Vero

U NIVERSIDAD NACIONAL AUT ONOMA DE M E XICO
FACULTAD DE C IENCIAS
A N ALISIS E SPECTROSC OPICO Y

DE UN P LASMA DE
C ARACTERIZACI ON
R ESPLANDOR
TESIS
QUE PARA OBTENER EL T
ITULO DE:
FISICA
PRESENTA:
V ER ONICA V ICU NA H ERN ANDEZ
TUTOR:
D R . A NTONIO M ARCELO J U AREZ R EYES
2008
Hoja de Datos del Jurado

1. Datos del alumno
Apellido paterno: Vicu a
n
Apellido materno: Hern ndez
a
Nombre: Ver nica
o
Tel fono: 58 78 70 79
e
Universidad: Universidad Nacional Aut noma de M xico
o
e
Facultad: Facultad de Ciencias
Carrera: Fsica
N mero de cuenta: 3-0027277-8

u
2. Datos del tutor

Grado: Dr.
Nombre: Antonio Marcelo
Apellido paterno: Ju rez
a
Apellido materno: Reyes
3. Datos del sinodal 1

Grado: Dr.
Nombre: Horacio
Apellido paterno: Martnez
Apellido materno: Valencia

Grado: Dr.
Nombres: Vctor Manuel
Apellido paterno: Vel zquez

a
Apellido materno: Aguilar

Grado: Dra.
Nombre: Citlali
Apellido paterno: S nchez
a
Apellido materno: Ak
e

Grado: Dr.
Nombre: Luis
Apellido paterno: Rodrguez
Apellido materno: Fern ndez

a
7. Datos del trabajo escrito

Ttulo: An lisis Espectrosc pico y Caracterizaci n de un Plasma de Resplandor
a
o
o
N mero de p ginas: 95
u
a
A o: 2008
n
A mis padres:
Luisa Hern ndez S nchez y Samuel Vicu a Reyna
a
a
n
Por las ense anzas acerca de la vida,
n
por el apoyo incondicional, por sus cuidados y su protecci n,
o
pero sobre todo por su amor, que a mis hermanos y a m, de sobra nos han sabido dar.
Agradecimientos
Este trabajo se realiz con el apoyo de los proyectos CONACYT-42630 y PAPIIT

o
UNAM IN110907. Agradezco a PRONABES por la beca otorgada durante la licenciatura, a ECOES por la beca otorgada para la movilidad estudiantil. Al Instituto de Ciencias
Fsicas de la Universidad Nacional Aut noma de M xico ICF-UNAM, y al Laboratorio
o
e
de Colisiones de dicha instituci n, por el lugar y apoyo que me fueron otorgados como
o
participante en el desarollo de los proyectos asociados a los plasmas.
Agradezco al Dr. Antonio Marcelo Ju rez Reyes, tutor y amigo. Por su gran apoyo y
a
oportunidad otorgados durante el desarrollo de la presente. Por su enorme paciencia
para explicar y orientar a esta estudiante, todas esas veces que intentaba atornillar a la
izquierda tornillos de mano derecha.

Agradezo al Dr. Jaime de Urquijo Carmona, por haberme concedido en muchas ocasiones su tiempo para aclarar aquellas grandes dudas, pero sobre todo por sus valiosas
sugerencias en el desarrollo de la presente tesis.
Agradezco a los integrantes del jurado: Dr. Horacio Martnez, Dr. Vctor Manuel Vel zquez,
a
Dra. Citlali S chez y Dr. Luis Rodrguez por sus valiosas observaciones, que ayudaron
a
a la mejora del presente trabajo.

A los t cnicos del laboratorio de colisiones, Ing. Armando Busto G mez y Tec. Ricardo
e
o
Gabriel Bustos Maya, por sus contribuciones de dise o y electr nica para establecer el
n
o
sistema experimental. Tambi n quiero agradecer a mis amigos y compa eros de laborae
n
torio, por todo su apoyo y colaboraci n, en especial a Hugo, por su gran colaboraci n
o
o
en la elaboraci n de aquellos electrodos tan especiales.
o
Agradezco a mi familia, especialmente a mi abuelo Buenaventura Vicu a Loredo,
n
por su apoyo, sus consejos y su compa a, por que mi respeto y cari o hacia su persona,
n
n
los he valorado m s al paso del tiempo. A mis padres, por el apoyo, y por toda la motia
vaci n que siempre he recibido de su parte. A mis hermanas y a mis hermanos por todo
o
este tiempo que juntos hemos vivido y crecido. A mis amigas y a mis amigos, por todas
esas sonrisas que han pintado en mi faz, adem s por que siempre han estado junto a m,
a
de igual manera, en tiempos buenos y en tiempos difciles.
Por ultimo quiero mencionar y agradecer al Dickinson(mi mascota) por estar en mi
vida.

Indice general
1. Introducci n
o
2. Conceptos
2.1. Conceptos Generales de plasmas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.1.1. Par metro de campo el ctrico normalizado a la densidad, E/N .
a
e
2.1.2. Movilidad i nica y electr nica . . . . . . . . . . . . . . . . . .
o
o
2.1.3. Camino libre medio y conceptos relevantes de termodin mica
a
estadstica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.1.4. La descarga de resplandor: propiedades y geometra . . . . . .
2.1.5. Sondas de Langmuir y conceptos asociados . . . . . . . . . . .

2.1.6. Criterios de ruptura: Ley de Paschen . . . . . . . . . . . . . . .
2.1.7. Procesos de ionizaci n en plasmas de resplandor . . . . . . . .
o
2.2. Conceptos generales de espectroscopa optica . . . . . . . . . . . . . .

2.2.1. Notaci n at mica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
o o
2.2.2. Notaci n molecular . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
o
2.2.3. Reglas de selecci n de transiciones dipolares . . . . . . . . . .
o
2.2.4. Estados metaestables y transiciones no dipolares . . . . . . . .
7
7
7
8
8
9
14
23
25
27
27
29
30
31
3. Dispositivo experimental
3.1. Sistema de vaco . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.1.1. Medidores de vaco medio y Medidores de alto vaco ( Pirani y
ion-gauge ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.1.2. Bombas de vaco intermedio y alto . . . . . . . . . . . . . . . .
3.2. Sonda de Langmuir . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

3.3. Espectroscopa de Emisi n . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
o
3.4. Monocromador optico . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
33
33
4. Resultados
4.1. Caracterizaci n de la curva I (V ) . . . . . . . . . .
o
4.2. Curvas de Paschen en arg n y aire . . . . . . . . .
o
4.3. Espectrocopa optica en descargas de Arg n y aire .

o
4.4. Mediciones de temperatura electr nica en el plasma
o
41
41
41
49
59
5. Conclusiones
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
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.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
35
35
36
37
39
69
1
I Anexos
71
II Anexos
83

Indice de guras
2.1. Esta curva muestra las distintas regiones caractersticas de una descarga.
El presente trabajo se especializa en la regi n de descarga normal o de

o
resplandor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.2. Diferentes regiones de la descarga de resplandor . . . . . . . . . . . . .
2.3. Distribuci n del campo el ctrico E, potencial V , densidad de espacio
o
e
+
cargado y , y densidad de corriente J + y J en una descarga de

resplandor [2] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.4. Curva idealizada de la relaci n corriente-voltaje en una sonda de Langmuir
o
2.5. Ley de Paschen, los valores Vr y pd son tomados de la referencia [1] . .
3.1. Esquema experimental de la descarga . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.2. El diagrama muestra la entrada del gas a expulsar empujado por el rotor
hacia la c mara de bombeo que libera el gas. . . . . . . . . . . . . . . .
a
3.3. Circuito de conexi n de la sonda con el plasma . . . . . . . . . . . . .
o
3.4. Circuito de conexi n de la sonda con el plasma . . . . . . . . . . . . .
o
3.5. Esquema experimental montado para observar la emisi n optica de la
o
descarga . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.6. Esquema de un monocromador . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.1. I (V ), donde se identica la regi n de resplandor (glow) . . . . . . . .
o
4.2. Serie 1 y serie 2 de curvas V (pd), para Ar, con electrodos de Al . . . .
4.3. Datos experimentales y ajuste obtenido para Ar con electrodos de aluminio, d = 1cm, serie 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.4. Datos experimentales y ajuste obtenido para Ar con electrodos de aluminio, d = 1cm, serie 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.5. Datos experimentales y ajuste obtenido para Ar con electrodos de cobre,
d = 1cm . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.6. Comparaci n de los resultados obtenidos con la referencia [1] . . . . .
o
4.7. Ley de Paschen en aire, d = 1cm . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.8. Ley de Paschen en aire, d = 0,5cm . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.9. Espectro de la descarga en Ar, con lneas de asignaci n del NIST . . . .
o
4.10. Regi n 1 del espectro de Ar, con traslape con la serie de datos del NIST
o
4.11. Regi n 2 del espectro de Ar, con traslape con la serie de datos del NIST
o
4.12. Espectro de la descarga en Aire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.13. Emisi n optica de una descarga de aire [6] . . . . . . . . . . . . . . . .
o
3
10
12
13
19
23
34
36
37
37
38
39
42
43
44
44
45
46
47
48
50
51
52
53
54
55
56
57
4.17. I (V ) para Ar, presi n 0,854torr . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

o
4.18. I (V ) para Ar, presi n 0,854torr . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
o
4.19. I (V ) para Ar, el valor, Vp , es para la regi n que se aproxima a la curva
o
caracterstica idealizada . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.20. Aproximaci n lineal de la regi n con crecimiento exponencial correso

o
pondiente a la curva 4.17 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
o
o
4.23. I (V ) para Aire, presi n 1,74torr . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
o
o
o
4.26. Aproximaci n lineal para Aire, presi n 1,74torr . . . . . . . . . . . . .
o
o
o
o
o
o
5.1.
5.2.
5.3.
5.4.
5.5.
5.6.
5.7.
5.8.
Sistema que genera el alto vaco en la cavidad . . . . . . . . . . . . . .
Electrodos de cobre con la sonda de Lagmuir montada . . . . . . . . .

V lvulas que conectan el sistema de vaco . . . . . . . . . . . . . . . .
a
Bomba Difusora del sistema experimental, muestra la circulaci n del

o
agua para enfriar y condensar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Bomba Difusora conectada al sistema . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Descarga de resplandor con la sonda de Langmuir . . . . . . . . . . . .
Descarga de Resplandor con la sonda de Langmuir . . . . . . . . . . .
Descarga de resplandor con la sonda de Langmuir . . . . . . . . . . . .
60
61
62
63
64
64
65
66
66
67
68
68
85
85
86
86
87
87
88
89
Captulo 1
Introducci n
o
Y en el principio solo era el Caos,
y Gea la tierra, y Urano el Cielo,
y Eros la fuerza de atracci n y repulsi n.
o
o
Hesodo.
Desde tiempos remotos el ser humano se ha maravillado con diversos fen menos nao
turales, tales como: Auroras Boreales, tormentas el ctricas, fuego de St.Elmo (destello
e
que aparece en los m stiles de los barcos durante las tormentas). Todos han sido motivo
a
de sorpresa y temor, de superticiones, mitos y leyendas. Todos estos fen menos son,
o
sin embargo diferentes aspectos del mismo fen meno fsico: todos ellos son plasmas
o
en uno u otro r gimen. Los plasmas, dependiendo de distintos factores que detallaree
mos en el presente trabajo, presentan caractersticas partculares. En funci n de estas
o
caractersticas se catalogan en plasmas d bilmente ionizados, de corona, de resplandor
e
o de arco [10]. En este trabajo nos enfocaremos a un r gimen especial de plasma dee
nominado plasma o Descarga de resplandor, con el objetivo de conocer las diferentes
caractersticas que lo identican, con miras a futuro de observar el cambio de estas por
medio de la interacci n de radiaci n l ser.

o
o a
Las descargas de resplandor se distinguen por sustentarse con corrientes en el intervalo
de 101 103 Amperes. As mismo presentan un resplandor caracterstico, que se ma
niesta en la regi n cat dica, y, sobre todo, por presentar valores constantes de voltaje
o
o
entre los electrodos. Esto ocurre a n cuando se incrementa el valor de la corriente que
u
circula por la descarga. Adem s existe una correlaci n entre la conductividad y la tema
o
peratura de la descarga. El presente trabajo se enfoca a caracterizar, de manera integral,
las distintas propiedades y caractersticas de una descarga en el r gimen de resplandor.
e
Para este efecto se emplean diferentes t cnicas de tipo electrost tico, y optico.
e
a
En particular, se presenta la caracterizaci n para una descarga de resplandor de Aire y

o
para una descarga de resplandor de Arg n de baja densidad, con dos tipos de electrodos:
o
de aluminio planos y otros de igual forma pero de cobre.
As mismo los plasmas de resplandor encuentran aplicaciones en la detecci n de partcu
o
las muy diludas; concentraciones isot picas y en el estudio de agregados met licos, que
o
a
pueden generarse por el desprendimiento del material de los electrodos por impacto de
los iones presentes en la descarga, entre otras aplicaciones [10].
Para llevar a cabo la caracerizaci n del plasma de resplandor, se implement un sistema
o
o
experimental que permite la caracterizaci n de este por medio de espectros de emisi n,
o
o
5
sondas de Langmuir y el voltaje de la descarga. Para ello se construyen e instalan los

diversos componentes, de vaco y electr nica que ser n descritos con mayor amplitud
o
a
en la secci n instrumental.
o
El presente trabajo est dividido en cuatro secciones principales: conceptos, descripci n
a
o
del dispositivo experimental, resultados y conclusiones. En el captulo de conceptos se
sintetiza de una manera muy general la fsica que engloba el proceso de caracteriza
ci n del plasma. Se describen los conceptos b sicos que se relacionan con los plasmas
o
a
en el r gimen de resplandor, a las sondas de Langmuir, a conceptos termodin micos
e
a
relevantes, as como tambi n los necesarios para describir la optica del sistema. En el
captulo correspondiente al Dispositivo experimental, se describe la estructura del siste

ma experimental, se da una breve descripci n de cada uno de elementos involucrados,
o
su funcionamiento y la fsica que lo desarrolla. Tambi n se presentan los esquemas ex
e
perimentales, y, se resalta el papel que juegan cada uno de los elementos del sistema
experimental, para desarrollar el objetivo del presente trabajo, desde la obtenci n del
o
plasma en una celda, hasta la caracterizaci n de sus propiedades. En el captulo de los
o
Resultados se presentan las mediciones obtenidas, as como el an lisis de estas, por me

a
dio de gr cas, tablas y su correspondiente comparaci n con datos disponibles en la
a
o
literatura. Se presentan las curvas de Paschen obtenidas para la descarga de Arg n y
o
Aire, el an lisis de la optica de la descarga, las mediciones de la temperatura electr nica
a
o
y su correspondiente densidad. Finalmente, en el captulo de Conclusiones se habla de
manera general de cada uno de los resultados obtenidos. Adem s, se hacen sugerena
cias de ello con miras a mejorar el sistema y prepararlo para estudios posteriores de
interacci n entre l seres pulsados y el plasma caracterizado en este trabajo de tesis.
o
a
Captulo 2
Conceptos
2.1. Conceptos Generales de plasmas
En esta secci n se presentan las deniciones m s importantes que ser n empleao
a
a
das en el resto de este trabajo. En particular se denir n los conceptos m s relevantes
a
a
relacionados con las descargas de resplandor. Entre estos conceptos sobresale: el campo el ctrico normalizado a la densidad, E/N, la denici n de la velocidad de deriva
e
o
electr nica, ve , la movilidad electr nica, e , el coeciente de ionizaci n primaria, , el
o
o
o
coeciente de ionizaci n secundaria, , la distribuci n de Maxwell-Boltzman, la longio
o
tud de Debye entre otros, adem s se da una breve descripci n b sica, acerca de la notaa
o a
ci n at mica y molecular. Estas son empleadas para identicar las transiciones opticas,
o o
obtenidas en el espectro de emisi n del plasma.

o
2.1.1. Par metro de campo el ctrico normalizado a la densidad,

a
e
E/N
El campo el ctrico normalizado a la densidad de la partculas, es un par metro que
e
a
est directamente relacionado con la energa media de las partculas bajo el efecto del
a
campo el ctrico. La energa promedio de los electrones, depende del valor del campo
e
y del n mero de mol culas por unidad de volumen, N. Como el n mero de colisiou
e
u
nes entre las partculas, es proporcional a la densidad N, entonces, estas inuyen en
la distribuci n de energa de las partculas. Por ejemplo, bajo una colisi n el stica, los
o
o a
electrones pierden energa cin tica al colisionar con atomos o iones, esto, debido a la
gran diferencia entre sus masas. Adem s, debido a la fuerza de Coulomb el movimiento
a
del electr n depende del valor del campo el ctrico. Por lo anterior la energa promedio
o
e
de cada electr n depende del balance entre la energa que recibe del campo el ctrico,
o
e
E, y de la energa que pierde por colisiones, que depende de la densidad, N. Es decir, la
medida promedio de la energa depende de el campo normalizado a la densidad, E/N.
En el presente trabajo la unidad de medida E/N es el Townsend (1T d = 1017 V cm2 ).
2.1.2. Movilidad i nica y electr nica

o
o
Velocidad de deriva ve
La velocidad de deriva, es una velocidad promedio sobre un ensamble de partculas
que se encuentran bajo la acci n de un campo el ctrico externo. Esta velocidad correso
e
ponde a la velocidad del centro de masa del ensamble de partculas.
Coeciente de ionizaci n primaria,

o
El Coeciente de ionizaci n primaria de Townsend, cuantica la probabilidad de
o
ionizaci n en un gas debida al impacto de los electrones con los atomos o mol culas
o
e
neutros normalizado a la longitud. La ionizaci n puede ocurrir cuando un electr n, con
o
o
energa cin tica mayor al umbral de ionizaci n de la mol cula colisiona contra esta y
e
o
e
la ioniza. En un enjambre, el coeciente de ionizaci n indica la cantidad de pares

o
electr n-i n creados por impacto electr nico, por unidad de longitud.
o o
o
2.1.3. Camino libre medio y conceptos relevantes de termodin mica

a
estadstica
Los diferentes procesos de ionizaci n involucran colisiones entre las partculas del
o
gas (mol culas, atomos, iones, electrones, etc). Es por ello que el concepto de camino
e
libre medio es fundamental en la descripci n de los diferentes procesos.

