Apostila Tecnologia Do Vacuo

FATEC - SP
Faculdade de Tecnologia de So Paulo

Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV
CURSO DE MATERIAIS, PROCESSOS E COMPONENTES ELETRNICOS - MPCE

LABORATRIO DE TECNOLOGIA DO VCUO LTV
DISCIPLINA DE TECNOLOGIA DO VCUO

Prof. Me. Francisco Tadeu Degasperi
So Paulo SP Brasil 2006
Pa. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060
So Paulo - SP, Brasil
Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp.br
Fax: (011) 3315-0383
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV CRITRIO DE AVALIAO E BIBLIOGRAFIA Disciplina de Tecnologia do Vcuo 1o Semestre de 2006
Critrio de Avaliao
Para efeito de avaliao na disciplina de Tecnologia do Vcuo, temos as seguintes provas e atividades: Atividades: A1, A2, A3 E A4. Atividade de Projeto: A5. Provas: P1, P2 e P3. Prova Substitutiva: PV. Esta prova pode substituir a mais baixa nota de uma das provas. Critrio Matemtico: (A1+A2+A3+A4+2xA5)/6 = A MDIA FINAL (MF) = (A+P) / 2 (P1+P2+P3)/3 = P Se MF < 5,0: Reprovado com conceito C. Se 5,0 <= MF < 7,0: Aprovado com conceito B. Se 7,0 <= MF < 9,0: Aprovado com conceito A. Se 9,0 <= MF <= 10,0: Aprovado com conceito E. Observao Geral: Nesta disciplina damos ateno especial s questes e o tipo delas. Procuramos enfatizar as questes que so realmente encontradas no mundo do vcuo. Tambm procuramos pedir questes do tipo dissertativas, uma vez que escrever e registrar as idias so sempre tarefas importantes e difceis. Mas so tambm fundamentais no mundo atual, cada vez mais. Esta uma grande oportunidade que os estudantes tm para exercitar a redao e encadear raciocnio durante a elaborao de um relato. Mesmo que o estudante no venha a trabalhar com tecnologia do vcuo, o tipo proposto de questo tambm de cunho formativo: o estudante aprender a trabalhar em outras reas, fazendo modelos fsicos, raciocinando, escrevendo, consultando livros e catlogos atuais. Para muitos estudantes, acredito que seja o primeiro contato com uma disciplina tecnolgica. Livros e muitos materiais didticos e profissionais no faltam para um efetivo aprendizado. O importante hoje, e cada vez mais, alm do conhecimento, aprender a procurar respostas aos problemas. Se possvel, respostas criativas e de baixo custo. Nesta disciplina procuramos discutir fisicamente os problemas e em seguida trat-los matematicamente. Os raciocnios desenvolvidos procuram ser informativos dentro da disciplina mas tambm tem carcter formativo. Aqui est um excelente momento para comear a praticar. Assim, aproveite! BOM SEMESTRE!!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Me. Francisco Tadeu Degasperi
Responsvel pela Disciplina de Tecnologia do Vcuo e pelo LTV
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV BIBLIOGRAFIA
Livros e Catlogos da rea de Tecnologia do Vcuo

Temos na biblioteca da Fatec-SP um bom, ou melhor, um muito bom acervo referente a rea de Tecnologia do Vcuo. H livros com diferentes enfoques e graus de profundidade. Para um bom acompanhamento da disciplina, alm de um eficiente aprendizado, os estudantes devem estar em constante contato com os livros. Os livros listados a seguir esto em ordem de profundidade:
Basic Vacuum Technology, A. Chambers e outros. Adam Hilger. LIVRO-TEXTO; Tecnologia do Vcuo, ACM, Montinho e outros Editora Universidade Nova Lisboa; Curso de Tecnologia do Vcuo Instituto de Fsica da Universidade de So Paulo. Apostilas; Fundamentos de la Ciencia y Tcnica del Vaco, G. Lewiss Editora Aguilar; Vacuum Physics and Techniques, T.A. Delchss. Chapman Hall; Modern Vacuum Practice, U. Harris. McGraw-Hill Books Company; Vacuum Technology. Its Foundation - Leybold Company; High Vacuum Productions in the Microelectronics Industry, P. Duval Elsevier Science Publishers;
A Users Guide to Vacuum Technology, J.F. OHanlon Wiley Interscience; Vacuum Technology, A. Roth North Holland, e E muitos outros livros e textos disponveis na biblioteca da Fatec-SP.
H tambm textos sobre Tecnologia do Vcuo disponveis no site da Fatec-SP, em Servios & Pesquisa, no Laboratrio de Tecnologia do Vcuo. Os textos disponveis so muito bons e tm o enfoque de aplicao, apesar de trazerem bastante bem a parte bsica. No incio de cada semestre letivo ser passado ao representante da turma uma cpia eletrnica com alguns textos e livros da rea de tecnologia do vcuo. Este material de alta qualidade e escrito por profissionais que atuam em projetos tanto em empresas com em centros de pesquisa.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV Temos disponveis em nossa biblioteca os seguintes catlogos de empresas importantes na rea de tecnologia do vcuo. H tambm os catlogos em forma eletrnica disponveis nos sites das empresas.
Balzers-Feiffer, Leybold-Inficon, BOC-Edwards, Kurt Lesker, MKS, Varian, MDC, Perkins-Elmer, Alcatel, Huntington e muitos outros.
Alm dos livros, h tambm na nossa biblioteca catlogos de empresas na rea de tecnologia do vcuo. H tambm os catlogos eletrnicos que poder consultados nos sites das empresas. Os catlogos das empresas de produtos de vcuo so bons e uma fonte segura de informaes. Ele complementaro o seu estudo. Faa uma busca!
Alm da nossa biblioteca temos a do Instituto de Fsica da USP com vrios outros ttulos e tambm revistas peridicas especializadas na rea da tecnologia do vcuo, tais como: Vacuum, Journal of Vacuum Science and Technology AVS e a Revista de Aplicaes de Vcuo SBV. Entre no site Sociedade Brasileira de Vcuo SBV, voc ter como encontrar muitas informaes importantes.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Plano de Estudo e a Utilizao dos Roteiros de Estudos e Exerccios de Fixao da Disciplina de Tecnologia do Vcuo
A disciplina de Tecnologia do Vcuo ministrada no Curso de Materiais, Processos e Componentes Eletrnicos MPCE da Faculdade de Tecnologia de So Paulo FATEC-SP do Centro Estadual de Educao Tecnolgica Paula Souza CEETEPS tem como objetivos principais fornecer ao estudante os conceitos necessrios para o entendimento do comportamento dos gases e vapores em baixas presses e dos sistemas de vcuo, com sus instrumentos, mtodos, e tcnicas de trabalho. O contedo programtico da disciplina de tecnologia do vcuo est mostrado abaixo. SEMANA MATRIA 1. Abertura e apresentao da disciplina. Consideraes gerais para um bom aproveitamento da disciplina. Objetivos da disciplina. O "mundo" da tecnologia do vcuo. 2. Comportamento dos gases ideais. O conceito de presso de vapor. Os gases reais. 3. Teoria cintica dos gases. Escoamento dos gases. Regimes de escoamento dos gases em sistemas de vcuo. 4. Condutncia nos sistemas de vcuo e sua dependncia com o regime de escoamento. Velocidade de bombeamento. Associao de condutncias. Velocidade de bombeamento efetiva. 5. Recordao dos principais conceitos at o momento. Clculo de condutncias. As vrias fontes de gases nos sistemas de vcuo. O processo de bombeamento em tecnologia do vcuo. Medidores de vcuo de presso total. Recordao e Prova P1. Materiais empregados na construo de sistemas de vcuo. Procedimentos de Limpeza. Aspectos e detalhes construtivos.
Pa. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 So Paulo - SP, Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp.br Fax: (011) 3315-0383
6. 7. 8.
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 9. 10. 11. 12. Bombas de Vcuo. Bombas de Vcuo. Acessrios e componentes auxiliares (vlvulas, filtros, anteparos, armadilhas geladas, flanges, vedaes, tubos e outros). Utilizao de catlogos na rea. As revistas especializadas na rea. Primeira discusso sobro o projeto (Atividade A5). Prova P2. 13. 14. 15. Sistemas de vcuo de uso geral. Operao de sistemas de vcuo. Medidores de vcuo de presso parcial. Medidores e controladores de vazo de gases para baixas presses. Sistemas de vcuo para altas vazes. Sistemas de vcuo resistentes a gases corrosivos. Segunda discusso sobre o projeto (Atividade A5). 16. 17. 18. Deteco de vazamentos. Terceira discusso sobre o projetos (Atividade A5). Prova P3. Apresentao do projeto (Atividade A5). Prova substitutiva. Apresentao do projeto (Atividade A5). Com o propsito de auxiliar e orientar o estudo dos estudantes que cursam a disciplina de tecnologia do vcuo temos a seguir a relao dos tpicos dos Roteiro de Estudos e Exerccios de Fixao REEF. Nos REEF temos uma introduo ao assunto, exerccios propostos dentro do contexto das aplicaes em casos reais encontrados na tecnologia do vcuo e comentrios desses exerccios proposto. So recomendados livros e catlogos pertinentes ao assunto em questo. REEF 1: Comportamento dos Gases Ideais Teoria Cintica dos Gases. REEF 2: Comportamento dos Gases Reais Teoria Cintica dos Gases. REEF 3: Regimes de Escoamento dos Gases, Condutncia e Velocidade de Bombeamento.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV REEF 4: Clculo das Condutncias e Velocidade Efetiva de Bombeamento. REEF 5: Os Vrios Tipos de Fontes de Gases e o Processo de Bombeamento em Tecnologia do Vcuo. REEF 6: Medidores de Vcuo. Sensores Diretos e Indiretos de Presso Total. REEF 7: Materiais Utilizados na Construo de Sistemas de Vcuo. Critrios e Requisitos na sua Escolha. REEF 8: Bombas de Vcuo. REEF 9: Componentes Auxiliares dos Sistemas de Vcuo. REEF 10: Sistemas de Vcuo de Aplicao Geral e sua Operao. REEF 11: Sistemas de Vcuo para Altas Vazes e Gases Corrosivos. REEF 12: Sensores de Presso Parcial e Anlise de Gases Residuais. REEF 13: Medidores e Controladores de Fluxo de Gases e Vapores. REEF 14: Deteco de Vazamentos.
As sugestes e crticas dos estudantes so bem-vindas no sentido de procurar aprimorar o material agora disponvel na tentativa de ser um instrumento de auxlio ao estudo sistemtico na ra de tecnologia do vcuo.
ftd@fatecsp.br
Prof. Me. Francisco Tadeu Degasperi Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV Faculdade de Tecnologia de So Paulo FATEC-SP CEETEPS So Paulo SP Brasil.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV ROTEIRO PARA ESTUDOS E EXERCCIOS DE FIXAO 1
Comportamento dos Gases Ideais Teoria Cintica dos Gases

O objetivo principal da Tecnologia do Vcuo criar condies para a produo de baixas presses. Para que a remoo de gases dos volumes seja feita de maneira eficiente, devemos conhecer o comportamento da matria no estado gasoso. O modelo de gs ideal, no obstante a sua simplicidade, lana luz sobre o entendimento de muitas caractersticas fsicas importantes dos sistemas gasosos. Em condies de baixas densidades e temperaturas acima da temperatura crtica os gases tm comportamento bem prximo aos gases ideais. Todas as tecnologias disponveis tm uma sustentao fsica bsica, em geral bem alicerada. Apesar de na maioria dos casos a rea tecnolgica criar as suas prprias abordagens e mtodos de anlise e modelagem, no podemos deixar de ter uma boa compreenso do fenmeno fsico em suas bases. Caso essa compreenso fsica no for atingida, pagaremos o preo de dificilmente poderemos propor situaes inusitadas e com isso estaremos sempre reboque daqueles que tm esse domnio. O modelo atmico da matria um daqueles modelos cuja maturidade demorou sculos, desde a proposio essencialmente filosfica dos gregos e muito depois ter alado para uma teoria cientfica somente no sculo XIX. Neste momento nasce a qumica como cincia. Uma das grandes conquistas da cincia foi a aplicao das leis de Newton teoria atmica da matria, muitos resultados e interpretaes foram alcanadas a partir desse audacioso empreendimento intelectual. Por exemplo a presso e a temperatura somente foram interpretados luz da suposio de que o mundo microscpico fosse governado por leis da mecnica. Este projeto foi intensificado e no final do sculo XIX ocorreu um cisma no pensamento cientfico da fsica. Tivemos um embate entre duas grandes linhas de pensamento cientfico na poca: os atomistas e o energeticistas. Certamente uma das pginas mais belas da histria da cincia e tambm das mais importantes. Os atomistas advogavam em favor da concepo atmica da matria, e mais que isso, acreditavam que a cincia deveria ser sustentada na hiptese atmica e com isso as leis da fsica deveriam ser aplicadas aos tomos e molculas, e a partir dos resultados obtidos compar-los com os resultados macroscpicos, ou seja, termodinmicos. Em contrapartida, os energeticistas acreditam essencialmente na termodinmica, uma vez que consideram a teoria atmica inacessvel realidade das
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV medies. Durante quase duas dcadas este cenrio cientfico-cultural dominou o debate filosfico da fsica e da qumica. Muito avano ocorreu em torno das idias lanadas, e por fim, os atomistas triunfaram. Podemos dizer que at hoje a cincia persegue o caminho aberto pelos atomistas. Neste caldo cultural tivemos uma verdadeira revoluo nas idias da fsica que acabaram por abrir as portar fsica do sculo XX, com isto queremos dizer, a teoria da relatividade e a mecnica quntica. Voltando ao gs ideal, podemos dizer que o seu estudo foi a porta de entrada s idias atomistas cientficas. Mais ainda, do ponto de vista prtico e voltado tecnologia o modelo de gs ideal tem grande alcance e no devemos interpretar o termo gs ideal como sendo um gs inexistente na prtica, ou seja, como sendo apenas uma idealizao terica. Ele alcanado desde que sejam obedecidas certas condies. Ele to real e preciso que o seu conceito utilizado em metrologia de vcuo.
1. Quais so os estados da matria? Quais so as caractersticas fsicas macroscpicas dos vrios estados? Como podemos entender os vrios estados de agregao da matria a partir da Teoria Atmica da Matria? Discuta a mobilidade dos tomos e molculas nos trs estados da matria. As figuras abaixo mostram de forma pictrica o estado de agregao da matria, insinuando a extenso possvel do movimento entre os tomos e molculas vizinhos. Discuta esta questo complementar as questes anteriores.
Figuras mostrando de forma pictrica os estados de agregao da matria e suas mobilidades.

