Revista de Engenharia e Tecnologia

ISSN 2176-7270

CARACTERIZAO DE MICROTOCHAS DE PLASMA VISANDO

APLICAO TECNOLGICA
Janana Correa do Nascimento (ITA)
Eduardo Cezar Barbosa de Barros Arago (ITA)
Bogos Nubar Sismanoglu (ITA) bogos@ita.br
Resumo: Este trabalho visa o estudo e a caracterizao de microtochas de plasma para fins aplicativos. As
microtochas so pequenas extenses de microplasmas produzidas em laboratrio, da ordem de 200m, em
forma de jatos, que podem atingir comprimentos de alguns mm em ambiente atmosfrico. Foram levantadas
curvas de tenso-corrente e curvas de tenso de sustentao da descarga versus comprimento do jato (L).
Tambm foram estimadas curvas de intensidade de campo eltrico na regio do jato, da potencia dissipada e
da densidade de eltrons em funo de L. Estas anlises mostram que a regio do plasma estendido se
comporta como a regio da coluna positiva de um plasma de baixa presso, apresentando campo eltrico
praticamente constante.
Palavras-chave: Microtochas de Plasma, Microplasmas, Densidade de Eltrons.

CHARACTERISATION OF PLASMA MICROTORCH AIMING

TECHNOLOGICAL APPLICATION
Abstract: This work aims both the study and characterization of plasma microtorches for applications
purposes. The microtorches are small extensions of microplasmas produced in the laboratory, on the order of
200m, in the form of jets, which can reach lengths of several mm in atmospheric pressure. Current-voltage
curves and sustaining discharge voltage versus the length of the jet (L) were raised. Curves of electric field
intensity were also estimated along the jet, as well as the dissipated power and the electron number density as
a function of L. These results show that the region of the extended plasma behaves as the region of the
positive column of a low-pressure plasma presenting nearly constant electric field.
Keywords: Plasma Microtorches, Microplasmas, Electron Number Density.

1. INTRODUO
O termo plasma se aplica a um gs contendo espcies neutras e eletricamente carregadas
como eltrons, ons positivos, ons negativos, tomos e molculas [1 - 9].
Macroscopicamente, um plasma eletricamente neutro, sendo que qualquer
desbalanceamento de carga resultar em campos eltricos internos que tendem a mover as
cargas de modo a restabelecer o equilbrio. As microdescargas ou microplasmas
correspondem a uma nova classe de descarga eltricas cujas propriedades so bastante
parecidas com s das descargas luminescentes, podendo operar em presses elevadas.
Mesmo nestas condies de operao as microdescargas apresentam-se como plasmas fora
do equilbrio termodinmico e, por isso, elas so referidas comumente como descargas
luminescentes em alta presso.
Ultimamente h um crescente interesse pela rea de microplasmas. Estas so
previstas para terem aplicaes nos mais diversos ramos do conhecimento cientfico e nas
diferentes disciplinas, como ptica, sistemas microeletromecnicos, crescimento de
materiais, fabricao de microchips e aeronutica. Dentre as aplicaes mais importantes
temos os reatores de plasma para descontaminao qumica e bacteriolgica, dispositivos
o

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cirrgicos mdicos e odontolgicos baseados nas descargas de microplasma pulsado,

