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n = 400 cm2/Vs
n = 1000 cm2/Vs
p = 400 cm2/Vs
p = 200 cm2/Vs
n = 1 s
p = 0.1 s
Esercizio 2: MOSFET
Si consideri i sistemi MOS in Figura 3. Si tratta di due
pixel di una fotocamera. Essi sono realizzati su un
substrato in silicio drogato p (NA= 5x1016 cm-3). Lo
spessore dellossido di 10nm. Lelettrodo di gate
realizzato con uno strato metallico trasparente (ITO) con
funzione lavoro q
=4.8eV.
a) Valutare la tensione di banda piatta, VFB, e la tensione
di soglia, VT, dei sistemi MOS.
b) Durante la fase 1, VG2=0V mentre VG1 passa
repentinamente da 0V a 5V. Tuttavia i tempi di
permanenza a 5V sono troppo brevi per permettere la
formazione del canale conduttivo. Determinare, in
queste condizioni, lo spessore raggiunto dalla zona
svuotata sotto il pixel 1 e la differenza di potenziale ai
suoi morsetti.
Figura 3. MOS su substrato p
1.12eV
1.45 1010 cm-3
1.81019 cm-3
3.21019 cm-3
11.7
3.9
107 cm/s
Esercizio 1: semiconduttori
Un substrato di silicio di drogaggio NA=5x1016cm-3
e spessore t=500
m (Figura 1).
a. Dal grafico in Figura 2 ricavare la stima della
mobilit delle lacune e degli elettroni
b. Stimare la velocit di agitazione termica degli
elettroni (per la loro massa si assuma degli
elettroni m=0.26m0) e la distanza media coperta
da ogni carica prima che il moto sia perturbato da
un urto (scattering).
c. Supponendo che nel processo di fabbricazione si
sia generata una densit di stati intrappolanti pari
a NT=10-5NA con sezione durto =10-13cm2,
ricavare la vita media di ricombinazione dei
minoritari.
Figura 1. Substrato.
Esercizio 2: MOSFET
Si consideri il sistema MOS in Figura 3. Esso
realizzato su un substrato in silicio drogato p (NA=
1x1017 cm-3) con spessore di ossido di 6nm.
a) Determinare la funzione lavoro dello strato metallico
di gate che permette di ottenere una tensione di soglia,
VT, di 2.0V.
b) A valle della fabbricazione, la tensione di soglia dei
dispositivi realizzati ha un valor medio di VT=1.9V.
Lo scostamento pu essere determinato da una
variazione, tox, dello spessore dellossido deposto
rispetto al valore nominale, o da cariche intrappolate
allinterfaccia
con
il
semiconduttore,
Ns
(cariche/cm2). Stimare i valori di tox, e Ns (e relativo
segno di queste ultime) che giustificherebbero
separatamente lo scostamento sperimentale di VT.
c) Lo spessore dellossido deposto pu essere stimato
misurando la risposta capacitiva del sistema MOS.
Determinare le condizioni di polarizzazione pi
opportune per realizzare la misura di tox.
Figura 4
1.12eV
1.45 1010 cm-3
1.81019 cm-3
3.21019 cm-3
11.7
3.9
107 cm/s
tp = 500m
tn = 5m
n = 170 cm2/Vs
p = 380 cm2/Vs
n = p = 500 ns
Esercizio 2: MOSFET
Si consideri il sistema MOS in Figura 3. Esso
realizzato su un substrato in silicio drogato n (ND=
5x1017 cm-3), ed dimensionato per realizzare transistori
a canale p. Lo spessore dellossido di 5nm. Lelettrodo
di gate realizzato con uno strato conduttivo (MA) con
funzione lavoro q
=5.15eV, il contatto di substrato con
uno strato conduttivo (MB) con funzione lavoro
q
=4.45eV, i conduttori afferenti al generatore di
polarizzazione sono di rame (MC con q
C=4.61eV).
a) Indicare valore e verso delle cadute di potenziale alle
diverse giunzioni metalliche e dimostrare che la
tensione di banda piatta, VFB, dipende solo dalla
funzione lavoro q
. Determinarne il valore.
b) Lo strato (MA) realizzato con polisilicio drogato p.
Stimare il drogaggio necessario per ottenere la
funzione lavoro desiderata.
c) Determinare la tensione di soglia, VT0, del sistema
MOS.