Pa. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 So Paulo - SP, Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 2. Fenomenologicamente, como voc define as seguintes grandezas: volume, presso, temperatura, quantidade de gs? Para um aprofundamento do estudo fsico, estas definies so suficientes? O que mol de uma quantidade? Discuta a mobilidade dos tomos e molculas nos gases e vapores. 3. Explique em detalhe as leis de BoyleMariotte (p.V = constante) e a de Charles (p/T = constante). Faa grficos. 4. O que so Gases Ideais ou Gases Perfeitos? Quais so as caractersticas fsicas marcantes desse sistema de agregao da matria? Quando os Gases Reais podem ser aproximados por Gases Ideais? Exiba e discuta a Equao dos Gases Perfeitos ou Equao de Clapeyron-Mendeleiev. 5. De posse do conhecimento da Teoria Cintica dos Gases, podemos conhecer muito do comportamento dos gases, mas alguns conceitos so importantes. Assim, o que velocidade mdia? O que livre caminho mdio? O que difuso de gases? O que efuso dos gases? 6. Questo para Pesquisar. Como podemos entender, luz da Teoria Cintica dos Gases, os seguintes fenmenos de transporte atravs da matria gasosa: - condutividade trmica; - viscosidade; - transpirao trmica. Alm de conseguirmos um bom entendimento do comportamento dos gases quando em movimento, h uma srie de sensores de presso cujo princpio de funcionamento est baseado nesses conceitos. 7. Uma vez utilizado o modelo da Teoria Atmica da Matria com a Teoria Cintica dos Gases, como interpretamos fisicamente as seguintes grandezas: presso e temperatura. Agora pesquise: O que so graus de liberdade para a energia? 8. Descreva em detalhe o princpio de funcionamento e o mecanismo dos seguintes dispositivos, aes ou equipamentos bastante presentes em nosso cotidiano: - Desentupidor de pia. - Tomar suco de canudinho. - Aspirador de p. - Ventosa. - Limpar a calada com um esguicho de gua. - Afastar duas placas de vidro, ou outra superfcie bastante lisa e plana, com gua entre elas. - Discuta dentro do assunto das ventosas como voc poderia medir a fora suportada por ela. - Faa um modelo fsico e um possvel arranjo experimental. - Conta-gotas e a pipeta para determinar um determinado volume de lquido. - Depois de usar um guarda-chuva, gir-lo vigorosamente para remover a gua de sua superfcie. Estas ltimas questes parecem simples talvez sejam! , acredito que no. Explique os seus mecanismos fsicos de funcionamento a partir de primeiros princpios. Este tipo de exerccio
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV bastante instrutivo, pois possibilita entender o que significa realizar o primeiro passo para a construo de um modelo fsico de um fenmeno. Isto essencial para aplicarmos o nosso conhecimento realidade. 9. Digamos que temos um recipiente e o conectamos a uma bomba de vcuo. A medida que passa o tempo, verificamos que a presso vai diminuindo. Voc pode tambm dizer que com a diminuio da presso a gravidade dentro do recipiente tambm diminui? Ainda mais, se pudssemos remover completamente as molculas do gs do interior do recipiente, teramos uma gravidade tambm nula no interior do recipiente? Discuta esta questo. Uma situao tem a haver com outra, ou seja, gravidade e presso atmosfrica esto ligadas entre si? Somente como comentrio, h muita confuso referente a estes aspectos, existncia e ausncia de gravidade e existncia e ausncia de presso atmosfrica.
Comentrio: Este roteiro to longo como importante. Mas est plenamente justificado dados a importncia e o alcance dos conceitos tratados. Muitos conceitos e instrumentos da Tecnologia do Vcuo esto apoiados nos aspectos fenomenolgicos dos gases ideais. Um ponto chave para um bom domnio da tecnologia do vcuo tanto do ponto de vista do projeto como de sua instrumentao assim como dos inmeros processos industriais e cientficos uma compreenso dos seus conceitos bsicos. Alm dos livros indicados logo abaixo consulte tambm livros referentes fsico-qumica dos gases e vapores. Nunca devemos perder de vista os conceitos bsicos e a sustentao fsica das tecnologias existentes. Tanto para entender profundamente os vrios aspectos das tecnologias assim como para gerar idias novas, a teoria imprescindvel. Utilize tambm os textos disponveis no site da Fatec-SP dentro do Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV. As referncias mais importantes, ao nvel de nossa disciplina, so: - Tecnologia do Vcuo, A. M. C. Montinho e outros (captulo 1); - A Users Guide to Vacuum Technology, J. F. OHanlon (captulo 2); - Fundamentos de la Ciencia y Tcnica del Vaco, G. Lewin (captulo 1); - Modern Vacuum Practice, N. Harris (captulo 2); - Vacuum Physics and Techniques, T. A. Delchar (captulo 1); - Curso de Fsica: Calor, M. Ference Jr. e outros (captulo3); - An Introduction to Fundamental of Vacuum Technology, H. Tompkins, e - Alm do livro-texto e ainda muitos outros. BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Comportamento dos Gases Reais Teoria Cintica dos Gases

O modelo de gs ideal, no obstante a sua simplicidade, lana luz sobre o entendimento de muitas caractersticas fsicas importantes dos sistemas gasosos. Apesar do modelo de gs ideal ou gs perfeito lanar luz sobre o comportamento dos sistemas gasosos, h uma srie de imperfeies neste modelo. Este o caso interessante cuja melhoria no modelo de gs ideal se deu considerando aspectos inerentes teoria atmica da matria. Van der Waals considerou interaes entre os tomos ou molculas que compe o gs. Explicitamente levou em considerao as foras que agem entre as molculas do gs e tambm sups a existncia de um volume prprio dessas molculas. Assim, essas partculas minsculas comeavam a tomar a forma de uma estrutura mais complexa. Este modelo se deu em um momento da histria da fsica em que muitos avanos estavam ocorrendo, por exemplo, as equaes de Maxwell do eletromagnetismo estavam dadas e com isso o modelo da luz como sendo uma radiao eletromagntica. A distribuio de energia de Maxwell-Boltzmann em um gs. A definio de entropia e o incio dos estudos de descarga eltrica em gases. das Vamos, a seguir, estudar em detalhe o modelo de gs real. Essas novas idias e teorias abriram as portas para a grande revoluo na fsica sculo XX. O modelo de gs ideal vale para uma faixa relativamente estreita de valores de presso e temperatura, e ainda depende do tipo de gs. Abaixo da temperatura crtica e para densidades crescentes o modelo de gs ideal falha. O motivo fsico est no fato de serem as foras de interao entre os tomos e molculas importantes frente a energia cintica das partculas. Temos a proposio atualmente de mais de 30 equaes de estado, algumas ainda so fenomenolgicas. Para as condies que usualmente encontramos nos sistemas de vcuo, podemos adotar o modelo de gs ideal em muito boa aproximao. Nos casos que temos os gases interagindo com as paredes do sistema de vcuo, deveremos levar em considerao o potencial de Van der Waals. Um aspecto importante tanto na cincia como na tecnologia a identificao do sistema fsico em estudo, ou seja, qual exatamente o nosso objeto de estudo e trabalho. Em geral, esta etapa da modelagem de sistemas fsicos fundamental. Devemos ter sempre em mente que qualquer problema real, por mais simples que possa parecer, de soluo impossvel! Se formos levar em considerao todas as interaes possveis que podem ocorrer com uma pedra que est prxima superfcie da
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV Terra, mal conseguiramos sequer montar o problema. Pense em todos os corpos do Universo interagindo com essa pedra. Talvez seja impossvel para uma mente humana! E se fosse possvel montar o problema, depois de pronto, uma grande parte dos corpos teriam mudado de lugar, muitos sis teriam se apagado, etc. Assim, devemos ter claro que sempre precisaremos fazer simplificaes, sempre, no tem como escapar. Parece paradoxal: para fazer simplificaes, voc precisa conhecer muito sobre o assunto, justamente para desprezar certas ocorrncias suprfluas. O conhecimento da teoria fundamental, mas devemos praticar a sua aplicao realidade, ou seja, devemos aprender a fazer modelos de sistemas fsicos. Na disciplina de tecnologia do vcuo, teremos a oportunidade de estudar e modelar sistemas reais, encontrados em laboratrios e em linhas de produo. Veremos que dependendo da forma que montamos um problema, ela dir se o problema solvel ou no. Em fsica dizemos que o problema deve ser bem posto, ou seja, o problema deve ser enunciado de forma clara e com as perguntas bem formuladas. Na vida real, nos montaremos os problemas e em seguida deveremos resolv-los. Dependendo da forma como montarmos os problemas a sua soluo poder quase que emergir naturalmente da modelagem. Em seguida, em geral, nos resta a soluo matemtica do problema, que pode ser analtica, raramente conseguiremos desta forma, ou pode ser numrico-computacional, que a forma a qual quase sempre a conseguiremos. No h outra maneira seno fazermos para conseguir obter experincia em qualquer que seja o assunto. Se a soluo realmente representa o fenmeno somente a experincia poder nos dizer. Comparando os dados experimentais com os resultados da modelagem poderemos dizer se fizemos um bom modelo, se as hipteses e os detalhes introduzidos no modelo foram suficientes e representam bem a realidade. 1. Em que situao falha o modelo de gs ideal ou perfeito? Faa um grfico, para vrias temperaturas, no plano p-V. Explique o fenmeno de condensao. Quando podemos aproximar um gs real por um gs ideal? 2. O que so foras de Van der Waals? Quais so os dois ingredientes introduzidos na Equao de Estado dos Gases Reais? No limite, mostre que recai na Equao de Estado dos Gases Ideais. luz da teoria atmica da matria como voc explica a origem das foras de Van der Waals. Ainda, como explicar os estados de agregao da matria considerando esta importante fora. Considere o potencial de Lennard-Jonnes. 3. Descreva em detalhe o princpio fsico dos seguintes dispositivos, aes ou equipamentos bastante presentes em nosso cotidiano:
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV - Dificuldade em abrir uma geladeira logo aps ter sido fechada, isto em um dia mido. - Botijo de gs de cozinha. - Secar uma toalha. Ela fechada. Ela aberta. Com vento. Com aquecimento. Fale da eficincia de cada forma de secagem. - Uma queijeira na geladeira apresenta condensao no uniforme de gua em sua superfcie. - Panela normal e panela de presso. - Cheirar um perfume a uma distncia de alguns metros dele em uma sala sem ventilao. - gua colocada em recipientes guardando um salgadinho que foi frito, como nas padarias. Estas questes tambm parecem simples talvez sejam! , mas mais uma vez, acredito que no so simples. Tudo vai depender de como encaramos o que seja uma explicao convincente e feita a partir de princpios fsicos bsicos. Assim, explique os seus mecanismos fsicos de funcionamento a partir de primeiros princpios. Este tipo de exerccio bastante instrutivo, pois possibilita entender o que significa realizar o primeiro passo para a construo de um modelo fsico de um fenmeno. Isto essencial para aplicarmos o nosso conhecimento realidade. Existem muitas aplicaes industriais da tecnologia do vcuo sustentadas em conceitos exatamente os mesmos referentes aos casos acima. Ainda h bombas de vcuo cujo princpio de funcionamento o mesmo do exemplo da queijeira. 4. Sempre e de forma enftica dissemos que a propriedade mais marcante que os gases e vapores, isto , a matria no estado gasoso tem o fato de ocupar totalmente o espao ou o volume onde elas esto. Sendo que tanto a forma como o volume dos gases e vapores so totalmente determinados pelo recipiente que eles esto. Sendo assim, por que os vrios tipos de gases e vapores que compem a nossa atmosfera no escapa da Terra e procura ocupar o espao de todo o Universo? Mais, na Lua a presso na sua superfcie da ordem de 10-7 torr. Por que l temos vcuo, mais precisamente altovcuo? 5. Diante da questo referente a atmosfera do nossa Terra, podemos nos aprofundar um pouco mais. Discuta e pesquise a questo sobre como varia a presso em relao a altitude. Veja que sabemos que a presso ao nvel do mar maior de a presso na cidade de So Paulo, que por sua vez maior que a presso em Campos do Jordo. Pesquise sobre o assunto desta questo. Diga e interprete fisicamente a equao da lei da atmosfera isoterma.
Comentrio: Este roteiro no to extenso como o roteiro anterior, mas to importante como ele. Muitos conceitos, aplicaes e equipamentos da Tecnologia do Vcuo esto apoiados neles. Na disciplina de tecnologia do vcuo temos a oportunidade de estudar os princpios e aplicaes de inmeros processos que ocorrem em baixas presses. Veja que retomamos em algumas questes o assunto referente aos gases perfeitos. O estudante deve-se convencer que apesar do nome gs perfeito, ele ocorre em condies de temperaturas relativamente altas e em baixas densidades. Por temperaturas relativamente altas queremos dizer acima da temperatura crtica. Sabemos que cada tipo de gs tem sua temperatura crtica. Mas cabe mencionar que mesmo que o gs esteja a
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV temperatura abaixo da sua temperatura crtica se ele estiver em densidades bastante baixas poderemos ter a observncia bastante boa da lei de Boyle-Mariotte, Aproveitamos este espao tambm para apresentar as referncias mais importantes: Tecnologia do Vcuo, A. M. C. Montinho e outros (captulo 1); A Users Guide to Vacuum Technology, J. F. OHanlon (captulo 2); Fundamentos de la Ciencia y Tcnica del Vaco, G. Lewin (captulo 1); Modern Vacuum Practice, N. Harris (captulo 2); Vacuum Physics and Techniques, T. A. Delchar (captulo 1); Curso de Fsica: Calor, M. Ference Jr. e outros (captulo3); An Introduction to Fundamental of Vacuum Technology, H. Tompkins; e Muitos outros.
Esta lista tem por objetivo marcar a presena no estudo dos gases reais, no mnimo de forma bastante simples e rpida, sem perder os pontos principais. Tendo a oportunidade aprofunde-se no assunto. Como referncia, veja tambm o livro: Curso de Fsica: Calor, M. Ference Jr. e outros. H tambm inmeros livros de fsico-qumica que tratam muito bem deste assunto. Em geral nestes livros o assunto dos gases e vapores abre para a teoria atmica da matria, como ocorreu historicamente. BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV Trabalho Adicional: Traduza e Estude o Texto a Seguir.
TEXTO SOBRE PRESSO DE VAPOR

