1

Interferencia en Pelculas delgadas

Segn las leyes de la reflexin y la refraccin, cuando un haz de luz incide sobre la
frontera que separa dos medios de ndice de refraccin (n) diferente, una porcin de este
haz se refleja en la frontera regresando al medio de donde vena y la otra se refracta hacia el
segundo medio.
Consideremos el caso de un haz de luz propagndose por el aire (n= 1) y que incide sobre
un substrato de vidrio sobre el cual se ha depositado una pelcula de ZnS

(n=2.3) (Figura 1).
En este caso el haz encontrar tres fronteras diferentes: aire substrato, substrato-pelcula,
pelcula-aire. En cada una de ellas habr un parte del haz que se refleje una parte refractada.
En el caso de la frontera pelcula-aire, una parte del haz se refractar hacia el aire
produciendo haces del tipo 3 representado en la Figura 1 . La parte reflejada hacia la
pelcula sufrir una nueva reflexin en la frontera pelcula-substrato y finalmente saldr de
la pelcula formando haces del tipo 2.
Los haces
Una parte del haz se refleja en la frontera aire-substrato y otra se refracta atravesando el
substrato y llegando hasta la pelcula.


Substrato
n=1
n=1.5
n=2.25 ZnS
3
2
n=1
n=1.5
n=2.25 ZnS
3
1
Substrato
2

Figura 1: Representacin esquemtica de un sistema conteniendo un substrato
grueso(d~1mm) sobre el cual se ha depositado una pelcula delgada cuyo espesor es varios
rdenes de magnitud menor que le espesor del substrato.

El haz (2) recorre una distancia 2d mayor que el haz (3) donde (d) es el espesor de la
pelcula. Si se trata de una pelcula fina (d no mayor que alguna micras), entonces los haces
(2) y (3) son haces coherentes y pueden interferir dando lugar a regiones de interferencia
constructiva (mximos de intensidad) y regiones de interferencia destructiva (mnimos de
intensidad), como las que se aprecian en la Figura 2.




















3





500 1000 1500 2000 2500
0.0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
T
r
a
n
s
m
i
t
a
n
c
i
a
(
u
.
a
.
)
Longitud de Onda(nm)
H
f
u
e
r
t
e
m
e
d
i
a
dbil
transparente

4

200 400 600 800 1000 1200
0.0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
fuerte
media
dbil
T
r
a
n
s
m
i
t
a
n
c
i
a
(
u
.
a
.
)
Longitud de onda (nm)
ZnS10-4HR
BK7
transparente

Figura 2: Espectros de transmitancia de un substrato de vidrio BK7 y de una pelcula de ZnS crecida sobre
ese substrato.

Debido a que hay cambio de fase en la frontera pelcula-vidrio la condicin para los
mximos de interferencia viene dada por la ecuacin (E1 )Error! Reference source not
found.:


(E1 )


De forma similar la condicin para los mnimos de interferencia queda establecida por la
ecuacin (E2 )) :


(

)
(E2 )

5



Mtodo de Swanepoel
Consideremos el caso de una pelcula delgada crecida sobre un substrato
tranparente(Figura 1). La pelcula tiene un espesor d y un ndice de refraccin complejo
n=n-ik donde n es el ndice de refraccin y k es el coeficiente de extincin, el cual se
puede expresar en trminos del coeficiente de absorcin por la ecuacin:

(E3 )

El espesor del substrato es varios rdenes de magnitud mayor que el de la pelcula y su
ndice de refraccin es s. El sistema est rodeado de aire n
0
=1. La expresin para la
transmitancia de un sistema como este, tomando en cuenta las mltiples reflexiones que
acontecen en las diferentes interfaces del sistema viene dada por la expresin:

dnde:
(a)

(b)

(c)

(d)

(e)

(f)



(E4 )

Un espectro tpico de transmitancia para este sistema es el presentado en la Figura 2.
Utilizando las condiciones de mximo y mnimo de interferencia (ecuaciones (E1 ) y (E2 )), se
demuestra que en las longitudes de onda de los extremos del espectro de transmitancia, la
funcin toma los valores:
6

