- TEM MICROSCOPIA ELECTRONICA DE TRANSMISION

Edilson Alfonso Reyes Rojas (133042) - e-mail: eareyesro@unal.edu.co

T ecnicas de Caracterizaci on A. Depto. de F sica, Universidad Nacional de Colombia

Bogot a, Junio 09 de 2010

1.

Que es Resoluci on?

Debido a las aberraciones de las lentes objetivas, un haz de electrones nunca puede ser focalizado en un punto, por ejemplo, en el caso de la aberraci on esf erica donde el foco no esta localizado debido a la in-homogeneidad del campo magn etico que forma el lente electromagn etico, que es inevitable, un punto es reejado como un disco de radio rs que es funci on de la apertura de la lente objetivo. Por lo que la capacidad de distinguir un punto se deteriora r apidamente si se aumenta la apertura de la lente. La intuici on nos lleva entonces a disminuir la apertura, sin embargo, debido al tama no de la apertura, si se hace del orden de la longitud de onda del electr on, puede surgir el problema de que la difracci on se convierta en un factor limitante. Airy demostr o que el efecto de la difracci on en una imagen puntual, es que la imagen se vea como un disco central brillante rodeado por un numero de anillos borrosos, de este modo es posible discriminar entre dos puntos diferentes si se observan los discos centrales brillantes. La resoluci on se entiende como la capacidad de discriminar entre dos puntos, esto implica poder distinguir los dos puntos brillantes, de esta forma, dos puntos separados una distancia d son resueltos cuando el m aximo del primero de los discos de Airy no coincide con el m aximo del segundo disco, en lugar de esto coincide con uno de los discos borrosos, con un m nimo. Es de esperar que al aumentar la apertura, si la longitud de onda se mantiene constante, los efectos de difracci on afecten menos la imagen puntual, por lo que la resoluci on se ve incrementada. Esto da una manera de medir la resoluci on del instrumento, sin embargo si se quieren resolver dos puntos muy cercanos, se requiere conocer el limite de la resoluci on, el cual esta dado por el criterio de Rayleigh, donde aumentar el tama no de la apertura, disminuye la resoluci on, ya que se ve afectada la intensidad del patr on de difracci on lo que hace menos distinguibles las zonas centrales brillantes. Esto claro depende del tipo de muestra que se use en particular. Por lo que la resoluci on es una funci on de un tama no de apertura optimo que minimice la suma de las dos posibilidades.

2.

Qu e se mueve mas r apido, un electr on o un foton en la materia?

Si se piensan los electrones en un material como osciladores arm onicos acoplados, siempre es posible hacer que la velocidad de fase deducida de la relaci on de dispersi on sea mayor a la velocidad de la luz (un sistema de osciladores acoplados pueden tener una velocidad de fase mayor a c si se elimina el acople). De este modo, si se piensa en un electr on como una nube de probabilidad que entra en un material, este puede ocupar un estado accequible, y de esta manera propagar la fase de la onda a trav es del material, el electr on en realidad no tiene porque moverse atravez del material, esto esta ntimamente relacionado con el hecho de que dos electrones son indistinguibles, y lo que vemos que sale al otro lado del material en realidad puede ser solo el desprendimiento de un electr on en la supercie por la propagaci on de la fase (nadie asegura que sean los mismos electrones que entraron los que salen). Como los fotones tienen una cota en la velocidad, es siempre posible que el electr on se mueva a mayor velocidad si esta velocidad se piensa como una velocidad de fase.

3.

Relaci on entre profundidad de foco y profundidad de campo

La profundidad de campo y de foco se reere al promedio de los planos que se enfocan con la misma nitidez, por lo que se espera guarde una relaci on inversa con el aumento de la lente.

4.

Como se calcula el di ametro de prueba del haz al llegar a la muestra?

El di ametro que llega a la muestra df , depende tanto de las aberraciones de las lentes como del di ametro inicial del haz de electrones di , obtenido de conocer el area de la punta del ca n on de electrones que produce el haz. Por lo general se toma en cuenta como los factores dominantes, el efecto de ampliaci on debido a la aberraci on esf erica de las lentes ds y la difracci on en la abertura dd . Estos valores est an relacionados por la ecuaci on: df = donde di = 2 I (2)
2 2 d2 i + ds + dd ,

(1)

con I la corriente, el angulo de convergencia y el brillo. ds = 0,5Cs 3 Con Cs el coeciente de aberraci on esf erica. Y dd = 1, 22 . con la longitud de onda del electr on. (4) (3)

5.

