
1.3 VCUO
A finalidade de um sistema de vcuo reduzir a densidade d de molculas de gs ou ar dentro de um
recipiente, principalmente de vapores de gua.
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Quando da evaporao do alumnio, a presso do vcuo deve ser tal que o alumnio passe do estado slido para
o estado de vapor (sublimao) e solidificando se novamente sem sofrer processo de oxidao.
Podemos destacar ainda que um dado recipiente contendo gua e outro ar. Se no recipiente n. 1 iniciarmos o
processo de retirada da gua atravs de um tampo (ladro) e se medirmos esta vazo em 1/min, vamos
verificar que esta relao litros por minuto linear, ou seja , uma reta de inclinao constante com ponto de
partida zero.
O mesmo no ocorre no recipiente n2 contendo ar, Pois ao iniciarmos a retirada do ar de dentro do recipiente,
o ar tender e expandir-se para ocupar todo o recipiente e ao medirmos esta vazo vamos constatar que esta
relao litros por minuto no linear.
Observe a curva do ar e dos gases mostrados na figura a seguir:
Devido a este efeito a indicao de presso dentro de uma cmara em vcuo certamente ir diferir aps a
presso de vcuo ficar menor do que 10-mbar, ou seja a leitura da presso na cmara de bobinamento ser
diferente de presso da cmara de evaporao , mesmo que haja abertura (buracos) que as interliguem. J os
sensores e indicadores de presso de vcuo possuem em sua construo circuitos de correo logartmica ,
conforme podemos observar em suas respectivas escalas.

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Para efeito de estudo os sistemas de vcuo so divididos em quatro fases, que so:
Pr-vcuo 1000 1mbar (Rough Vacuum) RV

Mdio-vcuo 1 10-mbar (Medium Vacuum) MV
Alto-vcuo 10-mbar 10-7 (High Vacuum) HV
Ultra alto vcuo 10-7mbar em diante (Ultra-high vacuum) UHV
Estas divises so naturalmente arbitrrias . A regio de Pr-vcuo geralmente chamada de regio de baixa
presso (abaixo da presso atmosfrica).
Para sistemas de vcuo h trs tipos de fluxo de gs que so : Fluxo viscoso, fluxo molecular e fluxo Knudsen.
Fluxo viscoso : Apresenta-se quase sempre em sistema de pr-vcuo. O fluxo viscoso subdividido em
laminar ou turbulento. O fluxo turbulento tem o n. Reynolds (Re) >2200, este caracterizado como um
fluxo varivel de velocidade no constante no centro do tubo, muito encontrado em fludos de alta
viscosidade ou baixa presso.
Fluxo laminar: caracterizado por n. Re<2200 e apresenta uma velocidade constante no centro do turbo,
com um fio liquido e contnuo , possuindo um caminho mdio livre menor do que o dimetro do tubo,
provocando coliso entre as partculas dos gases, normalmente encontrado em sistema de pr-vcuo.
Fluxo Knudsen: Regio que fica entre fluxo viscoso e fluxo molecular , predomina acima do mdio vcuo.
Possui caminho mdio menor que o dimetro da tubulao.
Fluxo molecular: Grandemente encontrado em sistema de alto e ultra vcuo. O caminho mdio livre das
partculas maior que o dimetro da tubulao . Nestas regies as partculas podem se movimentar
livremente , no tendo colises entre si, mas com deslocamento desordenado , para todas as direes.
Para trabalho em alto e ultra-vcuo um fator importante o tipo de superfcie e tipo de material de que
construdo esta superfcie , pois devido as caractersticas do fluxo molecular poderemos Ter a formao de uma
mono-camada de gases nas paredes internas da tubulao o que ir aumentar em muito o tempo para se atingir
o vcuo final.
Definies : Caminho mdio livre ou taxa de coliso de partculas a distncia entre a partcula anterior e a
posterior quando arrastadas num fluxo dentro de uma tubulao.
Re um nmero adimensional que depende da viscosidade do fludo, este nos informa i tipo de escoamento de
um determinado fludo, se laminar ou turbulento.
2- BOMBA ROTATIVA
As bombas rotativas pertencem ao grupo de bombas de vcuo de deslocamento positivo e existem vrios tipos,
tais como: Pisto, rotor, palhetas, e de vlvulas cuja a finalidade transportar o ar ou gases proveniente do
processo, comprimindo e expelindo-o , tambm so denominados de bombas de pr-vcuo, Forepump.
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Existem as bomba cujo o selo a leo, p.ex., palhetas e de pisto , cuja a taxa de compresso pode chegar a 10 5
para um nico estgio de compresso e as bombas a seco, que no possuem selo a leo, e tem
consequentemente taxa de compresso muito menor, chegando a 10, p.ex.; bombas roots.
Este tipo de bomba opera a presso atmosfrica at 1 x10- mbar.
As bombas rotativas instaladas em nossas mquinas metalizadoras 1203 Varovac e 1202 Sogevac, so do tipo
palhetas de simples estgio de compresso e selo a leo, possuindo respectivamente vazo de 630m/h e
755m/h.
2.1 Bombas rotativas tipo palhetas
Apresentamos abaixo a figura de uma bomba rotativa Varovac, tipo palheta.
Figura n.2 Corte transversal da bomba Varovac S630F

