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Las imgenes se proyectan en dos tubos de rayos catdicos de alta resolucin, que
funcionan en sincronizacin con el barrido electrnico de la muestra. Uno de ellos, para
observacin visual, tiene una pantalla de gran persistencia. Fijando el tiempo de barrido en
10 segundos, se obtiene una imagen de 500 lneas. La pantalla del segundo tubo es azul,
para registro fotogrfico y de baja persistencia. Adosada a esta segunda pantalla va la
cmara fotogrfica. Aqu se utiliza un barrido ms lento, de 1000 o ms lneas. Cuando
mayor sea el nmero de lneas en la pantalla fotogrfica, mayor ser la resolucin de la
imagen final.
Las dos pantallas pueden tener el mismo tamao ( 100x100nm ), siendo ste el tamao
mximo de la imagen, la cual puede reducirse hasta un mnimo de 10 x 10 mm, en
cualquier parte de la pantalla fluorescente.
Al modular la intensidad del tubo de rayos catdicos con la seal elctrica dada por los
detectores, se obtiene en la pantalla una especie de imagen de la muestra. Es decir, en la
pantalla se describe la variacin de un tipo dado de emisin producida por la superficie de
la muestra barrida por efecto del haz primario.
DISPERSIN ELSTICA
INTERACCIONES INELSTICAS
superior al haz incidente. Puede evitarse que los electrones secundarios lleguen al
detector desviando ligeramente la posicin del mismo. Los electrones secundarios son
los que se utilizan comnmente para la formacin de la imagen en el SEM.
Emisin de rayos X. La obtencin de rayos X caractersticos, como resultado de
la interaccin de los electrones con la materia, permite una de las aplicaciones ms
importantes en los microscopios electrnicos: analizar la composicin de la muestra in
situ, es decir a la vez que observamos su imagen real.
Figura 3.- Produccin del espectro caracterstico de rayos X. Figura tomada de: ALBELLA, J.M.;
CINTAS, A.M.; MIRANDA, T. y SERRATOSA, J.M.: "Introduccin a la ciencia de materiales".
C.S.I.C., 1993.
Emisin: este tomo en estado excitado tiende a volver inmediatamente a su estado
fundamental, para lo cual se producen saltos de electrones de niveles ms externos para
cubrir el hueco producido. En este proceso hay un desprendimiento de energa, igual a
la diferencia de energa entre los dos niveles en los que se produce el salto electrnico,
en forma de radiacin electromagntica correspondiente a la regin de los rayos X.
Figura 5.- a) transiciones electrnicas permitidas que dan lugar a las lneas ms intensas del
espectro caracterstico de rayos X; b) zonas de longitud de onda y energa en las que aparecen
las
distintas series de lneas caractersticas del oro. Figura tomada de: ALBELLA, J.M.; CINTAS,
A.M.; MIRANDA, T. y SERRATOSA, J.M.: "Introduccin a la ciencia de materiales". C.S.I.C.,
1993.
Figura 6.- Lneas caractersticas de la serie K del hierro y de la serie L del wolframio obtenidas
experimentalmente. Figura tomada de: ALBELLA, J.M.; CINTAS, A.M.; MIRANDA, T. y
SERRATOSA, J.M.: "Introduccin a la ciencia de materiales". C.S.I.C., 1993.
con
el haz incidente para generar imgenes tridimensionales de alta resolucin SEI (Secundary
Electron Image), la energa de estos electrones es muy baja, inferior a 50 eV, por lo que los
electrones secundarios provienen de los primeros nanmetros de la superficie.
rios son reflejados o retrodispersados
tras
interactuar con los tomos de la muestra. La intensidad de emisin de estos electrones est
directamente relacionada con el nmero atmico medio de los tomos de la muestra (Z
promedio),
as los tomos ms pesados producen mayor cantidad de electrones retrodispersados,
permitiendo
la obtencin de imgenes planas de composicin y topografa de la superficie BEI
(Backscattered
Electron Image).
composicin;
esto produce la diferencia de contraste en la imagen.
interaccin
de los electrones primarios, habr transiciones entre los niveles de energa con emisin de
rayos X,
esta energa y longitud de onda estn relacionadas con la composicin elemental del
espcimen,
permitiendo realizar anlisis qumicos mediante espectroscopa por dispersin de energa y de
longitud de
onda (EDS y WDS).
ms externo
puede saltar hacia el interior para llenar esta vacancia resultando en un exceso de energa.
Esta energa
extra puede ser liberada emitiendo un nuevo electrn de la capa ms externa (electrn Auger).
Son
utilizados para obtener informacin sobre la composicin de pequesimas partes de la
superficie de la
muestra.
Todas estas seales estn relacionadas entre s y dependen en gran medida de la topografa, el
nmero
atmico y el estado qumico de la muestra; por lo tanto, un MEB suministra informacin
morfolgica,
topogrfica y composicional de las superficies de las muestras.
DETECTORES DE ELECTRONES
Detector de electrones secundarios (SE):En microscopa electrnica de barrido, la deteccin de
electrones secundarios es el medio ms utilizado para formar imgenes.); ofrece la tpica
imagen en
blanco y negro de la topografa de la superficie examinada. Es la seal ms adecuada para la
observacin
de la muestra por ser la de mayor resolucin.
Detector de electrones retrodispersados (BSE): tambin ofrece una imagen de superficie
aunque de
menor resolucin. Su ventaja consiste en que es sensible a las variaciones en el nmero
atmico de los
elementos presentes en la superficie. Si tenemos una superficie totalmente lisa observaremos
distintos
tonos de gris en funcin de que existan varias fases con distintos elementos.
Detector de rayos X (EDS): es el que recibe los rayos X procedentes de cada uno de los puntos
de la
superficie sobre los que pasa el haz de electrones. Como la energa de cada rayo X es
caracterstica de
Electrones secundarios
Se producen a partir de la emisin de los electrones
de valencia de los tomos de la muestra.
ELECTRONES SECUNDARIOS
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Laboratorio de Microscopa Electrnica UAM -I
B
se
B
se
i
i
Distribucin de energa
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z
p exp
Donde p es la probabilidad de escape, z es la profundidad respecto de la
superficie donde la generacin de los SE toma lugar, y es el camino
libre medio de los SE.
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Laboratorio de Microscopa Electrnica UAM -I
Dado que los SEII es una seal a consecuencia de los BSE y todo
cambio en SEII responde a los cambios de BSE. Esta es una seal de
baja resolucin. Por lo que SEI
y SEII son seales con informacin
diferente.
Los BSE ofrecen una seal muy til en el SEM. stos responden a la
composicin elemental de la muestra (contraste por nmero atmico),
superficial local de diversos ngulos (topografa o contraste de la forma),
cristalografa (conduccin de electrones), y campos magnticos internos
(contraste magntico).