, es decir un numero par de veces para las

longitudes de onda de mximo de interferencia.
y

, es decir un nmero impar de

veces para las longitudes de onda de mnimo de interferencia. Por tanto la funcin
tomar los valores y para las posiciones de mximo
y mnimo de interferencia, respectivamente. De manera que de la ecuacin (E4 ) se pueden
obtener los valores de la transmitancia para las posiciones de mximo (T
M
) y de mnimo
(T
m
) segn la ecuacin:

(E5 )

(E6 )

Estas dos ecuaciones constituyen la base y la esencia misma del mtodo de Swanepoel.
Como veremos a continuacin, partir de estas ecuaciones se pueden obtener en forma
relativamente fcil todas las dems ecuaciones que permiten el clculo de las constantes
pticas de un material a partir de su espectro de transmitancia.
En el espectro presentado en la Figura 2 pueden identificarse 4 regiones diferentes que
caracterizan el comportamiento de la transmitancia en funcin de la longitud de onda: La
regin transparente, la regin de absorcin dbil, la regin de absorcin media y la regin
de absorcin fuerte.

La regin transparente
En esta regin la pelcula no absorbe y los mximos de interferencia coinciden con la
transmitancia del substrato Ts. Si no hay absorcin entonces el coeficiente de absorcin es
cero , y por tanto la transmitancia . Substituyendo la ecuacin (E4 ) en la (E8 ) se
tiene:

(E7 )

Similarmente, substituyendo la ecuacin (E4 ) en la (E11 ) se tiene:
7

donde

(E8 )




8


9



Swanepoel plantea un clculo directo que resuelva las constantes pticas a partir del espectro de
transmitancia de la pelcula delgada descrita en la ecuacin Error! Reference source not
found.)Error! Reference source not found..





El sustrato es considerado transparente y su transmitancia T
s
() se define por la ecuacin Error!
Reference source not found. :

(E9 )




Ahora se despeja el ndice de refraccin del sustrato s() y se tiene:

Pero el espectro de transmisin del sistema pelcula-sustrato no resuelve por si solos los
parmetros n( ), ( ) y d desconocidos. Esto se aprecia en la ecuacin Error! Reference source
not found. , donde

() es la transmitancia medida y T (, n, , d) su correspondiente

expresin analtica.

10

() - T (, n, , d) = 0

Se necesitan dos ecuaciones ms para completar el sistema de ecuaciones que resuelva todos los
parmetros desconocidos. Swanepoel completa el sistema con la ecuacin de la envolvente mxima
Error! Reference source not found.a) y mnima Error! Reference source not found.b). Los valores

() y

() son medidas virtuales que se obtienen construyendo las envolventes del

espectro para cada longitud de onda. Las envolventes son construidas mediante interpolacin de los
puntos de las franjas de interferencia

(E10 )

(E11 )




Swanepoel divide el espectro de transmitancia en tres regiones; transparente, dbil y meda de
absorcin fuerte. En cada una de ellas calcula las constantes pticas como se describe a
continuacin.


11


Espectro de transmisin simulado con los parmetros de la tabla
Acompaan la grfica las curvas envolventes

() y

() y la curva de transmitancia libre de

interferencia

().
Regin transparente
Se caracterizan porque en ella el coeficiente de absorcin es prcticamente nulo, entonces y x
= 0. Las envolventes de esta regin se expresan

En esta regin, los mximos de las franjas de interferencia coinciden con los valores de

(). As
lo indica la equivalencia entre las ecuaciones (2) y (7.a)
De la ecuacin (7.b) se despeja el ndice de refraccin de la pelcula en funcin de s () y T
m
(),
obtenindose:

M= 2s/T
m
(s
2
+ 1)/2



12


N = [ M + (M
2
s
2
)
1/2
] (1)



Regin de absorcin dbil y media
En esta regin el coeficiente de absorcin ya no es despreciable 0 y x < 1.
Swanepoel propone un artificio para deshacerse de la absorbancia x (): sustraer las inversas de las
envolventes mnima y mxima segn la ecuacin .