o
Las descripciones de la temperatura y de la densidad electr nica se hacen bajo la supoo
sici n de que los electrones presentan una distribuci n de energa Maxwell-Boltzman.
o
o
En esta secci n se da una breve descripci n de estos conceptos.

o
o
Distribuci n de Maxwell-Boltzman
o
Considerando la naturaleza aleatoria de los procesos de colisiones entre partculas,
James C. Maxwell y Ludwing Boltzman, mostraron de manera independiente que la

probabilidad de que N mol culas de un total de Nt mol culas tengan velocidades entre
e
e
v/vp y (v + dv) /vp , donde vp es la velocidad m s probable, es:
a
dN
4
=
Nt
v
vp
exp (v/vp )2
dv
vp
(2.1)
Se substituye el valor de la velocidad m s probable de acuerdo a la relaci n con la

a
o
1
2
energa cin tica 2 mvp = kT [13], entonces se obtiene:
e
4N
dN
=
dv
m
2kT
3/2
v 2 exp
mv 2
2kT
(2.2)
Esta distribuci n de velocidades considera un gas que no presenta difusi n o acelaraci n

o
o
o
de las partculas debido a un campo o fuerza externa. Adem s, se considera que el gas
a
se encuentra en equilibrio t rmico, es decir que no se puede extraer trabajo util de el.
e
Cabe mencionar que, debido a la presencia del campo el ctrico y la densidad de carga
e
8
espacial, un gas ionizado como el que estamos tratando en el presente trabajo puede
no ser tan idealizado, pues se encuentra fuera del equilibrio termodin mico. Sin embara
go, para campos el ctricos d biles, la distribuci n de Maxwell-Boltzmann presenta una
e
e
o
aproximaci n util para denir conceptos relevantes.
o
Camino libre medio

La distancia que una partcula recorre entre dos sucesivas colisones es llamada ca
mino libre medio. El camino libre medio es una cantidad aleatoria que depende de la
concentraci n de atomos en un recipiente.
o
La probabilidad de un camino libre de longitud x, es igual a la probabilidad de colisones entre dos partculas entre x y una peque a distancia x + dx.
n
Se consideran colisiones entre dos partculas esf ricas con diferente radio. As, la pro
e
babilidad, es dn/n0 , en base a el n mero de partculas se escribe de la siguiente manera:

u
n = n0 exp N (r1 + r2 )2 x
(2.3)
Donde n es el n mero de partculas que se encuentran a una distancia x y n0 es el

u
n mero inicial de partculas. N corresponde a la densidad del gas, r1 y r2 corresponden

u
a las partculas de radios diferentes que colisionan. De est manera, el camino libre
a
medio multiplicado por el n mero total de partculas, debe ser igual a la suma de los
u
caminos libres individuales multiplicada por el n mero de partculas que colisionan

u
desp es de viajar tal camino libre, por lo que se obtiene, [13]:

u
1
(r1 + r2 )2 N
(2.4)
Esto signica que el camino libre medio es igual a el recproco de la secci n transversal
o
efectiva de colisi n, que en este caso corresponde a la area de esferas consideradas.
o
La relaci n entre los radios describe diferentes tipos de colisiones entre partculas, por
o
ejemplo, si las partculas incidentes son mol culas del mismo gas, entonces r1 = r2 .
e
Para el caso en que las partculas incidentes sean electrones, la relaci n entre los radios
o
es: r1 << r2 , entonces se podra despreciar r1 . Lo cual indica que los electrones tienen
un camino libre medio mayor al de un atomo, debido a la diferencia entre sus tama os.
n
La longitud del camino libre depende de la temperatura y la presi n, ya que la densidad
o
molecular depende de estas dos cantidades.
Cabe mencionar tambi n que estas expresiones se desarrollan bajo el modelo de esferas
e
duras, en el cual, se considera que los radios de las partculas no cambian durante todo
el proceso de las colisiones. Una aproximaci n m s cuidadosa de la colisi n debera

o
a
o
incluir el efecto del campo coulombiano, la polarizaci n el ctrica y otros factores. En la

o e
pr ctica la aproximaci n de esfera dura es adecuada para descripciones generales, como
a
o
la que se presenta en esta tesis.
2.1.4. La descarga de resplandor: propiedades y geometra
El r gimen en el que se encuentra una descarga entre un par de electrodos, est cae
a
racterizada por una funci n V = F (I), ver gura ??, que describe varios r gimenes de
o
e
9
Figura 2.1: Esta curva muestra las distintas regiones caractersticas de una descarga. El
presente trabajo se especializa en la regi n de descarga normal o de resplandor.

o
la descarga que, dependiendo del rango de la corriente, reciben el nombre de r gimen

e
de Townsend, de corona, subnormal, de resplandor, anormal y de arco, ordenadas de
menor a mayor corriente, respectivamente. Cuando un potencial, V , es aplicado trav s
e
de dos electrodos en serie con una resistencia de corriente limitada R, sobrepasa un
voltaje crtico, se produce una corriente autosostenida. Un electr n primario, generado
o
por agentes externos (por ejemplo, un rayo c smico u otro tipo de radiaci n ionizante),
o
o
recibe del campo el ctrico suciente energa antes de la colisi n para producir evene
o
tos subsecuentes de ionizaci n. Como consecuencia de estos eventos secundarios de
o
ionizaci n, que a su vez generan otros, la descarga puede ser mantenida incluso sin la
o
ionizaci n externa. Los diferentes r gimenes de la descarga se muestran esquem ticao
e
a
mente en la gura 2.1 y se describen a continuaci n de una manera muy general para
o
un plasma idealizado. En general, y dependiendo del tipo de plasma, algunas de las
caractersticas mencionadas aqu pueden no estar presentes en casos particulares.
10
1. Descarga Oscura o Descarga de Townsend (Dark discharge). Se lleva a cabo

en corrientes del orden de 107 106 A. Est caracterizada por un voltaje consa
tante interelectr dico, Ve , a distintas corrientes. Esta descarga presenta tan baja
o
densidad de carga que no emite luz apreciable. Los efectos de carga espacial son
despreciables en este r gimen.
e
2. Descarga de resplandor subnormal (subnormal glow discharge). Es una regi n
o
de transici n, entre la descarga negra y la regi n normal, donde el voltaje decrece
o
o
hasta alcanzar un voltaje constante. El decremento de voltaje se debe a la creaci n de una regi n de carga acumulada. Esta carga acumulada se genera debido
o
o
a que las movilidades electr nica e i nica son muy diferentes. Al difundirse los
o
o
electrones de manera m s r pida, crean una regi n cerca del c todo que presenta
a a
o
a
un desbalance de carga positiva.
3. Descarga de resplandor normal (Normal glow discharge). Se caracteriza por
ser de voltaje constante para distintas corrientes. Debido a que los electrones son
sucientemente energ ticos, estos pueden excitar a los atomos y mol culas neue
e
tros del plasma, produciendo as una lumiscencia visible en ciertas regiones de la
descarga. Se lleva cabo para corrientes mayores a las de la descarga oscura, del
orden de 1 100mA.
4. Regi n de resplandor anormal (Abnormal glow discarge). En esta regi n la curo
o
va de voltaje-corriente, presenta un incremento en el voltaje, que se eleva hasta
llegar a una area de saturaci n a causa del incremento de la corriente y la lumis
o
cencia. De la misma manera que el voltaje y la corriente incrementan, la energa
promedio de los iones que bombardean el c todo tambi n incrementa. Las coa
e
rrientes son del orden de 1A.
5. Descarga de arco (Arc discharge). Ocurre a partir de corrientes de 1 10A. El
voltaje cae varias decenas de volts, llegando a un valor menor o igual al del potencial de ionizaci n. Esto se debe a que los iones que colisionan con el c todo,
o
a
aumentan la temperatura de este causando emisi n termi nica, de esta manera la
o
o
descarga requiere un campo el ctrico menor para establecer los procesos de ionie
zaci n, por lo que el potencial cae [2].
o
El presente trabajo se centra, principalmente, en el estudio de las descargas en la regi n

o
de resplandor. Las propiedades y la apariencia de estas regiones depende de diversos
factores, tales como la presi n, la geometra del recipiente que contiene el gas, la forma,
o
tama o, material y separaci n de los electrodos, as como del tipo de gas, en nuestro
n
o
caso Aire y Arg n.

o
Geometra de la descarga luminiscente
En esta secci n se describen las caractersticas generales y las diferentes regiones

o
que presenta la descarga luminiscente o descarga de resplandor, as como su relaci n
o
con el campo el ctrico, el potencial y las densidades de carga y corriente. La regi n
e
o
11
Figura 2.2: Diferentes regiones de la descarga de resplandor

correspondiente a la descarga de resplandor, es una regi n estable en la cual se pueden
o
implementar t cnicas utiles de espectroscopia, como la optogalv nica [2], entre otras.
e
a
Las diferentes regiones de la descarga se muestran en la gura 2.2. El comportamiento
del campo el ctrico, la densidad de carga, y la densidad de corriente, se muestran en la
e
gura 2.3, para ambas cargas: positiva y negativa.
a) Espacio oscuro Aston y vaina c todica. Es una delgada regi n cercana al c toa
o
a
do, donde los electrones presentes, tienen una energa inicial del orden de 1eV .
Estos electrones se encuentran en esta regi n debido a que son extrados del c too
a
do por efecto fotoel ctrico, o por colisiones de iones positivos. La energa que
e
presentan se debe a que son acelerados por el campo el ctrico presente. En esta
e
regi n, los electrones no han alcanzado la energa de ionizaci n del gas. Despu s
o
o
e
de esta zona, se encuentra una regi n que cubre el c todo, de d bil luminosidad
o
a
e
donde los electrones ya han obtenido una energa correspondiente a la m xima en
a
la funci n de excitaci n.
o
o
b) Espacio de Crookes. Caracterizada por la presencia algunos electrones que, a
causa de colisiones inel sticas, pierden energa cin tica haciendose lentos. Pero
a
e
otro gran n mero de electrones, tiene una mayor cantidad de energa cin tica, inu
e
cluso mayor a la de la m xima excitaci n atomica. Los electrones lentos son los
a
o
responsables de la d bil luminosidad en esta regi n, mientras los electrones m s
e
o
a
r pidos generan una luminosidad mas intensa, debido a que inducen ionizaci n
a
o
con alta eciencia. En esta regi n aumentan, asimismo, el n mero de electrones,
o
u
y, debido a las diferentes movilidades de los iones y de los electrones, se genera
un intenso espacio de carga positiva, que reduce el campo electrico local.
c) Luminiscencia negativa. En esta zona la mayora de los electrones m s energ ti
a
e
cos, ya ha alcanzado el c todo, y, el n mero de electrones de baja energa es maa
u
yor. Entonces la eciencia de ionizaci n decrece, mientras, la excitaci n atomica

o
o
se vuelve altamente eciente, debido a las colisiones inel sticas que producen
a
12
Figura 2.3: Distribuci n del campo el ctrico E, potencial V , densidad de espacio caro
e
gado + y , y densidad de corriente J + y J en una descarga de resplandor [2]
los electrones de baja energa. Se produce un incremento en la luminosidad en la
frontera de esta regi n.

o
d) Regi n de Faraday. Es la regi n oscura que aparece seguida de la luminisceno

o
cia negativa. La reducci n del campo el ctrico, debido a los espacios de carga
o
e
positiva que se producen en la regi n de Crookes, favorece la combinaci n de
o
o
iones y electrones. As, la energa electr nica promedio decrece al igual que la
o
luminosidad conforme aumenta la distancia al c todo.
a
f) Columna positiva. Esta zona se caracteriza por tener una luminosidad uniforme o con estras delgadas de mayor intensidad. La componente axial del campo
el ctrico es casi constante y de varios ordenes de magnitud menor al de la regi n

e
o
oscura. Esto indica que el plasma es neutral en casi cualquier punto, ver gura
2.2. En esta regi n, los electrones se mueven esencialmente de manera aleatoria.
o
Su velocidad de deriva es muchos ordenes de magnitud menor que su velocidad
aleatoria.
g) Descarga del anodo o luz an dica. En proximidad al anodo, una regi n de carga
o
o
negativa es generada, debido a la atracci n de electrones hacia el anodo, y, a la
o
repulsi n de los iones por la carga del anodo. De esta manera el campo el ctrico
o
e
incrementa otra vez con respecto al valor que tena en la columna positiva.
Los electrones provenientes de la columna positiva son acelerados contra el anodo
por el campo el ctrico, produciendo una luz an dicafrente a el.

e
o
13
2.1.5. Sondas de Langmuir y conceptos asociados

Como parte de la caracterizaci n de un plasma, se requiere medir la temperatura de
o
los portadores de carga presentes, as como la densidad de estos. Para ello se requie
re de una t cnica adecuada de diagn stico. Adem s, se requiere tambi n conocer otras
e
o
a
e
propiedades del plasma, que involucren el uso de la t cnica. Ya que se requiere tener un
e
diagn stico de las posibles perturbaciones al sistema con la medici n.
o
o
En esta secci n se describe el uso de la t cnica de Langmuir para medir temperatura y
o
e
densidad el ctronica del plasma. Tambi n, se da una una breve descripci n de los cone
e
o
ceptos fsicos que involucra.
Las t cnicas de diagn stico de plasma se pueden dividir en dos grupos:

e
o
1. T cnicas de diagn stico pasivas. Mediante las cuales el plasma no es perturbae
o
do por la medici n. Un ejemplo de t cnica pasiva, es la medici n del espectro
o
e
o
de emisi n del plasma, en la cual se detecta la luz emitida por la descarga, sin
o
perturbar a esta.
2. T cnicas de diagn stico activas. Las cuales pueden perturbar ligera o considerae
o
blemente al plasma. En la pr ctica se busca que la perturbaci n sea lo m s pea
o
a
que a posible, a n de medir de manera conable las propiedades del plasma. Tal
n
es el caso, de la sonda el ctrica o sonda de Langmuir.
e
En las siguientes secciones se describir n los conceptos de temperatura y densidad asoa
ciados con perturbaciones, con miras a establecer las bases para que en captulos poste
riores se haga un analisis de temperatura y densidad de nuestro sistema.
Temperatura del i n y del electr n

o
o
Los mecanismos fsicos fundamentales en la descripci n de los plasmas son: la ex
o
citaci n, la relajaci n, la ionizaci n, y la recombinaci n entre otros. Para mantener el
o
o
o
o
equilibrio entre las densidades de iones y electrones, los procesos de recombinaci n deo
ben ser balanceados por los procesos de ionizaci n. Para que esto ocurra es necesaria
o
la presencia de un campo el ctrico que imparta la suciente energa a los electrones
e
presentes, para que estos induzcan fen menos de ionizaci n.
o
o
Sean me y mi las masas del electr n y del i n respectivamente. Considerando un campo
o
o
el ctrico E actuando en un i n inicialmente estacionario, el trabajo, W , ejercido sobre
e
o
el i n es:
o
1 Ee 2 (Eet)2
W = F x = Eex = Ee
t =
(2.5)
2 mi
2mi
El mismo analisis es aplicable a los electrones, pero considerando que me << mi, en
tonces es posible observar que para un mismo valor de campo E, We >> Wi . La fuerza
de coulomb es la misma para iones y electrones en un plasma, pero debido a la diferencia de masas, para la misma energa cin tica, los electrones tienen una velocidad mayor
e
a la de los iones.
El concepto de temperatura de una distribuci n de Maxwell-Boltzmann puede ser aplio
cado a electrones en un plasma. Basada en una hip tesis de un gran n mero de electr nes
o
u
o
14
de masas iguales colisionando entre s, y adem s, con las mol culas e iones presentes en
a
e
el plasma, con angulo de impacto variante. Est aproximaci n es v lida para un sistema
a
o
a
en equilibrio.
Con lo que respecta a un gas ionizado, este puede tener una distribuci n muy diferente.
o
Un tratamiento riguroso de la temperatura de un electr n en un medio fuera del equio
librio se trata apropiadamente con la ecuaci n de Boltzman, pero este tema sale del
o
alcance de la presente tesis.
Suponiendo que la aproximaci n de Maxwell-Boltzman es adecuada,entonces:
o
1
2 3
me ve = kTe
2
2
(2.6)
Donde v es la velocidad media. La expresi n 2.6 es v lida tambi n para atomos neu
o
a
e
tros [3]. En realidad la funci n de energa de los electrones F (E) puede tomar formas
o
distintas a la maxwelliana, aunque a energas moderadas puede aproximarse con esta.
Por lo anterior es posible asignar una temperatura equivalente de los electrones Te . Dependiendo del grado de interacci n, los electrones del plasma pueden tener una energa
o
muy diferente a la de los iones y partculas neutras. Adem s Te puede ser muy diferente
a
a la temperatura de los atomos o mol culas neutras del gas, que es tpicamente la tem
e
peratura ambiente.
Potencial del plasma