Ca nones de Electrones

Existen dos tipos de ca nones de electrones, el ca n on termoionico y el ca n on de emisi on de campo, los cuales se diferencian en que su fuente de emisi on de electrones es diferente. El ca n on termoionico, lo que pretende es calentar el c atodo, para que se forme una nube de electrones la cual al aplicar una diferencia de potencial se aceleran. El c atodo tiene forma de punta (en ambos ca nones) para que el campo este fuertemente concentrado y as la aceleraci on de los electrones aumente. Sin embargo el radio de la apertura de la punta por donde salen los electrones es mayor en el ca n on termoionico que en el ca n on de emisi on de campo, esto produce que el haz de electrones se cruce mas lejos de la punta en el ca n on termoionico. En el ca n on de campo el cruce se produce casi en la punta de forma tal que la trayectoria de los electrones pareciera originarse dentro de la punta formando una fuente virtual. En el ca n on termoionico la fuente es real. El hecho de que el tama no de la fuente sea menor en el ca n on de emisi on de campo, de por si signica una ventaja, al igual que la baja energ a difundida sobre la muestra ya que el haz es mas coherente, y el campo el ectrico mas intenso, esto hace que el brillo sea mayor, ya que la intensidad de un punto se aumenta.

6.

C omo se calcula el foco de una lente electromagn etica?

Para determinar la longitud focal es necesario medir la fuerza del campo magn etico en el gap de las lentes, esto se puede obtener si se conoce el numero de espiras que forman la bobina y la intensidad de la corriente que pasa atravez de ellas. Es de esperar que la distancia focal disminuya si la fuerza producida por el campo magn etico aumenta ya que la fuerza es ortogonal a la trayectoria del electr on y apunta hacia el eje optico. Tambi en es necesario conocer la velocidad de los electrones, la cual se conoce, si se conoce la diferencia de potencial generada para acelerarlos. En este caso si el potencial aumenta la distancia focal se har a mayor ya que la fuerza debida al campo es paralelo al eje optico. De esta manera la forma funcional que da la longitud de foco debe ser proporcional a: f Ve (N I )2 (5)

7.

C omo se corrigen las aberraciones crom atica, esf erica y astigmatica?

El astigmatismo se presenta cuando la distancia focal es diferente si el plano de trayectoria de los electrones es diferente. El defecto se puede corregir si se modica el campo magn etico en uno de los

dos planos, o incluso en ambos. Esta modicaci on se puede lograr si se produce un peque no campo magn etico adicional que aumente o disminuya la fuerza que act ua sobre los electrones, de forma que la distancia focal sea disminuida o aumentada respectivamente. El campo adicional puede entenderse como una perturbaci on, de tal forma que sea mucho menor que el campo local producido por la lente magn etica. Usando las franjas de Fresnel es posible evaluar la diferencia de la distancia focal en funci on del espesor m aximo y m nimo de una franja, seg un la relaci on:
2 2 f = (Xmax Xmin ) (3, 2)1

(6)

Donde f es la diferencia de la distancia focal, Xmax y Xmin son el espesor m aximo y m nimo de la franja de Fresnel respectivamente, y es la longitud de onda del electr on. La aberraci on crom atica se produce porque no todos los electrones viajan con la misma energ a, debido a la inestabilidad en el voltaje de aceleraci on o a que el haz interactua inelasticamente con la muestra, que es el factor principal de la perdida de energ a. Un adelgazamiento de la muestra disminuye tal aberraci on, sin embargo, en el caso en que no sea posible adelgazarse aun mas la muestra, debe pensarse en otro mecanismo, en el que no se pierda resoluci on. Poder identicar las regiones del haz donde hay perdida de energ a, implicar a poder modicar su energ a incluyendo una perturbaci on. Otra opci on es aumentar la energ a del haz, la cual depende de las capacidades del microscopio de transmisi on. La aberraci on esf erica se produce debido a que el campo que produce la lente electromagn etica, no es homog eneo. Corregir la in-homogeneidad de un campo magn etico es bastante complicado, se requiere un mecanismo que mida localmente la magnitud del campo, algo similar a la sonda Hall. No existe una manera conveniente de corregirla.

8.

Por qu e las estructuras Hexagonales tienen cuatro ndices de miller?

Debido a que es imposible generar una red de Bravais a partir de simetr as de traslaci on o puntuales, a partir de un hex agono, si solo se denen tres ejes, es imposible que se tengan tres indices de Miller. La estructura hexagonal requiere de denir cuatro ejes, tres en un plano, cada uno separado 120 grados del otro, y un cuarto que es ortogonal al plano en el centro del hex agono. La construcci on usual de los indices de Miller, llevan a que sean cuatro los indices.