microjato de plasma frio na presso atmosfrica, gerao de radiao UV, processamento
de superfcies, formao de exmeros, microoptoeletrnica, microreator de fluxo para
decomposio molecular, deposio de filmes policristalinos de diamante por microjato de
plasma, painel de tela plana, fotodeteco, microlasers, para citar alguns [1].
Estas descargas eltricas nas presses moderadas e altas correspondem a um novo
processo na rea da fsica e da engenharia de plasmas. Alm da facilidade de seu uso, j
que no requer equipamento dispendioso de alto-vcuo, as descargas em presso elevada
geram partculas ativas em alta densidade, como radicais livres, eltrons energticos e ons.
O crescente interesse na gerao de plasmas em alta presso, nos modos corrente contnua e
pulsado, devido ao fato de que para aplicaes em escala industrial, muito importante
alcanar uma operao confivel dessas descargas em tenses moderadas.
Devido ao seu tamanho reduzido, pois o microplasma se origina e mantido confinado em
uma regio pequena (geralmente um orifcio circular cujo dimetro varia de 100m a
1000m), costuma-se referir essa descarga eltrica luminescente como microplasma ou
simplesmente microdescarga. Atravs da associao de microdescargas em paralelo [1],
obtm-se um plasma de alta densidade de eltrons, em presso elevada, tenso de algumas
centenas de Volts e baixa corrente eltrica.
Este trabalho objetiva o estudo e a caracterizao de microplasmas atravs da
modalidade de microjato ou microtocha de plasma. Nestes dispositivos, o microplasma
expulso de seu orifcio catdico atravs da ao de um fluxo de gs, que arrasta o plasma
para o ambiente atmosfrico.
2. MONTAGEM EXPERIMENTAL
A fonte de tenso de corrente contnua (CC) foi construda para poder fornecer uma tenso
mxima de 5kV, operando uma corrente de descarga de at 200mA. H nela um conjunto de
8 resistores de 47k cada, que podem ser associados em srie e/ou em paralelo atravs de
um sistema de chaveamento, para serem empregados como limitadores de corrente para as
descargas. Tambm foram utilizados em nossos experimentos: jogo de capacitores a leo
da Cornell Dubilier de 200V de 1 a 20F; resistores de 47k; multmetro digital Minipa;
microampermetro analgico Engro com escala de 1 a 500A; picoampermetro analgico
Keithley; fonte DC HP de 0 a 70V com variao de 0,2V; fonte DC HP de 0 a 1kV com
variao de 1V; transformador corrente alternada (CA) de 60Hz 115V-15kV; osciloscpio
digital HP 400MHz e analgico Minipa de 20MHz; cmera digital Kodak 6.1 Megapixel
modelo DX7630; microscpio ptico com cmera digital acoplada. A injeo de argnio de
pureza 99,995% (White-Martins, Air Liquide) utilizado nos experimentos controlada por
um fluxmetro modelo MKS 247C, que possibilita um fluxo de 0 a 500sccm (1sccm =
1,667.10-8m3/s). Os desvios e os erros experimentais encontrados nos grficos deste
trabalho so de natureza estatstica (desvio padro) levando-se em considerao a
reprodutividade dos experimentos em pelo menos 5 eventos de cada situao experimental.
Nestes grficos, onde as barras de erro no aparecem, subentende-se que estes erros so de
natureza intrnseca do prprio aparelho de medio, geralmente inferior a 5%.
Microtubos de metal podem ser usados como sistemas para gerar plasmas em forma
de microtochas ou microjatos [4]. A vantagem na utilizao de microtubos est na produo
de microdescargas que se estendem na forma de microtochas, alimentados pelo fluxo de gs
o

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que atravessa este tubo. O tubo capilar dever ter um dimetro interno que propicie a
operao do jato na presso atmosfrica. Para a gerao de microjatos de argnio em ar
atmosfrico ns utilizamos tubos capilares de ao inoxidvel, com dimetro interno (D) de
150m e outro de 400m e aproximadamente 4cm de comprimento.
3. RESULTADOS E DISCUSSES
A figura 1 mostra o diagrama esquemtico de um tubo capilar em operao e a fotografia
digital ampliada de um microjato de plasma de argnio em ar atmosfrico. A figura 2
mostra as fotografias digitais de diversas descargas eltricas em operao. A descarga foi
gerada usando-se um gerador de tenso de CC e uma resistncia de carga R mltiplo de
47k necessria para limitar a corrente eltrica at no mximo 10mA. O tubo foi polarizado
negativamente e uma chapa metlica (ou tela) de molibdnio serviu como anodo. A
distncia (L) entre a abertura do tubo e este anodo pde ser variada atravs de dois
micrmetros independentes, um atuando no catodo e o outro no anodo.

Figura 1: Diagrama esquemtico de um tubo capilar (1) e a fotografia digital de um microjato (2).