1234567-
Defletores de leo
Caixa de leo
Defletores de leo
Filtros de leo
Sada de exausto
Vlvula de gs ballast
Filtro de entrada

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8- Cmara de admisso
9- Vlvula anti-suck back
10- Cilindro
11- Palheta
12- Rotor
13- Vlvula de exausto
2.2 Descrio do funcionamento
Os gases so admitidos atravs do filtro(7) para a cmara (8), indo para a cmara de compresso, composta pelo
cilindro (10) e o rotor (12), montado no rotor temos as palhetas (11). Com o rotor girando em sentido horrio e
devido a fora centrpeta as palhetas so foradas a se deslocarem tocando tangencialmente a superfcie interna
do cilindro da bomba. Com a rotao as palhetas arrastam os gases, e devido o rotor esta posicionado
excentricamente em relao ao cilindro, a cada deslocamento angular a rea vai senso diminuda , ou seja os
gases vo sendo comprimidos.
As palhetas passam pelo ponto do selo a leo , onde os gases comprimidos atingem presso suficiente para
comandar a abertura das vlvulas de exausto(13), estas expulsam a mistura de gases e leo para o reservatrio
de leo(2). Os gases passam pelos defletores (1 e 3), passando pelos filtros de leo (4), que retm o leo,
permitindo apenas a passagem dos gases, e sendo estes liberados para atmosfera, atravs da tubulao de
exausto(5).
2.3 leo
O leo nas bombas rotativas atua lubrificando as partes internas da bomba que esto em movimento, refrigera a
bomba e serve como selo mecnico, preenchendo a diferena entre o raio do cilindro , das palhetas e do rotor
(gap). O leo utilizado Vacum N76, de aspecto brilhante e transparente, a alterao do aspecto visual pode
indicar grande quantidade de vapores de gua ou at deteriorao do mesmo, neste caso se a cor do leo for
escura deve proceder a troca do mesmo. O fabricante recomenda substituir o leo a cada 2.000h.

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Figura 6
1- Vlvula de quebra de vcuo
4- Ponto de abastecimento de leo
6- Vlvula de entrada de gas ballast
7- Visor de nvel de leo
8- Ponto de dreno de leo
2.4 Refrigerao das Bombas
As bomba rotativas Varovac(1203) e Sogevac(1202) tem seus sistemas de refrigerao efetuado por gua
industrial temperatura de 20c. A temperatura de trabalho no deve exceder a 78c, esta temperatura de
trabalho das bombas rotativas so de fundamental importncia para a eficincia das mesmas.
Figura 8
1-Termostato de leo
2-Vlvula termosttica
3-Trocador de calor do leo
10-entrada de gua para refrigerao
9-Sada de retorno de gua de refrigerao
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2.5 Gas Ballast

O dispositivo de gas ballast foi desenvolvido por Gaede em 1935, com o propsito de inibir a condensao de
vapores de gua no interior de bombas rotativas.
Quando vapores de gua ou solvente esto presentes dentro da cmara de vcuo, estes podem ser comprimidos
na bomba rotativa atingindo uma presso maior do que a sua gua ou solventes, condensam e se emulsificam
com o leo da bomba e a eficincia do processo de bombeamento ser prejudicado , diminuindo a presso do
vcuo
O processo de gas ballast reduz este problema. Quando a vlvula de gas ballast comanda uma pequena parte de
ar, a presso atmosfrica admitida para dentro da bomba , no momento em que a bomba est no estgio de
compresso, consisti as vlvulas de exausto sero atuadas para abrir antes que se ocorra o processo de
condensao da gua ou solvente .