Existen tres conjuntos principales de partculas en el plasma, iones, electrones y
partculas neutras, las cuales son diferentes en masa y temperatura. En general la expre
si n 2.7 para la velocidad media, es v lida para los tres tipos de conjuntos [3]:
o
a
v=
8kT
m
1/2
(2.7)
La densidad electr nica ne , y la densidad i nica ni , son iguales en promedio. Su valor es

o
o
conocido como la densidad del plasma n, este n mero es mucho menor que la densidad
u
de partculas neutras n0 . Si colocaramos dentro del plasma una peque a placa met lica
n
a
de dimensiones lineales, aislada el ctricamente, esta ser impactada por los electrones e
e
a
iones presentes en el plasma. Las expresiones 2.8 y 2.9, corresponden a la densidad de
corriente electr nica e i nica, respectivamente: [3].
o
o
je =
ene ve
(2.8)
eni vi
(2.9)
4
Tomando encuenta que ve es mucho mas grande que vi , entonces, je >> ji . Esto implica
que, debido a la diferencia de densidades de corriente, en la placa se formar una capa de

a
carga negativa. Esto a su vez implica que en la vecindad de la placa existir un potencial
a
negativo neto con respecto del plasma. Debido a ese potencial, los movimientos al azar
de los iones y electrones ser n perturbados en la regi n cercana a la placa. Si la placa
a
o
tiene un potencial negativo, los electrones ser n repelidos y los iones atrados. De esta
a
ji =
15
manera, el ujo de electrones decrece, y por lo tanto la densidad de electrones tambi n

e
decrece, hasta que se balancean ambos tipos de carga alrededor de la placa y la densidad
de corriente neta cae a cero. El potencial al cual se cumple la condici n anteriormente
o
descrita, se conoce como potencial de otado.
La diferencia de movilidad entre iones y electrones, crea regiones de carga positiva y
negativa. El potencial del plasma corresponde al potencial promedio, entre la regi n
o
de mayor concentraci n de carga negativa y la mayor concentraci n de carga positiva.
o
o
Generalmente, la regi n de mayor concentraci n de carga negativa corresponde a un
o
o
electrodo colector de electrones.
Apantallamiento de una sonda aislada
En este trabajo se emplea una sonda de Langmuir para medir temperatura y densidad
electr nica. En virtud de esto, en las secciones siguientes, se discutir n los conceptos
o
a
b sicos asociados a las sondas el ctricas. Primero se discute el caso de una sonda aisa
e
lada, y posteriormente el caso de una sonda polarizada. Dado que los electrones son
repelidos por la diferencia de potencial Vp Vf > 0, la sonda aislada adquirir una
a
carga neta positiva alrededor de ella, ya que los electrones al alejarse es esta, dejan un
ligero exceso de carga positiva. Esta es generalmente conocida como espacio cargado
y en el contexto de la descarga de resplandor constituye el apantallamiento que rodea la
placa (sonda), cubri ndola como una cubierta o capa, sheath en ingl s. La cubierta tiene
e
e
una densidad de carga conocida como densidad de espacio cargado, . La ecuaci n de
o
Poisson relacionada con la variaci n del potencial, V , con la distancia, x, a trav s de las
o
e
regiones del espacio de carga neta de la cubierta, es de la siguiente manera:
d2 V
=
dx2
0
(2.10)
Siguiendo con el tratamiento unidimensional, el campo el ctrico E est dado por,

e
a
dV
dx
(2.11)
dE
=
dx
0
(2.12)
E=
Por lo tanto,
Si la cubierta adquiere una carga neta positiva, entonces la densidad electr nica decreo
ce en la cubierta o capa de apantallamiento hasta ser muy peque a [3]. La cubierta de
n
apantallamiento es una area que presenta baja luminosidad comparada con el resto de la
descarga. La placa puede estar rodeada por un espacio oscuro. La presencia de este espacio una caracterstica general de las cubiertas de apantallamiento formadas alrededor
de los objetos en contacto con el plasma. Fsicamente, la presencia de esta zona, se debe
a la baja densidad de electrones responsables de las colisones que causan la excitaci n

o
de los atomos, ya que la relajaci n de los mismos es la causante del resplandor.
o
La diferencia de potencial V pVf representa una barrera electrost tica para los electroa
nes. Para superar est barrera, un electr n debe adquirir una energa potencial de valor:
a
o
e (Vp Vf ). Unicamente los electrones que exceden est energa pueden atravesar la
a
cubierta y alcanzar la placa. La funci n de distribuci n de Maxwell-Boltzman nos dice

o
o
16
que la fracci n de electrones que tiene suciente energa para atravesar este potencial
o
producido por la cubierta es:
ne
e (Vp Vf )
= exp
ne
kTe
(2.13)
Los electrones ne poseen, antes de cruzar la cubierta de apantallamiento, una energa
mayor o igual a e (Vp Vf ). Correspondientemente, al cruzar la cubierta pierden esta

misma cantidad de energa. En general, los electrones tienen una distribuci n de energa,
que aqu es representada por una maxwelliana. El punto es que, de esa distribuci n de
o
energa que poseen los electrones, estos en general, varan en su energa unos con otros.
Sin embargo, el promedio de energa caracteriza de manera adecuada el ensamble.
La carga del potencial otante de la sonda repele a los electrones, y atrae a los iones
positivos. Esto no incrementa el ujo de los iones, el cual est limitado por el movia
miento aleatorio con el que se acercan los iones a la cubierta de apantallamiento. El
voltaje a trav s de la cubierta de apantallamiento esta inuenciado directamente por la
e
energa con la cual los iones colisionan con la sonda. Los iones penetran la cubierta
inicialmente con una energa muy baja. Una vez que penetran la cubierta son acelarados
por el potencial de la cubierta, en la ausencia de colisiones con otros iones. Debido a

lo anterior, al chocar con la sonda, lo hacen con una energa cin tica equivalente a el
e
potencial de la cubierta.
Longitud de Debye
La fuerza de Coulomb dentro del plasma es, en promedio, igual a cero debido a que
la cantidad de electrones y iones es la misma. Si consideramos peque as perturbaciones,
n
provenientes de agentes externos al plasma, que generen potenciales instant neos en un
a
punto, entonces la interacci n de Coulomb no es cero para ambos tipos de partculas.
o
Adem s de lo anterior, y debido a uctuaciones en escalas peque as, el potencial puede

a
n
tambi n depender del tiempo. Considerando un potencial V (x) que vara a lo largo de x,
e
si el punto x = 0 tiene un valor del potencial V (0) < Vp , entonces un espacio de carga
neta positiva se formar frente a la supercie cargada, donde unicamente los electr nes
a
o
m s energ ticos pueden entrar. Estos electrones causan una variaci n de carga a lo largo
a
e
o
de x. Para poder hacer una estimaci n acerca del potencial el ctrico, con esta variaci n
o
e
o
de carga, se considera como primera aproximaci n, que la densidad de iones, ni , en la
o
vaina de apantallamiento, es igual a la del resto del plasma no perturbado. Ya que debido a su gran masa, reccionan con un tiempo mucho mayor al espacio cargado que los
electrones. Permaneciendo pr cticamente inalterados durante un breve lapso de tiempo
a
que se aplica el potencial V (0). Si el potencial V (0) fuera mantenido un tiempo largo,
entonces ni , en el espacio cargado no se mantendra igual al resto del plasma, los iones
tendran el tiempo suciente para reaccionar y redistribuirse. Sin embargo, las uctua
ciones aleatorias causan que V (0) permanezca a escalas de tiempo muy cortas. Dicho
lo anterior y suponiendo que la densidad de los electrones vara como n (x), la ecuaci n
o
de Poisson tiene la forma
d2 V
e
(2.14)
= (ni ne (x))
2
dx
0
17
Usando la relaci n de Boltzman:

o
ne (x)
eV (x)
= exp
ne
kTe
(2.15)
Sustituyendo en la ecuaci n de Poisson, y recordando que ne = ni para un plasma no

o
perturbado, se tiene que:
d2 V
eni
=
2
dx
0
1 exp
eV (x)
kTe
(2.16)
Para el caso en que V (x) << kTe ( esto no se espera para toda x ) se puede expandir la
exponencial
e2 ni
d2 V
V (x)
(2.17)
dx2
kTe 0
Esta ecuaci n diferencial aproximada tiene la soluci n aproximada
o
o
V (x) = V0 exp
Donde
D =
kTe 0
ne e2
|x|
D
(2.18)
1/2
(2.19)
El valor de D tiene dimensiones de longitud, y es conocida como la longitud de Debye.

La longitud de Debye indica el hecho de que el potencial con que se perturba a un plasma es atenuado exponencialmente con la distancia, con constante de decaimiento dada
por D .
La longitud de Debye, dice, que desde la perspectiva de una carga, situada en un punto
del plasma, las interacciones con otras partculas se dan dentro de una esfera de uno o
dos D de radio. Fuera de esta esfera las interacciones se hacen despreciables en compa
raci n al valor cerca de la cubierta. Por lo que el plasma es pr cticamente equipotencial
o
a
excepto para peque as uctuaciones de voltaje que son atenuadas alrededor de distann
cias del orden de la longitud de Debye.
Uno de los requerimientos para que una colecci n de partculas cargadas sea consideo
rada un plasma es que el rango de escalas de estos microcampos debe ser muy peque a
n
comparada con la dimensi n total del plasma, es decir D << d donde d es una longio
tud caracterstica del plasma, tal como el di metro o su longitud.
a
Cuando V (0) es generado por una fuente de energa externa, entonces los iones alrede
dor del objeto tienen la oportunidad de responder al campo aplicado, y ni se hace una
funci n de x. Sin embargo, bajo los mismos argumentos, los voltajes de pertubaci n son
o
o
atenuados por medio de la capa de apantallamiento, por lo que el plasma nuevamente es
equipotencial.
Sonda El ctrica polarizada (Sonda de Langmuir)

e
Anteriormente se consider una sonda aislada el ctricamente dentro de un plasma.
o
e
Ahora se considerar el caso de una sonda a un potencial V por una fuente de voltaje
a
18
I
Vp
Ie
V
Ii
Figura 2.4: Curva idealizada de la relaci n corriente-voltaje en una sonda de Langmuir

o
externa. Esta polarizaci n, corresponde al modo en que se emplean las sondas en eso
te trabajo de tesis. Es necesario tener un punto de referencia para el voltaje, tal como
una pared o electrodo conductor aterrizado. El potencial del plasma Vp es denido con
respecto al potencial del electrodo aterrizado. En la secci n anterior se mostr que el
o
o
ujo neto, y por tanto la corriente neta, deberan de ser cero cuando la sonda adquiere
el potencial otante Vf . Estas son las caractersticas b sicas sobre las que funciona la
a
sonda de Langmuir. Pues en esta se identica el potencial otante, Vf , y el potencial del
plasma, Vp .
En este trabajo, la sonda, es un alambre unidimesional a un potencial V con respecto del
anodo, insertado dentro del plasma a un potencial Vp . De esta manera, se establece una
relaci n entre la corriente I que circula en la sonda como funci n del voltaje aplicado
o
o
a la sonda ,V . Esto permite obtener una curva, Vp Ip , ver gura 2.4, conocida como
curva caracterstica de Langmuir. Este tipo de curvas proporciona informaci n acerca
o
de la densidad y temperatura de los iones y los electrones presentes en este. Como el
plasma es un medio conductor, la gr ca de la corriente medida contra el potencial aplia

cado proporciona informaci n acerca de la densidad y la temperatura de este.
o
Una caracterstica importante de la sonda el ctrica consiste en que realiza mediciones
e
locales. Sin embargo, su presencia fsica provoca perturbaciones del plasma en su ve
cindad, por lo que en general se requiere que sus dimensiones sean lo mas peque as
n
posible.
A medida que se aumenta el potencial de la sonda desde un valor negativo hasta uno
positivo de la misma magnitud, la corriente colectada por la sonda cambiar de acuerdo
a
con la curva idealizada correspondiente a la sonda simple. Ver gura 2.4. Cuando el potencial de la sonda V es sucientemente negativo con respecto al potencial del plasma
Vp , la sonda aceptar unicamente iones positivos. Debido a esto, la regi n donde la coa
o
rriente es constante se denomina corriente aleatoria de iones. En esta regi n, la corriente
o
de saturaci n de los iones se puede expresar como [3]:
o
ii =
eni vi
19
(2.20)
Est corriente est determinada por la por la raz n a la cual los iones llegan a la sonda
a
a
o
como resultado de su movimiento t rmico, y es proporcional a la concentraci n de iones
e
o
positivos en el plasma. La densidad de corriente electr nica, je , a un voltaje de la sonda,
o
V , es de la forma:
ene ve
e (Vp V )
je =
(2.21)
exp
4
kTe
De aqu tenemos que:
ene ve e (Vp V )
(2.22)
4
kTe
La densidad de corriente neta en la sonda para V < Vp , es decir, cuando el potencial de
sonda es muy negativo con respecto al potencial del plasma, es la suma de ji y je :
ln je = ln
j=
eni vi ene ve 4
4
exp
Vp V
kTe
(2.23)
Nuevamente estas expresiones son v lidas bajo la suposici n de que los electrones, tiea
o
nen una energa de distribuci n Maxwelliana.
o
Cuando el potencial de sonda se hace m s positivo, el n mero de electrones recogidos
a
u
excede al n mero de iones y la direcci n de la corriente se invierte. Ahora la corriente
u
o
aumenta r pidamente al aumentar el potencial aplicado, ya que un n mero mayor de
a
u
electrones son atrados por el campo acelerador que produce la sonda. Finalmente, la
raz n m xima de colecci n de electrones t rmicos se tiene en el punto de saturaci n

o
a
o
e
o
de la curva, donde la corriente es constante. Esta raz n est determinada por la deno
a
sidad electr nica en el plasma y despu s de este punto la corriente se hace constante,
o
e
a n cuando el voltaje de sonda aumente. Despu s de esta regi n constante, la corriente
u
e
o
puede aumentar, debido a que el alto potencial positivo acelera los electrones a tal grado
que pueden causar emisi n secundaria al chocar con la supercie de la sonda o de con
o
cualquier partcula neutra que pudiera estar presente [4]. La corriente neta en la sonda
para un potencial positivo con respecto del plasma V > Vp es:

j=
e (V Vp )
eni vi
exp
4
kTi
ene ve
(2.24)
Como Ti << Te , el t rmino de la corriente i nica tiende r pidamente a cero conforme

e
o
a
e
V es mas grande que Vp , llevando a la saturaci n electr nica ie = en4ve , en donde pr ctio
o
a
camente todos los electrones pueden atravesar la capa de apantallamiento de la sonda.
En el punto donde comienza la saturaci n y los electrones atraviesan el apantallamiento,
o
el valor del potencial de la sonda es cero, por lo que la diferencia de potencial V Vp
corresponde unicamente a Vp , este punto se muestra en la gura 2.4.
Oscilaciones en la descarga de resplandor

Aunque los electrones y los iones se encuentran en conjunto en equilibrio, este es
solo el resultado promedio de muchas interacciones entre estos. Si el plasma o una peque a regi n del plasma es perturbado por alguna raz n, entonces act an fuerzas de
n
o
o
u
restauraci n hasta restablecer la neutralidad. Debido a la gran diferencia de masas entre
o
iones y electrones, ser n los electrones quienes respondan primero a las fuerzas de resa
tauraci n. Estas son proporcionales al desplazamiento perturbador. Este desplazamiento
o
20
inicial induce oscilaciones de los electrones en el plasma. Se describe en las siguientes

subsecciones este proceso, con m s detalle.
a
Oscilaciones electr nicas

o
Para un espacio cargado con electrones con densidad n, la ecuaci n de Poisson unio
dimensional es:
dE
ne
=
(2.25)
dx
0
Debido a lo anterior el campo, E, est dado por:
a
E=
nex
0
(2.26)
La acci n de la fuerza restauradora en el electr n est dada por:

o
o
a
me
ne2
dx2
x
= eE =
dt2
0
(2.27)
La ecuaci n 2.27 corresponde a la de un oscilador arm nico, con frecuencia angular

o
o
dada por:
e =
ne2
me 0
1/2
(2.28)
La frecuencia referida en la ecuaci n 2.28 es conocida como la frecuencia del plasma.

o
1
De esta manera, se puede decir que el tiempo e requerido para que un electr n se
o
desplaze D , est dado por:
a
D e =
0 kTe
ne2
1/2
mne2
me 0
1/2
ve
(2.29)
Esto signica que, mientras el plasma sea perturbado por ondas electromagn ticas con
e
frecuencia angular < e , los electrones pueden responder r pidamente hasta mantener
a
la neutralidad. Alternativamente la relaci n D e ve indica que los electrones pueden
o
moverse una distancia alrededor de D en un tiempo 1/e para mantener la neutralidad

del plasma bajo alguna perturbaci n.
o
Oscilaciones del i n
o
As como los electrones pueden oscilar en el plasma, los iones tambi n pueden pre
e
sentar oscilaciones. Debido a su gran masa, comparada con la de los electrones, sus
oscilaciones son mucho mas lentas que las de estos ultimos. La frecuencia de oscilaci n
o
de los iones es mucho mas compleja, pues es afectada por la oscilaci n de los electroo
nes. Sin embargo, a temperaturas muy grandes, se puede probar que la frecuencia de
2
los iones toma la forma i = (ne2 /mi 0 ) , tal como la frecuencia de oscilaci n de los
o
electrones [3].
21
Difusi n Ambipolar
o
Cuando existe un gradiente de concentraci n de partculas, el movimiento aleatorio
o
de estas parculas resulta en un ujo neto. Este fen meno es conocido como difusi n.
o
o
Las densidades de corriente de los iones y los electrones, bajo la presencia de un gradiente de difusi n, dn , en una dimesi n por simplicidad, est n dadas por:
o dx
o
a
je = eDe dne
dx
ji = eDi dni
dx
(2.30)
De y Di son los coecientes de difusi n de los electrones y de los iones respectivamente.

o
El coeciente de difusi n y la movilidad (la velocidad de deriva en unidades de campo
o
el ctrico) est n relacionados por la temperatura [3]:
e
a
kT
D
=
(2.31)
La relaci n 2.31 es conocida como la relaci n de Einstein. La movilidad de los eleco

o
trones es mucho mas grande que la de los iones, por eso los coecientes de difusi n de
o
los electrones ser n mucho mas grandes que los coecientes de difusi n de los iones.
a
o
Debido a lo anterior es de esperarse que los procesos difusivos sean m s r pidos para
a a
electrones que para iones. Contraintuitivamente esto no es as. Esto se debe a que la
movilidad mayor de electrones genera una densidad de carga espacial positiva, inicialmente. Esta densidad de carga genera a su vez un campo que frena a los electrones. A
este fen meno auto-controlado, que genera una difusi n igual para iones y electrones
o
o
se le conoce como difusi n ambipolar. A continuaci n se discute lo anterior con m s
o
o
a
detalle:
En la presencia de un campo el ctrico E y un gradiente de difusi n, las densidades de
e
o
corriente de iones y electrones pueden escribirse como sigue:
je = ene e E eDe dne
dx
ji = eni iE
(2.32)
eDi dni
dx
donde i y e son las movilidades de los iones y los electrones respectivamente. Cuando
las densidades de corriente i nica y electr nica se igualan, y las densidades de las cargas
o
o
son muy pr ximas ne ni , las proporciones de difusi n son las mismas para iones y
o
o
electrones, entonces:
dne
(2.33)
Ene (i + e ) = (Di + De )
dx
Sustituyendo el valor del campo E en las densidades de carga y considerando que ne
ni se obtiene [3]
De i + Di e dne
ji = je = e
(2.34)
i + e
dx
Por lo que el comportamiento colectivo de iones y electrones en su movimiento, induce el mismo coeciente de difusi n. Este es el fen meno de difusi n ambipolar. Es
o
o
o
importante hacer enfasis, en que el concepto de difusi n bajo esta descripci n, est sim
o
o
a
plicado. En la pr ctica, las movilidades y la difusi n dependen del campo el ctrico y
a
o
e
de las condiciones del plasma.
22
360
Ley de Paschen
340
320
(volts)
300
280
260
240
220
200
pd (cm-torr)
Figura 2.5: Ley de Paschen, los valores Vr y pd son tomados de la referencia [1]
2.1.6. Criterios de ruptura: Ley de Paschen