1.12eV
1.45 1010 cm-3
1.81019 cm-3
3.21019 cm-3
11.7
3.9
107 cm/s
Dn = 32 cm2/ s
Dp = 4 cm2/ s
n = p = 1 s
Tabella 1. Parametri fisici.
Esercizio 2: MOSFET
Si consideri il MOSFET in Figura 2,
realizzato crescendo 5nm di ossido SiO2 su
un substrato in silicio drogato p (NA= 1017
cm-3) su cui deposto un elettrodo con
funzione lavoro q
=4.5eV.
a) Calcolare la tensione di soglia, VT0 del
sistema MOS.
b) Determinare la massima tensione che
pu essere applicata al gate perch il
campo elettrico nellossido non superi
5MV/cm.
c) Disegnare e quotare in queste condizioni
di polarizzazione il profilo del campo
elettrico, F(x), e della densit di carica,
(x), lungo la sezione verticale del
dispositivo, indicando lestensione della
regione svuotata Wp.
Figura 2. MOSFET
1.12eV
k = 8.6210-5 eV/K
Concentrazione intrinseca
(300K):
Densita` equiv. lacune in BV:
3.21019 cm-3
q = 1.610-19 C
4.01eV
k = 1.3810-23 J/K
m0 = 9.1 10-31 kg
Vth = 25.8 mV
1.81019 cm-3
11.7
3.9
107 cm/s
L = 40 m
t = 500 nm
W = 10 m
EGAP = 1.12 eV
ni=1,45 1010 cm-3
n=1450 cm2/Vs
Mobilit lacune (300K):
p=480 cm2/Vs
Tabella 1. Parametri.
Esercizio 2:
Si consideri la struttura di un transistore
MOSFET riportata in Figura 3, i cui parametri
sono riportati in Tabella 3.
a) Calcolare la tensione di banda piatta VFB e
la tensione di soglia VT del sistema MOS.
b) Valutare, nella condizione di polarizzazione
VGS = VT e VD =VS=VB =0V la dimensione
della zona svuotata.
c) Valutare, nella stessa condizione di
funzionamento, il rapporto m tra la capacit
specifica dellossido e la capacit specifica
della zona svuotata.
Lunghezza di canale
Larghezza
Spessore dellossido di silicio:
Drogaggio di substrato:
Funzione lavoro gate
Affinit elettronica Silicio:
Gap di Energia Silicio:
Concentrazione intrinseca Silicio:
Costante dielettrica Silicio:
Costante dielettrica ossido:
Mobilit elettroni liberi di canale:
Velocit massima elettroni:
Tabella 2.
L = 130nm
W=10 L=1.3m
tox=60
A = 51017cm-3
q = 4.1eV
q = 4.05eV
EGAP = 1.12eV
ni=1,45 1010 cm-3
r = 11.7
r = 3.9
n=350 cm2/Vs
vsat_n=107 cm/s
t
W
Figura 1. Resistore Integrato
Lunghezza:
Spessore:
Larghezza:
L = 400 nm
t = 50 nm
W = 70 nm
t0 = 1 s
g = 0.9
Tabella 2. Parametri.
Esercizio 2:
Si consideri la struttura di un transistore
MOSFET verticale riportata in Figura 2, i cui
parametri sono riportati in Tabella 3.
a) Calcolare la tensione di banda piatta VGS =
VFB della struttura (VS = VD = 0V). Qual
la differenza di potenziale tra il substrato p e
il terminale di source?
b) Si supponga ora VGS = VFB, VD = 1 V e VS
= 0V e si quotino le dimensioni delle zone
svuotate sul lato di source e di drain e
lestensione della zona neutra residua di
substrato p.
c) Stimare,
adottando
una
semplice
approssimazione planare per il sistema
MOS laterale, la tensione VGS = VQ per cui
si ha il completo svuotamento del substrato
p. Si noti che la differenza di potenziale tra
la zona neutra di substrato e il terminale di
source resta pari al valore ricavato al punto
(a).
L = 130nm
tox=50
D = 11019cm-3
T = 50nm
A = 51017cm-3
q = 4.5eV
q = 4.05eV
EGAP = 1.12eV
ni=1,45 1010 cm-3
r = 11.7
r = 3.9
n=250 cm2/Vs
vsat_n=107 cm/s
Tabella 3.