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Vale destacar que quando colocamos uma bomba rotativa em modo gas ballast , estamos admitindo ar a presso
atmosfrica para dentro da cmara de compresso, neste caso a eficincia da bomba ir diminuir, como pode ser
visto pela curva pontilhada do grfico.
2.6 Vlvula de quebra de vcuo e anti-suckback

Quando a bomba rotativa desenergizada, a vlvula de quebra de vcuo (fig.2 item 1) energizada admitindo
ar para dentro da cmara de compresso(fig.2) da bomba rotativa.
Neste momento a vlvula anti-suckback (fig.2item 9) atuada pela diferena de presso entre a presso da
tubulao proveniente da mquina e a presso da cmara de compresso da bomba rotativa , a vlvula
antisuckback isola ou veda a cmara de compresso da bomba rotativa da tubulao da mquina, que esta sob
vcuo.
A atrao das vlvulas de quebra de vcuo e anti-suckback tem dupla finalidade: Evitar que ocorra refluxo de
leo da bomba rotativa s para dentro da cmara de vcuo, devido a ultimate pressure e evitar quebra das
palhetas quando d partida na bomba rotativa.

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2.7 Presso final

Cada bomba rotativa seja do tipo palheta ou pisto possui, devido as suas caractersticas construtivas de projeto,
um determinado valor de presso final, tambm como ultimate pressure . Esta a mxima presso final que
uma especfica bomba pode alcanar .
As bombas rotativas em um processo de vcuo so as que recebem maior solicitao e por conseqncia um
maior desgastes das peas internas , por exemplo: Palhetas, vedaes, etc. Aps grandes jornadas de trabalho,
com o desgastes das palhetas, desgastes das vlvulas, deteriorao do leo lubrificante ou obstruo dos filtros
de ar vedao estas bombas tendem a apresentar uma diminuio de sua eficincia ou presso final. Para
verificar a eficincia de uma bomba rotativa deve ser executado o procedimento: Teste de eficincia de bomba
rotativa, anexo n.9.1
2.8 - Recomendaes
Deve se manter manuteno preventiva regular para este tipo de bomba , uma reviso cada ano.
Devido a interferncia mecnica importante que o leo de lubrificao e selo esteja isento de leo.
O ponto de gap dado pela diferena de dimetro do rotor e do cilindro da bomba, pois so excntricos , nunca
usinar o cilindro da bomba.
Segue abaixo vista explodida de montagem do rotor, da caixa de leo e das vlvulas de exausto e gas ballast da
bomba rotativa Varovac S630F da mquina 1203.
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1- Caixa de leo
2- Junta de vedao
3- Anel elstico
4- Vlvula de gas ballast
5- Anel oring
6- Junta de vedao
7- Tampa com defletores de ar
8- Gicle
9- Vlvula de exausto
10- Defletores de sada
11- Defletores de ar/leo

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3- BOMBA ROOTS
Pertencem ao grupo de bombas de vcuo de deslocamento positivo, bomba do tipo isente de leo, o selo feito
atravs da interferncia mecnica entre lbulos , que de aproximadamente 8 centmetros, sendo menor do que
um filme (pelcula) de leo.
Os dois lbulos tem a forma simtrica semelhantes de um oito de seo sincronizadas por um par de
engrenagens acionadas, os lbulos ou rotores no se tocam, tambm no tocam as paredes internas da carcaa
da bomba.
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Por causa desta pequena interferncia entre os lbulos e em relao as paredes internas das bombas , deve se
evitar a deformao da carcaa interna, no devendo esta trabalhar a presso atmosfrica, com se acontece
normalmente com uma Forepump, bomba de pr-vcuo. Deve ser evitado o aquecimento da mesma por causa
da dilatao trmica, pois os lbulos podem tocar-se ou tocar na carcaa interna da bomba danificando-a.
A bomba roots normalmente utilizada em conjunto com uma bomba rotativa com selo leo, possui taxa de
compresso entre 10 e 100, operando na faixa de presso entre 1 a 1x10-mbar, trabalha por transparncia de
volume de gases e no h compresso dos gases durante o regime de operao.
Para teste de eficincia de uma bomba roots, utilizar o procedimento de manuteno Teste de Eficincia de
Bombas Roots. Anexo 9.3.