Deste modo, estudaram-se as caractersticas desta microdescarga em funo dos

seguintes parmetros: tenso de sustentao do plasma, corrente eltrica da descarga,
distncia L e fluxo do gs. A figura 3 mostra a curva de tenso-corrente de um microjato de
argnio exposto em ar atmosfrico. O dimetro interno do tubo de 400m e o fluxo de
argnio, de 200sccm. Esta curva foi obtida para vrios valores de L. Inicialmente, induziuse a formao da descarga atravs de um faiscador, para um valor de L<0,2mm e, a partir
da, variou-se L lentamente, at o seu valor desejado. Para este tubo especificamente com
dimetro interno de 400m observou-se o seu superaquecimento, e at mesmo a sua fuso,
para operaes com fluxo menor que 200sccm. Nesta curva, inicialmente observa-se uma
ligeira queda na tenso de sustentao da descarga medida que a corrente se eleva.

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Figura 2: Fotografia digital de microjato de plasma de argnio operando em ar atmosfrico: tubo capilar com
dimetro de 400m (1) e com dimetro de 150m (2). Associao em paralelo de dois microjatos, tubos
capilares com dimetro interno de 150m, cada um acoplado a um resistor de 10k (3).

Figura 3: Curva caracterstica de tenso-corrente de um microjato de plasma de argnio em ambiente

atmosfrico, tubo com dimetro interno D = 400m, fluxo de gs = 200sccm e para vrias distncias de
separao entre catodo e anodo (L).

Isto pode ser explicado pelo aquecimento da extremidade do tubo, acarretando a

emisso terminica de eltrons. Um fluxo mais elevado de gs refrigera a extremidade do
tubo e evita seu superaquecimento. Aumentando-se L, aumenta-se a tenso da descarga, e
esta dependncia torna-se linear para grandes valores de L, superiores a 1mm. Na operao
do microjato de plasma para grandes valores de L necessita-se de intensidades maiores de
corrente eltrica. Estes comportamentos podem ser vistos na figura 4, para vrias correntes
eltricas de operao. A linearidade observada entre Vd e L (para grandes valores de L)
sugere uma interessante comparao entre este tipo de descarga e a descarga luminescente
clssica de catodo-anodo planos. Neste, o campo eltrico praticamente constante na
regio da coluna positiva, para grandes valores da distncia intereletrodos. Esta comparao
foi observada anteriormente [4] e ns iremos explorar mais este fato, inclusive obtendo um
clculo aproximado da densidade de eltrons e sua variao em funo de L.
o

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5

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0,5

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1,5
L (mm)

2,0

2,5

3,0

Figura 4: Curva da tenso de sustentao da descarga de microjato de plasma de argnio em ar atmosfrico,

em funo da distncia entre o catodo tubular e o anodo.

A figura 5 mostra a variao da intensidade do campo eltrico em funo da distncia

L entre o catodo tubular e o anodo, para algumas correntes eltricas de operao da
descarga. Observa-se que a intensidade deste campo diminui quando se aumenta a distncia
L entre catodo e anodo at aproximadamente 2mm. Para L > 2mm a intensidade do campo
eltrico E praticamente constante.
Nesta regio para o qual E constante, a densidade de eltrons ne pode ser estimada,
numa primeira aproximao, a partir dos parmetros eltricos da descarga, do campo
eltrico E, da densidade de corrente eltrica j e da mobilidade do eltron e [4]: j = neeeE,
onde e a carga elementar. Mantendo-se a temperatura T do gs constante, a mobilidade
torna-se inversamente proporcional presso P. A mobilidade reduzida para o argnio na
temperatura ambiente dada por ( e p) T0 = 0,33 106cm2Torr/V.s [4]. Em artigos recentes
obtve-se a temperatura do gs argnio T 1100K, numa descarga luminescente na
presso atmosfrica, para uma corrente de aproximadamente 5mA [4].

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4 mA

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0,15
0,20
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0,25

0,30

0,35

Figura 5: Intensidade do campo eltrico em funo da distncia intereletrodos, para descarga de microjato de
plasma com D = 400m, = 200sccm e para vrias correntes eltricas de operao.