(2)




De la ecuacin (9) se calcula el ndice de refraccin de la pelcula:


V=

N = [ V + (

)
1/2
]


El espesor tambin se calcula a partir de las franjas de interferencia. Para esto se usa la ecuacin
(11)
para mximos
(

) para mnimos (11)

Entre dos mximos (o mnimos) adyacentes con ndices n
1
y n
2
y longitud de onda
1
y
2
respectivamente, el espesor tiene la siguiente expresin:
13

d=

*


+ (12)

Sin embargo la ecuacin (12) es sensible a errores en el ndice de refraccin. Por esta razn
Swanepoel corrige el clculo de espesor usando un mtodo grfico. Este mtodo consiste en
graficar los puntos

versus

(ver ecuacin 13). La grfica se aproxima a una recta con pendiente

igual a 2d y corta el eje en el punto m
1
.
= 2d (n/ ) m
1
(13)

La absorbancia x( se despeja de la forma cuadrtica de las expresiones de las envolventes

(, la curva que pasa por puntos inflexin

(o la curva de transmitancia sin

interferencias

(.



Algunas fallas del mtodo de Swanepoel
[1]




There is no right way to construct the envelopes between
interference extremes. Usually, they are constructed using
parabolic interpolation, but this is in fact an arbitrary
choice.
The envelopes should ideally be constructed from the
tangent points touching the transmission curve, not from
the interference extremes: it is easy to see that, especially
in a region where the transmission is changing fast,
connecting the extremes will yield TM() and Tm()
curves that are actually too close to each other. More
recently, efforts have been undertaken to increase the
accuracy of the envelope determination [44, 45].
The method cannot cope with local absorption features if
the film is not very thick, i.e. if the absorption bands fall
in between interference extremes.
The accuracy of the method decreases with decreasing film
thickness, since at lower film thickness, the interference
extremes are spaced further apart and interpolation
14

between these extremes becomes more difficult.
The method fails if the absorption in the film is so high that
interference fringes are not visible and TM() and Tm()
curves coincide. In its original form [41], the method then
reduces to a Cauchy dispersion relation fit.
















Clculo de las constantes pticas

Para el clculo de las constantes pticas de un material a partir de su espectro de
transmitancia utilizando el mtodo de Swanepoel lo primero que se deber de hacer es
identificar las posiciones de mximo y mnimo de interferencia en el espectro de
transmitancia tal como se muestra en la Figura 3(a). En este trabajo la identificacin se
realiz de forma manual, utilizando el programa Origin.
15

Una vez identificados esos valores, el siguiente paso es ajustar una funcin TM que pase
por todos los puntos de mximo y una funcin Tm que pase por todos los puntos de
mnimo. A sugerencia del propio Swanepoel
[2]
este ajuste debe ser realizado utilizando una
funcin cuadrtica(polinomio de segundo orden), sin embargo en ocasiones puede ser
necesario utilizar un polinomio de orden superior para conseguir que las funciones TM y
Tm se ajusten mejor la data experimental.

Una vez conocidas las funciones TM y Tm es posible determinar una primera
aproximacin del ndice de refraccin del material (n0) utilizando la ecuacin (10). Es
importante mencionar que en esta ecuacin, los valores de TM y Tm para el clculo del
ndice de refraccin debern ser tomados para un mismo valor de longitud de onda.

La calidad de este ajuste depende de varios factores: el nmero de mximos y mnimos que tenga el
espectro de transmitancia, la precisin con que se haya medido el espectro; la calidad de la pelcula
fabricada entre otros. El ajuste va a influir directamente en la precisin con que se determinen las
constantes pticas del material.
En la prctica existen otros factores que influyen en la calidad del ajuste. El hecho de tomar valores
de mximo o mnimo que estn en la regin de fuerte absorcin puede resultar en un mal ajuste a la
data experimental

200 400 600 800 1000
0.0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
T
r
a
n
s
m
i
t
a
n
c
i
a
(
u
.
a
.
)
Longitud de onda (nm)
ZnS10-4HR
Max
Min
BK7
TM
Tm
Talf
(a)

200 400 600 800 1000
0.0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
(b)
6
5
4.5
4
3.5
3
T
r
a
n
s
m
i
t
a
n
c
i
a
(
u
.
a
.
)
Longitud de onda (nm)
ZnS10-4HR
Max
Min
BK7
TM
Tm
Talf
2.5

Figura 3: Espectros de trasnmitancia de muestra de ZnS. (a) En el espectro de la muestra, se identificaron las
longitudes de onda de mximo(puntos en rojo) y mnimo(puntos en azul) de transmitancia. A esos puntos les
fue ajustada una funcin TM(linea roja continua) y Tm(linea azul continua) para el caso de los mximos y los
mnimos, respectivamente. (b) una vez conocida la funciones TM posible evaluarla en las longitudes de onda
donde hay MINIMO. Similarmente, una vez conocida la funcin Tm es posible evaluarla en las longitudes de
onda donde hay MAXIMO. De esta forma se consigue un mayor nmero de pares (TM,Tm) donde se pueda
calcular n0.