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4 BOMBA DIFUSORA E BOMBA JET BOOSTER

Bombas difusoras so normalmente utilizadas para a produo de alto vcuo e ultra alto vcuo. So bombas que
trabalham atravs de rpida movimentao atravs de um fludo vaporizado , que pode ser:
-leo
-Vapor de mercrio
-Vapor
-gua
Em nossas metalizadoras , o fludo utilizado leo de silicone . A principal caracterstica do leo trmico que
uma temperatura elevada ele possui a propriedade de se fracionar em molculas que se agrupam com as
molculas de ar , provocando um arraste dentro da bomba difusora.
O leo aquecido por um banco de resistncia eltrica dentro de um reservatrio localizado no fundo da
bomba. Porm as resistncias esto enclausuradas, no entrando em contato com leo.
Este leo uma vez vaporizado despejado em alta velocidade pelos difusores da bomba . Este leo ir captar as
molculas de ar que se encontram no interior da cmara de vcuo, arrastando-as, devido a depresso criada
pela alta velocidade.
Estas molculas so conduzidas pelo leo em direo a tubulao de sada da bomba em direo a linha das
bombas roots e consequentemente as rotativas.
Um pesquisador chamado Gaede foi o primeiro verificar que gases quando submetidos a uma baixa presso,
podem ser bombeados atravs da movimentao de fludos em alta presso, e desta forma o fludo submetido a
baixa presso, move-se em direo regio de presso mais alta .
Este conceito foi utilizado por Langmuir em 1915, para construir a primeira bomba difusora moderna. Para
obter uma velocidade mais alta possvel do leo vaporizado, fez-se com que o jato de leo emanasse em
velocidade supersnica atravs de um difusor.
Como foi observado este leo ao ser vaporizado e submetido a uma velocidade supersnica , carrega junto com
suas molculas, as molculas de ar proveniente de cmara de vcuo.
Como esta bombas possuem normalmente as paredes refrigeradas, este vapor de leo ao tocar as paredes
condensa-se para retornar ao reservatrio e ser novamente aquecido at a vaporizao .
As molculas a r continuam a ser comprimida pelo estgios subsequentes da bomba. A ordem de compresso
muito alta neste tipo de bomba. Como exemplo podemos citar que uma cmara de vcuo presso de 10- 9
mbar na entrada da bomba difusora no sentido de bombeamento, pode Ter uma presso na sada da bomba
difusora de 10-mbar , assim, teremos um fator de compresso da ordem de 10-7 mbar .
A presso de trabalho para a bomba difusora fica em torno de 10- mbar pois dependendo do tipo de fludo,
temperatura e formato dos difusores, a bomba ter uma faixa de trabalho mais alta ou mais baixa. Dependendo
do tipo de fludo(leo,vapor,etc), da temperatura de fludo e do formato dos difusores, a presso na bomba
difusora ter valores mais altos ou mais baixos. No Caso de bomba Difusora onde o fludo o leo de silicone
esta presso dever Se <=1mbar no reservatrio, para que o vapor de leo possa emanar pelos difusores a
presso tem que ser suficientemente baixa .
O efeito da presso combinado com a temperatura de vaporizao do leo de silicone (acima de 230C),
permitem o funcionamento adequado da bomba difusora. Desta maneira, bombas difusoras so sempre
montadas em linhas com outras de deslocamento positivo (roots, rotativas,etc).
As paredes das bombas difusoras devem ser refrigeradas de modo que o fludo retorne para o reservatrio
condensado, aumentando a eficincia da bomba . Bombas Difusoras que trabalham com vapor de mercrio
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devem ter as paredes resfriadas em torno de 15C, j com leo de silicone, a gua a uma temperatura de 30C
suficiente para produzir o efeito desejado.
Para evitar o refluxo de leo da bomba difusora (back streaming) para o conjunto de bomba do pr-vcuo, esta
tem montada na tubulao de sada (foreline) um conjunto de defletores qu funcionam com filtro molecular ,
retendo as partculas de leo.
A temperatura normal de trabalho entre 250 280c.
As resistncias eltricas so do tipo cartucho. Quando da substituio destas resistncias utilizar spray antigripante de modo a permitir a desmontagem futura , evitando de ficarem emperradas.
Quando a bomba difusora ou bomba Jet Boosters estiverem aquecidas, ou seja temperatura acima de 100c,
nunca abrir pontos de medio ou vlvulas, para permitir entrada de ar a presso atmosfrica para dentro destas
bombas. A entrada de ar, a presso atmosfrica, ocasionar a oxidao do leo de silicone, comprometendo a
sua vida til, at a perda do mesmo. Tambm a entrada de ar para o interior da bomba pode provocar uma
exploso interna , e consequentemente danificar por completo os defletores dos jatos de leo, inutilizando a
bomba difusora.
Data: 29/04/04
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As bombas difusoras dispem de visor de nvel de leo, o reabastecimento de leo deve ser feito quando a
temperaturas das bombas estiverem abaixo de 100C, para isto despressurizar a bomba.
J as bombas Jet Boosters no tem visor de nvel de leo, o nvel de leo e verificado a travs do sistema :
medio por vareta de nvel de leo.
Para visualizao ou reabastecimento do nvel do leo necessrio que a temperatura da bomba Jet Boosters
esteja abaixo de 100C.
6 SISTEMA DE MEDIO E CONTROLE DE VCUO
6.1-Pressostato de Bourdn
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Faixa de trabalho partir da presso atmosfrica at 10-mbar, possui contato eltrico acionado pelo curso de
indicao de presso.
6.2 Sensor Pirani ou Thermovac
A condutividade trmica de um gs muda com o decrscimo da presso. Esta propriedade utilizada para medir
a presso.
O elemento de medio (eletrodo) consiste de um filamento de metal tungstnio, com alto coeficiente de
temperatura e forma um dos braos de uma ponte resistiva tipo Wheatstone. Devido a condutividade trmica
do gs presente na tubulao ou cmara de vcuo, ocasionando uma variao de temperatura deste filamento,
originando uma variao da corrente eltrica na ponte Wheatstone.
A faixa de trabalho deste tipo de sensor de 1 x10+mbar, mas tanto no incio como no fim da faixa no h
preciso de leitura ou controle , e para corrigir isto a escala do tipo logartmica .
Calibrao: Com o sensor fora do ponto de medio exposto a presso atmosfrica, ajustar o trimpot atm
localizado no sensor Pirani para se ter a indicao de controle de vcuo o valor de 10+mbar .
Para a calibrao do sensor para presso de 10-mbar, coloca-lo em um ponto de medio onde a presso esteja
abaixo de 10-mbar, por exemplo, na entrada da bomba difusora ou na cmara de vcuo, ajustar para a unidade
de controle de vcuo se ter a leitura da presso em 10-mbar.
6.3 Sensor Penning