Levando-se esta elevada temperatura do gs em considerao, iremos supor que a

mobilidade reduzida dependa linearmente de T, visto que o livre caminho mdio do eltron
diretamente proporcional a T e a mobilidade diretamente proporcional ao livre caminho
mdio (demonstra-se que .P diretamente proporcional a T1/2, mas observa-se tambm
que esta relao no concorda com os resultados experimentais disponveis [4, 5]).
Portanto, para T = 1100K, obtemos e = 1,59.103cm2/V.s. Para grandes valores de L, a
intensidade do campo eltrico de aproximadamente 2400V/cm, segundo valores
observados na figura 5. Para uma corrente eltrica de 5mA, a densidade de corrente eltrica
no microjato ser de 4A/cm2 e, finalmente, encontramos ne = 6,55.1012cm-3. A densidade de
potncia P = jE para este caso pode ser calculada a partir destes dados experimentais,
resultando em P = 9,6kW/cm3.
A figura 6 mostra a variao da densidade de potncia eltrica com a distncia entre
o catodo oco tubular e o anodo L, para uma corrente eltrica de operao de 5mA. Tambm
para esta corrente construiu-se a curva da variao da densidade de eltrons em funo de L
(figura 7). Observa-se que a densidade de eltrons aumenta com L, para uma corrente
eltrica mantida constante. Uma possvel explicao est no aumento da tenso eltrica de
sustentao de uma descarga mais longa.

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Figura 6: Curva da densidade de potncia eltrica em funo da distncia intereletrodos, para descarga de
microjato de plasma com D = 400m, = 200sccm e corrente de descarga de 5mA.

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L (cm)

Figura 7: Densidade de eltrons em funo da distncia entre catodo e anodo no microjato de plasma de
argnio operado em ar atmosfrico, D = 400m, = 200sccm e corrente de descarga de 5mA.

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A figura 8 mostra a variao do campo eltrico em funo da corrente eltrica da

descarga, de acordo com dados obtidos do grfico da figura 3, para vrios comprimentos do
microjato de plasma, operado em ar atmosfrico. Para todos os microjatos estudados, curtos
e longos, verifica-se na figura 7 que para operaes com correntes elevadas o campo
eltrico permanece inalterado, levando a uma saturao deste. Para distncias catodo-anodo
(L) menores (jatos curtos), a intensidade do campo eltrico maior. Jatos mais longos (L >
2mm) operam sob campos eltricos com intensidades comparveis entre si.
A figura 9.1 mostra outro tipo de microdescarga extensa sustentada, brilhante e
ruidosa, expandida atravs do uso do fluxo intenso de argnio que flui por um tubo com
dimetro interno de 3mm. O tubo foi polarizado negativamente e uma folha de metal
posicionada na frente do tubo foi usada como anodo. Pela abertura do tubo liberou-se um
intenso fluxo de gs argnio, em ambiente atmosfrico. Aproximando-se bastante o tubo do
anodo, e fornecendo-se uma ddp de mais de 1000V entre eles, rompeu-se uma descarga
com o auxlio de um faiscador.
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0,02

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0,15

0,05

0,20

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0,25

0,09

0,30

Id (mA)

Figura 8: Campo eltrico em funo da corrente da descarga para vrios comprimentos (L) do microjato de
plasma de argnio operado em ar atmosfrico, D = 400m e = 200sccm.

A partir da, afastou-se lentamente o anodo do tubo, atravs de um micrmetro acoplado a

este, e aumentou-se lentamente a corrente da descarga, para mant-la continuamente acesa.
Agindo desta maneira, conseguiu-se estender a descarga brilhante, inicialmente com
aproximadamente 100m de comprimento, at 3,5cm de comprimento, conforme mostra a
figura 9.1. Observou-se que devido ao dimetro muito grande do tubo no havia descarga
dentro do tubo e que, portanto, o efeito catodo oco no ocorria. O tubo servia apenas como
elemento direcionador do fluxo de gs.

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Figura 9: Descarga estendida no modo CC mantida por fluxo de argnio em ar atmosfrico (1). Descargas
brilhantes idnticas ao caso (1), mas agora operando em corrente alternada, nas tenses de 5k (2) e 15kV (3)
com 10cm de comprimento.