Esercizio 1: giunzione
Si consideri la giunzione riportata in Figura 1 di
area WxL=100mx100m. Essa realizzata con
una impiantazione di superficiale di atomi di
fosforo (tn=0.2 m ND=1018cm-3) in un epistrato
di spessore =1.5m di drogaggio nominale
NA=5x1015cm-3 cresciuto su substrato p+ di
drogaggio nominale NA=1018cm-3. Supponendo
che i drogaggi delle varie zone siano pari ai loro
valori nominali.
a) Calcolare il potenziale di built-in e
lestensione della zona di carica spaziale
allequilibrio. Commentare il risultato
b) Valutare la tensione inversa che deve
essere
applicata
per
svuotare
completamente la regione p di epistrato.
c) Valutare in questultima condizione di
polarizzazione il valore della capacit, C,
della giunzione.
Figura 1
Dimensioni:
Drogaggio regione n+
Spessore zone n+:
Spessore epistrato:
Drogaggio epistrato p:
Spessore substrato:
Drogaggio substrato p+:
Concentrazione intrinseca (300K):
Costante dielettrica relativa (Si):
W = L = 100 m
ND = 1018 cm-3
tn = 0.2 m
= 1.5 m
NA = 5x1015 cm-3
500 m
NA = 1018 cm-3
ni=1.45 1010 cm-3
= 11.7
Figura 2
Esercizio 2:
Si consideri il condensatore MOS rappresentato in
Figura 2 in cui il substrato e` silicio lievemente
drogato con atomi accettori, NA=1014cm-3. Il
metallo di gate e` alluminio e la differenza di
funzioni lavoro metallo-semiconduttore e` ms= 0.83V Lo spessore dellossido (SiO2) tOX=500
. A causa di un processo di fabbricazione non
ancora maturo, nellossido e` intrappolata una
quantita` di carica positiva con densit pari a Nss
= 1010 cm-2.
a) Calcolare la tensione di banda piatta.
b) Calcolare la tensione di soglia, VTH e la
corrispondente estensione della zona di carica
spaziale nel semiconduttore.
c) Quali controindicazioni ci sarebbero alluso
del sistema MOS nella realizzazione di
transistori MOSFET?
d) Determinare il drogaggio di substrato da
impiegare per garantire una tensione di soglia
VTH=0.56V.
e) Calcolare la larghezza di canale W del
transistore, tale da avere una corrente di
saturazione ID(sat) = 500A nel punto di lavoro
VGS=8V.
f) Stimare la massima frequenza di lavoro del
componente nel punto di lavoro VGS=8V.
Tabella 2.
q = 4.0 eV
q = 4.05eV
EGAP = 1.12eV
r = 11.7
r = 3.9
ch=650 cm2/Vs
L=1.25 m
kT ND NA
ln
q ni2
= 0.795V
In questa ipotesi, data la differenza di oltre due ordini di grandezza tra il drogaggio della zona n e quello
dellepistrato, per ricavare lestensione della zona svuotata si pu utilizzare lapprossimazione unilatera :
2bi
W=
= 0.45 m
qNA
Questo valore ben inferiore allo spessore di 1.3m dello strato p debolmente drogato. Lipotesi iniziale,
quindi, secondo cui la zona di svuotamento interamente contenuta nellepistrato, resta verificata.
b) Per svuotare completamente la zona a basso drogaggio, p, di spessore (-tn), necessaria una tensione
inversa tale da verificare la condizione :
( tn ) =
2 (bi + VR )
qNA
Da cui :
qN ( t )2
A
n
= 5.73V
VR =
bi
2
c) la capacit di giunzione in questa condizione di polarizzazione pari alla sola capacit di transizione,
dovuta alla modulazione della carica spaziale. Quindi :
C=
A
= 0.8pF
( tn )
d) Supponendo il drogaggio della zona p uniforme e molto inferiore a quello della zona n, la capacit di
transizione della giunzione data da (approssimazione unilatera) :
q NA
A
C=
=A
W
2 (bi V )
Da cui si ricava :
1
C
1 2 (bi V )
A 2 q NA
Se il drogaggio p costante, la relazione si riduce a una retta, il cui coefficiente angolare dipende da NA. Ci
in accordo con la linea tratteggiata riportata in figura 2.
e) Lintercetta della retta con lasse delle tensioni corrisponde alla tensione di built-in. Questa osservazione
permette quindi di ricavare sperimentalmente, da misure di capacit, il valore della tensione di built-in.