Extrado da monografia de H. G. Tompkins, An Introduction to Fundamentals of Vacuum Technology - American Vacuum Society AVS. A vapor is a gas near its condensation temperature. The concept of vapor pressure is equally valid when the condensed phase is a solid or a liquid, although in vacuum technology, the solid form is usually the one encountered. We shall use the liquid form as an example simply because it is easy to understand. Suppose we have a closed container held at constant temperature and we put a liquid in the bottom, at suggested in figure 24. For simplicity let us suppose that we remove the gases above the liquid. Molecules from the liquid evaporate and become gas molecules at a rate, which is dependent on the surface area and the temperature. Let us suppose these to be constant, thus the rate of molecules leaving the liquid is a constant. At the same time, molecules from the gas phase strike the liquid surface and go from the gas phase to the liquid phase (condense). The number of molecules condensing depends on how many there are in the gas phase. In the beginning, there are very few molecules in the gas phase hence the number going from liquid to gas is much greater than the number going from gas to liquid, and the pressure of the molecules (the partial pressure) will increase. When the pressure has increased to the point that there are as many molecules going into the liquid as going out of the liquid, equilibrium has been reached and the gas phase is satured. Note also that the gas phase molecules are striking the other surface of the container and forming a condensed layer there also.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
To be absolutely correct, the term vapor pressure refers to the partial pressure of the vapor at any time. At saturation, the proper term is saturation vapor pressure or equilibrium vapor pressure. Actually, common practice is to use the term vapor pressure when what is meant is saturation vapor pressure. We shall follow the common practice and use the term vapor pressure. Suppose we now heat our closed container to a higher temperature. The rate of molecules going from one phase to the other changes and as the pressure change, equilibrium is again reached. The increased temperature affects both processes, liquid to gas, and gas to liquid. It does not affect the processes equally, however, and the net effect is that increased temperature causes higher vapor pressures.
Although we have used a liquid for illustration, the same phenomena occur for solids. The process of atoms or molecules leaving the surface is called sublimation rather than evaporation but it is essentially the same. Figures 25 and 26 show the vapor pressure for several materials. If one were to insert a piece of solid CO2 (dry ice) into an evacuated chamber, at 100 K, it would sublime until the partial pressure of CO2 close to 10-4 Torr or until the dry ice were gone whichever came first. On the other hand, at the temperature of 1500 K, tungsten has a vapor pressure below 10-11 Torr and very little sublimation occurs. These are equilibrium curves and not kinetic curves. They say nothing about how vapor pressures sublime faster than materials with low vapor pressure.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Of more practical interest is the fact that zinc, which is a constituent of brass, has somewhat higher partial pressure. At 100 C or 373 K and below, the vapor pressure of zinc is below 10-11 Torr. A system which is being baked sometimes reaches 250 C or 523 K, the vapor pressure at this temperature is about 10-4 Torr and one would probably find zinc at rather unexpected places inside the system. Cadmium plated screws are to be avoided for the same reason.
____________________ _____________________________
TAREFA Este texto expe muito bem o fenmeno de presso de vapor e o seu enfoque voltado tecnologia do vcuo. Aqui est uma boa oportunidade de reforar o aprendizado sobre o assunto, bastante discutido e enfatizado em sala de aula e nos exerccios. Como dissemos, exaustivamente, o fenmeno de presso de vapor muitssimo importante para entender inmeros processos que ocorrem em vcuo e tambm para entendermos o princpio de bombeamento e limitaes de algumas bombas de vcuo. Os materiais que usamos na construo de sistemas de vcuo devem ter a sua presso de vapor verificada em funo da temperatura. Tambm temos aqui a oportunidade de praticar a lngua inglesa. Como tarefa, traduza o texto e faa comentrios sobre o assunto. Separe a traduo dos comentrios. BOM TRABALHO!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Regimes de Escoamento dos Gases, Condutncia e Velocidade de Bombeamento

O objetivo principal da Tecnologia do Vcuo criar condies para a diminuio da presso em recipientes, para tanto, o gs precisa ser transportado de uma regio para outra regio. O estudo e clculo das condutncia dos tubos e orifcios so de suma importncia para um eficiente projeto do sistema de vcuo no que se refere ao processo de remoo dos gases. Para isso precisamos ter claro os regimes de escoamento dos gases. Em baixas presses os gases e vapores podem escoar de quatro formas completamente diferentes entre si. Temos os regimes de escoamento viscoso turbulento, viscoso laminar, intermedirio ou transio e molecular. O processo fsico de cada um desses regimes de escoamento tem caracterstica prpria. Isto faz com que as expresses matemticas sejam bem diferentes para cada regime de escoamento. Matematicamente, o critrio para a identificao do tipo de escoamento que est ocorrendo dado pelo nmero de Knudsen. Este nmero o quociente entre o livre caminho mdio com uma dimenso tpica do tubo por onde escoa o gs, em geral o seu dimetro, se o tubo for de seo circular. Diante de uma anlise fsica do processo de transporte dos gases em uma tubulao, considerando a hiptese atmica, possvel entender as diferenas entre os vrios tipos de escoamento. No escoamento viscoso laminar o gs se comporta como um meio contnuo e o fluxo de gs ocorre como se fosse em camadas bem determinadas. No caso do escoamento molecular o transporte dos gases se d completamente de forma aleatria. No existe neste caso uma coerncia macroscpica no transporte. Isto tem conseqncias prticas: no regime de escoamento molecular o transporte dos gases muito menos eficiente, acarretando uma menor condutncia, considerando os outros dados fsicos constantes. Os modelos de clculo de condutncia em tecnologia do vcuo so voltados essencialmente s geometrias simples. Sistemas de vcuo complexos tm sua modelagem complicada. No obstante, podemos fazer em muitos casos modelos factveis cujos clculos podem ser realizados de forma simples e por meio deles obter uma boa compreenso do comportamento dos sistemas de vcuo em anlise. Neste roteiro teremos a oportunidade de nos depararmos com questes centrais da tecnologia do vcuo, sem esses conceitos, acredito que impossvel de termos uma compreenso suficientemente profunda do processo de transporte e bombeamento dos gases e vapores rarefeitos. Um outro ponto que nunca devemos perder de
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV vista quanto a questo da mobilidade dos tomos e molculas. Em todos os estados da matria os tomos esto em movimento. Ocorre que no estado gasoso o movimento se d mais livremente, podendo as trajetrias ser de grande comprimento, dependendo exclusivamente da densidade do gs. Nos estados slido e lquido, intrinsecamente os movimentos so de pequenas distncias. Este estudo deve ser aprofundado, devendo ser pesquisado e estudado, pois nele est a essncia para o entendimento fsico dos estados da matria em conjunto com o potencial de natureza eletromagntica que existem entre as partculas que compe o gs ou vapor. O movimento constante e catico dos tomos e molculas, presente em todos os estados da matria, e no caso do gs sem um centro de fora definido e com isso podendo ter movimentos de longo alcance que garante a sua possibilidade de bombeamento. Explicando melhor. Veja que a bomba de vcuo no tem nenhum mecanismo de atrair ou trazer para ela os tomos e molculas que devero ser bombeados. So as partculas que devero chegar at a bomba de vcuo, e em seguida essas bombas de vcuo vo fazer com estas partculas no fiquem mais no ambiente do sistema de vcuo exercendo presso. Veremos no assunto das bombas de vcuo com essas bombas fazem o processo de bombeamento. Devemos ter sempre presente que os termos em geral empregados para designar o bombeamento dos gases e vapores pelas bombas de vcuo, tais como, sugando, chupando, puxando, ou ainda atraindo as partculas do gs, no tm sentido fsico. Estes preconceitos tm trazido e introduzido muitos malefcios tecnologia do vcuo, uma vez que alm de levarem a uma interpretao errada dos fenmenos, eles tm conseqncias do ponto de vista prtico nos projetos e utilizao de sistemas de vcuo. Isto se d pois camufla a importncia do conceito da condutncia, que ao meu ver a grandeza mais importante da tecnologia do vcuo. Assim retomando o assunto, sempre so as partculas tomos e molculas que devero chegar s bombas de vcuo e em seguida as bombas de vcuo faro alguma coisa com elas para no voltarem ao sistema de vcuo. Isto que podemos definir como bombeamento das bombas de vcuo, e mais frente, veremos quais os princpios fsicos que podem ser usados para que elas bombeiem. Desta forma, mais uma vez enfatizamos como os conceitos, por exemplo, o da condutncia, so fundamentais. No caso da condutncia, deveremos ter a tubulao com suficiente passagem para as partculas poderem atingir com facilidade s bombas de vcuo.
1. Como voc define velocidade de bombeamento de uma bomba de vcuo? Considere o raciocnio da bomba de vcuo do tipo de uma seringa de injeo. Considere uma montagem bsica
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV em que podemos fazer vcuo em um recipiente. Ainda, como podemos entender o bombeamento de parte do vapor de gua na atmosfera quando colocamos um copo com gua gelada sobre uma mesa. Mais ainda, quando cortamos um pedao de ferro. Temos com isso a construo de uma bomba de vcuo? Discuta o assunto e fale sobre o seu mecanismo de fixao de gases. interessante observar que quase todas as bombas de vcuo existentes tm seus princpios de funcionamento que podem ser entendidos por meio dos exemplos acima. 2. O que throughput? Exiba a expresso matemtica que define esta grandeza e explore a mesma. 3. Quais so os tipos de escoamento de gases em tecnologia do vcuo? Explique fisicamente cada um deles; diga quais so as caractersticas marcantes de cada tipo de regime de escoamento. Dedique especial ateno a essa questo. Quase tudo em tecnologia do vcuo depende de uma compreenso clara sobre como se d o processo de escoamento dos gases. 4. O que condutncia em sistemas de vcuo? O que representa esta grandeza? Discuta a dependncia com o regime de escoamento. 5. Qual o critrio matemtico que determina o tipo de regime de escoamento dos gases que estamos trabalhando? Faa um formulrio com as expresses para a condutncia dos tubos, tanto de seo circular como de seo retangular, e tambm para orifcios, nos vrios regimes de escoamento de gases. 6. O que velocidade de escoamento efetiva? Explore este assunto. Como este ponto liga-se velocidade de bombeamento e a condutncia? 7. Nas questes acima apresentamos vrias grandezas importantes no contexto dos sistemas de vcuo. Para essas grandezas exiba as suas unidades. Apresente as unidades utilizadas usualmente e tambm no Sistema Internacional de Unidades. 8. Com relao ao bombeamento de gases. Vamos explorar esta importante questo. Sabemos como bombear eficientemente uma quantidade de gua de uma caixa. Faa um modelo, bastante simples, de uma caixa dgua sendo bombeada por uma bomba dgua. A soluo do problema simples. Veja que o lquido mantm o seu volume quando aplicamos uma presso nele. Isto bastante bem verificado experimentalmente. Agora, no caso do gs isso no ocorre. Ainda, como o gs ocupa todo o espao que fornecido para ele, temos que a maneira como se d o seu bombeamento completamente diferente do caso do lquido. Discuta esta questo. Ela essencial para entender o efeito de bombeamento de gases e vapores. Tente fazer um modelo fsicomatemtico do bombeamento de um gs em um recipiente com uma bomba de vcuo de velocidade de bombeamento constante.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV Comentrio: Nos projetos em tecnologia do vcuo certamente intervm as grandezas estudadas neste roteiro. Os conceitos apresentados so, acredito, os mais importantes da cincia e da tecnologia do vcuo, pois a caracterstica mais marcante dos gases em baixas presso est ligada ao modo como se escoam em uma tubulao. Como quase sempre interligamos a bomba de vcuo cmara de vcuo por meio de uma tubulao de fundamental interesse considerar como esta tubulao intervm no processo de transporte dos gases e vapores. Assim, trate este assunto com muita dedicao, em todos os assuntos nesta disciplina, os conceitos vistos sero centrais, quer no projeto, quer no desempenho dos equipamentos, quaisquer que sejam, bombas de vcuo, sensores de vcuo, componentes auxiliares, etc. Uma discusso de caracter mais geral pode ser feito j nesta altura da disciplina. Os alunos j devem estar notando que os problemas que esto sendo discutidos e tratados requerem muitas consideraes referentes a aproximaes. Esta uma caracterstica muito marcante dos problemas que ocorrem de fato no nosso dia a dia. Qualquer que seja o problema, por mais simples que julgamos que seja, se tivermos que levar em conta tudo o que ocorre com ele, as interaes de todos os tipos possveis, sequer teremos tempo ou capacidade intelectual para montar matematicamente o modelo do problema. Um passo, no s importante, mas crucial resoluo de problemas saber fazer aproximaes, saber considerar o essencial e deixar de lado o suprfluo. Dependendo do problema, um aspecto para uma dada situao de modelagem pode parecer que ele suprfluo, mas em outra situao pode ser essencial. Depende do detalhamento que desejamos atingir. Por exemplo, para o movimento de um corpo na superfcie da Terra, uma pedra, considerar a atrao gravitacional essencial, caso contrrio a pedra no cair! Considerar a resistncia do ar, ir depender de fatores como o coeficiente de arraste da pedra, que est relacionado com o seu perfil aerodinmico. Depender tambm da velocidade que a pedra atingir. Assim, para baixas velocidades podemos desprezar esta fora. Mas veja, se uma folha de papel estiver aberta e a deixarmos cair, certamente no poderemos desconsiderar a fora de resistncia com o ar, mesmo no incio do movimento, cuja velocidade muito pequena, prximo de zero. Voltando pedra. Certamente no precisaremos considerar a atrao gravitacional da Lua, do Sol ou de Alfa-Centauro. Mas se estivermos, por exemplo, tratando das mars, certamente deveremos considerar a atrao gravitacional da Lua, ela essencial para explicar o fenmeno, a gravidade da Terra no explica as mars. Mas sem ela a gua no estaria presa Terra. O movimento de um pra-quedas somente pode ser explicado caso haja gravidade e resistncia com o ar. Sem gravidade o pra-quedista no cai, sem resistncia do ar ele no serve para nada o seu pra-quedas. Assim, no mnimo, devem existir esses dois ingredientes na modelagem do movimento
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV do pra-quedista: a fora gravitacional e a fora de arraste do pra-quedas devido a resistncia com o ar. Na Lua no existe o problema do pra-quedista, pois l a presso na sua superfcie da ordem de 10-7 mbar. BOM TRABALHO!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Clculo das Condutncias e Velocidade Efetiva de Bombeamento