Operando-se no modo corrente alternada (CA), obteve-se um plasma sustentado estendido

de 10cm de extenso, na tenso de aproximadamente 12000V, e verificou-se o aquecimento
e fuso da grade metlica de ao (figura 9.2, 9.3). Devido ao fluxo de gs, neste caso, a
extremidade do tubo no sofreu aquecimento.
Usando-se o princpio de funcionamento do microjato de plasma, substituiu-se o
microtubo pelo dispositivo de microcatodo oco. Fixou-se o dispositivo dentro de um tubo
de poliacetal (isolante eltrico) e introduziu-se gs argnio no sentido do anodo para o
catodo (figura 10). O dimetro do furo foi de 250m, com eletrodos de molibdnio
(espessura de 100m) e mica como dieltrico (250m de espessura).
Esta descarga no ocorre em ar na presso atmosfrica, no modo esttico (sem fluxo
de gs), para este dimetro. Contudo, observou-se a formao de um plasma estvel, no
modo catodo oco e normal, quando se operou com um fluxo de 200sccm, ou mais.
Quando o fluxo de gs flui no sentido oposto, ou seja, do catodo para o anodo, no se
observa uma descarga estvel. Isto se explica pelo fato do fluxo de gs, neste caso,
dificultar a aproximao dos ons regio catdica, dificultando a coliso ons-catodo e
subsequente emisso de eltrons secundrios. Ento, no se estabelece a descarga no modo
catodo oco, no se observando o efeito de catodo oco.

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Figura 10: Descarga de microcatodo oco operando em ar atmosfrico (1), para furo com dimetro D = 250m
(2), eletrodos de molibdnio com 100m, fluxo de gs argnio = 200sccm e tenso de descarga de 191V
(3), para uma corrente eltrica de 2,5mA.

Figura 11: Associao de 5 microjatos de plasma de argnio em ar atmosfrico (1). O dimetro interno do
tubo de 150m e cada um foi ligado a um resistor de 470k. A figura (2) mostra as descargas acesas.

Podemos utilizar estes microjatos de plasma em diversas aplicaes como, por exemplo, a
deposio de DLC (diamond like carbon) em substratos aquecidos, com o uso de microjatos
de gs composto por metano e hidrognio, a produo de gs oznio (O3) atravs da
mistura O2/Ar e a microcorroso de metais e semimetais. Para aumentar a rea til do
plasma nestes microjatos, com vistas a essas aplicaes, deveremos associ-los em paralelo,
utilizando resistor em cada microtubo, j que a curva de tenso-corrente no apresenta
comportamento resistivo positivo. Na figura 11 apresentamos um conjunto de 5 microjatos
associados em paralelo com resistores individuais idnticos e de valor igual a 470k. O
tubo de ao que serviu como catodo tem dimetro interno de 150m, o fluxo de gs argnio
foi de 200sccm e o microjato foi gerado em ar atmosfrico em CC. Nesta figura, um fio
condutor de cobre serviu como anodo. Estas associaes bastante estveis so operadas em
correntes baixas, de poucos miliampres. Neste processo, o prprio fluxo de gs refrigera o
tubo, podendo-se assim oper-lo por longos intervalos de tempo.

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4. CONCLUSES
Neste trabalho apresentamos um estudo completo de caracterizao eltrica de microtochas
de plasma em corrente contnua e uma introduo ao estudo destes microplasmas em
corrente alternada. As microtochas ou microjatos podem ser produzidas facilmente
utilizando-se microagulhas metlicas de ao-carbono ou molibdnio, resistentes variao
de temperatura. A fim de evitar o superaquecimento destes tubos, um fluxo de gs deve
atravess-los, formando o prolongamento do microplasma em forma de microjato, que se
estende at o segundo eletrodo. A curva caracterstica tenso-corrente apresenta uma
operao no modo normal, onde a intensidade de corrente eltrica aumenta para uma
determinada tenso mantida constante. Deste modo, a operao do microjato fica reduzida a
uma operao do tipo descarga fria, onde o campo eltrico se mantm constante na regio
de operao. Diversas aplicaes podem se feitas com microjatos, como a deposio de
DLC (diamond like carbon) em substratos aquecidos; o uso de microjatos de gs composto
por metano e hidrognio; a produo de gs oznio (O3) atravs da mistura O2/Ar e a
microcorroso de metais e semimetais. Para aumentar a rea til, nestas aplicaes,
deveremos associ-los em paralelo, utilizando resistor em cada microtubo.
AGRADECIMENTOS
Os autores agradecem FAPESP pelo apoio pesquisa no Laboratrio de Mecnica e no
Laboratrio de ptica e Espectroscopia do Depto de Fsica do ITA (processo 12/13064-4),
ao CNPq (processo 406035/2013-0) e CAPES (processo 88881.030340/2013-01)

REFERNCIAS
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