La transici n de un gas neutro a un gas ionizado bajo un campo el ctrico, es un
o
e
proceso complejo. Numerosos procesos de ionizaci n se llevan a cabo dentro del gas.
o
Adem s, la naturaleza del gas y otros factores como la forma de los electrodos y la
a
magnitud del campo el ctrico, condicionan la ionizaci n. Un gas, que tiene cierta dene
o
sidad de partculas (presi n), comenzar a ionizarse cuando el voltaje aplicado entre los
o
a
electrodos, sea mayor o igual al voltaje crtico, o, voltaje de rompimiento. En 1889, F.
Paschen describi este fen meno, publicando unas cuvas de la funci n, V (pd), que se
o
o
o
conoce como Ley de paschen. Las curvas de Paschen describen el voltaje de rompimiento del medio gaseoso como funci n del par metro variable pd, el producto de la presi n
o
a
o
por la distancia entre los electrodos. Tpicamente la funci n del voltaje de rompimiento
o
es una curva suave con un mnimo a un valor especco pd, como se muestra en la gu
ra 2.5. Para que el rompimiento ocurra, dos criterios deben ser satisfechos: inicialmente
debe haber alg n electr n o electrones libres que induzcan la ionizaci n al interactuar
u
o
o
con las partculas nuetras presentes entre un par de electrodos. Estos electrones pueden
producir, en las condiciones adecuadas una amplicaci n en la concentraci n de iones

o
o
y electrones presentes en el gas, debido a un efecto cascada, es decir, estos electrones
dan lugar a una progenie nueva de electrones producidos por ionizaci n por impacto
o
electr nico. Estos nuevos electrones, a su vez, pueden generar otra generaci n de eleco
o
trones, y as sucesivamente. Esta amplicaci n es regulada por la p rdida de iones y
o
e
electrones por difusi n y movimiento a la deriva ( drift ) entre el espacio de los electroo
dos.
Cuando se sobrepasa el voltaje de rompimiento, se establece una corriente autosostenida. Esta corriente uye a trav s del plasma y su magnitud est determinada unicamente
e
a
por el circuito externo. Una vez que se ha iniciado la corriente autosostenida, esta es
en principio, independiente de cualquier fuente de ionizaci n externa. Son varios los
o
23
procesos que involucran el incremento de esta corriente, los cuales se llevan a cabo en
el gas o en el c todo. En el gas los iones positivos son capaces de ionizar a otros atomos
a
por medio de colisones. Tambi n se llevan a cabo colisones de segunda especie entre
e
partculas excitadas o metaestables. Los atomos metaestables, son atomos excitados en
niveles que no pueden decaer por emisi n de luz. Debido a esto presentan tiempos de
o
decaimiento muy largos.
Debido a la alta energa cin tica de los iones, estos pueden desprender electrones del
e
c todo al impactarse contra el. A los electrones que se emiten a partir de este proceso se
a
les conoce como electrones secundarios. Finalmente, la radiaci n, tambi n puede deso
e
prender electrones del c todo por efecto fotoel ctrico. Radiaci n proveniente de estados
a
e
o
excitados o estados metaestables, incrementando as el n mero de electrones emitidos
u
por el c todo.
a
Es importante establecer cual es el mecanismo responsable de que una descarga se vuelva autosostenida. A n de aclarar lo anterior, es conveniente diferenciar los procesos que
inducen ionizaci n dentro del plasma. Estos pueden ser clasicados en dos categoras:
o
Procesos en el gas en el que la ionizaci n por colisi n es efectiva, es llamado proo

o
ceso , y tambi n es llamado segundo coeciente de ionizaci n de Townsend.
e
o
Est denido como el n mero de electrones que un i n produce por colisi n con
a
u
o
o
atomos del gas por unidad de longitud en direcci n del campo.
o
Los procesos de c todo, en los cuales, los electrones son liberados de este, debido
a
a colisiones (de primera y segunda especie) y efecto fotoel ctrico, son usualmente
e
referidos como procesos .
El proceso est basado en las colisiones entre los iones positivos y los atomos. Estos,
a
para ionizar, requieren del doble de energa cin tica que la utilizada por los electrones,
e
adem s, la probabilidad de ceder parte de su energa cin tica en una sola colisi n es muy
a
e
o
peque a. Si este mecanismo fuera el responsable del voltaje de rompimiento, el maten
rial de la supercie del c todo, tendra que tener una funci n de trabajo insignicante
a
o
que liberara muy f cilmente electrones, pero en general cualquier funci n de trabajo es
a
o
mayor a 3eV . Por otro lado, la corriente se hace autosostenida, en intervalos de tiempo
muy cortos del orden de 108 segundos. Debido a que este tiempo es muy corto, los
iones pr cticamente no se mueven, y pueden ser considerados estacionarios. De ah se

a
inere que el proceso de autosostenimiento de la descarga no depende inicialmente de

los iones [13].Por todas la razones anteriores el proceso o mecanismo no puede ser
responsable del voltaje de rompimiento.
Considerando un campo el ctrico uniforme entre dos electrodos planos paralelos, y un
e
electr n que inicialmente se encuentra en el c todo, este, en su camino hacia el anodo
o
a
colisiona con otras partculas ioniz ndolas, con lo que forma una avalancha de electro
a
nes. El n mero de electrones de la avalancha est dado por la siguiente relaci n:
u
a
o
n = exp (x)
(2.35)
Los electrones son atrados por el anodo, y los iones positivos se mueven lentamente
hacia el c todo. Cuando alcanzan el c todo, los iones tendr n cierta probabilidad de lia
a
a
berar un electr n para su neutralizaci n. Esta probabilidad se designa por . El electr n
o
o
o
24
secundario emitido formar una avalancha de electrones, y otra vez, los electrones ser n
a
a
colectados por el anodo, y los iones se mover n hacia el c todo. Con este proceso toma
a
a
lugar un incremento en la multiplicaci n de electrones hasta que la corriente es limitada

o
por el circuito exterior por medio de una resistencia, denominada resistencia de balastra. La expresi n para la corriente en la descarga, debido a las colisiones de electrones
o
e impacto de iones en el c todo, est dada por la ecuaci n 2.36, en donde i corresponde
a
a
o
a la corriente, i0 es la corriente generada por la fuente de ionizaci n externa, es el
o
coeciente primario de ionizaci n de Townsend, d la distancia entre los electrodos y i
o
es un de los coecientes secundarios de ionizaci n de Towsend que dan lugar debido a
o
la acci n en el c todo.
o
a
i
expd
=
(2.36)
i0
1 i (expd 1)
La condici n para la transici n a descarga autosostenida, ocurre cuando el denominador
o
o
se hace cero (ecuaci n 2.36), es decir cuando la corriente crece de manera exponencial.
o
i expd 1 = 1
(2.37)
Reescribiendo los t rminos se obtiene una funci n para la distancia, ecuaci n 2.38.
e
o
o
d=
1
1
ln 1 +
(2.38)
Substituyendo el valor del primer coeciente de Towsend = Ap expBp/E , donde A

y B son constantes que dependen del gas y los electrodos, adem s del valor del campo
a
Vr
(suponiendo que es uniforme) para dos placas paralelas E = d , con Vr el voltaje de
rompimiento, se obtiene una expresi n para el voltaje de rompimiento en funci n de pd,
o
o
ecuaci n 2.39.
o
Bpd
Vr =
ln
(2.39)
Apd
1
ln(1+
Que puede ser reescrita de la siguiente manera:

Vr =
Con P 1 = ln
A
1
ln(1+ )
Bpd
ln (pd) + P 1
(2.40)
. Estas expresiones consideran que el coeciente de ioniza-
ci n secundaria,, es constante. Sin embargo, generalmente , es funci n del par metro

o
o
a
E/N o E/P , (E/p).
2.1.7. Procesos de ionizaci n en plasmas de resplandor

o
En la descarga de resplandor ocurren numerosos procesos fundamentales. En esta
secci n se presentan los que tienen mayor relevancia en la descripci n de una descarga.
o
o
Los electrones acelerados por el campo el ctrico, presentan una distribuci n de energa,
e
o
que puede ser caracterizada por una temperatura electr nica media. Las colisiones eno
tre electrones con tales energas ocasionan que los atomos presentes en la descarga se
25
ionicen o exciten. Las secciones transversales de estos procesos, , son del orden de
1014 1016 cm2 . Estas secciones ecaces dependen del tipo de transici n, de la espeo
cie at mica o molecular presentes en el plasma y de la energa de los electrones, entre
o
otros factores. Los mecanismos resposables de la ionizaci n directa son:

o
1. Proceso de ionizaci n por impacto electr nico

o
o
A + e A+ + 2e
(2.41)
Este domina a bajas presiones, debido que los electrones pueden adquirir una gran
cantidad de energa entre dos diferentes colisiones. Aqu un electr n colisiona con
o
un atomo, lo que da como resultado la ionizaci n del atomo y dos electrones.
2. Proceso de ionizaci n secuencial, o ionizaci n multiple

o
o
A + e A + e , A + e A+ + 2e
(2.42)
Es particularmente importante en descargas de gas noble. En este caso el atomo
en estado base colisiona con un electr n, lo que induce al atomo a un estado

o
metaestable. El atomo A en estado metaestable colisiona con otro electr n, lo
o
que ioniza el atomo y libera un electr n.
o
En este proceso la energa cin tica es convertida en energa de excitaci n, de
o
lo cual se obtiene, una poblaci n de atomos excitados en un nivel del gas de la
o
descarga. Otro tipo de procesos involucran colisones entre atomos excitados.
3. Proceso de transferencia de excitaci n

o
Este proceso ocurre cuando un atomo excitado le transere su energa de excita
ci n a un atomo en su estado base, debido a una colisi n inel stica entre ambos.
o
o
a
Este proceso se puede esquematizar de la siguiente manera:
A + B A + B + E
(2.43)
Donde la diferencia de energa E esta relacionada con energa de traslaci n.
o
4. Ionizaci n Penning
o
A + B A + B + + e
(2.44)
En este proceso, un atomo en estado base colisiona con un atomo en estado me
taestable. Si el potencial de ionizaci n del atomo en estado base es menor que la

o
energa interna del atomo metaestable, existe la posibilidad de que el atomo no
excitado se ionice. Mientras el atomo en estado metaestable cae al estado base.
5. Colisiones de Metaestable-metaestable
A + A A+ + A + e
26
(2.45)
Como resultado de todos estos procesos arriba referidos, el gas se ioniza de manera
parcial y se forma un plasma. En un estado de equilibrio el n mero de partculas que
u
abandona un estado de energa es igual al n mero de partculas excitadas a este estado,
de manera que todos los procesos en la descarga causan tanto excitaci n como deso
excitaci n, tales como:
o
Colisiones con atomos neutros que despues de la colisi n resultan excitados (Co
o
lisiones de primera especie)
Colisiones con atomos excitados que regresan a su estado base sin emitir radiaci n
o
(colisiones de segunda especie)
Excitaci n por colisi n con electrones
o
o
Des-excitaci n de atomos excitados a trav s de colisiones con electrones
o
e
Excitaci n de atomos por absorci n de radiaci n
o
o
o
Des-excitaci n de atomos por radiaci n de emisi n espont nea o estimulada.
o
o
o
a
En particular en descargas de baja presi n de un gas noble, las colisiones con electrones
o
juegan un papel muy importante en la absorci n y emisi n de la radiaci n.
o
o
o
2.2. Conceptos generales de espectroscopa optica

En el presente trabajo, parte de la caracterizaci n de una descarga para un gas moo
noat mico (Ar), y para un gas mol cular (aire), consiste tambi n, en realizar especo
e
e
troscopa optica. El procedimiento y los resultados se muestran en los captulos 3 y 4,

respectivamente. En esta secci n se presentan los conceptos m s importantes, relacioo

a
nados con la espectroscopa optica, descrita para atomos y mol culas.

e
En la pr ctica, para tener un conocimiento m s profundo de una descarga, es necesario
a
a
considerar la estructura de los atomos que le componen. Esto se puede conseguir anali
zando el espectro de emisi n optica en distintas partes de la descarga. El an lisis que en
o
a
particular se obtiene en la presente tesis, es para la regi n de resplandor, ver gura 2.1.
o
2.2.1. Notaci n at mica

o
o
La luz de una descarga el ctrica a trav s de una celda que contiene un gas monoe
e
at mico, exhibe una serie de lneas caractersticas cuando se analiza por medio de un
o
monocromador. Estas son denominadas espectro de lneas de la especie bajo estudio.
La utilidad del modelo del atomo de hidr geno puede extenderse, por ejemplo aplicando
o
la f rmula de Rydberg a atomos multielectr nicos. Un atomo excitado puede modelarse
o
como un atomo hidrogenoide debido a que, con un electr n excitado ver solo una carga
o
a
positiva y, en ese sentido se comportar de manera semejante a un atomo de hidr geno.
a
o
Tienen una carga nuclear Ze , y un solo un electr n que gira alrededor del n cleo.
o
u
27
Con correcciones para el movimiento nuclear la ecuaci n para la energa cuantizada en

o
nveles es:
e4
1
En =
(2.46)
2 2 h2 n2
32
Aplicando la expresi n 2.46 para una transici n entre un estado inicial de energa Ei y
o
o
estado nal Ef (donde Ei > Ef ) se obtiene la longitud de onda del fot n emitido:
o
1
e4
=
64 3h3 2 c
0
1
1
2
2
nf
ni
(2.47)
Donde es la masa reducida del sistema n cleo-electr n y n el n mero de cuantizaci n.

u
o
u
o
La diferencia entre los niveles nl de un atomo multielectr nico con los niveles En del
o
atomo de hidrogeno es concecuencia de la diferente conguraci n electr nica de estos
o
o
atomos. La existencia de los electrones internos adem s de los externos inuyen en el
a
espectro de emisi n. La existencia de la coraza (core) o electrones internos es lo que
o
hace que la energa de los niveles s, p, d, f..., no tengan el mismo valor y as se esta
blece un orden diferente en los t rminos. En este caso para expresar matem ticamente
e
a
estas series, es necesario utilizar formulas ligeramente modicadas. Considerando, en
particular, el apantallamiento debido a los electrones de la coraza, y la penetraci n del
o
electron excitado en la coraza at mica se tiene que los niveles de energa pueden expreo
sarse como:
2
2
e4
Zc
Zc
e4
=
(2.48)
Enl =
32 2 2 h2 (n )
32 2 2 h2 (n )
Donde Zc es la carga de la coraza, n es el n mero cu ntico efectivo, que se dene

u
a
como el n mero cu ntico real menos el defecto cu ntico . Este defecto cu ntico vara
u
a
a
a
con el n mero cu ntico L y est relacionado con la penetraci n de la funci n de onda

u
a
a
o
o
del electr n excitado. El defecto cu ntico de un electr n con momento angular L = 0
o
a
o
es mayor que el defecto cu ntico de electrones con L > 0.
a
La intensidad de una lnea de emisi n atomica est directamente relacionada con la den
o
a
sidad de los atomos radiando, con el denominado oscilator strength, las reglas de transi
ci n permitidas y la densidad de los atomos presentes. As, nalmente la concentraci n
o
o
de un elemento determinado en la muestra analizada, da informaci n de la poblaci n de
o
o
nveles energ ticos indirectamente de los par metros anteriormente mencionados.
e
a
Conguraci n electr nica

o
o
Los eigenvalores de la energa usando la aproximaci n de campo central est descri
o
a
ta por el conjunto de n meros cu nticos n1 l1 , n2 l2 , ...nN lN . Este conjunto de n meros
u
a
u
constituye la conguraci n electr nica de un atomo dado. La notaci n espectrosc pica
o
o
o
o
usa la notaci n l : s, p, d, f, g, h, etc. para l = 0, 1, 2, 3, 4, 5, etc. El n mero de electroo
u
nes en el mismo estado nl se designa por un exponente. Por ejemplo, una conguraci n
o
de tres electrones que tienen n y l igual a (1, 0) (1, 0) (2, 1) seg n la notaci n se escribe
u
o
1s2 2p. Los electrones que tienen la misma n se dice que est n en la misma capa y son
a
etiquetados con K, L, M, N, ... para los valores de n = 1, 2, 3, 4, ..., mientras los que
tienen la misma n y la misma l forman una subcapa.
De acuerdo al principio de exclusi n de Pauli dos electrones no pueden estar en el miso
mo estado, con exactamente el mismo conjunto de n meros cu nticos n, l, ml y ms .
u
a
28
l Notaci n 2 (2l + 1)
o
0
s
2
1
p
6
2
d
10
3
f
14
Cuadro 2.1: N mero de electrones por capa
u
Como ml puede tener 2l + 1 valores y ms = 1/2, hay un m ximo de 2 (2l + 1) estaa
dos posibles para dada una combinaci n de n y l. El m ximo n mero de electrones para
o
a
u
diferentes l se muestra en el cuadro 2.1.
Por ejemplo, la conguraci n electr nica del arg n, de acuerdo a lo anteriormente
o
o
o
mencionado es la siguiente: 1s2 2s2 2p6 3s2 3p6 , la cual se puede escribir tambi n coe
2
6
mo KL3s 3p . Esta conguraci n electr nica puede dar lugar a diferentes estados de
o
o
energa. En el an lisis espectrosc pico de la descarga, se identicaran las longitudes
a
o
de onda de las transiciones que se llevan a cabo, debido a los diferentes procesos de
ionizaci n e interacci n entre las partculas.
o
o
2.2.2. Notaci n molecular

o
En el captulo de Resultados, se presenta el espectro de emisi n de una descarga de
o
aire. El aire es una mezcla de gases, principalmente mol culares, de nitr geno y oxgeno
e
o
en su mayor constituci n. En esta secci n presentamos, de manera breve, algunos aso

o
pectos acerca de la notaci n molecular en espectroscopa, que ser n empleados en la
o
a
secci n 4.3.
o
Debido a que las mol culas diat micas tienen una direcci n interna denida, que coe
o
o
rresponde el eje z por convenci n, y a que la direcci n de la precesi n de movimiento
o
o
o
molecular no afecta la energa de la mol cula; se pueden construir orbitales moleculares
utilizando el n mero cu ntico ml . Este n mero se dene como: =| ml |. El signo

u
a
u
de ml corresponde a la direcci n de la procesi n, y por razones de simetra, esta no
o
o

hace diferencia alguna en la mol cula diat mica. Es por eso que estados con > 0 son
e
o
doblemente degenerados. Los estados = 0 no son degenerados cuando se toma en
cuenta la paridad de la funci n de onda, la cual es indicada con los subndices g y u
o
para la funci n de onda par e impar respectivamente, a lo largo del eje molecular.
o
Por analoga con las designaciones at micas, las letras que son usadas para los di
o
ferentes valores de lamdba son: : , , , , ..., para = 0, 1, 2, 3, .... respectivamente. Por ejemplo, un orbital at mico 2p puede dar lugar a seis orbitales mol culares
o
e
g 2p, u 2p, g 2p y u 2p, donde el orbital tiene doble degeneraci n.