f) La curva sperimentale, allaumentare della polarizzazione inversa aumenta meno di quanto ci si
attenderebbe se il drogaggio restasse costante (retta tratteggiata). Probabilmente, quindi, il drogaggio
dellepistrato p non costante, ma tende progressivamente ad aumentare mano a mano che ci sia avvicina
allinterfaccia con il substrato p+. Per tensione inversa pari a 11V, la zona di carica spaziale raggiunge
linterfaccia con il substrato fortemente drogato e qui, sostanzialmente, si blocca a causa dellalto
drogaggio. Ci giustifica la saturazione della curva capacitiva per V<-11V.
Pagina 1 di 3
Esercizio 2
a) A seguito della presenza della carica interfacciale positiva, la tensione di banda piatta non determinata
dal solo potenziale di contatto ms. Si ha:
VFB = ms
qN'ss
C'ox
Q'd
C'ox
kT NA
ln
q ni
3.9
= 0.341V
69
c) se questo sistema fosse impiegato per la realizzazione di transistori MOS a canale n, i dispositivi
polarizzati con VG=0V sarebbero gi in conduzione. Per evitare la conduzione, sarebbe quindi necessario
applicare delle tensioni di gate negative. Questi componenti sono detti, normally-on.
d) La tensione di soglia dipende dal drogaggio. In particolare, esplicitando le dipendenze si ha:
VT = ms
qN'ss
C'ox
+ sth +
Q'd
C'ox
( )
2 qNA 2p
Eg
qN'ss
= M +
+ p
+ 2p +
'
'
2
Cox
C ox
Ovvero:
VT = V0 + p +
( )
2 qNA 2p
C'ox
Eg qN'ss
V0 = M +
+
= 0, 63V
2
C'ox
kT NA
ln
q ni
(*)
ci d quindi modo di impostare una procedura di soluzione iterativa. Dallespressione della soglia si ricava:
C'ox VT V0 p
NA =
4 qp
(**)
Nel procedimento iterativo, si parte da una stima iniziale di NA, dalla (*) si ricava il corrispondente valore di
p, che si inserisce nel secondo membro della (**), ricavando cos una nuova stima di NA. Dopo qualche
iterazione si converge a NA=1.42 1016 cm-3.
Pagina 2 di 3
1
W
2
n C'ox ( VGS VT )
2
L
Da cui si ricava:
W=
2IDS
n C'ox
( VGS VT )2
( VGS VT )
L
Tuttavia, sostituendo nellespressione i valori corrispondenti al punto di lavoro si ha vd=3.8x107 cm/s, che
maggiore della velocit massima raggiunta dagli elettroni in silicio. Pertanto una miglior stima del tempo di
transito :
tT =
L
v sat
1
2 t T
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Costanti
Costante dielettrica del vuoto:
Costante di Boltzmann [eV/K]:
Costante di Boltzmann [J/K]:
Massa dellelettrone a riposo [kg]:
Tensione termica (T=300K):
Carica dellelettrone [C]:
Esercizio 1: giunzione
Si consideri la giunzione riportata in Figura 1 di area
WxL=100mx100m. Tra le due regioni drogate
interposto uno strato di drogaggio trascurabile.
a) Calcolare il potenziale di built-in.
La giunzione polarizzata direttamente con V=0.7V.
Riferendosi a questo punto di lavoro:
b) Disegnare landamento della carica spaziale
alla giunzione e il profilo di campo elettrico,
quotando lestensione della zona svuotata e il
campo elettrico massimo.
c) Quotare landamento delle cariche minoritarie
nelle zone neutre adiacenti determinando
leccesso di carica minoritaria presente in
ciascuna di esse.
Figura1
Dimensioni:
Drogaggio regione n+
Spessore zone n+:
Spessore sona intrinseca:
Drogaggio regione p:
W = L = 100 m
ND = 1018 cm-3
tn = 0.3 m
= 0.3 m
NA = 1016 cm-3
p = 10 ns
n = 1 s
Dn = 30 cm2/s
Dp = 5 cm2/s
Esercizio 2:
Si consideri il sistema MOS rappresentato in
Figura 2 in cui il substrato e` silicio drogato con
atomi accettori. Nella condizione di soglia la
carica di svuotamento massima nel silicio e`:
|QD(max)|=48 nC/cm2. Lo spessore dellossido
(SiO2) tOX=550 .
a) Calcolare la concentrazione di droganti
accettori nel silicio, NA.
b) Calcolare la tensione di soglia VTH.
c) Calcolare il rapporto r tra la capacita` minima
per unita` di area Cmin che si ottiene poco prima
di giungere a soglia e la capacita` dellossido per
unita` di area COX.