Data: 29/04/04
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Consiste de um eletrodo central, nodo, e da carcaa metlica, ctodo, um par ims so montados ao redor para
orientar ao redor o sentido de ionizao.
Quando menor a presso da cmara, menor ser a quantidade de molculas de gs e por conseqncia menor
ser a ionizao, ou menor a descarga eltrica, a tenso de alimentao de aproximadamente 2500 Volts.
Devido este princpio de funcionamento este sensor no deve ser ligado a presso atmosfrica. Sua faixa de
trabalho vai de 10-mbar at 10-7 mbar . Ainda, devido ao princpio ativo de funcionamento, tende a se formar
sobre o eletrodo uma pelcula de carbono, originando um resistor de alta impedncia que diminui a ionizao,
provocando erro de leitura e at o no funcionamento do sistema de medio.
A energizao do sensor Penning para presses prximas a de 10-mbar acelera a formao da pelcula de
carbono sobre o eletrodo, sendo recomendvel a limpeza deste eletrodo a cada 15hrs.
6.4 Unidades de controle de vcuo
7 CMARA DE VCUO
8 FLUXOGRAMAS
Fluxograma metalizadora 1201
9 DETECO DE INFILTRAO
E da tabela peridica destacamos o nmero de massa atmica de alguns elementos.
He = 4ma
O = 16ma
H = 1ma
Conclumos que uma molcula de gua e quatro vezes maior que a molcula do gs Hlio.
10 - PROCEDIMENTOS
Procedimento 1 Teste de bomba rotativa com a mquina em funcionamento;
Procedimento 2 Teste de bomba rotativa aps servios de reviso;
Procedimento 3 Teste de taxa de infiltrao de ar na cmara de vcuo (Leak Rate)
Procedimento 4 Teste de bomba roots com a mquina em funcionamento.
11- SIMBOLOGIA DE VCUO