o
En una mol cula, los n meros cu nticos de los orbitales mol culares son sumados pae
u
a
e
ra formar un n mero cu ntico resultante . Estados con = 0, 1, 2, ... son designados
u
a
por , , , .... respectivamente. Los espines individuales forman una resultante S tal
como en los atomos, pero para una molecula que tiene movimiento rotacional, esta es la
componente axial de S, designada por , que es acoplada a , formando una resultante

=| + |. toma 2S + 1 diferentes valores. Un estado con S = 0 tiene unicamente
un valor de ( = 0) y de aqu un unico valor de ; tales estados se denominan singu
letes y se escriben como 1 ,1 , ..., para = 0, 1, .... Estados con S = 1 son tripletes;
para = 1 y = 1, 0, +1 hay tres valores de (0, 1, 2), y los estados se escriben
29
como 3 0 ,3 1 y 3 2 .
La densidad electr nica en una mol cula homonuclear (n cleo con la misma carga), es
o
e
u
decir, compuesta por atomos de la misma especie, es siempre sim trica con respecto al
e
punto medio entre los dos n cleoides a lo largo del eje molecular. La funci n de onda
u
o
de esta mol cula, puede ser sim trica (gerade, en alem n) o antisim trica (ungerade,
e
e
a
e
en alem n). As, la simetra es denotada con los subndices g o u. Adem s de lo antea
a
rior, es necesario, para describir la funci n de onda de las mol culas, tomar en cuenta
o
e
la simetra con respecto a la reexi n con respecto a cualquier plano a traves de ambos
o
atomos. La densidad electr nica | |2 es necesariamente sim trica con respecto a tal
o
e
plano, en mol culas heteronucleares asi como en homonucleares, pero puede ser
e
o +. Como los estados son no degenerados, unicamente una de estas opciones es
posible para cualquier estado, y ellas son distinguidas con etiquetas + . Estados con
= 0 son doblemente degeneradas. Tomando combinaciones lineales de bases adecuadas para un estado , es posible construir estados + y , aunque tienen la misma
energa en un campo el ctrico, hasta que la mol cula comienza a rotar. El acoplamiento
e
e
entre entre el momento angular orbital y rotacional rompen la degeneraci n de los niveo
les energ ticos, con una peque a divisi n conocida como desdoblamiento .
e
n
o
En el estado base de muchas mol culas homonucleares, los electrones se aparean de
e
modo que ambos hacen = S = 0, dando estados 1 . En general tales mol culas no
e
tienen momento dipolar magn tico permanente en su estados base. Aunque puede haber
e
excepciones.
Otro importante aspecto de la notaci n para los estados electr nicos de las mol culas
o
o
e
diat micas es que X es usado para designar el estado base. Mientras A, B, C, ... son
o
usados para estados excitados de la misma multiplicidad. Estados con multiplicidad diferente al del estado base son designados con a, b, c, ....
2.2.3. Reglas de selecci n de transiciones dipolares

o
Las transiciones radiativas entre estados estacionarios pueden ser tratadas como interacciones entre el atomo y un campo electromagn tico. Haciendo una serie de consi
e
deraciones con respecto al potencial del campo electromagn tico y al Hamiltoniano de
e
interacci n, se tiene que la probabilidad de transici n de un estado inicial i a un estado
o
o
nal f , est dada por [14],
a
| cf (t) |2 =
(f i )
e
e p exp ik r | i 2 t
2 2 f |
m
0 h f i
(2.49)
Donde p es el operador de momento lineal, e es un vector unitario y dene la direcci n

o
del vector de campo el ctrico, es decir, la direcci n de polarizaci n de la radiaci n,
e
o
o
o
(f i ) es la densidad de energa por unidad de frecuencia angular de la radiaci n del
o
campo. En este caso f i corresponde al valor m ximo de esta funci n, as como tambi n,
e
a la frecuencia radiada entre los estados i y f .
La funci n exp ik r que describe la conducta espacial del campo electromagn tico
o
e
puede ser expandida como:
exp ik r = 1 + ik r +
30
1
(ik r)2 + ...
2
(2.50)
El campo electromagn tico dependiente del tiempo est descrito por una superposici n
e
a
o
de ondas planas de todas las frecuencias. El vector k (vector de onda) que aparece en la
ecuaci n 2.49, tiene manitud 2/ y direcci n perpendicular al frente de onda. k r es
o
o
2
una cantidad peque a, porque | k |= , donde para transiciones opticas es del orden
n
de 10 1000nm, y | r | es tpicamente el radio del atomo, del orden de 0,1nm, por lo
que se puede aproximar exp ik r 1, esta es conocida como la aproximaci n dipolar

o
el ctrica, ya que considerando el vector e en direcci n del eje x se obtiene e p = px .
e
o
Usando la forma del operador, la matriz de la transici n puede ser expresada:
o
f |
e
px | i
m
2
= f i f | ex | i
(2.51)
El operador ex que describe la perturbaci n en la matriz de elementos, es el producto

o
de la carga el ctrica y la posici n del electr n en la direcci n x, esta es la forma cl sica
e
o
o
o
a
de un dipolo el ctrico.
e
2
| cf (t) | es la probabilidad de encontrar el atomo en el estado f despu s de un tiempo t.
e
La probabilidad de trancisi n para un tiempo t es entonces cf (t) /t, evaluado aqu para
o
luz polarizada en la direcci n x. Para las conribuciones de las polarizaciones en y y z

o
las expresiones son equivalentes, y para luz no polarizada, la densidad de energa debe
ser dividida en igual cantidad para las tres direcciones espaciales. La probabilidad total
es la suma de las tres contribuciones:
Pif =| cf (t) | /t =
(f i )
Sif =| f | er | i
30 h2
(2.52)
Considerando f | er | i = e f ri dr. De que r considera valores positivos y negativos sim tricos, las contribuciones de todos los valores al evaluar la integral se cancee
lar n, exepto f i , que tambi n cambia de signo, es decir el producto de la funciones

a
e
de onda es impar. Como la paridad depende de l, que corresponde a la parte angular de
las funciones de onda pertenecientes a los estados de transici n, se puede mostrar que
o
las reglas de selecci n son [14]:
o
l = 1
ml = 0, 1
J = 0, 1
(2.53)
La regla de selecci n para J corresponde a J = 0, 1, y J = 0 no est permitido.

o
a
2.2.4. Estados metaestables y transiciones no dipolares

Una transici n entre dos niveles que no son permitidos por las reglas de selecci n de
o
o
la radiaci n del dipolo el ctrico se dice que son prohibidas dipolarmente. Y las lneas
o
e
espectrales que corresponden a estas transiciones son lneas prohibidas. Si las transicio
nes desde un nivel superior a alg n nivel inferior son prohibidas, entonces se dice que
u
el nivel es metaestable. Un atomo en un nivel metaestable puede hacer una transici n a
o
un nivel mas bajo unicamente por transferencia de energa excitaci n a otra partcula a
trav s de una colisi n, o bien, por decaimientos a contribuciones multipolares de orden

e
o
superior, que son tpicamente mucho menos intensas que las dipolares. A pesar de ser
poco probables, los niveles metaestables pueden decaer y dar lugar a lneas espectrales
31
tenues.
Si se retoma el segundo t rmino de la expansi n exp k r, se obtienen dos nuevos opee
o
radores, uno proporcional a el momento dipolar magn tico at mico y otro al momento
e
o
cuadrupolar el ctrico. Las correpondientes lineas espectrales son varios ordenes de mage
nitud m s peque os que las lneas espectrales del dipolo el ctrico [14]. Por esta raz n,
a
n
o
las transiciones del dipolo magn tico y el cuadrupolo el ctrico son importantes para las
e
e
lneas prohibidas dipolarmente, las transiciones multipolares obedecen diferentes reglas
de selecci n que las dipolares. En particular, no hay un cambio en lo que corresponde a

o
la paridad o al n mero cu ntico l por lo que las transiciones pueden tomar lugar entre
u
a
los niveles dentro de una conguraci n. Las lineas prohibidas son observadas unicao
mente cuando la probabilidad de des-excitaci n colisional es baja, como por ejemplo en

o
plasmas astrofsicos, en la corona solar, en las nebulosas, y en algunos plasmas de baja
densidad que se llevan a cabo en la fusi n termonuclear.

o
32
Captulo 3
Dispositivo experimental
El sistema que se ha empleado en el presente trabajo para obtener y estudiar la
descarga se muestra en la gura 3.1, cada uno de los componentes se describe en las
siguientes secciones.
Para obtener un plasma de Arg n o de Aire, el sistema necesita de alto vaco, que se loo
gra mediante el acoplamiento de una bomba rotatoria y una bomba difusora. La primera
cumple la funci n de establecer un pre-vaco en el rango de 101 102 torr, adem s
o
a
es la salida del gas que la bomba difusora atrapa. La segunda establece un vaco hasta
de 107 torr. Los medidores de la presi n son un pirani y un i n gauge, el primero se

o
o
encarga de medir la zona de prevaco hecho por la bomba rotatoria, el i n gauge, se
o
encarga de medir la zona de la descarga donde se introduce el gas de prueba.
Los electrodos empleados en la descarga son planos y circulares. Se hizo uso de dos
tipos de materiales, aluminio y cobre. Estos son conectados en serie con la fuente de
voltaje y una resistencia de balastra. Esta resistencia tiene la funci n de limitar la coo
rriente, para evitar que la descarga llegue a los rangos de la descarga de arco. La fuente
de voltaje se puede variar entre 0.1 volts y 3000 volts. El aire utilizado en este experimento se compone aproximadamente de 78o/o de N2 y 22o/o de O2 .
3.1. Sistema de vaco
Las propiedades el ctricas y opticas de la descarga, est n determinadas por la natue
a
raleza del gas y por la geometra y material de los electrodos. En regiones del plasma
donde los valores del par metro de energa E/N es bajo, tal como la columna lumia
nosa, la presencia de peque as trazas de impureza puede tener grandes efectos en la

n
ionizaci n [2]. Es por eso que es necesario asegurar una alta pureza de las muestras a
o
estudiar. Esto se logra evacuando a vacos altos la c mara donde se llevar a cabo la des
a
a
carga. Posteriormente a este vaco la c mara se llena con el gas a estudiar. Se describen
a
a continuaci n las caractersticas m s importantes del sistema de vaco.
o
33
Resistencia de balastra
Pirani
Vlvulas
V
Bomba difusora
Gas
Bomba rotatoria
In gauge
Figura 3.1: Esquema experimental de la descarga
34
3.1.1. Medidores de vaco medio y Medidores de alto vaco ( Pirani
y ion-gauge )
Pirani Gauge
El Pirani Gauge es un medidor de presi n, que opera desde presiones atmosf rio
e
cas hasta decenas de mili-torr. Este instrumento funciona midiendo las variaciones de
conductividad t rmica del gas a medir. Esta conductividad t rmica depende de la pree
e
si n del gas. El sistema opera circulando una corriente por un alambre, y evaluando las
o
variaciones de resistencia que experimenta este por la presencia del gas. La resisten
cia de este alambre depende linealmente de la temperatura. En un ambiente gaseoso, el
alambre puede perder calor de tres maneras: por radiaci n, por disipaci n ohmica, y por
o
o
transferencia de calor el gas. La energa p rdida por radiaci n y por conducci n estable e
o
o
cen una p rdida constante de fondo. La magnitud y estabilidad de este fondo, determina
e
la mnima presi n usada en la medida. La tranferencia de energa por el gas es lineal
con la temperatura y la presi n. Conforme aumenta la presi n, un mayor n mero de

o
o
u
mol culas circunda alredeador del alambre, cuando la corriente uye a trav s de este,
e
e
el alambre transere energa en forma de calor a las mol culas circundantes. El efecto
e
es una variaci n de la temperatura en el alambre proporcional a la presi n. As mismo,
o
o
estas variaciones de temperautura se traducen en un voltaje neto en la terminales del

alambre, por lo que la lectura del voltaje nos da informaci n acerca de la presi n del
o
o
gas. El pirani utilizado en el experimento, puede medir desde 200 torr como m ximo a
a
0.001 torr como mnimo.
Medidor de presi n ultra-baja Bayer Alpert (Ion Gauge)

o
Este medidor permite medir presiones en el rango de 10 4T orr a 10 10T orr,
el principio de operaci n de este instrumento es el siguiente: la presi n del gas es muy
o
o
baja, en un i n gauge, los electrones provenientes de un lamento con temperatura alta
o
son acelerados a una brecha que se encuentra a un potencial mayor al de ionizaci n del
o
gas. Esto hace que los electrones pasen por adentro de una rejilla que induce un movimiento oscilatorio de los electrones alrededor de ella. Este movimiento cesa cuando
los electrones colisionan con la rejilla y son absorbidos. Sin embargo, antes de que esto ocurra, los electrones pueden ionizar a las mol culas circundantes. Como resultado
e
los iones positivos pasan a el anodo elevando la corriente, y esta es proporcional a la
presi n del gas. El n mero de iones formado, y por ende la corriente en el circuito, es
o
u
una funci n del n mero de mol culas del gas por unidad de volumen, la secci n transo
u
e
o
versal de energa de ionizaci n, el ujo de electrones que llega a la rejilla, y la longitud
o
de camino libre de los electrones. El uso de los ion gauges se extiende entre rangos de
104 1010 torr.
3.1.2. Bombas de vaco intermedio y alto
Bomba rotatoria
La bomba rotatoria consiste en un estator, que contiene un par de poleas que giran
en direcciones opuestas para atrapar y contener el gas entre las paredes del estator y
estas. La rueda y el rotor se mantienen lubricadas con aceite; pero son externas a una
35
Figura 3.2: El diagrama muestra la entrada del gas a expulsar empujado por el rotor
hacia la c mara de bombeo que libera el gas.
a
c mara de bombeo que libera el gas atrapado entre las poleas y las paredes del estator.
a
Un peque o espacio es mantenido entre cada polea y a su vez entre las paredes del
n
estator y el rotor, entre 0.05 y 0.25 mm. Como el rotor se desliza entre las paredes del
estator, el gas escapa a trav s de estos espacios, a una proporci n que depende de la
e
o
diferencia de presi n durante del bombeo entre el interior del estator y el gas que esta
o
siendo bombeado. Esta bomba alcanza un vaco de alrededor de 103 torr
Bomba Difusora
Cuando la presi n del gas es reducida a 103 torr por medio de la bomba mec nica
o
a
rotatoria, se establecen las condiciones necesarias para que la bomba difusora opere. El
principio de la bomba de vaco consiste en evaporar un aceite especial, basado en silic n,
o
10
y caracterizado por una muy baja presi n de vapor (del orden de 10 torr). Este vapor
o
es dirigido por toberas especiales, que lo direccionan en chorros supers nicos. Estos
o
chorros chocan contra una supercie enfriada por agua, y se condesan nuevamente.
En el proceso de viaje supers nico, el chorro de aceite arrastra con el a las mol culas
o
e
presentes en la c mara de vaco. Las mol culas del gas son arrastradas hacia abajo,
a
e
donde son extradas del sistema por la bomba rotatoria descrita anteriormente.
3.2. Sonda de Langmuir