Uma etapa importante no trabalho de um projetista de Tecnologia do Vcuo a determinao e especificao das bombas de vcuo a serem utilizadas. Para isto, devemos conhecer o valor da velocidade de bombeamento da bomba de vcuo; este valor depende em geral de dois outros valores, a saber: a velocidade efetiva de bombeamento e a condutncia da tubulao que liga a cmara de vcuo bomba de vcuo. Assim, devemos saber calcular o circuito de vcuo e como associar as condutncias. Este assunto est intimamente ligado ao do roteiro anterior. Como ponto de partida para a determinao matemtica das condutncias, devemos ter a identificao do regime de escoamento. Isto se faz necessrio, uma vez que a expresso matemtica correta depende fortemente do regime de escoamento. Como exemplo, considere um tubo de certos dimetro e comprimento, um certo tipo de gs a uma da temperatura; podemos ter uma variao de mais de 100.000 vezes entre a condutncia no regime de escoamento laminar, prximo presso atmosfrica, e no regime de escoamento molecular. Diante disso devemos identificar o regime de escoamento para os clculos relativos determinao da velocidade efetiva de bombeamento. Neste roteiro voc ter oportunidade de calcular condutncia, e ver que podemos estar diante de um problema que pode ser extremamente simples ou diante de um problema extremamente complicado. De certa forma isto reflete o fato de termos maneiras muito distintas entre si para o processo de transporte dos gases em sistemas de vcuo. O que considero importante neste estgio da disciplina que comece a ficar claro ao estudante o papel crucial da condutncia no transporte dos gases e suas conseqncias do ponto de vista do desempenho dos sistemas de vcuo. Veja que este assunto requer bastante reflexo e espero que os iniciantes na tecnologia do vcuo comecem a pensar no assunto e faam uma imagem consciente da sua importncia. Alm de clculos de sistemas de vcuo, no que se refere ao bombeamento de gases e vapores, o assunto sempre estar presente. Um exemplo pode ser dado quanto a instalao de medidores em uma cmara de vcuo ou qualquer outra posio no sistema de vcuo. A conexo do medidor no pode adulterar a medio da presso, assim, o assunto da condutncia novamente coloca. O conceito de condutncia tambm intensamente utilizado para podermos fazer injees controladas de gases e vapores em sistemas de vcuo.
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 1. Calcular as condutncias do orifcio e dos tubos abaixo desenhados. Considere a presso de trabalho ao redor de 10-6 mbar, o gs a mistura da atmosfera ar , estando temperatura ambiente de 20C. a) Orifcio. b) Tubo de seo transversal circular.
Dentro desta mesma questo, considere o texto a seguir. Discuta os casos apresentados acima adotando outras presses em que ocorre o escoamento dos gases ou ainda vapores. Isto quer dizer: Considere os outros regimes de escoamento dos gases. Somente esboce a soluo do problema. Como possvel verificar, nos regimes de escoamento viscoso laminar e intermedirio os clculos das condutncias no so to simples como no regime de escoamento molecular. Neste regime estudamos que a condutncia no depende da presso.
c)Tubo de seo transversal retangular.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 2. Considere o circuito de vcuo abaixo desenhado. O gs de trabalho a mistura atmosfrica temperatura de 200C. Calcule a condutncia do circuito de vcuo operando presso de 10-7 mbar.
Continuando dentro da mesma questo. Faa agora os clculos considerando a temperatura ambiente. O circuito de vcuo simples mostrado acima bastante comum e expe as principais caractersticas de circuitos de vcuo mais gerais. Faa uma discusso da questo da passagem do gs de um tubo de maior dimetro para um tubo de menor dimetro, como mostrado no caso acima. Agora, e se fosse o sentido de escoamento dos gases, do menor dimetro para o maior dimetro. Na mesma questo: como devemos considerar o cotovelo no clculo da condutncia? Esta parte da questo para pesquisar. Veja o livro de A.Roth, Vacuum Technology. Ainda h outras publicaes em nossa biblioteca que trata bastante bem questo mais refinada. Tambm como refinamento, considerando a passagem abrupta de um dimetro para outro valor de dimetro em uma seqncia de tubos, como podemos tratar esta questo. 3. Para um processo industrial operando presso de 10-1 mbar, presso mdia, avalie condutncia e a velocidade de bombeamento efetiva. O circuito de vcuo mostrado abaixo. Considere o gs sendo a mistura atmosfrica temperatura ambiente de 20C. Faa as simplificaes necessrias para o clculo e exponha com clareza o seu raciocnio. a
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Bomba de vcuo com Sb = 100 litros / minuto Continuando. Qual a dificuldade no clculo de condutncias nos regimes viscoso e intermedirio? Esta questo no muito fcil. Para situaes como essa muitas vezes iremos necessitar de um clculo feito por meio de mtodos numricos. Apresente as unidades das grandezas utilizadas nesta questo. Faa o mesmo se voc estivesse trabalhando no Sistema Internacional de Unidades. Infelizmente, ainda na tecnologia do vcuo, utilizamos unidades fora do sistema internacional. Acredito que teremos que esperar alguns anos para incorporar o SI nossa disciplina. No obstante, precisamos estar atentos, pois muito comum em tecnologia do vcuo e suas ramificaes a utilizao de unidades das mais diversas, misturando inclusive inmeras unidades. Devemos estar sempre atentos a est questo, pois podemos errar por ordens de grandeza se no prestarmos ateno a este aspecto.
Comentrio: Faa uma exposio clara dos raciocnios adotados, escreva as expresses gerais e somente depois faa as simplificaes e as particularizaes necessrias resoluo do problema especfico. Muitas vezes usamos expresses matemticas e concluses sem antes fazermos uma verificao se so aplicveis s situaes que estamos tratando. Isto um grande risco! Sempre devemos verificar o universo de validades dos conceitos e dos teoremas.Este tipo de questo apresentado mostra-nos como j comeamos a esbarrar em problemas cuja soluo requer a interveno de ferramentas matemticas mais sofisticadas, e ainda a sua soluo por meio de mtodos numrico-computacionais. Os clculos de sistemas de vcuo em geral recaem em equaes diferenciais no lineares, que so de difcil soluo sem a interveno dos mtodos numricos. Esta uma caracterstica geral tanto da cincia como da tecnologia. Um fato absolutamente dentro do cotidiano dessas atividades. Assim, temos que comear a conviver com elas e aprender a utilizPa. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 So Paulo - SP, Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV las! Nos projetos em tecnologia do vcuo certamente intervm as grandezas estudadas neste roteiro, como no caso do roteiro anterior. A aplicao dos conceitos apresentados so, acredito, os mais importantes da cincia e da tecnologia do vcuo, pois a caracterstica mais marcante dos gases em baixas presso est ligada ao modo como se escoam em uma tubulao. Do ponto de vista do projeto, quase sempre interligamos a bomba de vcuo cmara de vcuo por meio de uma tubulao de fundamental interesse considerar como esta tubulao intervm quantitativamente no processo de transporte dos gases e vapores. Assim, para determinar a bomba de vcuo necessria ao sistema de vcuo, certamente deveremos calcular condutncias e suas associaes. Assim, nos projetos e tambm conceitualmente os clculos feitos aqui sero determinantes para o desempenho dos equipamentos, quaisquer que sejam, bombas de vcuo, sensores de vcuo, componentes auxiliares, etc. Finalizamos este roteiro, reafirmando a necessidade de sempre termos de construir modelos de sistemas fsicos, no caso voltados tecnologia. No roteiro anterior fizemos uma discusso sobre o essencial e o suprfluo na construo de modelos. O julgamento de ser ou no ser essencial um determinado aspecto na modelagem de sistemas fsicos e tambm em outras reas, como economia, biologia, sociologia de suma importncia. Vemos em geral que ao introduzir de um detalhe a mais no modelo de um determinado sistema a sofisticao matemtica cresce muito. Assim, ser razovel diante dessas situaes a atitude mais importante. A questo toda saber at onde podemos ir, ou seja, qual o grau de detalhamento que devemos atingir. No h frmula para esse problema, somente nossa vivncia no assunto e a comparao dos resultados obtido na modelagem com os dados experimentais podem dizer se aquela modelagem foi ou no um sucesso. A partir da exposio do estudante ou do profissional com problemas novos que poderemos adquirir capacidade de fazer modelos. Certamente um ponto que sustenta tudo isso o nosso conhecimento terico, pois com a teoria sobre o assunto que poderemos incluir no modelo e supor como funciona aquele sistema. Voc pode estudar muito sobre natao, conhecer bem muitos dos aspectos importantes para aprender como obter um bom condicionamento fsico, e uma srie de outros conhecimentos que certamente ajudaro voc a se desempenhar melhor ao nadar, mas veja, voc vai ter que cair na piscina. No tem escapatria, voc dever se expor ao fato. Assim, faa! BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV ROTEIRO PARA ESTUDO E EXERCCIOS DE FIXAO 5
Os Vrios Tipos de Fontes de Gases e o Processo de Bombeamento em Tecnologia do Vcuo
Uma etapa importante no trabalho de um projetista de sistemas de vcuo a determinao e especificao das possveis fontes de gases e vapores que podem estar presentes no sistema de vcuo sendo analisado. Para poder especificar a instrumentao necessria para o bombeamento dos gases e vapores, devemos ter bastante claro quais os tipos de fontes gasosas que participam do processo em vcuo e tambm a sua intensidade. Este fato ser determinante para podermos dimensionar as bombas de vcuo e tambm escolher as mais adequadas dependendo do tipo de gs presente no processo. Para poder resolver matematicamente o problema devemos quantificar as fontes de gases e vapores. Esta tarefa em geral no simples, uma vez que para cada tipo de fonte de gs h uma fsica especfica para ela. Por exemplo, o vazamento virtual completamente diferente da degaseificao. Os problemas matemticos referentes ao processo de bombeamento em geral recaem em uma equao diferencial ordinria. A sua soluo por meio de procedimentos analticos bastante restrito, isto quer dizer que h pouqussimos casos cuja soluo pode ser alcanada e representada em forma analtica. A grande maioria dos casos a soluo matemtica do problema somente conseguida por meio de ferramentas matemticas do clculo numrico. Nestes casos, alm do conhecimento detalhado das fontes gasosas e sua quantificao deveremos ter as expresses matemticas, ou ainda, por meio de tabelas das condutncias e das velocidades das bombas de vcuo em funo da faixa de presso de operao. Uma caracterstica que encontramos nos sistemas de vcuo e presentes em outras tecnologias tambm a necessidade permanente dos conceitos vistos anteriormente. Os estudantes devem estar atentos para este fato importante. Assim, no podemos nos descuidar de nenhum ponto da teoria visto at o momento. Esta caracterstica do conhecimento ir acompanhar o estudante at o final do curso e certamente continuar em sua vida profissional. Geralmente em tecnologia do vcuo os modelos realizados so muito simplificados, em parte isto ocorre devido a falta de uma plataforma adequada para resolver matematicamente os modelos fsicos que deveriam estar sendo propostos. As bases fsicas para o entendimento do que ocorre com
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV a degaseificao, que tem origem na desorpo, a adsoro, a absoro, o outgassing , e outros efeitos importante que so importantes tecnologia
1. Cite e caracterize fisicamente os vrios tipos de fontes de gases e vapores que podem ocorrer em sistemas de vcuo. Temos esquematicamente mostrado abaixo um sistema de vcuo genrico com as vrias fontes de gases e vapores possveis. Todos os sistemas de vcuo, simples ou complexos, tm suas partes conforme mostrado no esquema a seguir. Apresente a equao diferencial mostrando explicitamente os termos relativos s fontes de gases e vapores importantes para a modelagem de sistemas de vcuo. Cmara de Vcuo
QVR QVap
QIC
Bombas de Vcuo QBV
QGP QPerm QFBV Deg
QVV
QSub Linha de Bombeamento
Desenho esquemtico de um sistema de vcuo geral, mostrando as suas partes principais: a cmara de vcuo com as possveis fontes de gases e vapores, a linha de bombeamento ou transporte de gases e o conjunto de bombas de vcuo. Na questo seguinte voc ter oportunidade de aprofundar o assunto relativo s fontes gasosas e tambm referente a origem fsica delas. Ns no estamos interessados no momento em resolver matematicamente a equao diferencial para os casos gerais encontrados em tecnologia do vcuo.
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV Mais frente resolveremos para duas situaes bastante simples, no obstante, bastante elucidativas e importantes no contexto da modelagem de sistemas de vcuo e a considerao das hipteses simplificadoras a serem sempre feitas. Isto ser tratado em detalhe. Veremos que a resoluo matemtica desses modelos que construiremos ser muito simples, mesmo assim, os resultados tero um alcance bastante grande. Para mais detalhes, veja a pgina 57 do livro A Users Guide To Vacuum Technology, de John F. OHanlon, 2 edio Wiley. Veja tambm o trabalho de mestrado do professor desta disciplina. Este livro temos em nossa biblioteca. 2. Explique fisicamente os seguintes termos e conceitos dentro da tecnologia do vcuo:
- Sorpo. - Absoro. - Adsoro. - Desorpo. - Outgassing (este termo no traduzido). - Degassing (este termo em geral traduzido como degaseificao). - Taxa de degaseificao especfica de um certo material. Complementando esta questo. Exiba a Equao Diferencial do Processo de Bombeamento de Gases e Vapores em Baixas Presses. Faa uma discusso detalhada sobre os seus termos e interprete-os fisicamente. Obs.: Veja o catlogo da Balzers. Compare com os livros disponveis na biblioteca e ainda os textos disponveis em formato eletrnico e que esto no site da Fatec-SP Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV. H muitos outros que expem bem o assunto sobre as possveis formas de liberao de gases e vapores em sistemas de vcuo. Este assunto central em tecnologia do vcuo.O ponto de partida para o projeto de sistemas de vcuo a identificao da fontes gasosas pertinentes ao processo. 3. Vamos integrar os conceitos trabalhos nos roteiros anteriores e este presente. De um modo geral os sistemas de vcuo podem ser concebidos conforme mostrado na figura a seguir. Temos a cmara de vcuo, a linha de bombeamento e as bombas de vcuo. Como tratamos anteriormente, integre as idias e os conceitos referentes ao processo de bombeamento com a condutncia e velocidade da bomba de vcuo. Considere tambm as vrias fontes de gases e vapores que podem existir nos sistemas de vcuo.
FATEC - SP
Esquema geral de sistemas de vcuo, mostrando a cmara de vcuo, a linha de bombeamento e a bomba de vcuo. Vemos tambm a relao entre a velocidade de bombeamento da bomba de vcuo, com a condutncia total da linha de bombeamento e a velocidade efetiva de bombeamento. Comentrio: Esta lista tem por objetivo fazer com que o estudante fixe os conceitos e nomenclatura utilizados em tecnologia do vcuo quando refere-se s vrias fontes de gases possveis e como estas podem ser minimizadas durante o processo de bombeamento. Os conceitos fsicos vistos neste roteiro formalizam a construo terica da tecnologia do vcuo no que refere construo matemtica de modelos dos sistemas de vcuo. H ainda, em continuidade aos exerccios propostos acima, um texto em ingls extrado do catlogo da Balzers. Fica aqui um convite ao estudante traduzir e certamente estudar mais esta fonte importante de informaes em tecnologia do vcuo. Junto com os livros, os catlogos so bons companheiro de estudo! BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV Trabalho Adicional: Traduza e Estude o Texto a Seguir.
DEFINIES E TERMOS EMPREGADOS NA TECNOLOGIA DO VCUO