16

Una vez realizado un ajuste a los puntos de mximo(TM) y de mnimo (Tm), se dispone de
la ecuacin algebraica de las funcin que mejor describe esos valores. Para el caso de la
muestra presentada en el ejemplo las funciones tienen la forma:

y los parmetros de ajuste P, se encuentran reportados en la Tabla 1.
Tabla 1: Parmetros de ajuste para la funcin Tm y Tm
Parmetro(P) valor Error estndar PP P[%]
P0 0.52539 0.08649
P1 535.17102 96.78577
P2 -188158.18930 26031.81814
R
2
0.99998

P3 0.57628 0.02914
P4 190.39789 36.37099
P5 -84499.21138 10.761
R
2
0.999993

Como resultado del ajuste se dispone de las funciones TM y Tm de manera que se puede obtener su
valor para cualquier longitud de onda. Como ya fue mencionado para el clculo de n0 se necesitan
pares de (TM,Tm) evaluados en la misma longitud e onda, para lo cual se evala la funcin TM
para las longitudes de onda donde hay MINIMO de interferencia y la funcin Tm para las
longitudes de onda donde hay MAXIMOS de interferencia. De esta forma se duplican las
posiciones d mximos y mnimos con las cuales podr ser calculado el ndice de refraccin.
Conocido el ndice de refraccin y utilizando la condicin para dos mximos(o dos mnimos)
consecutivos, es posible determinar una primera aproximacin del espesor de la pelcula (d0)
mediante la relacin (12).
Finalmente, utilizando los valores de n0 y el valor medio de d0, es posible calcular el nmero de
orden (m0) de cada uno de los mximos o mnimos de interferencia presentes en el espectro
mediante la ecuacin (11).
Los valores de m0 pueden ser redondeados a los valores enteros o semi-enteros ms prximos
segn el caso y con esto repetir el clculo de n y d. De esta forma cada nuevo clculo(iteracin) que
se realice dar valores de n y d ms prximos al valor real.

17

A partir de la ecuacin de los mximos y los mnimos se puede encontrar una relacin que describa
tanto las posiciones de mximo como de mnimo
(

)
Donde l es un nmero entero que puede variar a partir de cero y el valor m
1
es el numero
del la primer posicin de interferencia (mximo o mnimo) que se considere en el espectro
de transmitancia. Re-arreglando la ecuacin se obtiene:

que es la ecuacin de una lnea recta con pendiente 2d y cuyo intercepto es -m
1
, es decir el
nmero de orden del primer mximo o mnimo que se considere para el ajuste de las
funciones TM y Tm. De manera que graficando

vs

; obtendremos una lnea recta de

con la cual podemos encontrar de forma directa el espesor de la pelcula y los nmeros de
orden de los mximos y mnimos de interferencia. Es importante mencionar que el valor de
m
1
se obtendr redondeando el intercepto de la recta

vs

al valor entero (1,2,3,...) o

semientero (1.5, 2.5, 3.5, 4.5 ...) ms prximo al valor del primer mximo o mnimo que se
utilice para los clculos.



Tabla:

(nm) TM Tm n0 d0(nm) m0 n1 d1(nm) m1
416.8543 0.7246 0.53995 2.40025 576.32193 6.07693 2.37248 527.1115 6
442.1701 0.77773 0.57388 2.37948 531.9027 5.67943 2.30685 527.1115 5.5
480.6479 0.82915 0.60906 2.35058 525.83818 5.16131 2.27963 527.1115 5
523.4526 0.86194 0.63384 2.32484 512.87262 4.68734 2.23438 527.1115 4.5
583.3536 0.88562 0.65447 2.29817 511.50813 4.15778 2.2134 527.1115 4
656.5249 0.89834 0.66821 2.27581 507.7182 3.65845 2.17965 527.1115 3.5
761.5741 0.90497 0.67808 2.25584 576.32193 3.12614 2.16721 527.1115 3
903.2638 0.90778 0.68413 2.24159 2.6191 2.14201 2.5
d0=527.694 d1=527.11