Qss = 0
ms = - 0.83 V
Tabella 2.
q = 4.05eV
EGAP = 1.12eV
r = 11.7
r = 3.9
ch=550 cm2/Vs
(*)
Dove, la tensione
kT NA
ln
q ni
p =
(**)
Ha anchessa una dipendenza dal drogaggio. Questa dipendenza tuttavia debole. La soluzione pu quindi
essere ricavata con un procedimento iterativo in cui si parte da una stima iniziale di NA. Sulla base di questa
si ricava p dalla (**). Il valore poi utilizzato per ricavare una nuova stima di NA utilizzando:
p =
'
2
QD,max
2q NA
Ricavata invertendo la (*). Dopo qualche passo si giunge a NA=1.03 1016 cm-3.
b) la tensione di soglia quindi:
VT = ms + 2p +
'
QD,max
C'ox
Dove:
kT NA
ln
= 0.694V
q ni
= ox = 60.6nF / cm2
t ox
2p = 2
C'ox
E quindi VT=0,629V
c) A soglia, lestensione della zona di carica spaziale, nel silicio :
W=
( ) = 29.5 nm
2 2p
qNA
Si
W
= 34nF / cm2
La capacit minima si misura ai morsetti del sistema MOS appena prima della soglia. Essa pari alla
composizione in serie della capacit dovuta allossido e della capacit della zona svuotata. Numericamente:
'
Cmin
= C'ox C'd = 22.1nF / cm2
La massima capacit, si ottiene invece quando il canale si formato. Essa pari alla capacit del solo strato
di ossido. Il rapporto richiesto quindi:
r=
'
Cmin
C'ox
= 0.35
Ovvero, la capacit del sistema MOS varia, a seconda del punto di lavoro da Cox a 35% Cox.
d) La frequenza di taglio del componente legata al tempo di transito nel canale dalla relazione:
fT =
1
2 t T
Per fT=1GHz, il tempo di transito 159ps. Daltro canto, il tempo di transito legato alla lunghezza del
canale e al campo elettrico medio di deriva da:
tT =
L
L2
=
vd
n ( VGS VT )
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( VGS
VT )
L
= 5.72 kV/cm
Pagina 4 di 4
Costanti
Costante dielettrica del vuoto:
Costante di Boltzmann [eV/K]:
Costante di Boltzmann [J/K]:
Massa dellelettrone a riposo [kg]:
Tensione termica (T=300K):
Carica dellelettrone [C]:
Lunghezza:
Spessore zone p:
Larghezza:
L = 100 m
tp = 40 m
W = 4.2 m
Figura 1
Esercizio 2:
Si consideri il sistema MOS rappresentato in
Figura 2. Il drogaggio di substrato
NA=5x1016cm-3 e la tensione di banda piatta
VFB=0.5 V. Lo spessore dellossido 10nm.
a) Determinare la tensione di soglia VTH e
lestensione della zona di carica spaziale a
soglia.
b) Sapendo che il metallo di gate Cromo
(funzione lavoro qM=4.5eV) determinare
segno e densit della carica fissa presente
allinterfaccia ossido-silicio eventualmente
compatibile con la tensione VFB misurata.
c) Determinare la tensione massima di
polarizzazione del gate perch, nellossido,
il campo elettrico non superi 5MV/cm.
Il sistema MOS impiegato per realizzare un
transistore MOSFET di lunghezza L=1m e
larghezza W=10m. Il dispositivo per VGS =5V e
VDS=0V (VB =VS= 0) ha una resistenza di canale
pari a 250Ohm.
d) Stimare la mobilit dei portatori liberi di
canale.
e) Stimare,
nella
condizione
di
polarizzazione VGS=VDS=5V il campo
elettrico medio lungo il canale e la
massima velocit di deriva raggiunta
dalle cariche.
q = 4.05eV
EGAP = 1.12eV
r = 11.7
r = 3.9
NC=3.22 1019cm-3
NV=1.83 1019cm-3