Os termos seguintes, muito empregados na Tecnologia do Vcuo, foram extrados do Catlogo da Balzers 88/89. - Gas Gas is matter in a state of aggregation in which the mean distances between the molecules are large in comparison with their dimensions, and the mutual arrangement of individual molecules is constantly changing. Gas in the stricter sense is matter in gaseous state which cannot be brought to a liquid or solid state by compression at the prevailing temperature. - Gas ballast Inlet of a controlled quantity of a gas, usually into the compression chamber of a positive displacement pump, so as to prevent condensation within the pump. - Gettering Gettering means bonding of gas, preferably by chemical reactions. Getter (getter materials) often has large real surfaces. - Leak Leaks in a vacuum system are holes or voids in the walls or at joints, caused by faulty material or machining or wrong handing of the seals. - Leak rate The leak rate is the throughput of a gas through a leak. It is a function of the type of gas, pressure difference and temperature. - Maximum tolerable water vapor inlet pressure pwo The maximum tolerable water vapor inlet pressure is the highest inlet pressure at which a vacuum pump can continuously pump pure water vapor under ambient conditions of 20oC and 1013mbar. It is given in mbar. - Mean free path The mean free path is the average distance which a molecule travels between two successive collisions with other molecules. - Outgassing Outgassing is a spontaneous desorption.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV - Partial pressure The partial pressure is the pressure due to a specified gas or vapor component of a gaseous and/or vapor mixture. - Permeation Permeation is the passage of gas through a solid barrier or a liquid of finite thickness. Permeation involves diffusion and surface phenomena. - Pressure The pressure of a gas on a boundary surface is the normal component of the force exerted by the gas on an area divided by that area. - Pressure units The pressure units are Pascal as the S.I. unit, abbreviation Pa, and bar as a special unit designation for 105 Pa. 1 Pa = 1 Nm-2 1 bar = 1000 mbar = 105 Nm-2 = 105 Pa. The unit commonly used in the vacuum technology is the milibar. - Quantity of gas (pv value) The pv value is the product of the pressure and volume of a specified quantity of gas at the prevailing temperature. If the pv value is to be used as a measure for the quantity of substance or gas, this must be an ideal gas whose temperature must be specified. - Resistance The resistance is the reciprocal of the conductance. - Reynolds number Nondimensional quantity Re = d.v.l / n d = Density of fluid v = Average flow velocity l = Characteristic length (e.g. pipe diameter) n = Dynamic viscosity Re < 2300 Laminar flow Re > 4000 Turbulent flow
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV - Saturation vapor pressure The saturation vapor pressure is the pressure exerted by a vapor which is in thermodynamic equilibrium with one of its condensed phases at the prevailing temperature. - Sorption Sorption is the taking up of gas (sorbate) by a solid or a liquid (sorbent). Sorbents are also called sorption agents. - Standard reference condition The standard reference condition is the condition of a solid, liquid or gaseous substance determined by the standard temperature and standard pressure. - Standard temperature Tn = 273.15 K - Standard pressure Pn = 101325 Pa = 1013.25 mbar - Throughput The throughput is the quantity of gas (in pressure volume units) passing through a cross section in a given interval of time at the prevailing temperature, divided by that time. - Throughput of a pump The throughput of a vacuum pump is the throughput of gas pumped. - Total pressure The total pressure is the sum of all partial pressures present. This term is used in contexts where the shorter term pressure might not clearly distinguish between the individual partial pressures and their sum. - Ultimate pressure The ultimate pressure is the value which the pressure in a standardized test dome approaches asymptotically with normal operation of the vacuum pump and without gas inlet. Distinction can be made between the ultimate pressure which is due to no condensable gases, and the ultimate pressure which is due to gases and vapors (ultimate total pressure). The terms used in descriptions and technical data for the pumps and components in the catalog are standardized. The choice of the most important terms given below is intended to contribute to their uniform use and assist the less experienced user of vacuum technology in the use of the catalog. PNEUROP is the association of manufactures of compressors, vacuum pumps and pneumatic tools from twelve European countries, with a Vacuum Technology Committee. Its aim is to promote international standardization of vacuum components and vacuum test methods. The PNEUROP
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV proposals were submitted to ISO as a standards recommendation, and the majority of them has been incorporated in the standards of the European industrial countries for instance Germany, Great Britain and France. The PNEUROP recommendations contain the definitions, test methods and performance data for vacuum pumps, gauges and components which are binding for PNEUROP members. The products of Balzers Aktiengesellschaft and Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar GmbH conform to PNEUROP rules. - Absolute pressure gauge An absolute pressure gauge is a pressure gauge used to determine the pressure from the normal force exerted on a surface divided by its area. An absolute pressure gauge is independent of the gas type used. - Absorption Absorption is a type of sorption in which the gas (absorbate) diffuses into the bulk of the solid or liquid (absorbent). - Adsorption Adsorption is a type of sorption in which the gas (absorbate) is retained at the surface if the solid or liquid (absorbent). - Backing pressure The backing pressure is the pressure at the outlet of a pump which discharges gas to a pressure below atmospheric only. - Compression ratio The compression ratio is the ratio between the outlet pressure and the inlet pressure of a pump for a specific gas. - Concentration of molecules The concentration of molecules is the number of molecules contained in an adequately chosen volume divided by that volume. - Conductance The conductance is the conductance in the special case where the orifice or duct connects two vessels on which Maxwellian velocity distribution prevails. In the case of molecular flow, the intrinsic conductance is the product of the conductance of the inlet port of the duct section and the transmission probability of the molecules. In this flow range, it is dependent of the pressure. - Degassing
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV Degassing is a desorption which is accelerate by physical processes. - Desorption Desorption is the liberation of gases sorbed by a sorbent material. The liberation can be spontaneous or can be accelerate by physical processes. - Diffusion Gas diffusion is the movement of a gas in another medium due to its concentration gradient. The medium may be gaseous, liquid or solid. - Flow Viscous flow Viscous flow is the passage of a gas through a duct under conditions such that the mean free path is very small in comparison with the smallest internal dimension of a cross section of the duct. The flow is therefore dependent on the viscosity of the gas and may be laminar or turbulent. In the case of viscous flow, the resistance is a function of the pressure. Turbulent flow Turbulent flow (eddy flow) is a viscous flow with mixing motion above a critical Reynolds number (for circular cylindrical pipes Re = 2300). Laminar flow Laminar flow (parallel flow) is a viscous flow without mixing motion at small Reynolds numbers. Molecular flow Molecular flow is the passage of a gas through a duct under conditions such that the mean free path is very large in comparison with the largest internal dimensions of a cross section of the duct. In the case of molecular flow, the resistance is independent of the pressure. - Vacuum Vacuum is the state of a gas with the concentration of molecules being less than that of the atmosphere at the earth surface. Vacuum is the state of a gas with a pressure below atmospheric pressure, i.e. the air pressure prevailing at the respective location. The relationship between pressure p and concentration of molecules n (for ideal gases) is a follows: p * V= NMolecule * k * T k = 1.3807*10-23 JK-1 Boltzmann constant
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV T = thermodynamic temperature Vacuum ranges Low vacuum (GV) Medium vacuum (FV) High vacuum (HV) Ultra-high vacuum (UHV) mbar 1000-1 1 - 10-3 10-3 10-7 <10-7 Molecule Concentration 2.5*1025 2.5*1022 m-3 2.5*1022 2.5*1019 m-3 2.5*1019 2.5*1015 m-3 <2.5*1015 m-3
The molecule concentrations refer to a temperature of 20C. - Vapor Vapor is a substance in gas phase which is either in thermodynamic equilibrium with its liquid or solid phase (saturated vapor). Note: in vacuum technology, the word gas has been loosely applied to both the non-condensable gas and the vapor, if a distribution is not required. - Vapor pressure Vapor pressure is the partial pressure of a vapor. - Volume flow rate The volume flow rate is the volume of gas passing through the duct cross-section in a given interval of time at a specified temperature and pressure divided by that time. - Volume flow rate The volume flow rate S is the average volume flow from a standardized test dome through the cross section of the pumps intake port. Units for the volume flow rate are m3*s-1, l*s-1, m3*h-1. - Water vapor capacity Cwo The water vapor capacity is the maximum mass of water per unit of time which a vacuum pump can continuously take in and discharge in the form of water vapor under ambient conditions of 20C and 1013 mbar. It is given in g*h-1. The relationship between water vapor capacity cwo and maximum tolerable water vapor inlet pressure pwo is as follows: cwo = 217 * S * pwo /T in g*h-1 S = volume flow rate, in m3*h-1, at inlet pressure pwo
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV pwo = maximum tolerable water vapor inlet pressure, in mbar T = thermodynamic temperature of the water vapor pumped, in K. ________________________ ________________ Comentrio: mais uma vez temos a oportunidade de nos depararmos com um contedo rico e adequado ao estudo da tecnologia do vcuo. Os catlogos so uma fonte rica de informao e auxiliar no ensino. Alm de trazer o estado da arte no que se refere a instrumentao certamente para os catlogos atuais! , eles tambm trazem muitas vezes resumos tericos e princpios de funcionamento de medidores e bombas de vcuo, e outros mais. Alm dos livros, estudar com os catlogos, verificando a instrumentao e como especific-las certamente um complemento importante ao estudo de uma escola de tecnologia. Entender um catlogo, qualquer que seja a rea que o estudante futuramente ir abraar, um passo importante sua vida profissional. Assim, aproveite a oportunidade, mesmo que voc no venha trabalhar com tecnologia do vcuo, aprenda a transitar em um catlogo. Certamente voc far isto no futuro em sua rea de atuao. Alm de tudo que dissemos, muitos catlogos esto escritos na lngua inglesa, mais um bom motivo para praticarmos esta lngua. Os conceitos e definies tratados neste texto so importantes, pois esto no centro da determinao de grandezas que devem ser encontradas para o projeto de sistemas de vcuo e de suas aplicaes. Os catlogos que vocs tm disponveis seja na biblioteca seja no Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV so os mesmos em qualquer lugar no mundo. Assim, junto com os livros, mos obra e tambm aos catlogos! BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Medidores de Vcuo. Sensores Diretos e Indiretos de Presso Total
No trabalho de um projetista de Tecnologia do Vcuo uma etapa importante a determinao e especificao dos instrumentos a serem utilizados no sistema de vcuo. Fazem parte: a cmara de vcuo, as bombas de vcuo, os medidores de presso, os componentes auxiliares, e muitos outros. Para isto, devemos conhecer muito bem o princpio de funcionamento dos vrios instrumentos e componentes a serem comprados. Assim, devemos entre outros saber medir a presso em toda a faixa de operao do sistema de vcuo. Tambm devemos conhecer bem os detalhes do processo em vcuo a fim de no expormos os sensores de presso a atmosferas contaminantes, ou ainda, explosivas ou corrosivas. Com relao aos sensores de coluna de mercrio, vemos que estes sensores, os mais antigos medidores de presso, tm o seu princpio determinado a partir das leis da mecnica. Este tipo de medidor de presso coloca muito claramente a questo do que significa medir a presso a partir da sua definio, que a fora agindo em uma rea. Alm do aspecto instrutivo, este tipo de sensor bastante usado em metrologia de presso, uma vez que pelo fato de depender de aspectos da mecnica, e no depender do tipo do gs, o torna indicado na metrologia. Alm desse medidor, estudaremos o sensor Pirani e o termopar, baseados na conduo trmica dos gases. O medidor Pirani extensamente utilizado na medio de pr-vcuo. O sensor de membrana capacitava um medidor tambm baseado em princpios mecnicos, apesar dessa medio mecnica ser feita por procedimento eltrico. Os sensores de medio Penning, ou catodo frio e o sensor BayardAlpert, ou catodo quente, tm a medio de presso em alto-vcuo baseado na conduo eltrica dos gases e vapores. Neste roteiro o assunto a medio de presso no seu sentido mais amplo, que so os seus princpios fsicos, o princpio de funcionamento dos sensores e a sua utilizao. Tambm devemos ter claro os limites de operao dos sensores. Como ponto de partida conhecer se o processo de medio direto ou indireto. Levar em considerao a sua instalao no sistema de vcuo, observando o efeito da condutncia da conexo do sensor a parte em que est sendo feita a medio de presso. Veja mais uma vez nos deparamos com o conceito de condutncia. Este um aspecto marcante da tecnologia do vcuo, a condutncia sempre estar presente. Como exemplo, considere que o tubo de conexo do sensor devem ter
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV o seu dimetro e seu comprimento observado, caso contrrio corremos o risco de ter a medio de presso adulterada. Do mesmo modo devemos observar os campos magnticos e eltricos e a temperatura circunstante ao sensor de vcuo. Finalmente, mais uma considerao, no podemos nos distanciar da calibrao dos sensores, aspecto to importante no mundo industrial, uma vez que os certificados de qualidade exigem esta observao.
1. Explique a lei de Dalton; como relacionar as presses parciais com a presso total? A lei de Dalton obvia? Ela tem validade geral ou depende da suposio bsica do conceito de gases perfeitos? 2. O que so sensores diretos ou absolutos e indiretos? Exemplifique, exibindo uma lista de ambos os tipos de sensores. Fale em detalhe. 3. Por que em um manmetro de coluna de mercrio a rea transversal do tubo da coluna no intervm nos clculos? Explique detalhadamente este manmetro, o seu equacionamento responde a maioria das perguntas que fazemos sobre ele. Ele expe como nenhum outro medidor de presso o processo fsico de medio de presso. Ele ainda usado, inclusive como padro primrio de medio de presso. Temos aqui a oportunidade de construir um modelo fsico simples e profundo. 4. Comente sobre a posio de instalao de medidores de vcuo junto cmara de vcuo mostrada abaixo em conjunto com as bombas de vcuo e os seus componentes auxiliares.
Sistema de Alto-Vcuo mostrando a cmara de vcuo, a linha de bombeamento e a conexo s bombas de vcuo. Vemos ainda o sistema de injeo de gases que estudaremos mais frente.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV Dentro da mesma questo, diga qual o princpio de funcionamento do sensor de vcuo tipo membrana capacitava. Diga quais so as situaes mais indicadas para o seu uso e fale dos cuidados com esse tipo de sensor. 5. Dentro da questo referente a classificao dos sensores de vcuo, veja a relao abaixo e diaga quais so os diretos e indiretos. V aos catlogos e veja os sensores comercializados e como so apresentados.
Grfico esquemtico mostrando os medidores de vcuo mais comuns e a sua faixa de operao. 6. O que condutividade trmica dos gases? Em que faixa de presso ela importante? Explique o medidor Pirani. Obs.: Esta uma questo para uma pesquisa mais detida. Veja em nossa biblioteca o livro A Users Guide to Vacuum Technology, John OHanlon.H muitos outros que expem bem o funcionamento dos medidores de vcuo. 7. Explique o princpio de funcionamento dos manmetros de ionizao do tipo Penning ou tambm chamado de catodo frio e Bayard Alpert ou tambm chamado de catodo quente.
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
8. Discuta a instalao dos medidores nos circuitos de vcuo mostrados abaixo. Descreva as preocupaes e cuidados na instalao dos medidores. Comente os possveis riscos que podem correr o medidores de vcuo. Faa comentrio sobre a escolha de medidores dependendo do tipo de atmosfera presente na cmara de vcuo. Faa passo a passo um descritivo da manuteno preventiva que os medidores precisam ter periodicamente.
Sistema de Vcuo 1
Sistema de Vcuo 2
Sistema de Vcuo 3
Diagramas esquemticos mostrando alguns tipos de sistemas de vcuo. Comentrio: nesta altura do curso, comeamos a estudar a instrumentao utilizada na medio de baixas presses. Procure ver nos catlogos os sensores estudado;, como so disponveis no mercado. Um ponto importante e algumas vezes difcil no projeto dos sistemas de vcuo a escolha da instrumentao necessria. Alm de consideraes tcnicas entram em jogo o entendimento do processo em questo sendo realizado em vcuo, uma vez que ele poder determinar a escolha dos medidores. Por exemplo, em sistemas de vcuo com atmosfera de vapor de leo certamente influenciar a medio de presso se feita com sensores Pirani. Devemos saber o princpio de funcionamento dos medidores para chegarmos a esta concluso. Da mesma forma que certos medidores so proibitivos em atmosferas explosivas. O entendimento do princpio de funcionamento fundamental. Alm disso, a instalao no que se refere a sua posio, rudos eltricos ou magnticos prximos, e outras consideraes devem ser observadas. Os sensores de vcuo so caros e devemos ter uma ateno especial neste caso.Tambm devemos estar atentos ao aspecto da calibrao dos medidores, hoje este assunto est na ordem do dia. O motivo principal
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV que faz parte de um importante requisito para a obteno de certificados de qualidade.Estes to em voga e to cobiados pela empresas na atualidade. BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Materiais Utilizados na Construo de Sistemas de Vcuo. Critrios e Requisitos na sua Escolha.