Para obtener medidas de la temperatura electr nica del plasma, se utliz una sonda
o
o
de Langmuir simple. Esta consiste de un alambre de tungsteno cubierto con pyrex y
sellado con resina para vaco. El alambre que tiene contacto con el plasma es de aproxi
madamente 0,1mm radio con 0,1mm de longitud, ver gura 3.3. La sonda es colocada
en la regi n de la descarga de resplandor. Se conecta a uno de los electrodos (bajo poo
tencial), para que sea el referente del potencial, y un ampermetro en serie que mide la
36
Figura 3.3: Circuito de conexi n de la sonda con el plasma

o
Sonda
Vp
Figura 3.4: Circuito de conexi n de la sonda con el plasma

o
corriente en la sonda. La gura 3.4 muestra el esquema del circuito. Donde, V , es el
potencial aplicado a la sonda, Vp , es el potencial del plasma. Con la corriente, I, medida
en el ampermetro, y voltaje apicado a la sonda se puede obtener la curva caracterstica
I (V ). A partir de esta curva se pueden obtener tanto la temperatura electr nica, como
o
el potencial de otado y el potencial de plasma, que se describieron en la secci n 2.1.5,
o
y obtener el voltaje del plasma, Vp . De esta manera se puede usar la expresi n 2.22 para
o
calcular la temperatura electr nica.
o
Debido a que la velocidad de los electrones es mucho m s grande que la de los iones
a
positivos, la curva caracterstica I (V ) se halla dominada por la corriente electr nica.
o
Por lo que es difcil observar la corriente i nica y determinar la temperatura de los iones
o
positivos, con este tipo de sonda. La temperatura del electr n, se determina por medio de
o
la regi n de la curva correspondiente a la repulsi n de los electrones, es decir, V < Vp
o
o
y la expresi n 2.22 .
o
3.3. Espectroscopa de Emisi n
o
Una vez iniciada una descarga estable, que se encuentra en el r gimen de resplandor,
e
es posible llevar a cabo la espectroscopa optica de la descarga. Para esto, se direcciona

una bra optica a trav s de una de las ventanas de la celda de descarga. Esta venta
e
na tiene la propiedad de no absorber longitudes de onda correspondientes a la regi n
o
37
Fotomultiplicador
Fibra ptica
Monocromador
nodo
Ctodo
Descarga
E=V/d
Electrmetro
PC
A/D
Procesamiento
de la seal
Figura 3.5: Esquema experimental montado para observar la emisi n optica de la deso
carga
ultravioleta y visible. La bra optica es el medio sensible que dirige las longitudes de
emisi n de la descarga a un monocromador, el cual, a trav s de un fotomultiplicador

o
e
amplica la se al, hacia un electr metro. El monocromador est automatizado con una
n
o
a
rutina programada en labview y controlada por el puerto paralelo de una computadora. As, una tarjeta National Instruments de 12 bits colecta la salida an logica de un
a
electr metro. El electr metro tiene la funci n de detectar la corriente producida por el
o
o
o
fotomultiplicador. La salida anal gica del electr metro es proporcional a esta corriente.
o
o
Se pueden identicar en la salida del programa de computadora las longitudes de onda
que emite la descarga. Ver gura 3.5.
38
Figura 3.6: Esquema de un monocromador
3.4. Monocromador optico

Un monocromador dispersa la luz en las longitudes de onda que la componen y
selecciona una banda estrecha de longitudes de onda, que es la que pasa por la muestra
o llega al detector. El monocromador que se utiliza en el presente trabajo es del tipo
Czerny-Turner, consta de rendijas de entrada y salida, espejos, una red para dispersar la
luz y un fotomultiplicador que permite transformar la se al en corriente.
n
La radiaci n policrom tica que entra por la rendija se colima (se convierte en un haz
o
a
de rayos paralelos), mediante un espejo c ncavo. Estos rayos inciden en una red de
o
difracci n, donde se difractan, con angulos distintos, las diferentes longitudes de onda.
o
As, dispersada en distintas frecuencias los rayos inciden en un segundo espejo c ncavo,
o
que enfoca cada longitud de onda en un punto distinto del plano focal. De acuerdo con
la orientaci n de la red de reexi n, s lo una banda estrecha de longitudes de onda
o
o
o
queda enfocada en la rendija de salida del monocromador. Girando la red, se logra
que salgan por la rendija de salida diferentes longitudes de onda. Ver gura 3.6. Un
fotomultiplicador localizado despu s de la rejilla de salida colecta la luz con muy alta
e
sensibilidad.
Cuando se reeja la luz en la red, cada surco se comporta como una fuente de radiaci n. Si los rayos de luz contiguos est n en fase, se refuerzan mutuamente. Cuando
o
a
no lo est n, se contrarrestan uno a otro parcial o completamente. Se produce interfea
rencia totalmente constructiva s lo si la diferencia entre las longitudes de los dos cao
minos es igual a la longitud de onda de la luz. Es decir, si el orden de difracci n es
o
n = 1, 2, 3, 4, .... El m ximo de interferencia, que se presenta para n = 1,
a
se llama difracci n de primer orden. Cuando n = 2, se tiene difracci n de segundo
o
o
orden, etc. El monocromador est calibrado con una l mpara de mercurio. Las lineas
a
a
espectrales de este elemento se obtuvieron de la base de datos de National Institute
of Standars and Technology NIST [16]. Se correlacion la intesidad que represeta las
o
transiciones del Hg (en n mero de pasos de desplazamiento de la rendija del monocrou
mador, por medio de un motor), con las lneas identicadas en el NIST en longitudes de
onda.
39
40
Captulo 4
Resultados
En este captulo se presentan los resultados experimentales obtenidos con el arre
glo experimental anteriormente descrito. En primer lugar se eval a la ley de Paschen y
u
los coecientes de ionizaci n secundaria, . Se caracteriza la curva I (V ) identicando
o
la regi n de resplandor para una descarga de Ar, y, los par metros que la hacen f cilo
a
a
mente localizable en la descarga. Se presenta la emisi n optica para una descarga en
o
Arg n y para una descarga en Aire, as como los posibles niveles de transici n. Y por
o
o
ultimo, se presentan las curvas caractersticas, I (Vsonda ), de Langmuir para ambas des
cargas, arg n y aire, presentando tambi n; el c lculo de la temperatura y de la densidad

o
e
a
electr nica obtenidas.
o
4.1. Caracterizaci n de la curva I (V )

o
En esta peque a secci n, se identica la regi n de resplandor en la descarga de Ar,
n
o
o
para posteriormente obtener mediciones de la ley de Pasche, obtener la emisi n optica,
o
temperatura y densidad electr nica, sobre dicha regi n de resplandor.
o
o
La resistencia de balastra es variable y puede ser sintonizada a diferentes valores. Con
lo que al variar el voltaje de la fuente entre los electrodos, y la resistencia, se obtena un
valor de I y V para el plasma. El voltaje corresponde al de la fuente, la corriente I, se

mide con un ampermetro puesto en paralelo con la resistencia de balastra. En la gura
4.1, muestra la curva I (V ) obtenida.

En la curva 4.1, podemos observar las distintas regiones obtenidas de I (V ), en el
rango de 0,002 0,007A, la descarga de Townsend. Seguida en el rango de 0,007
0,012A, la descarga correspondiente a la de resplandor. Finalmente, observamos un aumento en el voltaje de varias decenas de volts, lo cual es una caracterstica de la descarga
de arco. La regi n de inter s en la presente tesis, corresponde a la regi n de resplandor.

o
e
o
4.2. Curvas de Paschen en arg n y aire

o
Como se mencion en la secci n 2.1.6, la ruptura de un gas ocurre a un potencial cao
o
racterstico, denominado potencial de ruptura. La curva de este potencial como funci n
o
del par metro pd, dondel p es la presi n y d la separaci n de los electrodos, se conoce
a
o
o
como curva de Paschen. En esta secci n se presentan las curvas de Paschen alrededor
o
de 112cmtorr para arg n y aire. Para el arg n se utilizan dos tipos de electrodos, un
o
o
41
VDischarge
Townsend
Subnormal
310
Voltaje de descarga
300
290
280
Descarga
de
270
resplandor
pd=1.52 Torr-Cm
normal
260
0.0002
0.0004
0.0006
0.0008
0.0010
0.0012
0.0014
Corriente (A)
Figura 4.1: I (V ), donde se identica la regi n de resplandor (glow)

o
par de cobre y un par de aluminio. En particular se eval a la ley de Paschen para Arg n y
u
o
aire, as como tambi n se calculan los coecientes Towsend de ionizaci n secundaria .
e
o
Para los diferentes gases se lleva a cabo el mismo procedimiento. Previamente al inicio
de la descarga, el sistema de vaco se evac a a presiones de alrededor de 108T orr,
u
medidas con el ion gauge. En la celda donde se lleva a cabo la descarga se hace un vaco
8
del orden de 10 torr. El sistema est dise ado para introducir el gas bajo estudio de
a
n
manera muy controlada a trav s de una serie de v lvulas. Estas v lvulas permiten introe
a
a
ducir de manera controlada el gas muestra con precisi n de mil sima de Torr. As que,
o
e
se logr variar la presi n dentro de la celda al introducir diferentes cantidades de Arg n

o
o
o
y aire. Se usan un valor de pd ( presi n-distancia) variable, manteniendo la distancia ja
o
en un valor conocido.
A n de acondicionar los electrodos y limpiarlos de posibles impurezas, se establece
una descarga de alto voltaje durante al menos dos horas, antes de cada medici n. La
o
raz n de esto es que los iones, al impactar los electrodos, desprenden de estos las imo
purezas superciales presentes en ellos, limpiando de esta manera al c todo. Esto es de
a
particular importancia debido a que las propiedades de ruptura de la descarga dependen
fuertemente de la funci n de trabajo de los electrodos, la cual, a su vez, es dependiente
o
de la composici n supercial. El proceso de descarga continua, previa a las medidas
o
asegura que la supercie expuesta en nuestras medidas es el elemento del que est n hea
chos los electrodos.
Se obtiene mediciones de el voltaje de ruptura en funci n del par metro pd, para la deso
a
carga de arg n con electrodos de aluminio. La distancia entre los electrodos es de 1cm
o
42
Serie1
Serie2
Voltaje de ruptura (V)
1000
800
600
400
200
0
10
12
14
PD (Torr-cm)
Figura 4.2: Serie 1 y serie 2 de curvas V (pd), para Ar, con electrodos de Al
ja, y se vara la presi n. La serie que se nombra serie 1, abarca rangos menores de
o
pd que la serie nombrada serie 2. En la gura 4.2, se muestra este par de series superpuestas, se puede observar una tendencia similar en el comportamiento del voltaje de
ruptura en funci n del par metro pd. En esta secci n se hace un ajuste, de acuerdo a la
o
a
o
ecuaci n 2.40 de la secci 2.1.6, a las curvas de Pasche obtenidas mediante mediciones
o
o
en el laboratorio. En este caso redenimos los valores del ajuste como:
P 2 = ln
(4.1)
1
ln 1 +
Y P 1 = B.
Las curvas de Paschen obtenidas en 4.3 y 4.4 para Arg n y electrodos de aluminio,
o
son ajustadas a la ecuaci n te rica 2.40. El valor P 2 del ajuste, que determina el valor
o
o
de la constante . Se obtiene para cada una de las curvas, y sus valores son mostrados
en el cuadro superior de cada una de las curvas.
En la gr ca 4.5, obtenemos medidas para la curva de Paschen en una descarga de
a
arg n y con electrodos de cobre.
o
En la gr ca 4.5, correspondiente a Ar y electrodos de cobre, se obtiene un valor de
a
P 2 mostrado en el cuadro superior en la gr ca, mayor al obtenido en las gr cas 4.3 y
a
a
4.4, aunque el rango de valores pd y de voltajes son casi los mismos entre las gr cas.
a
La curva, V pd, 4.5, se compara con la curva obtenida en la referencia [1], y adem s
a
43
Argn
600
Ajuste: P1*pd/ln(pd)+P2
P1
163.38048
4.45857
P2
550
1.47865
0.0371
500
400
V (volts)
450
350
300
250
10
12
pd (cm-torr)
Figura 4.3: Datos experimentales y ajuste obtenido para Ar con electrodos de aluminio,
d = 1cm, serie 1
Argn
Ajuste: P1*x/ln(x)+P2
600
P1
161.73698
4.75062
P2
1.28417
0.03256
550
(volts)
500
450
400
350
300
250
0
10
12
pd (cm-torr)
Figura 4.4: Datos experimentales y ajuste obtenido para Ar con electrodos de aluminio,
d = 1cm, serie 2
44
Medidas laboratorio
700
P1
190.06 5.26804
P2
1.55
0.07692
600
(volts)
500
400
300
200
10
12
14
pd (cm-torr)
Figura 4.5: Datos experimentales y ajuste obtenido para Ar con electrodos de cobre,
d = 1cm
con otras referencias que la referencia [1] cita. Estas curvas de la literatura, son obtenidas para una descarga de Ar y electrodos de Cu. En la gr ca 4.6, se muestra la
a
comparaci n.
o
Se observa en la gr ca 4.6 que los voltajes de ruptura obtenidos en el presente traa
bajo son mayores a los de las referencias [1]. La combinaci n de varios mecanismos
o
intervienen en la obtenci n del voltaje de ruptura, tales como la distancia entre los eleco
trodos, el valor del campo el ctrico, la presi n. En la gr ca 4.6, se observa que es una
e
o
a
regi n de solo algunos puntos, en los que los valores de pd, y Vruptura coinciden con
o
la referencia [1]. Aunque la distancia entre los electrodos es la misma, 1cm, para la
referencia [1] y para esta tesis. Otro factor que interviene en la obtenci n del voltaje de
o
ruptura es el valor de la resistencia de balastra, que regula la corriente en la descarga. En
la gr ca 4.6, tambi n se muestran las curvas con las que la referencia [1], compara sus
a
e
resultados, y se puede observar que estas curvas tampoco coinciden totalmente con la
referencia [1]. Salvo la regi n del voltaje mnimo de ruptura, en donde las cuatro curvas
o
se aproximan. En las gr cas 4.7 y 4.8 se muestran las curvas de Paschen obtenidas
a
para la descarga en aire, electrodos de aluminio, y el ajuste de acuerdo con la ecuaci n
o
2.40, de la secci n 2.1.6. La curva 4.7, corresponde una distancia entre los electrodos de
o
d = 1cm. Y la curva 4.8, tiene un valor de distancia entre los electrodos de d = 0,5cm.
Para calcular por medio de P 2, se utilizan los valores de la constante A para
arg n, A = 14cm1 torr 1 , y para aire, A = 15cm1 torr 1 , reportados en [13] y [15]
o
respectivamente. En el cuadro 4.1 se muestran los resultados y el valor de la constante
B obtenido en el ajuste, P 1 = B.
Para cada tipo de descarga se logra observar que, , es proporcional a, B, es decir,
es proporcional a el par metro, E/p. El coeciente B = 435,42, corresponde a la curva
a
de paschen para aire con distancia d = 0,5cm, es mayor al coeciente, B = 394,28,
obtenido para el valor d = 1cm. De igual manera para el segundo coeciente de Town45
Medidas del laboratorio

Ref [1]
Ref [1]
700
Ref [1]
600
(volts)
500
400
300
200
10
12
14
pd (cm-torr)
Figura 4.6: Comparaci n de los resultados obtenidos con la referencia [1]

o
B(V /cm torr) Gas Electrodos
163,38 4,45
Ar
Al
0,043 0,003
161,73 4,75
Ar
Al
0,021 0,003
190,06 5,26
Ar
Cu
0,054 0,003
394,28 5,99
aire
Al
0,024 0,003
435,42 5,42
aire
Al
0,070 0,003
Cuadro 4.1: Valores de y B para las descargas de Ar y Aire
46
Aire
1400
P1
394.28007
P2
1.386
5.99539
0.04176
1200
800
(volts)
1000
600
400
10
pd(cm-torr)
Figura 4.7: Ley de Paschen en aire, d = 1cm
47
12
Aire
1100
P1
435.42133
5.42493
P2
1000
1.70572
0.02668
900
700
(volts)
800
600
500
400
300
0
pd (cm-torr)
Figura 4.8: Ley de Paschen en aire, d = 0,5cm
48
send por procesos en el c todo, . Esto signica que los electrones que son liberados en
a
el c todo (electrones secundarios), y que recorren un camino hacia el anodo, ser n afeca
a
tados por los fen menos de difusi n y de arrastre, conforme es mayor la distancia que
o
o
recorren. A distancias m s cortas, los electrones que se dirigen hacia el anodo, tienen
a
m s probabilidad de ionizar a los atomos, provocando las avalanchas de electrones que

a
llevan a la ionizaci n y a la descarga autosostenida.

o
Si se comparan los valores de B, obtenidos para Ar y para el aire, se observa que el valor de este coeciente es mayor para el aire. Tambi n de las distintas curvas de Paschen
e
obtenidas, para Ar y aire, observamos que los valores del voltaje de ruptura son mayores
en la descarga de aire. Lo que signica que para ionizar el aire, que es un gas molecular,
se requiere de un valor del par metro E/N mayor al requerido para ionizar el arg n. Un
a
o
electr n moviendose entre mol culas, requiere una cantidad adecuada de energa y de
o
e
colisiones sufridas, para ionizar una mol cula. Ocurre lo mismo para un electr n moe
o
viendose entre atomos. La diferencia es que la energa que este le cede a la mol cula a
e
trav s de una colisi n, es mayor que la que le cede al atomo, debido a la dierencia entre
e
o
sus masas. Debido a esto, para poder ionizar una mol cula, el electr n requiere adquie
o
rir una energa, primero por la aceleraci n que le produce el campo el ctrico, y luego,
o
e
que a pesar de las colisiones sufridas en su trayecto, alcance a ionizar la mol cula. Es
e
por eso que el valor del coeciente B, que tiene unidades del par metro, E/P , o de su
a
equivalente, E/N es mayor para la descarga de aire que para la descarga de arg n.
o
Es importante se alar que, los valores obtenidos del coeciente de ionizaci n secundan
o
ria de Towsend por procesos en el c todo, , que se muestra en la tabla 4.1, para las
a
curvas de Paschen, se suponen de la forma: (E/P ) = cte, sin embargo, en general
(E/P ), es una funci n no lineal.
o
4.3. Espectrocopa optica en descargas de Arg n y aire

o
En la gura 4.9 se muestra el espectro de la descarga de Ar, se indica con lneas rojas
las asociaciones con la base de datos de National Institute of Standards and Technology,
NIST, los posibles picos del espectro. En las guras 4.10 y 4.11, se muestran en dos
regiones el espectro y el traslape de comparaci n con la serie de datos reportados por el
o
NIST. Se puede observar que muchas de las longitudes de onda obtenidas por las mediciones en el laboratorio, concuerdan o se encuentran muy cercanas a las del NIST. En la
gura 4.12 se muestra la emisi n optica de la descarga en aire dividia en tres regiones,
o
las cuales se muestran por separado en las guras 4.14, 4.15 y 4.16.
En los cuadros 4.2 y 4.3, se muestran las longitudes de onda obtenidas para cada
uno de los espectros y las comparaciones con la literatura. Para el Arg n se indica la
o
comparaci n con la longitud de onda m s aproximada seg n los datos del NIST [16],
o
a
u
la posible transici n y el tipo de i n correspondiente a la emisi n. Para el caso del aire
o
o
o
se muestra una comparaci n con el espectro mostrado en la gura 4.13 extrado de la
o
referencia [6]. La posible transici n electr nica molecular no se indica para todas las
o
o
longitudes de onda del espectro, porque en las comparaciones que se hicieron con las
trancisiones que se reportan en la literatura para N2 , O2 y NO, solo se encontraron
algunas que correspoden a N2 .
La gura 4.10 es una regi n del espectro del Arg n que muestra cuatro de las seis
o
o
49
1.60
Intensidad
1.52
1.44
C
D
1.36
1.28
250
300
350
400
450
500
(nm)
Figura 4.9: Espectro de la descarga en Ar, con lneas de asignaci n del NIST
o
transiciones, A, B, C y D. En la transici n designada como B se muestra un pico de
o
gran intensidad y una serie de lneas que oscilan alrededor de este. Es una regi n en
o
la cual se traslapan varias transiciones alrededor de 309 320nm. En el cuadro 4.2
se muestran el pico B y luego una serie de transiciones reportadas por el NIST entre 309 320nm. Se puede observar que la mayora de las transiciones corresponde
al Arg n doblemente ionizado, a excepci n de 311,007nm, que corresponde a ArIII.

