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Litograa
M. Xavier, M. Baeta, D. Silva, J. Alho
19 de Abril de 2015
Resumo
Este trabalho instrumental tocou na realizao passo-a-passo do
processo de fotolitograa, anlise de variao de parmetros do processo e medidas das dimenses da camada de fotoresiste atravs de
microscpio e perlmetro.
19 Abr. 2015
Contedo
1 Introduo terica
2 Procedimento experimental
3 Anlise de resultados e respostas
3.1
3.2
3.3
3.4
Perlmetro
Microscpio
SEM . . . .
Questes . .
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Captulo 1
Introduo terica
O processo de litograa - especicamente fotolitograa - consiste no uso
de luz para transferncia dum padro geomtrico duma mscara para um
qumico sensvel luz denominado fotoresiste, num dado substrato. No caso
em anlise, o fotoresiste sensibilizado quando exposto a radiao UV.
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grca.
A tcnica utilizada neste trabalho para a aplicao denomina-se de spinner, onde xamos o substrato por vcuo no centro dum disco giratrio no
qual aplicado algum fotoresiste. A sua rotao, de alguns milhares de rpm,
provoca o espalhamento do fotoresiste ao longo do substrato. A espessura
do fotoresiste espalhado obedece seguinte expresso:
KP 2
(1.1)
df t =
rotacional do
resultados.
spinner.
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danos na mscara.
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Captulo 2
Procedimento experimental
O procedimento experimental est explcito no guio e aqui resumido.
Reagentes utilizados:
Acetona
lcool isoproplico
gua ultra pura
Fotoresiste AZ 6612
Revelador AZ 726 MIF
Inicialmente e antes de realizarmos o trabalho, foram lavados os substratos atravs de acetona, lcool e banho de ultra-sons, seguidos de lavagem
com gua-ultrapura e aquecimento.
Os vrios substratos foram posicionados no spinner, aplicando-se 0,4 mL
de fotoresiste com micropipeta e programando ento as seguintes velocidades
de rotao de spin : 3000, 3750 e 4500 rpm, tendo-se efectuado tempos de
revelao de 20 segundos excepto para o ltimo caso, onde realizmos para
3750 rpm uma revelao de 50 segundos. Temos portanto um total de 4
amostras. Segue-se o soft-baking j mencionado na introduo.
Aps aquecimento, colocmos o substrato no alinhador de mscaras Karl
Sss Microtec MA45, em modo de contacto e alinhmos. Aps exposio
luz UV durante 5 segundos, est pronto para revelar, com as especicaes
dadas acima relativas ao tempo usado. Aps a revelao, lava-se com guaultrapura e seca-se com jacto de azoto.
Depois de completo o processo, analismos os substratos obtidos atravs
de perlmetro, microscpio e ainda SEM (Scanning Electron Microscope ),
resultados que apresentaremos no seguinte captulo.
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Captulo 3
Anlise de resultados e respostas
Neste captulo, apresentaremos os resultados e responderemos s perguntas
colocadas no guio.
Os substratos foram analisados com trs aparelhos diferentes: um perlmetro XP-200 da Ambios, um microscpio e o SEM (Scanning Electron
Microscope ) instalado no CENIMAT.
3.1 Perlmetro
No perlmetro, o intuito era obter a espessura da camada de fotoresiste
aplicado e essencialmente retirar concluses acerca da variao da mesma
com os parmetros que tommos. Do perlmetro retirmos resultados do
tipo:
Podemos retirar a espessura para cada um atravs da mdia de espessuras
no topo dos picos, obtendo ento:
Parmetros
Espessura mdia ()
3000 rpm, 20 s
8988.45
3750 rpm, 20 s
8633.89
4500 rpm, 20 s
8670.81
3750 rpm, 50 s
8596.5
Tabela 3.1: Espessura mdia da camada de fotoresiste no substrato.
Vemos imediatamente que para menores velocidades do spinner, obtemos maiores espessuras mdias para o mesmo tempo de revelao, o que faz
sentido pois uma maior rotao ir remover ligeiramente menos fotoresiste.
Podemos ento fazer uma regresso para tentarmos obter a expresso
(1.1), usando apenas 3 pontos, dando ento uma aproximao algo grosseira.
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3.2 Microscpio
No microscpio, obtiveram-se os resultados nais:
Parmetros
3000 rpm, 20 s
3750 rpm, 20 s
4500 rpm, 20 s
3750 rpm, 50 s
Larguras (m)
1
2
29.87 47.67
29.87 47.04
28.63 50.23
27.33 47.04
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3.3 SEM
A observao em SEM foi mais ilustrativa e serve para complementar o mencionado anterior, pelo que a apresentamos aqui em adio pstuma ao relatrio:
3.4 Questes
Questo 1 - Quais so os princpios bsicos da fotolitograa e quais
as suas aplicaes?
A fotolitograa um processo essencialmente utilizado no mbito da microeletrnica para denir padres para a superfcie de uma bolacha semicondutora, neste caso, silcio. Este tcnica consiste na exposio radiao
UV dum fotoresiste, com o objectivo de sensibilizar o prprio fotoresiste.
O fotoresiste constitudo por resinas, compostos fotossensveis e solvente,
sendo responsveis pelas propriedades mecnicas do fotoresiste. A litograa
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tem algumas exigncias para que os dispositivos obtenham o melhor desempenho possvel, como controlar o ambiente a nvel de presso, humidade,
temperatura e numa sala limpa de modo a reduzir a quantidade e tamanho
das partculas que esto no ambiente que podero afectar o dispositivo. Aplicaes incluem qualquer tipo de micro e nanoelectrnica, e consequentemente
qualquer aparelho que utilize ICs est inevitavelmente ligado a este processo.
Questo 4 - Ao serem utilizados diferentes programas de velocidade, observada alguma alterao na denio do fotoresiste aps
a revelao?
Questo resolvida na anlise de resultados, seco Microscpio.
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Bibliograa
[1] Guio da aula de laboratrio
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