No trabalho dos projetistas da rea de tecnologia do vcuo uma etapa importante a escolha de materiais a serem usados na construo do sistema de vcuo. Existem vrios materiais que so consagrados na construo desses sistemas, que do ponto de vista estrutural, ou ainda, dos seus internos, vedaes, passadores de tenso e corrente, etc. Este um assunto extenso em tecnologia do vcuo e igualmente importante. Muitos tipos de sistemas de vcuo tm a especificao dos materiais como um assunto bem resolvido. No entanto, muitos outros, principalmente aqueles voltados tecnologia de aceleradores de partculas, vlvulas eletrnicas de potncia, microeletrnica, e outros relacionados alta tecnologia tm esse assunto cada vez mais pesquisado. Fazem parte da escolha dos materiais, no somente a cmara de vcuo, mas tambm na construo das bombas de vcuo, dos medidores de presso, dos componentes auxiliares, e outros. Para isto, devemos conhecer muito bem o comportamento desses materiais em baixas presses, ainda, no podemos nos esquecer da presso de vapor desses materiais. Assim, devemos sempre consultar as tabelas e os manuais de vcuo sobre os materiais, caso no conste, precisamos chegar ao ponto de medir por exemplo a taxa de degaseificao dos materiais e junto disso nos preocuparmos com os processos de limpeza e de condicionamento. Devemos tambm ter sempre presente o fato dos materiais precisarem ser usinados e soldados. Esses assuntos no podem passar despercebidos pelos projetistas de sistemas de vcuo. Sempre devemos ter presente o fato de os projetos existirem no somente no papel, mas devem ser tornados uma realidade. Para isso, temos que ter em mente que alm das propostas dos materiais a serem usados na construo de sistemas de vcuo, tambm os processos construtivos devem ser de possvel execuo.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 1. Do ponto de vista estrutural, quais so as preocupaes que devemos ter na escolha dos materiais utilizados na construo de sistemas de vcuo? Obs: no se esquea que a presso atmosfrica, ao nvel do ar, exerce uma fora de aproximadamente 10 toneladas-fora (aproximadamente 100.000 N) para cada metro quadrado de rea. 2. No que refere-se a fontes de gases e presso final, quais os requisitos a serem satisfeitos pelos materiais expostos ao vcuo, principalmente presses abaixo de 10-6 mbar? Ainda, e para os sistemas de ultra alto-vcuo que devem ser aquecidos at 300 oC? 3. Agora, anlise a questo do emprego dos materiais utilizados em tecnologia do vcuo para o sistema de alto-vcuo mostrado abaixo. O sistema de alto-vcuo a seguir uma metalizadora de faris. Comente tambm os aspectos construtivos gerais do sistema de vcuo, ou seja, vedaes, soldagem, usinagem, etc.
Sistema de alto-vcuo para metalizao de faris. Empresa fabricante PV-PrestVcuo Ltda. Podemos aproveitar esta mesma figura e identificar os sensores de vcuo, discutindo os lugares onde foram instalados. Temos tambm a oportunidade de identificar com uma inspeo visual, os dimetros dos tubos referentes ao circuito de bombeamento de pr-vcuo e o do alto-vcuo. Vemos claramente a diferena entre seus dimetros. Mais uma vez temos o conceito de condutncia
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV impondo a sua importncia em casos reais. Isto decisivo para o bom desempenho dos sistemas de vcuo. Ele precisam funcionar e operar em tempos que sejam economicamente viveis. Podemos tambm, futuramente, identificar as bombas de vcuo e os componentes auxiliares deste importante sistema de vcuo. Podemos agora tentar focar nossa ateno ao aspecto da manuteno. Veja que o sistema de vcuo mostrado acima tem suas partes bem acessveis, isso facilita as manutenes tanto preventiva como corretiva. 4. Agora, anlise a questo do emprego dos materiais utilizados em tecnologia do vcuo do ponto de vista da usinabilidade, soldabilidade e possibilidade de vedao. 5. Em seguida mostramos um sistema de alto-vcuo que est em construo. Nesta fotografia podemos ver o tamanho das flanges comparadas ao tamanho da prpria cmara de vcuo. Isto devido ao fato de precisarmos de acesso cmara de vcuo e tambm alta velocidade efetiva de bombeamento.
Sistema de alto-vcuo em construo. Podemos ver a cmara de vcuo ( direita) e tambm a tubulao ( esquerda) que sero conectadas a vlvula de alto-vcuo e a bomba difusora. Empresa PV-PrestVcuo Ltda. Continuando a questo. Este ltimo requisito impe alta condutncia na linha de bombeamento. Veja que mais uma vez nos deparamos com o conceito relativo condutncia. Este sistema
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV apresenta expostas a questo do emprego dos materiais utilizados em tecnologia do vcuo e tambm na usinabilidade, soldabilidade e possibilidade de vedao. Veja que os aspectos mecnicos relativos resistncia estrutural do sistema de vcuo nunca pode ser perdido. Como mencionamos, o carregamento mecnico que a presso atmosfrica impe s cmaras de vcuo e s outras partes tambm muito intenso. Sob pena de ocorrer um srio problema estrutural com a cmara de vcuo, devemos fazer um clculo estrutural das partes do sistemas de vcuo.
Comentrio: Este assunto muito extenso e demandaria um tempo muito maior do que dispomos, no obstante, podemos e devemos discutir os aspectos mnimos necessrios para a construo de sistemas de vcuo. Considerando o propsito bsico da disciplina de tecnologia do vcuo, que a introduo rea, podemos dizer que o apresentado sobre o assunto suficiente. Como em todas as situaes ligadas ao aprendizado, qualquer que seja seu grau de aprofundamento, temos que considerar um certo nvel a ser imposto e esperamos que seja atingido. No caso em questo importante que o estudante tome conscincia de que o assunto referente escolha dos materiais, processos construtivos, tanto na usinagem como na soldagem, so fundamentais para o sucesso e concretizao do projeto do sistema de vcuo. Para um aprofundamento h literatura disponvel muito boa, por exemplo, o estudante pode consultar os seguintes livros: Vacuum Technology, de Alexander Roth e A Users Guide To Vacuum Technology de John OHanlon, alm do nosso livro texto e ainda outros, inclusive dos textos em formato eletrnico. Alm da escolha adequada dos materiais construtivos temos que nos ater tambm escolha dos materiais, por exemplo, para as vedaes. Em seguida, do ponto de vista de desempenho de sistemas de vcuo, devemos considerar os processos de limpeza e condicionamento dos sistemas de vcuo. Veja que a presso final funo da velocidade efetiva de bombeamento mas tambm da taxa de degaseificao total da cmara de vcuo. Assim, por melhor que seja o material usado na fabricao da cmara de vcuo, o contato do vcuo com a cmara de vcuo se d pela sua superfcie, assim, esta superfcie precisa receber o tratamento adequado. Este um dos assuntos mais importantes da rea de tecnologia do vcuo, e determinante e crucial para muitos sistemas de vcuo . BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Bombas de Vcuo
Um bom entendimento do princpio de funcionamento das bombas de vcuo muito
importante e um bom comeo para um projeto de vcuo de sucesso. Devemos ter presente a faixa de presso de trabalho do processo em vcuo, os gases que participaro deste processo, o tipo de sistema de vcuo para conhecermos bem as caractersticas marcantes que devem ter o processo de bombeamento, a possibilidade de manuteno das bombas de vcuo, e outros. A experincia profissional aliada s consultas junto s empresas de equipamentos, em geral, trazem bons frutos e um desfecho adequado ao projeto. Temos dois tipos bsicos de maneira de bombeamento de gases e vapores. Uma delas a partir do deslocamento mecnico de partes da bomba de vcuo que se d o bombeamento. Por exemplo, o deslocamento de um pisto em um mbolo faz com que parte dos gases ocupem um determinado volume e assim, posteriormente possam expulsos deste mbolo. Este princpio utilizado pelas bombas mecnica de palhetas de um ou dois estgios, roots, de pisto. Ainda, devido a ao mecnica de parte de uma bomba de vcuo, ocorra o deslocamento dos gases devido a transferncia de momento linear dos tomos e molculas que formam o gs. Este ltimo caso ocorre com as bombas difusora, booster de vapor, turbomolecular. Neste tipo de bomba de vcuo, por deslocamento de gases, estes gases ou vapores so transferidos ou para fora do sistema de vcuo ou para outra bomba de vcuo. Em princpio estas bombas de vcuo podem funcionar continuamente. Em contrapartida a este tipo de processo de bombeamento, temos como outro modo de ocorrer o processo de bombeamento o aprisionamento de partculas. Neste tipo de bomba de vcuo as partculas no so expulsas para fora do sistema de vcuo, mas ficam aprisionadas em uma superfcie dentro da bomba de vcuo. O processo de aprisionamento tem duas origens possveis: ligao por foras de Van der Waals, no caso, adsoro fsica. Como por exemplo ocorre na condensao de vapores ou gases em uma superfcie fria ou gelada, vemos este efeito em nosso cotidiano, por exemplo quando um copo de gua gelada
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV colocado em uma mesa e pouco tempo depois uma quantidade de gua fora do copo condensase em torno dele, ou seja, na parede externa do copo. Este processo um bombeamento de vapor, pois parte da gua da atmosfera que estava exercendo presso agora no estar mais, pois ficou condensado em torno do copo. A bomba criognica tem o seu princpio de funcionamento baseado neste efeito. No caso de um pedao de ferro que acabou de ser serrado ou limado, temos que alguns dias depois aparece uma oxidao em sua superfcie, o que chamamos de ferrugem. Este tambm um processo de bombeamento. Pois parte do oxignio da atmosfera fica agora no produto da oxidao com o ferro. Veja que o produto da oxidao, que uma reao qumica bastante estvel, est no estado slido. Assim, a presso parcial do oxignio ir diminuir. Vemos abaixo um grfico com uma classificao das bombas de vcuo conforme o seu mecanismo bsico de bombeamento.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV Apesar de vermos uma srie de possibilidades de bombas de vcuo, na realidade, somente uma parte vista acima vingou comercialmente. As principais bombas de vcuo so: mecnica de palhetas de simples e duplo estgios, pisto, scroll, roots, difusora, injetora de vapor, turbomolecular, turbomolecular-drag, sorpo, sublimao de titnio, getter, inica e criognica.
1. Explique os dois grandes grupos de bombas de vcuo, ou seja, bombas de deslocamento de gases e de aprisionamento de gases. Explique fisicamente luz da hiptese atmica da matria. Considere as foras de interao entre as partculas para explicar o processo de bombeamento dos gases e vapores pelo processo de aprisionamento.
Bomba de vcuo fundamental baseada no deslocamento dos gases e vapores.
Bomba de vcuo fundamental baseada no aprisionamento .
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 2. Explique o princpio de funcionamento das seguintes bombas de vcuo, exiba a faixa de trabalho (em presso) de cada uma delas. Ainda, diga as principais caractersticas de cada bomba de vcuo e tente comparar estas caracterstica entre as vrias bombas de vcuo: - Bomba mecnica de palhetas; - bomba roots, - bomba difusora, - bomba turbomolecular, - bomba de sorpo, - bomba criognica, - bomba de sublimao, - bomba inica. 3. Sabemos que h bombas de vcuo que precisam trabalhar com outras bombas, por exemplo, a bomba difusora precisa trabalhar com uma bomba mecnica. Qual o critrio para dimensionamento das bombas mecnicas, uma vez conhecida a velocidade de bombeamento das bombas de alto vcuo? 4. O que taxa de compresso? O que este nmero nos mostra? Esta grandeza depende do tipo de gs? Este conceito fundamental, por exemplo, na bomba de vcuo roots, sendo esta bomba muito utilizada nos processos industriais que tm muita quantidade de gs a ser bombeada. 5. Nas bombas de vcuo mecnica de palhetas de um ou dois estgios explique o papel da condensao dos vapores no processo de bombeamento e o efeito do gas ballast. 6. No sistema de vcuo mostrado abaixo, usado para o tratamento de leo de transformadores, identifique as vrias partes importantes dele, ou seja, a cmara de vcuo de processo, as bombas de vcuo, a linha de bombeamento de gases, e as outras partes. Certamente a figura mostrada abaixo no deixa muito claro quais instrumentos e peas fazem parte do equipamento. Este tipo de equipamento de vcuo levado s subestaes de distribuio de eletricidade para fazer o trabalho de manuteno em transformadores de alta potncia. Assim, um dos motivos para o equipamento ser compacto o fato de ser possvel de transport-lo a longa distncia, em geral, por meio de um caminho apropriado. Mesmo ele sendo compacto a fotografia mostra claramente que podemos identificar sua direita as bombas de vcuo mecnica e a roots (a bomba mecnica na parte de baixo e logo em cima dela a bomba roots). O circuito de vcuo mostrado em seguida a fotografia exibe claramente as partes do sistema de tratamento de leo de transformadores.
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Sistema de vcuo para tratamento de leo de transformadores eltricos de potncia. Vemos a cmara de vcuo, as bombas de vcuo, a linha de bombeamento e ainda partes relativas ao sistema de circulao de leo para uma maior eficincia na remoo de umidade. Alm dessa fotografia, na qual podemos ver inmeras peas, que nem todas fazem parte do sistema de vcuo. No diagrama a seguir vemos o circuito de vcuo para o tratamento do leo do transformador e tambm o circuito de circulao do leo para uma mais eficiente remoo de umidade. Se deixssemos o leo parado, a remoo da umidade por meio do vcuo seria muito demorada, devido a dificuldade das molculas de gua precisarem percorrer toda extenso do tanque de leo at chegar superfcie e ter a chance de ser bombeada. Mais uma vez vemos a importncia do conceito da condutncia. Por isso agitamos o leo para ficar mais fcil a exposio da umidade superfcie a baixa presso e em seguida a possibilidade do bombeamento. Podemos identificar, grosso modo, trs partes do sistema de tratamento de leo: o sistema de vcuo ( esquerda), a cmara de vcuo com o leo (quase no centro) e o circuito hidrulico para entrada, circulao e sada do leo ( direita).
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Circuito geral de vcuo e de leo do sistema de tratamento de leo isolante de transformadores eltricos de potncia assistido a vcuo.
Comentrio: Esta lista to importante como trabalhosa. Com ela vemos cada vez mais que estamos tomando contato com a instrumentao da rea da tecnologia do vcuo. As bombas de vcuo so responsveis pela remoo dos gases e vapores da cmara de vcuo, mas veja os tomos e molculas precisam chegar s bombas de vcuo! Vemos tambm, como mencionado em vrias oportunidades, que os conceitos bsicos so fundamentais para podermos entender o princpio de funcionamento das bombas de vcuo. Temos vrios livros sobre este assunto em nossa biblioteca e h tambm os catlogos, que acompanhados dos livros so um complemento ao assunto. BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi
FATEC - SP
Componentes Auxiliares dos Sistemas de Vcuo.