o
o
Tambi n se observa que tienen la misma conguraci n electr nica, lo cual signica que
e
o
o
presentan un desdoblamiento espn- rbita, LS. Es decir, la diferencia de energa que
o
presentan, es por cambios en el momento angular total, J, de acuerdo con las reglas de
selecci n presentadas en la secci n 2.2 del captulo 2. Por otro lado, la = 311,007nm,
o
o
asignada a la transici n B es la de mayor intensidad, y corresponde a una triple ionio

zaci n del Arg n. La conguraci n electr nica corresponde a transiciones en el estado
o
o
o
o
base con desdoblamiento espn- rbita. La transici n, C, es otra transici n que corres o
o
o
ponde a una triple ionizaci n del Arg n. Aqu, a diferencia de B, la transici n es entre
o
o
o
3
3
estados excitados, 3p 3d 3p 4p. La transici n, D, corresponde a una doble ionizao
ci n del Arg n con la misma conguraci n electr nica correspondiente a las lneas que
o
o
o
o
rodean B.
En la gura 4.11 se muestra otra regi n del espectro de arg n. Se muestran las trano
o
siciones E y F . La primera corresponde al i n ArII, arg n doblemente ionizado. La
o
o
conguraci n electr nica de E diere del resto de las ionizaciones ArII, pues la transio
o
ci n se hace entre los orbitales 4p 5s, mientras en el resto de las conguraciones de
o
ArII las transiciones se hacen entre 4p 4d, en el cuadro 4.2 se indican estas congu50
1.60
1.52
Lneas NIST
Intensidad
Mediciones lab.
B
1.44
C
D
1.36
1.28
250
Intensidad
300
350
400
450
500
(nm)
1.53
1.44
C
D
A
1.35
260
280
300
320
340
360
380
(nm)
Figura 4.10: Regi n 1 del espectro de Ar, con traslape con la serie de datos del NIST
o
51
1.60
1.52
Mediciones lab.
Intensidad
Lneas NIST
1.44
C
D
1.36
1.52
1.28
250
300
350
400
450
500
Intensidad
(nm)
1.44
1.36
400
420
440
460
480
500
(nm)
Figura 4.11: Regi n 2 del espectro de Ar, con traslape con la serie de datos del NIST
o
52
region II
1.39
Regin III
Region I
Intensidad
1.38
4
1.37
12
9
1.36
11
10
1.35
260
280
300
320
340
360
380
400
420
440
(nm)
Figura 4.12: Espectro de la descarga en Aire

raciones.
En el presente trabajo incluye una descarga en aire, el cual es una mezcla de mol cue
las, principalmene de N2 y O2 . En la gura 4.13 se muestra un espectro de una descarga
de aire. En este espectro se muestran las longitudes de onda emitidas de una descarga
de aire [6].
El espectro obtenido de la descarga de aire se muestra en la gura 4.12. Las emisiones opticas se indican con i . La comparaci n con la gura de emisi n optica de
o
o
una descarga de aire 4.13 [6] tiene una gran concordancia, la cual se puede observar en
el cuadro 4.3, donde se muestra la longitud de onda medida, la logitud de onda de la
referencia [6] y la simbologa para algunas trancisiones correspondientes a la mol cula
e
de nitr geno.
o
En la gura 4.14 se muestra la primera regi n del espectro del aire. Se muestran las
o
cuatro primeras transiciones designadas por i , la transici n 1 = 283,36nm cae dentro
o
la banda vibracional que termina en 285,95nm de la gura 4.13, adem s es muy cercana
a
1 +
1
a la transici n u g con 282nm de la mol cula N2 . La transici n 2 = 293,22nm
o
e
o
caen dentro de la banda que termina en 300,88nm de la gura 4.13, la transici n 3 =
o
301,4nm es muy cercana a 300,88nm de la gura 4.13 y la transici n 4 = 315,6nm
o
es muy cercana a 315,9nm. En el cuadro 4.3, se muestra estas comparaciones.
En la gura 4.15 se muestra la regi n II, una de las divisiones para observar con
o
mayor claridad el espectro del aire. Se muestran cinco transiciones, las comparaciones
en el cuadro 4.2 tienen gran concordancia con las bandas vibracionales mostrados en
53
Figura 4.13: Emisi n optica de una descarga de aire [6]

o
54
region II
Regin III
Region I
1.39
Intensidad
1.38
4
1.37
1.375
Regin I
12
9
1.36
11
10
1.35
260
Intensidad
1.370
280
300
320
340
360
(nm)
1.365
1.360
2
1
1.355
280
285
290
295
300
305
310
315
320
(nm)
55
380
400
420
440
region II
Regin II
1.39
Regin III
Region I
1.38
Intensidad
1.39
4
1.37
12
9
1.36
1.38
11
10
1.35
Intensidad
260
280
300
320
340
360
(nm)
1.37
6
9
1.36
330
340
350
360
370
380
390
(nm)
56
380
400
420
440
1.365
Regin III
12
1.360
Intensidad
11
10
1.355
395
400
405
410
415
420
425
430
435
440
445
450
(nm)

la gura 4.13 de la referencia [6], adem s se encuentra la transici n 3 u 3 g de
a
o
337,1nm de la mol cula N2 . La transici n 6 = 353,6nm est dentro de la banda que
e
o
a
termina con 357,7nm. La transici n 9 = 391,45 corresponde a la transici n 2 + 2
o
o
u
+ de la mol cula nitr geno, N2 .
e
o
g
En la gura 4.16 se muestra la regi n III del espectro obtenido para la descarga de
o
aire. Las transiciones 10 = 404,9nm y 11 = 435,98nm concuerdan con las reportadas
en la gura 4.13 [6]. La transici n 11 = 427,79nm cae dentro de la banda vibracional
o
que termina en 434,4nm.
Se observa en la tabla 4.2 que la emisi n optica de la descarga de Ar, corresponde en
o
su mayor parte a transiciones de atomos con doble ionizaci n. El potencial de primera
o
ionizaci n para el Ar es de 15,8eV . Para remover electrones de capas internas se requieo
re de una energa superior a esta. Lo que signica que, en los numerosos procesos,que
se llevan a cabo en el gas o en el c todo, los electrones, y en general las partculas,

a
adquieren suciente energa del campo el ctrico y de las colisiones, para llevar a ca
e
bo tales ionizaciones. La descarga es de baja densidad, de 1,2torr, y con un valor del
campo electrico alto, a un voltaje de 280volts con 1cm de distancia entre electrodos. La
regi n de Crookes es la que presenta el mayor valor del campo el ctrico. Lo que propio
e
cia que abunden las colisiones por impacto electr nico, secci n 2.1.7, debido a que los
o
o
electrones adquieren suciente energa para ionizar a los atomos por la presencia de un
alto valor del par metro E/N . El hecho de que el valor de E/N sea grande, tambi n
a
e
da lugar a los procesos de ionizaci n secuencial, secci n 2.1.7, pues los electrones tieo
o
nen suciente energa para ceder a los atomos y colocarlos en estados metaestables, que
por medio de otra colisi n con un electr n llegan a ionizarse. Los atomos excitados y
o
o
neutros tambi n colisionan entre ellos, los procesos de transferencia de excitaci n, ioe
o
nizaci n penning y colisiones de metaestable-metaestable son ejemplo de ello, secci n
o
o
2.1.7. Estas llevan a los atomos a niveles superiores de excitaci n o a la ionizaci n. Sin
o
o
embargo, debido a que el gas tratado es de baja densidad y alto voltaje, el valor de E/N
57
Pico
A
B
B
B
B
B
B
B
B
C
D
E
F
[nm] [nm]delNIST
284.775
284.865
310.909
311.007
313.992
314.733
316.228
317.058
318.195
319.515
320.524
339.043
339.282
359.674
358.947
421.670
421.985
478.580
477.008
Ionizaci n
o
Transici n
o
2
4 3
ArII
3s 3p ( P ) 4s 3s2 3p4 (1 D) 4p
ArIII
3s2 3p4 3s2 3p4
2
4 3
ArII
3s 3p ( P ) 4p 3s2 3p4 (3 P ) 4d
ArII
3s2 3p4 (3 P ) 4p 3s2 3p4 (3 P ) 4d
ArII
3s2 3p4 (3 P ) 4p 3s2 3p4 (3 P ) 4d
ArII
3s2 3p4 (3 P ) 4p 3s2 3p4 (3 P ) 4d
ArII
3s2 3p4 (3 P ) 4p 3s2 3p4 (3 P ) 4d
ArII
3s2 3p4 (3 P ) 4p 3s2 3p4 (3 P ) 4d
ArII
3s2 3p4 (3 P ) 4p 3s2 3p4 (3 P ) 4d
ArIII
3s2 3p3 (2 D) 3d 3s2 3p3 (2 P ) 4p
ArII
3s2 3p4 (3 P ) 4p 3s2 3p4 (3 P ) 4d
ArII
3s2 3p4 (3 P ) 4p 3s2 3p4 (3 P ) 5s
ArI
3s2 3p5 2 P3/2 4p 3s2 3p5 2 P1/2 6d
Cuadro 4.2: Longitudes de onda en la descarga de Ar comparada con NIST

Pico
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
Medida [nm] Literatura [nm] referencia [6]

283.36
282-285.95
293.22
285.95-297.7
301.40
300.88
315.60
315.9
337.34
337.1
353.64
357.76
357.7
380.32
380.5
391.45
404.90
405.9
427.79
435.98
434.4
Transici n de N2
o
1 +
u 1 g
u 3 g
+ 2 +
u
g
Cuadro 4.3: Longitudes de onda en la descarga de Aire

que act a sobre los electrones es propicio para que las ionizaciones de los atomos, sean
u
principalmente por colisones con electrones. Son muchas y variadas las maneras en las
que los atomos y los iones se ionizan, siempre y cuando el factor, E/N, proporcione
la suciente energa para ello. Los gases nobles son acreedores de numerosos niveles
metaestables, as que, probablemente, en las colisiones que permiten las m ltiples ioni
u
zaciones, dem s de las colisiones electr nicas, la presencia de atomos metaestables es
a
o
fundamental.
En el cuadro 4.3, se muestra la longitud de onda de las transiciones en la descarga
de aire, y se compara con un espectro en literatura [6]. Se muestran algunas de las
transiciones de la mol cula de N2 . La descarga en aire se obtuvo con 0,9torr y 430volts
e
con una distancia entre los electrodos de 0,5cm. La densidad es baja y el campo electrico
es alto, por lo que el valor de E/N es alto, especialmente en la regi n de Crookes,
o
secci n 2.1.4 , la cual posee el mayor valor del campo el ctrico que en el resto de la
o
e
58
descarga. Los altos valores de E/N, al igual que en la descarga de Ar, propician que
por impacto electr nico, las mol culas se exciten y se ionicen, adem s de otro tipo de
o
e
a
colisiones entre las mol culas, secci n 2.1.7.
e
o
4.4. Mediciones de temperatura electr nica en el plaso

ma
En la secci n 2.1.5, se describe el comportamiento de la corriente i nica y electr nio
o
o
ca en una sonda de langmuir en funci n del potencial aplicado a esta. En tal descripci n
o
o
se considera una distribuci n Maxwelliana de energa, tanto en los electrones como
o
en los iones. Cuando la distribuci n no es del tipo Maxwelliana, la forma de la curva

o
I (Vsonda ), se aleja del modelo de la curva idealizada presentada en la secci n 2.1.5. Es
o
esta secci n se obtuvieron las curvas caractersticas I (V ) para una descarga en Arg n
o
o
y para una descarga en Aire. La corriente el ctrica en la sonda, est dominada por el
e
a
hecho de que la velocidad de los electrones es considerablemente mayor a la de los iones. Por lo que solo se puede determinar la temperatura electr nica con esta t cnica. El
o
e
sistema y la sonda son los descritos en la secci n 3.2. Tal como se muestra en la secci n
o
o
2.1.5, la intersecci n de las pendientes de saturaci n de corriente, ie , y de la corriente
o
o
electr nica, es el valor del potencial del plasma, Vp .
o
En las gr cas 4.17, 4.18, 4.19, se muestran las curvas caractersticas, para Arg n, el
a
o
valor de la densidad del gas y el valor de Vp . Para las tres curvas el voltaje de la fuente
entre los electrodos tiene el valor de: V = 330volts.
En la gura 4.17 se puede observar unicamente la regi n que corresponde a la co
o
rriente electr nica. La corriente i nica no logra notarse por la diferencia que existe entre
o
o
sus velocidades, como anteriormente se haba mencionado. La regi n de saturaci n no
o
o
alcanza a denirse totalmente, pero para obtener Vp , se considera a partir de los puntos
que muestran una inexi n hacia el nal de la curva.
o
En la gura 4.18 correspondiente a una descarga con presi n, 0,854torr, al igual que
o
la presentada en 4.17. La regi n de corriente de saturaci n electr nica, ie , no alcanza
o
o
o
a observarse, sin embargo la inexi n de la curva si se observa. Para obtener Vp , se
o
considera la tendencia que los puntos de inexi n tienen y cual es el punto de saturaci n
o
o
posible. El valor de los voltajes del plasma, Vp , obtenidos para las curvas 4.17 y 4.18
son aunque cercanos, no son iguales, y no cae el valor de uno dentro del intervalo de
incertidumbre del otro.
En la gura 4.19, se puede observar que el comportamiento de la corriente en la
sonda en funci n del voltaje aplicado, no es exactamente como la curva idealizada. Hay
o
una regi n que se comporta de acuerdo al modelo idealizado, depu s del punto de ino
e
exi n se alado con la recta horizontal de la intersecci n, se considera el valor de la
o
n
o
la corriente de saturaci n, ie . Despu s de este punto existe una regi n de creciemiento
o
e
o
de la corriente. La causa de este crecimiento se debe principalmente a emisi n secuno
daria por impacto contra la sonda o contra cualquier partcula neutra presente, debido a
que el campo creado por la sonda acelera los electrones, secci n 2.1.5. En esta regi n,
o
o
los electrones no tienen una distribuci n de energa Maxwelliana. La densidad es un
o
factor importante, por que est directamente relacionada con el n mero de colisiones.
a
u
Esta descarga, es casi dos veces m s densa que las dos anteriores que no presentaron
a
el comportamiento de emisi n secundaria. Es por eso que para el an lisis de esta curo
a
59
P=0.854+0.002 torr
V =37.04+0.5 volts
80
70
60
I(
A)
50
40
30
20
10
-10
0
10
20
30
40
50
60
70
80
Voltaje(volts)
Figura 4.17: I (V ) para Ar, presi n 0,854torr

o
60
90
100
P=0.854+0.002 torr
V =35.1+0.5 volts
160
140
120
100
I(
A)
80
60
40
20
-20
0
10
20
30
40
Voltaje(volts)
Figura 4.18: I (V ) para Ar, presi n 0,854torr

o
61
50
60
70
P=1.409+0.002 torr
600
500
300
V =23.7+0.5 volts
p
I(
A)
400
200
100
-60
-40
-20
20
40
60
80
Voltaje(volts)
Figura 4.19: I (V ) para Ar, el valor, Vp , es para la regi n que se aproxima a la curva
o
caracterstica idealizada
62
4.0
Mediciones
Y=-(0.223+0.012)X+6.152+0.134
3.8
In(I) (
A)
3.6
3.4
3.2
3.0
2.8
2.6
4
V -V
p
10
11
(volts)
Figura 4.20: Aproximaci n lineal de la regi n con crecimiento exponencial correspono

o
diente a la curva 4.17
Presi n Vp (volts)
o
ve (m/s)
1.409 23.7 0.5 1,6195x106 7,7x104
0.854 37.0 0.5 1,4034x106 3,5x104
0.854 35.1 0.5 1,5192x106 5,2x104
Cuadro 4.4: Valores de la velocidad obtenidos para una descarga de Arg n
o
va, solo se considera la regi n que tiene concordancia con la curva idealizada I (Vsonda ).
o
La parte de las guras 4.17, 4.18 y 4.19, que corresponde a un crecimiento exponencial, puede ser representada por una recta y la expresi n 2.22. De manera que gracando
o
el logaritmo natural de la corriente contra la diferencia del voltaje del plasma, Vp , y el el
e
voltaje de la sonda, V , se obtiene el valor de la pendiente corresponde a kTe , y el valor
de la intersecci n con el eje Y corresponde a ln (ie ), donde a su vez, ie = ene ve Asonda .
o
4
Por lo tanto, se puede obtener el valor de la temperatura electr nica y el valor de la deno
sidad electr nica. En las gr cas, 4.20, 4.21, 4.22, se muestra la aproximaci n lineal
o
a
o
correspondiente a las curvas de Arg n.
o
El valor de la velocidad media de los electrones esta dado por ve = (8kTe /me )1/2 .
En la tabla 4.4, se muestran los valores obtenidos de la velocidad electr nica para una
o
descarga de arg n.
o
En el cuadro 4.5 se muestran los valores obtenidos para la temperatura, la densidad
electr nica y la longitude de Debye D . Se puede observar que para dos descargas con
o
un mismo valor de E/N, los valores de la temperatura, la densidad y la longitud de
Debye dieren. El c culo de estos valores requiere del potencial del plasma, Vp . Su
a
determinaci n, depende de observar con claridad en la curva I (V ), la zona de saturaci n
o
o
63
4.4
Mediciones
Y=-(0.192+0.014)X+4.759+0.107
4.2
4.0
3.8
In(I)(uA)
3.6
3.4
3.2
3.0
2.8
2.6
10
11
12
13
14
15
(Vp-V)(volts)

o
Mediciones
3.0
Y=-(0.169+0.014)X+3.205+0.131
2.5
In(I) (
A)
2.0
1.5
1.0
0.5
0.0
2
10
V -V
p
12
14
16
18
(volts)

o
64
E/N (Td) (volts)