Taza de depsito: 4.39 nm/min

18


0 1 2 3 4 5 6 7 8
-3
-2
-1
0
1
2
3
4
5
K
Linear Fit of K
l
/
2
n/
Equation y = a + b*x
Adj. R-Square 0.99897
Value Standard Error
K Intercept -2.14096 0.05495
K Slope 1.05422 0.01277

400 500 600 700 800 900
2.1
2.2
2.3
2.4
n0
n1
n
(nm)

Figura 4:









400 500 600 700 800 900
1
2
3
4
5
alfa
k
(nm)
a
l
f
a

(
c
m
-
1
)
x10
3
x10
-3
3
6
9
12
15
k

1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5
2000
2500
3000
3500
4000
4500
5000
alf
k
E(eV)

(
c
m
-
1
)
0.010
0.011
0.012
0.013
0.014
0.015
0.016
k




19
















ZnS10a

Esta muestra se midi hasta 3000nm

0 500 1000 1500 2000 2500 3000 3500
0.0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
T
r
a
n
s
m
i
t
a
n
c
i
a
(
u
.
a
.
)
Longitud de Onda(nm)
H

0 500 1000 1500 2000 2500
0.0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
4
3
2
T
r
a
n
m
i
t
a
n
c
i
a

(
u
.
a
.
)
Longitud de Onda(nm)
B
1

20






Lamda TM Tm n0 d0 m0 n1 d1 m1 n0/lamd l/2
419.42 0.71944 0.53848 2.3937 546.2544 6.04418 2.37623 529.525 6 5.70711 5.5
446.62 0.77289 0.5761 2.35912 542.4791 5.59409 2.31946 529.525 5.5 5.28213 5
485.77 0.82167 0.61103 2.32775 550.4965 5.07479 2.29346 529.525 5 4.79179 4.5
528.82 0.85318 0.6344 2.30591 534.0159 4.61796 2.24703 529.525 4.5 4.36043 4
588.66 0.87717 0.65339 2.2861 525.6099 4.11288 2.22338 529.525 4 3.88352 3.5
662.91 0.89184 0.6664 2.26992 520.8291 3.62636 2.19084 529.525 3.5 3.42413 3
769.05 0.90117 0.67618 2.25507 522.5222 3.10542 2.17854 529.525 3 2.93224 2.5
910.58 0.90613 0.6825 2.2438 513.425 2.60966 2.14953 529.525 2.5 2.46412 2
1132.42 0.90877 0.68616 2.23692 510.1407 2.09201 2.13857 529.525 2 1.97534 1.5
1502.16 0.90926 0.6859 2.23864

1.57829 2.12762

1.5 1.49027 1
2265.65 0.90668 0.67935 2.25483

1.054 2.13933

1 0.99522 0.5

Taza deposito: 4.41 nm/min


21

1 2 3 4 5 6
-1
0
1
2
3
4
5
6
l/2
Linear Fit of l/2
l
/
2
n0/
Equation y = a + b*x
Adj. R-Squ 0.99972
Value Standard E
l/2 Intercept -0.591 0.02088
l/2 Slope 1.0590 0.00563
500 1000 1500 2000 2500
2.12
2.16
2.20
2.24
2.28
2.32
2.36
2.40
n0
n1
I
n
d
i
c
e

d
e

r
e
f
r
a
c
c
i
o
n
(nm)





500 1000 1500 2000 2500
2.10
2.15
2.20
2.25
2.30
2.35
2.40
ZnS10a
ZnS10
I
n
d
i
c
e

d
e

r
e
f
.

Longitud de onda(nm)


En ambos casos se ajunt una funcin de Cauchy :

los parmetros de ajuste en cada caso, as como el coeficiente de ajuste (R
2
)se presentan en
la tabla
22


A Std error B Std Err R
2
ZnS10


ZnS10a















[1] D. Poelman and P. F. Smet, Methods for the determination of the optical constants of thin films
from single transmission measurements: a critical review, J. Phys. D: Appl. Phys. 36 (2003) 1850
1857

[2] R Swanepoel, Determination of the thickness and optical constants of amorphous silicon, J.
Phys. E: Sci. Instrum., Vol 16 (1983) 1214-1222.