9.

Potencial de Ionizaci on del Arg on

Este elemento tiene tres potenciales de ionizaci on, 15.759 eV, 27.629 eV y 40,48 eV. Donde el primer potencial es el necesario para remover el primer electr on de la capa mas externa, el segundo es para el segundo y el tercero es para el tercer electr on. De este potencial se puede decir que debido a su peso at omico alto, el potencial es bajo y permite establecer un arco el ectrico para hacerlo conductor.

10.

Pulverizaci on Catodica

Este es un proceso f sico en el que se produce la vaporizaci on de los atomos de un material s olido denominado blancomediante el bombardeo por iones. Este es un proceso muy utilizado en la formaci on de pel culas delgadas sobre materiales, t ecnicas de grabado y t ecnicas anal ticas. La Pulverizaci on cat odica est a causada principalmente por el intercambio de momento entre los iones y los atomos del material, debido a colisiones.

11.

TEM

Figura 1.

Midiendo los di ametros de los anillos, y determinando K de la relaci on K = L, donde L es la longitud de c amara (730mm), se puede determinar dklm . Los datos obtenidos se consignan en la Tabla 0. d 0.478 0.385 0.321 0.279 0.248 D. 37.68 49.941 56.121 64.738 72.791 Tabla 0. K 18.323 18.323 18.323 18.323 18.323

Con las distancias interplanares d y el conocimiento de los indices de Miller es posible determinar el par ametro de red de la estructura cristalina que tiene por patr on de difracci on la Figura 1.

Figura 2.

12.

EDX
La gura 3 muestra un patr on EDX de una muestra de composici on desconocida. El problema consiste en encontrar la composici on qu mica de la muestra, aunque no es necesario encontrar su formula emp rica. Para esto, debe identicarse en el patr on, los picos mas pronunciados, y tomar los valores de KeV. Los elementos que corresponden a estas energ as, puede buscarse en la Tabla peri odica de los elementos, o un programa como X-Pert High Score Plus.

Figura 3.

Despu es de comparar los valores de KeV en el patr on, de las lineas mas fuertes, con los valores en la tabla peri odica, se encontr o los elementos mostrados en la Tabla 1. KeV Elemento Lineas 6.38 Fe L 3.68 Ca, V K 2.15 Nb L 1.74 Si K 1.48 Al, Br K , L 1.26 Mg, As K , L 0.50 O, V K , L Tabla 1. Composici on de la Muestra Haciendo uso de los datos consignados en la Tabla 2. se debe determinar una formula qu mica emp rica, que corresponde al patr on de la Figura 4. Elemento OK Si K SK Pb L Wt 0.94 0.20 4.40 94.47 % At 8.93 1.06 20.81 69.20 % K-Ratio 0.0025 0.0017 0.0501 0.9108 Tabla 2. Bkgd Inte. 0.64 5.60 6.16 2.43 Tabla 3. Z 1.3673 1.2998 1.4002 0.9630 A 0.1971 0.6648 0.8141 1.0011 F 1.0000 1.0013 1.0000 1.0000

Element OK SiK SK PbL

Net Inte. 3.30 2.48 62.09 35.39

Inte. Error 10.37 23.85 2.22 2.87

P/B 5.16 0.44 10.08 14.57

Figura 4.

Para determinar la formula emp rica, se toma el porcentaje en peso % Wt, y usando una base de c alculos de 100g se da el valor de la masa de cada a tomo en una muestra de 100g. Dividiendo por el peso molecular de cada uno de los atomos, se obtiene una relaci on de moles. Esta relaci on se divide por el numero de moles mas peque no que se obtenga, obteniendo los siguientes resultados: Elemento Relaci on Molar. Parte entera O 8,225 33 Si 1 4 S 19,25 77 Pb 63,89 256 Tabla 4. Composici on Qu mica Conmensurable. La parte entera hallada en la Tabla 4. fue realizada tomando en cuenta que la mol ecula obtenida debe ser neutra, de este modo al multiplicar su parte entera por el estado de oxidaci on del elemento, y sumando los cuatro elementos, se debe obtener una carga nula. La formula mas reducida que se encontr o por prueba y error, fue O33 P b256 Si77 S4 .

Referencias
[1] Teor a B asica de Microscopia Electr onica de Transmisi on - Jose E. Alfonso O. y Dery E. Corredor P. UNAL - 2010. [2] Solid State Physics - Ashcroft and Mermin. Cornell University 1976. [3] Quantum Mechanics, an Introduction - Greiner. 4th Edition.