Te (k)
Te (eV )
ne (m3 )
726.05
68, 633 4, 340 5,91 0,38 3,1x1015 4x106
1,197.89
60, 396 2, 758 5,20 0,24 1,5x1016 5x106
1,197.89
51, 541 5, 602 4,44 0,49 6,7x1016 4x106
D
4
(m)
3,3x10 0,5x104
1,4x104 0,5x104
6,1x105 0,5x105
Cuadro 4.5: Valores obtenidos para una descarga de Arg n

o
P=1.174+0.002 torr
V =9.4+0.5 volts
0.000100
I(A)
0.000075
0.000050
0.000025
0.000000
0
10
12
14
16
18
20
voltaje (volts)
Figura 4.23: I (V ) para Aire, presi n 1,74torr

o
de corriente electr nica.
o
En las gr cas 4.23, 4.24, 4.25, se muestran las curvas caractersticas para la desa
carga de aire, tambi n se muestra el valor del voltaje del plasma, Vp , y la presi n de la
e
o
descarga.
En la gura 4.23, la curva caracterstica, I (Vsonda ), muestra una parte de la regi n
o
que corresponde a la corriente electr nica y alcanza tambi n a mostrar la regi n de sao
e
o
turaci n ie . La densidad de la descarga es de 1,74torr, con distancia entre los electrodos
o
de d = 4 cm y a un voltaje de 470volts.
La curva 4.24 tiene un comportamiento muy similar al de la curva idealizada, se logra observar la regi n de la corriente electr nica y la zona de saturaci n ie . La densidad
o
o
o
de la descarga es de 0,87torr , distancia entre los electrodos de d = 4cm y voltaje de
390volts.
La gura 4.25 muestra la curva I (Vsonda ) para una descarga de 0,32torr, distancia
entre los electrodos, d = 4cm, y voltaje de 330volts. Se muestra la regi n de corriente
o
electr nica y se alcanza a observar la inexi n que corresponde a la zona de corriente
o
o
de saturaci n, ie .
o
En las gr cas 4.26, 4.27, 4.28, se muestra la aproximaci n lineal para la regi n de
a
o
o
65
0.0004
P=0.87+0.02 torr
V =41.71+0.5 volts
p
I(A)
0.0003
0.0002
0.0001
0.0000
10
20
30
40
50
60
voltaje (volts)

o
P=0.32+0.02 torr
0.00040
0.00035
V =44.94+0.5 volts
p
0.00030
0.00025
I(A)
0.00020
0.00015
0.00010
0.00005
0.00000
-0.00005
20
30
40
50
60
voltaje (volts)

o
66
Mediciones
Y=-(0.26+0.05)X-(9.26+0.17)
-9.4
-9.6
-9.8
In(I) (A)
-10.0
-10.2
-10.4
-10.6
-10.8
-11.0
0
V -V (volts)
p
Figura 4.26: Aproximaci n lineal para Aire, presi n 1,74torr

o
o
Presi n
o
1.174
0.870
0.320
Vp (volts)
ve (m/s)
9.40 0.5 1,3x106 1,3x105
41.71 0.5 1,7x106 3,7x104
44.94 0.5 1,6x106 3,7x104
Cuadro 4.6: Valores de la velocidad obtenidos para la descarga de Aire

crecimiento exponencial, para cada una de las curvas de la descarga en aire.
En el cuadro 4.6 se muestra el valor de la velocidad de los electrones en la descarga
de aire, para diferentes valores de la presi n.
o
En el cuadro 4.7 se muestran los valores obtenidos para la temperatura, la desidad
electr nica y longitud de Debye, D , para la descarga en aire.
o
E/N (Td) (volts)

Te (k)
Te (eV )
ne (m3 )
209.34
44, 250 8, 450 3.8 0.7 1.5x1016 2x107
347.41
72, 850 3, 150 6.3 0.3 3.3x1017 5x106
779.73
65, 950 2, 950 5.7 0.3 1.3x1016 9x106
Cuadro 4.7: Valores obtenidos para una descarga de Aire
67
(m)
1.2x10 0.8x104
3.3x105 0.8x104
1.6x104 0.8x104
4
Mediciones
-9.2
Y=-(0.159+0.007)X-(5.9+0.17)
-9.3
-9.4
In(I) (A)
-9.5
-9.6
-9.7
-9.8
-9.9
-10.0
20
21
22
23
24
25
V -V (volts)
p

o
o
Mediciones
-9.4
Y=-(0.176+0.008)X-(9.213+0.033)
-9.6
In(I) (A)
-9.8
-10.0
-10.2
-10.4
12
13
14
15
16
17
18
V -V (volts)
p

o
o
68
Captulo 5
Conclusiones
Esta tesis recaba el trabajo de varios meses. Tiempo que requiri el aprender desde
o
los conceptos b sicos de fsica que envuelven el tema de los plasmas, y en particular
a
de la descarga de resplandor. Hasta el acondicionamiento de un sistema experimental

que permitiera obtener la descarga y su caracterizaci n. Proponer un fen meno fsico,
o
o
revisar y aprender de los modelos establecidos, y por ultimo, idear el dise o, que a base
n
de t cnicas obtenga el fen meno en el laboratorio, de manera que de el, se extraiga la
e
o
informaci n fsica a estudiar. Es un camino a concluir que la fsica se hace en el laboo
ratorio, la fsica es experimental. Es por eso que este trabajo consisti en indagar en la
o
fsica de la descarga de resplandor, de manera paralela con el acondicionamiento del
dispositivo experimental, para nalmente obtener la descarga y su caracterizaci n. Los

o
resultados que se presentan son para una descarga en Aire y para una descarga en Arg n.
o
El presente trabajo describe la ionizaci n como una serie de procesos que se llevan
o
a cabo en el gas y en el c todo. Estos procesos se llevan a cabo a partir de la exisa
tencia de un voltaje crtico, llamado voltaje de ruptura, a partir del cual la descarga se
convierte en autosostenida. El coeciente de ionizaci n secundaria de Towsend por proo

cesos en el c todo, , es el responsable de la producci n de electrones secundarios que
a
o
mantienen la descarga autosostenida. Se obtienen valores de dicho coeciente a trav s
e
de la Ley de Paschen. Que la relaciona el voltaje de ruptura en funci n del par metro
o
a
presi n-distancia pd y el coeciente de ionizaci n secundaria, . B sicamente, la ley
o
o
a
de Paschen, declara que los procesos de ionizaci n, requieren un valor suciente del
o
par metro, E/N, para llevarse a cabo en el gas y en el c todo, y consecuentemente
a
a
llevar la descarga a ser autosostenida. Los valores obtenidos para el coeciente , son
del orden de magnitud reportados por la referencia [1], sin embargo, cabe hacer notar que en general , depende del par metro E/N, aunque en esta tesis se considera
a
(E/N) = cte.
La intensidad de la descarga depende de la densidad y de la energa de excitaci n de
o
los electrones. Si los electrones tienen la suciente energa de exitaci n y de ionizaci n,
o
o
pueden crear una poblaci n de atomos excitados, que en un periodo de tiempo muy corto
o
se relajan emitiendo una longitud de onda del espectro. La excitaci n y la relajaci n de

o
o
los atomos en la descarga, por colisiones principalmente con electrones, resplandecen
emitiendo un espectro caractertico del gas. En este caso Aire y Arg n. En el captulo
4, correspondiente a los resultados, se muestra el espectro obtenido para las descargas

de Aire y de Arg n. El espectro del aire se compara con una emisi n optica obtenida de
o
o
69
la referencia [6], con la cual se encuentra buena concordancia y se identican algunas

lneas de emisi n de la mol cula de nitr geno, N2 . Para el caso de la descarga en Arg n,
o
e
o
o
se hace una comparaci n con las lneas de emisi n de la base de datos NIST [16]. Eno
o
contrando que en su mayora, las longitudes de onda emitidas en la descarga, son del
i n AII. Lo cual muestra que los electrones secundarios que mantienen autosostenida
o
la descarga, no solo tienen suciente energa de excitaci n, tambi n tienen suciente
o
e
energa para establecer una serie de dos y hasta de tres ionizaciones al atomo de Arg n,
o
esto debido a que el par metro E/N establece entre los electrones dicha energa.
a
Bajo suposici n de que los electrones y los iones tienen una distribuci n de Maxwello
o
Boltzman para la energa, se presenta la teora de la sonda de Langmuir. La cual es usa
da para obtener mediciones de la temperatura y la densidad electr nica. La temperatura

o
electr nica est directamente asociada a la energa cin tica. Los valores obtenidos no
o
a
e
sobrepasaron los 6eV , esta no es suciente energa para ionizar el atomo de Arg n. Sin
o
embargo se obtienen lneas de emisi n de una, dos y tres ionizaciones para el atomo de
Arg n. Es importante recalcar que la temperatura es una energa media, y que la distribuo
ci n de energa incluye tanto a electrones altamente energ ticos, como a electrones que
o
e
poseen una energa por debajo del valor promedio. Por lo que la temperatura electr nica
o
obtenida representa el valor de la energa media de los electrones, aunque de maneral
individual existan electrones de varios electronvolts por encima del valor medio, los
cuales permiten las ionizaciones a trav s de las diferentes colisiones electr nicas.
e
o
Por ultimo, la caracterizaci n de la descarga de resplandor para dos tipos de gas, Aire
o
y Arg n, de manera general. Consiti en obtener mediciones acerca de las propiedades
o
o
el ctricas, espectrosc picas y otras como la temperatura y la densidad electr nica. La
e
o
o
obtenci n de todas estas caractersticas, permite identicar y conocer la descarga. Con
o
miras a futuro, hacia el estudio, del cambio de estas propiedades bajo la interacci n de
o
radiaci n l ser.
o a
La conductivida de un gas ionizado est directamente relacionado con los procesos de
a
excitaci n y relajaci n de los atomos. Todo esto involucra la interacci n con los eleco
o
o
trones libres en la descarga. Si se modica la poblaci n de los niveles energ ticos de
o
e
la descarga, se modica tambi n, el espectro emitido y la conductividad del gas. Con
e
esto es posible identicar estados metaestables, pues estos, pueden poblarse por atomos
que absorbe radiacon cercana a los niveles energ ticos metaestables. La visi n a futuro
e
o
del este trabajo es mejorar las t cnicas, con sistemas de automatizaci n y adquisici n
e
o
o
de datos que permitan obtener resultados con mayor presici n, adem s de llevar este
o
a
desarrollo a la realizaci n del efecto optogalv nico, [9], con la interacci n de luz l ser.
o
a
o
a
El trabajo realizado en esta tesis constituye la primera etapa para estudios de mayor alcance. En particular, la caracterizaci n de los distintos par metros del plasma permitir n
o
a
a
realizar en un futuro cercano estudios de interacci n de plasmas con l seres. Este tipo
o
a
de estudios tienen una gran relavancia tanto en ciencia b sica como en aplicaciones. La
a
caracterizaci n analtica de el plasma a emplear es la primera y muy importante fase en
o
este tipo de estudios, y la presente tesis servir como base para esos estudios ulteriores.
a
70
Parte I
Anexos
71
73
74
75
76
77
78
79
80
81
82
Parte II
Anexos
83
Figura 5.1: Sistema que genera el alto vaco en la cavidad
Figura 5.2: Electrodos de cobre con la sonda de Lagmuir montada
85
Figura 5.3: V lvulas que conectan el sistema de vaco

a
Figura 5.4: Bomba Difusora del sistema experimental, muestra la circulaci n del agua
o
para enfriar y condensar
86
Figura 5.5: Bomba Difusora conectada al sistema
Figura 5.6: Descarga de resplandor con la sonda de Langmuir

87
Figura 5.7: Descarga de Resplandor con la sonda de Langmuir
88
Figura 5.8: Descarga de resplandor con la sonda de Langmuir
89
90
Bibliografa
[1] G. Auday et-al Experimental study of the effective secondary emission coefcient
for rare gases and copper electrodes, J. of Applied Physics, vol. 83, no. 11, 1998.
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Modern Physics, Vol. 62, No. 3, Julio 1990.
[3] Chapman Brian Glow Discharge Processes, A Wiley-Interscience publication,
1980.
[4] De Urquijo Carmona Jaime Tesis profesional: Dise o y construcci n de un genen
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rador de barrido lineal para el diagn stico de plasmas, IPN 1976.
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[5] Demtr der W., Laser Spectroscopy, Basic concepts and instrumentation, Springer,
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[6] Herzberg, Gerhard Molecular spectra and molecular structure, Malabar Florida,
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[8] Lafferty J. M. Foundation of Vaccum Science and Technology, John Wiley and
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Methuens Monographs on Physical subjects, 1966.
[11] Merlino Roberto L. Understanding Langmuir probe current-voltaje characteristics
[12] J. R. Nestor Optogalvanic Spectra of neon and argon in glow discharge lamps
[13] Nasser E. Fundamentals of Gaseous Ionization and Plasma Electronics, Springer,
1999.
[14] Thorne A. et-al Spectrophysics Principles and Aplications, Springer, 1999.
[15] http://home.earthlink.net/
[16] http://home.earthlink.net/ %7Ejimlux/hv/hvmain.htm
91

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U NIVERSIDAD NACIONAL AUT ONOMA DE M E XICO

A N ALISIS E SPECTROSC OPICO Y

V ER ONICA V ICU NA H ERN ANDEZ

D R . A NTONIO M ARCELO J U AREZ R EYES

Hoja de Datos del Jurado

N mero de cuenta: 3-0027277-8

2. Datos del tutor

3. Datos del sinodal 1

Apellido materno: Valencia

4. Datos del sinodal 2

Apellido paterno: Vel zquez

5. Datos del sinodal 3

6. Datos del sinodal 4

Apellido materno: Fern ndez

7. Datos del trabajo escrito

Este trabajo se realiz con el apoyo de los proyectos CONACYT-42630 y PAPIIT

izquierda tornillos de mano derecha.

a la mejora del presente trabajo.

de igual manera, en tiempos buenos y en tiempos difciles.

Por ultimo quiero mencionar y agradecer al Dickinson(mi mascota) por estar en mi

2.1.4. La descarga de resplandor: propiedades y geometra . . . . . .

2.1.5. Sondas de Langmuir y conceptos asociados . . . . . . . . . . .

3.1.1. Medidores de vaco medio y Medidores de alto vaco ( Pirani y

3.2. Sonda de Langmuir . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

El presente trabajo se especializa en la regi n de descarga normal o de

cargado y , y densidad de corriente J + y J en una descarga de

4.17. I (V ) para Ar, presi n 0,854torr . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

4.20. Aproximaci n lineal de la regi n con crecimiento exponencial correso

Sistema que genera el alto vaco en la cavidad . . . . . . . . . . . . . .

Electrodos de cobre con la sonda de Lagmuir montada . . . . . . . . .

Bomba Difusora del sistema experimental, muestra la circulaci n del

medio de la interacci n de radiaci n l ser.

En particular, se presenta la caracterizaci n para una descarga de resplandor de Aire y

sondas de Langmuir y el voltaje de la descarga. Para ello se construyen e instalan los

captulo correspondiente al Dispositivo experimental, se describe la estructura del siste

Resultados se presentan las mediciones obtenidas, as como el an lisis de estas, por me

obtenidas en el espectro de emisi n del plasma.

2.1.1. Par metro de campo el ctrico normalizado a la densidad,

medida promedio de la energa depende de el campo normalizado a la densidad, E/N.

En el presente trabajo la unidad de medida E/N es el Townsend (1T d = 1017 V cm2 ).

2.1.2. Movilidad i nica y electr nica

Coeciente de ionizaci n primaria,

la ioniza. En un enjambre, el coeciente de ionizaci n indica la cantidad de pares

2.1.3. Camino libre medio y conceptos relevantes de termodin mica

libre medio es fundamental en la descripci n de los diferentes procesos.

En esta secci n se da una breve descripci n de estos conceptos.

James C. Maxwell y Ludwing Boltzman, mostraron de manera independiente que la

Se substituye el valor de la velocidad m s probable de acuerdo a la relaci n con la

Esta distribuci n de velocidades considera un gas que no presenta difusi n o acelaraci n

Camino libre medio

babilidad, es dn/n0 , en base a el n mero de partculas se escribe de la siguiente manera:

Donde n es el n mero de partculas que se encuentran a una distancia x y n0 es el

n mero inicial de partculas. N corresponde a la densidad del gas, r1 y r2 corresponden

caminos libres individuales multiplicada por el n mero de partculas que colisionan

desp es de viajar tal camino libre, por lo que se obtiene, [13]:

el proceso de las colisiones. Una aproximaci n m s cuidadosa de la colisi n debera

incluir el efecto del campo coulombiano, la polarizaci n el ctrica y otros factores. En la

2.1.4. La descarga de resplandor: propiedades y geometra

presente trabajo se especializa en la regi n de descarga normal o de resplandor.

la descarga que, dependiendo del rango de la corriente, reciben el nombre de r gimen

1. Descarga Oscura o Descarga de Townsend (Dark discharge). Se lleva a cabo

El presente trabajo se centra, principalmente, en el estudio de las descargas en la regi n

caso Aire y Arg n.

En esta secci n se describen las caractersticas generales y las diferentes regiones