Data: 29/04/04
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Anexo A Figura pg18

Anexo B Figura pg 88
12 BIBLIOGRAFIA
Mecnica de fludos Wiliam Shames
Product and vacuum technology Leybold
Course of vacuum AVS (USA)
Vaccum technology Nigel Harris Edwards

Data: 29/04/04
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Metalizadora Leybold A 1350 Metalizadora III 1203

VENT.
SENSORES:
PIRANI-THERMOVAC TN 210 S
PENNING-PENNINGVAC PM411S2
PIRANI
P
VA14-V1
VM12-P1
(6x10-1 mbar)
950 mbar
1/DE11
CAMARA DE BOBINAMENTO
VENT. VA14-V2
FLAP
VC71-V3
(3x10-3 mbar)
VC32-V1
VC33-V1
VC34-V1
VC31-V1
VD31-V1
VC30-V3
JET BOOSTERS
PIRANI VM22-P1 (3X10-2 mbar)
PENNING VM23-P1
VD32-V1 (3x10-2 mbar)
DIFUSORAS
VD31-K1
VC32-K1
P
CAMARA DE EVAPORACAO
VC33-K1
VC34-K1
VD30-V3
VD32-K1
VC31-K1
VD31-V2
VC31-V2
VD32-V2
PIRANI VM11-P1 (8x10-1mbar)
PIRANI VM21-P1 (3x10-1mbar)
VC21-F2 (60 mbar)
VD21-F1 (60 mbar)
ROOTS (VC21)
ROOTS (VD21)
ROTATIVA (VC11)
ROTATIVA (VD11)

Data: 29/04/04

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1.2 - AR, GASES E VAPORES

As partculas constituintes de um gs ou ar movem-se com muita liberdade e com movimentos retilneos e

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Pr-vcuo 1000 1mbar (Rough Vacuum) RV

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Figura n.2 Corte transversal da bomba Varovac S630F

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CURSO: SISTEMA DE VCUO

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

CURSO: SISTEMA DE VCUO

CURSO: SISTEMA DE VCUO

2.5 Gas Ballast

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

CURSO: SISTEMA DE VCUO

2.6 Vlvula de quebra de vcuo e anti-suckback

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

CURSO: SISTEMA DE VCUO

2.7 Presso final

CURSO: SISTEMA DE VCUO

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

CURSO: SISTEMA DE VCUO

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

CURSO: SISTEMA DE VCUO

CURSO: SISTEMA DE VCUO

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

CURSO: SISTEMA DE VCUO

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

CURSO: SISTEMA DE VCUO

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

CURSO: SISTEMA DE VCUO

4 BOMBA DIFUSORA E BOMBA JET BOOSTER

CURSO: SISTEMA DE VCUO

CURSO: SISTEMA DE VCUO

6 SISTEMA DE MEDIO E CONTROLE DE VCUO

CURSO: SISTEMA DE VCUO

6.3 Sensor Penning

CURSO: SISTEMA DE VCUO

11- SIMBOLOGIA DE VCUO

CURSO: SISTEMA DE VCUO

Anexo A Figura pg18

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

CURSO: SISTEMA DE VCUO

Metalizadora Leybold A 1350 Metalizadora III 1203

PIRANI VM22-P1 (3X10-2 mbar)

VD32-V1 (3x10-2 mbar)

PIRANI VM11-P1 (8x10-1mbar)

PIRANI VM21-P1 (3x10-1mbar)

VC21-F2 (60 mbar)

VD21-F1 (60 mbar)

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. Santos

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