Os componentes auxiliares dos sistemas de vcuo, apesar de serem qualificados de auxiliares, desempenham papel importante na tecnologia do vcuo. O nome auxiliar de forma alguma deve ser entendido como sendo de menor importncia. Componentes auxiliares significam que eles no so aqueles para fazer o vcuo, estes so as bombas de vcuo, tambm no para medir o vcuo, estes so os sensores, e assim por diante. Significa que so partes do sistemas de vcuo que auxiliam o nosso acesso ao sistema de vcuo, introduzindo vlvulas, passadores de tenso e corrente, alm de fluidos refrigerantes, tambm so os tubos e conexes em geral. Temos tambm as flanges, vedaes, os filtros e uma srie e outros dispositivos e peas que tornam o sistema de vcuo mais acessvel, seguro e confivel. Em geral, so peas que trazem uma melhoria na qualidade do acesso ao sistema de vcuo construdo, e tambm faz com que possamos ligar as vrias partes que compem o sistema de vcuo. Temos que ter em mente que os sistemas de vcuo em geral so caros, assim, a escolha de um determinado componente auxiliar deve ser da mesma qualidade das partes principais. Basta uma pea que compe um componente de m qualidade para poder comprometer todo o desempenho do sistema de vcuo. Devemos sempre nos certificar da faixa de temperatura de operao do sistema de vcuo. No caso de temperaturas altas devemos ter ateno no que se refere as vedaes e a utilizao de elastanos, borrachas, leos e graxas em geral no sistema de vcuo. Tambm devemos considerar a utilizao da cermica em vez do vidro dependendo da temperatura. Devemos ficar atentos para o fato de que o aumento da temperatura reduz a resistncia dos metais. Assim, no clculo estrutural da cmara de vcuo devemos considerar na temperatura de trabalho aquela que produz as menores resistncias dos materiais empregados.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 1. Exiba os principais tipos de flange existentes na rea da tecnologia do vcuo. Fale sobre o
processo de vedao. Quais as suas aplicaes na rea.
Desenho de um sistema de alto-vcuo com bomba difusora e anteparo. Vemos os componentes auxiliares tanto da parte de alto-vcuo como da parte de pr-vacuo.
2.
O que so e como funcionam os seguintes componentes:
- Filtro para bombas mecnicas; - Anteparo e armadilha para bombas difusoras. Como estes conectam-se s bombas de vcuo, ou seja, qual a posio no circuito de bombeamento.
3.
Quais os principais tipos de vlvulas de vcuo. Pesquise nos catlogos e diga as faixas de
trabalho (em presso) e os critrios de escolha. Verifique os preos.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 4. Discuta sobre os vrios componentes auxiliares que voc identifica no sistema de alto-vcuo mostrado abaixo. Aproveite a oportunidade e aponte e diga quais so as bombas de vcuo do circuito. Tambm fale sobre as flanges e vedaes.
Sistema de alto-vcuo mostrando a cmara de vcuo aberta e alguns dos seus internos, a linha de bombeamento e as bombas de vcuo.
5. Veja nos catlogos os passadores de tenso e corrente . Veja tambm os passadores de fluidos. O catlogo da MDC muito bom para esse assunto e em geral dos componentes auxiliares.
6. No desenho seguinte vemos um circuito de vcuo construdo para o bombeamento de gases e vapores voltados remoo de umidade de transformadores eltricos de alta tenso. Isto se faz necessrio para que o transformadores possam operar com altas tenses eltricas. Vemos que alm da bombas de vcuo roots e mecnica de palhetas temos condensadores, que tambm so bombas de
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV vcuo para vapores. Identifique as bombas de vcuo, condensadores e todos os componentes auxiliares envolvidos no mdulo de bombeamento.
Sistema de pr-vcuo de alta velocidade de bombeamento para gases e vapores. Vemos os vrios componentes auxiliares necessrios para um eficiente funcionamento do mdulo de bombeamento.
Comentrio: Apesar de os livros trazerem este tpico, veja nos catlogos maiores informaes sobre o processo de bombeamento de vapores. Certamente voc dever fazer uma pesquisa, sendo uma boa oportunidade de pesquisar na rede eletrnica. Procure ver os sistemas de secagem de transformadores de potncia. BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Sistemas de Vcuo de Aplicao Geral e sua Operao

Devemos certamente conhecer bem as vrias partes que compem os sistemas de vcuo, que so: as bombas de vcuo, os medidores de vcuo, as flanges, as vlvulas, passadores de tenso e corrente, etc. Mas, o todo mais que a soma das partes, muito mais. Com isso queremos dizer que precisamos saber integrar as vrias partes para formar o sistema de vcuo. Deveremos ter claro se determinados componentes auxiliares sero mesmo necessrios para formar o conjunto, pois veja, como estudante no estamos preocupados se um determinado projeto ser caro ou barato de ser realizado. Mas na vida profissional, na vida de fato, um projeto de verdade, de sucesso, somente tem sentido se for possvel realiz-lo com os recursos disponveis. Em geral possvel fazer um projeto sabendo-se de antemo os recursos disponveis, isto faz com que o projetista tenha uma participao mais atuante e realstica. Principalmente se os recursos no so poucos. Certamente h limites, por exemplo, um mdulo de bombeamento com bomba turbomolecular com uns 500 litros/segundo de velocidade de bombeamento custa uns US$ 20.000. Assim, alm de nos envolvermos com os clculos do sistema de vcuo, isto , clculo estrutural da cmara de vcuo e das outras partes, clculo da quantidade de gs envolvida no processo a ser realizado em vcuo e os outros gases envolvidos. Tambm, calcular a velocidade de bombeamento das bombas de vcuo necessrias para poder atingir a presso de operao do sistema de vcuo, deveremos nos envolver com a especificao da instrumentao necessria e para isso certamente nos interessar saber os preos dos vrios componentes, desde a cmara de vcuo, at os componentes mais simples. Os sistemas de vcuo so muito diferentes entre si, assim um sistema de vcuo para empacotamento de alimentos a vcuo bem diferente de um sistema de vcuo para um microscpio eletrnico. Os seu projetos tambm so muito diferentes entre si. Assim, para um sistema de vcuo de um microscpio eletrnico a questo referente a presso final na regio do incio do ultra alto-vcuo de estar presente, desta forma deveremos levar em conta a degaseificao, isto algo que no ocorrer com o sistema de vcuo para empacotamento de alimentos. Por outro lado, neste ltimo caso ser altamente dependente o sistema de vcuo do seu desempenho junto ao bombeamento de vapor de dgua.
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 1. Descreva o sistema de vcuo esquematizado abaixo. Veja que foi feito um teste de vazamento
no sistema de alto-vcuo, tendo como bomba de alto-vcuo uma bomba difusora. Depois do teste de vazamentos, cujo detetor de vazamentos, com gabinete branco, mostrado direita do sistema de vcuo. Como podemos colocar em operao este sistema de vcuo? Discuta sobre o tempo que a bomba difusora pode ficar sem bombeamento de pr-vcuo enquanto a bomba difusora estiver isolada da cmara de vcuo. Esta questo uma boa oportunidade para recordar as caractersticas principais da importante bomba de vcuo difusora. Faa em detalhe passo a passo um descritivo de sua operao. Este circuito de vcuo usaremos ao falarmos de deteco de vazamentos.
Sistema de alto-vcuo com bomba difusora. Mostrada tambm a bomba de pr-vcuo e os componentes auxiliares.
2.
Discuta a operao dos seguintes sistemas de vcuo esquematizados a seguir. Vemos quatro
circuitos de vcuo. No sistema de vcuo 1 temos uma bomba turbomolecular. O sistema de vcuo 2 mostra um sistema de pr-vcuo com apenas uma bomba mecnica. Vemos neste sistema de vcuo a possibilidade de injeo de gases de processo. No sistema de vcuo 3 temos um sistema de altovcuo com bomba difusora sem anteparo e armadilha gelada. Finalmente, no sistema de vcuo 4 temos um sistema de pr-vcuo com bomba roots . Diga passo a passo como operamos estes sistemas de vcuo. Diga tambm como devemos proceder para desligar as bombas de vcuo. Fale
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV sobre os cuidados relativos manuteno preventiva e ao procedimento caso a presso de trabalho no seja atingida. Como podemos fazer testes simples. Ainda, ao receber os sistemas de vcuo, eles novos, como podemos levantar as curvas de presso final e seus tempos de operao. Discuta as questes. Sistema de Vcuo 1 Sistema de Vcuo 2
Continuando, considere as mesmas questes para os circuitos de vcuo mostrados a seguir. Sistema de Vcuo 3 Sistema de Vcuo 4
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 3. Agora o circuito de alto-vcuo mostrado abaixo, com bomba turbomolecular, como oper-lo?
Quais os cuidados no que refere-se contaminao?
Sistema de alto-vcuo com bomba turbomolecular e mostrando ainda a bomba de pr-vcuo, a cmara de vcuo e os componentes auxiliares. Agora, usando vedaes com material VITONTM, qual a temperatura mxima? Diga o que deveria ser feito se as vedaes a serem utilizadas fossem do tipo metlico, digamos flanges ConflatTM.
4.
No sistema de vcuo mostrado abaixo, possvel identifica a cmara de vcuo ao fundo e em
primeiro plano a bomba de alto-vcuo difusora com sua vlvula tipo prato acima dela. Vemos as bombas de pr-vcuo direita na fotografia. Identifique os vrios componentes auxiliares possveis de serem vistos e diga quais bombas de pr-vcuo voc consegue identificar. Voc consegue identificar o sistema de vcuo como um todo. Faa um esquema do circuito de vcuo deste sistema.
FATEC - SP
Sistema de alto-vcuo com bomba difusora e mostrando ainda as bombas de pr-vcuo, a cmara de vcuo ao fundo e vrios componentes auxiliares. Ainda dentro desta questo. Vale a pena retomarmos os conceitos relativos ao processo de bombeamento de gases e vapores em vcuo. Conforme esquema mostrado abaixo, exiba as equaes relevantes para a determinao das fontes gasosas e velocidades de bombeamento e condutncia. Discuta o assunto em detalhe.
Esquema geral de um sistema de vcuo.

ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV Comentrio: Temos a oportunidade de verificar quase todos os assuntos e instrumentos vistos no curso. Essa lista de mxima importncia, pois estamos juntando as partes, estamos entrando no mundo de fato. Deposite muito carinho e empenho nesta lista. Quando falamos de construo de modelos para tratar sistemas fsicos voltados tecnologia tnhamos em mente considerar o clculo de sistemas de vcuo como estes. Veremos em roteiros futuros como poderemos fazer para alguns casos de interesse modelos factveis e obter resultados de forma simples e confiveis. BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Sistemas de Vcuo para Altas Vazes e Gases Corrosivos

Com a crescente aplicao da tecnologia do vcuo em processos industriais, as questes referentes ao bombeamento de altas quantidades de gases e principalmente vapores, em especial o vapor dgua, tm estado na pauta dos grandes desenvolvimentos em tecnologia do vcuo. Temos tambm os sistemas de vcuo que precisam operar em atmosferas corrosivas e com gases explosivos. Nestes casos os sistemas de vcuo devem incorporar aspectos e particularidades capazes de enfrentar estas situaes adversas e incomuns para a maioria dos sistemas de vcuo tradicionais. Nesta disciplina de tecnologia do vcuo no iremos aprofundar esta questo, apenas iremos considerar algumas situaes comumente encontradas no que se refere ao bombeamento de vapor dgua, uma vez que atividades em ramos da indstria de alimentos, frmacos e outras correlatas usam muito a tecnologia do vcuo com bombeamento de muitos tipos de vapores. Com relao ao bombeamento de gases corrosivos e explosivos temos a importantssima indstria de microeletrnica. Esta indstria est sendo uma grande propulsora da tecnologia do vcuo, como foram as atividades de aceleradores de partculas e mquinas para o estudo da fuso nuclear controlada nas dcadas de 70 e 80 do sculo XX. Muitos equipamentos especiais, bombas de vcuo, medidores de presso e fluxo de gases e vapores tm sido desenvolvidos para atender a indstria de microeletrnica. Alm dos equipamentos especficos de vcuo uma ateno especial tem sido dada ao tratamento dos gases e vapores aps o seu consumo nos reatores de processos assistidos a vcuo. Neste caso temos os lavadores de gases e vapores, os chamados scrubbers. Fundamentais para tornar incuos os gases e vapores aps a sua utilizao. Cabe mencionar que grande parte das bombas de pr-vcuo tem operando junto a elas uma unidade de trabalho em linha do seu leo de operao. Estas unidades so fundamentais para manter operando as bombas de prvcuo em atmosfera altamente corrosiva.
As questes que seguem devem ser respondidas consultando o excelente livro High Vacuum Production in Microelectronics Industry de Pierre Duval, disponvel em nossa biblioteca. Os estudantes tambm podem consultar os catlogos dos sistemas de vcuo especiais, as revistas especializadas Semiconductor International e Solid States Technology. Em particular estas duas ltimas publicaes so bastante interessantes tambm para sistemas de vcuo convencionais, uma vez que trazem muitas informaes bastante atualizadas. 1. O que e como funciona um scrubber? Como conect-lo ao sistema de vcuo?
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 2. Digamos que devemos operar um sistema de vcuo em regio de 10-4mbar. Como voc pensaria
na questo: Utilizaria Bomba Turbomolecular ou Bomba Roots?
3.
Veja o sistema de vcuo mostrado abaixo, na verdade dois sistemas de vcuo, um direita e o
outro esquerda do diagrama. Descreva estes sistemas de vcuo dando ateno especial ao circuito de injeo de gases e vapores e a sua exausto segura. Note a instalao do lavador de gases e vapores. Veja tambm os medidores de presso.
Sistema de vcuo utilizado na indstria de microeletrnica.

ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 4. Veja o diagrama bastante simplificado do sistema de vcuo mostrado abaixo. Este sistema de vcuo deve bombear tanto gases e vapores, sendo muito importante para a qualidade do processo uma baixa quantidade de vapores. Assim, responda: Por que o circuito de vcuo da esquerda no recomendado enquanto o circuito de vcuo da direita recomendado. Mais uma vez vemos o conceito da condutncia assumindo um papel central junto com o conceito de condensao de vapores.
Sistema de vcuo para bombeamento de gases e vapores eficientemente bombeados.
Comentrio: Com o advento da indstria de microeletrnica, o assunto tratado neste roteiro est entre os sistemas de vcuo mais importantes e que tm movimentado o desenvolvimento desta tecnologia. Alm de ser tambm bastante utilizado muitos dos desenvolvimentos na indstria de frmacos, alimentos e outras relacionadas com a biotecnologia e correlato. BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Sensores de Presso Parcial e Anlise de Gases Residuais

Nos processo tecnolgicos atuais cada vez mais o controle das variveis envolvidas so de importncia crescente. Desta forma, os instrumentos de anlise esto cada vez mais sofisticados e precisos. Para um proveito altura da sofisticao, devemos saber oper-los e interpretar os dados extrados deles, para tanto, de partida um conhecimento do seu princpio do funcionamento fundamental. Verificamos que em muitos processos que ocorrem em vcuo o valor da presso fundamental, ou melhor, a faixa de presso. Em tecnologia do vcuo, o valor da presso nem sempre tem importncia central, na maior parte das aplicaes o conhecimento da ordem de grandeza o suficiente. Em muitos processos assistidos a vcuo, alm do valor da presso total, temos a necessidade do conhecimento dos tipos de gases presentes no sistema de vcuo. Por exemplo, pode ocorrer que para um determinado processo o valor de presso atingido na cmara de vcuo suficiente para a realizao dele, mas uma anlise mais profunda mostra que os nveis de presso parcial de gua excessivo para tal processo. Neste sentido precisaremos de uma instrumentao adequada para fazer a anlise dos tipos de gases e vapores presentes na cmara de vcuo. Este tipo de procedimento crucial para uma srie de aplicaes e processos em vcuo. Em linhas gerais o princpio fsico bastante simples para poder fazer a separao das molculas e assim determinar qualitativa e quantitativamente a presena delas. Em linhas gerais a idia ionizarmos os tomos e molculas que estamos detectar e quantificar a sua presena e em seguida acelerar estas partculas por uma combinao de campos eltricos e magnticos. A fsica envolvida simples e acabaremos por encontrar uma relao carga-massa para as partculas com uma determinada rbita a ser satisfeita. Veja que falamos da relao carga-massa, esta uma limitao intrnseca ao processo de seleo de partculas por meio de uma combinao de campos eltricos e magnticos, expliquemos com mais detalhe. Seja um tomo de hidrognio, se ele for ionizado, sua relao carga-massa ser 1 para 1. Estamos adotando estas unidades tanto de carga como de massa. Se agora tivermos uma molcula de hidrognio H2 e tivermos dupla ionizao a relao carga-massa ser 2 para 2 que o mesmo 1 para 1. Desta forma, este mtodo de separao no conseguir separar as duas situaes. Apesar desta limitao, intrnseca ao processo de anlise, muitos resultados podem ser obtidos e em geral so extremamente teis a muitos processos que ocorrem em vcuo. Um outro aspecto que devemos considerar o fato da necessidade desses equipamentos precisarem operar, no mnimo de presso, em condies de incio de alto-vcuo, aproximadamente ao redor de 10-4 mbar. H dois motivos, um deles o fato de na cmara de ionizao haver um filamento e este precisa estar em baixas presses para no danificar, e o outro motivo que a presso precisa ser baixa o suficiente para o livre caminho mdio ser grande a ponto de no desviar a rbita dos tomos ou molculas.
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 1. Veja o esquema de um circuito de sistema de vcuo com a presena da cmara de vcuo,
bombas de vcuo, linha de bombeamento, medidores de presso total, com possibilidade de injeo controlada de gases (veremos este assunto prximo roteiro) e um analisador de gases e vapores. Comente o sistema de vcuo no que se refere ao processo de bombeamento, considerando os trs termos importantes, ou seja, aquele devido a variao de presso na cmara de vcuo, aquele devido ao bombeamento e por fim aquele devido s fontes de gases e vapores.
Esquema geral de sistema de vcuo com analisador de gases residuais.
2.
A figura abaixo mostra de forma esquemtica como podemos entender a idia de medio de
presso total, cujo valor de presso devido a presena de todos os tipos de tomos e molculas, e como podemos entender a idia de medio de presso parcial de um determinado tipo do gs. Neste sentido, defina de forma clara o que presso total e presso parcial de uma determinada mistura gasosa. Expresse a lei de Dalton das presses parciais e total. A lei de Dalton bvia? Quais so as suas limitaes. Qual o pressuposto bsico para que ela seja vlida?
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Concepo bsica da tarefa a ser realizada por um medidor de presso parcial.
3. Nos circuitos dos sistemas de vcuo mostrados abaixo localize as suas vrias partes e mostre o as posies de instalao dos medidores de presso parcial. Podemos tambm identificar as cmaras de vcuo com as bombas de vcuo e suas respectivas linhas de bombeamento. Vemos tambm nesses sistemas de vcuo a instrumentao para a injeo controlada de gases e vapores.
Sistemas de vcuo com analisadores de gases residuais.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 4. O mtodo mais simples que podermos ter para identificar tomos e molculas aquele baseado no princpio de ionizarmos estes tomos e molculas, em seguida acelerados por meio de um campo eltrico constante e posteriormente desviar o feixe de partculas eletricamente carregadas por meio de um campo magntico uniforme e constante. O esquema bsico do arranjo, chamado de espectrmetro de massa est mostrado abaixo. Monte as equaes de movimento e discuta o arranjo.
Esquema bsico de espectrmetro de massa.
5. Um mtodo mais sofisticado para a anlise de gases residuais consiste de um filtro de massa. Um tipo de espectrmetro de massa cujo princpio fsico, mais difcil de entender que aquele espectrmetro de massa mostrado na questo anterior, est baseado somente em campos eltricos. Seu nome espectrmetro de massa quadrupolar, cuja concepo geomtrica bsica est mostrada na figura a seguir. Consulte os livros e diga em linhas gerais como funciona este instrumento bastante sofisticado, tanto do ponto de vista mecnico como eletrnico. Este tipo de espectrmetro
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV o mais utilizado em tecnologia do vcuo, sendo uma das caractersticas bsicas o fato de no ter eletroim e nem im permanente, isso o torna leve e compacto.
Esquema bsico de um espectrmetro de massa quadrupolar.
Comentrio: O assunto tratado neste roteiro est cada vez mais presente em diversos sistemas de vcuo. At uns 20 anos atrs os analisadores de gases residuais eram pouco utilizados em tecnologia do vcuo devido ao seu alto custo. Desde ento estes equipamentos esto sendo mais usados e constituem um instrumento bastante til para analisar as condies de vcuo em inmeras aplicaes. Alm dos livros, devemos encontrar muitas informaes nos catlogos e para um estudo mais profundo podemos obter informaes em livros especficos sobre princpios, tcnicas e instrumentos de espectrometria de massa. Infelizmente nos livros de tecnologia do vcuo temos duas situaes sobre este assunto no que se refere exposio dos princpios fsicos do espectrmetro de massa quadrupolar, ou so muito pouco profundos ou poucos livros so extremamente profundos. No obstante, podemos ter um mnimo de entendimento sobre os instrumentos e suas tcnicas de anlise e interpretao de dados.
BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Medidores e Controladores de Fluxo de Gases e Vapores

Como no caso do roteiro anterior, estamos novamente diante de uma instrumentao relativa nova dentro da tecnologia do vcuo. Nos processos em vcuo encontramos inmeras situaes que aps a presso ter atingido um determinado valor de presso, ou melhor, aps ter atingido uma certa faixa de presso, temos que injetar um determinado gs ou vapor para que o processo possa ser realizado. H tambm casos em que uma mistura de gases e vapores participa do processo assistido a vcuo, assim temos pela frente uma tarefa relativa em determinar qual a quantidade de gs ou vapor que deve ser injetada no sistema de vcuo e em seguida determinar experimentalmente este valor de quantidade de gs. Em tecnologia do vcuo a quantidade de gs em geral dada em termos de throughput. As unidades mais usadas so o mbar.litro.segundo-1, torr.litro.segundo-1 e o corretamente em acordo com o Sistema Internacional de Unidades SI Pa.m3.s-1. Alm dessas unidades h outras duas unidades bastante utilizadas que so o SCCM e o SCCS. O primeiro significa standard cubic centimeter per minute e o segundo, standard cubic centimeter per second. Estas unidades significam, no caso da primeira que em um minuto um centmetro cbico de gs estando a presso de uma atmosfera e 293 K entra no sistema de vcuo, e no caso da segunda unidade, esta mesma quantidade de gs entra no sistema de vcuo em um segundo. Devemos ficar atendo pois algumas vezes temos a definio dessas ltimas unidades feitas em uma temperatura ligeiramente diferente da apresentada. H sistemas de vcuo que encontramos a injeo controlada de gases podendo variar em extensas faixas de presso, desde a presso bem prxima da presso atmosfrica e podendo atingir a regio de alto-vcuo. Em tecnologia do vcuo h essencialmente dois tipos de medidores de fluxo de gases, os rotmetros e os medidores de fluxo de massa trmico, ou em ingls, mass flow meter. Tanto os rotmetros como os medidores de fluxo de massa trmico so medidores fceis de serem entendidos em seus princpios. Com os rotmetros podemos fazer determinao de fluxo de gs, mas no podemos fazer o controle de gs de forma rpida e precisa. J com os medidores de fluxo de massa trmico possvel determinar um certo throughput e a eletrnica de controle do medidor ajusta internamente a posio da sua vlvula ajustando a quantidade de gs.
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 1. No circuito de vcuo mostrado abaixo identifique os medidores de fluxo de gs. Apresente as unidades para esta grandeza, definindo e interpretando ainda SCCM e SCCS.
Sistema de vcuo com medidores e controladores de fluxo de gs.
2. Explique como funciona o rotmetro. Monte a equao de equilbrio do flutuador a partir das leis de Newton. Veja um catlogo deste produto e apresente aquele que mede o menor fluxo de gs.
Desenho esquemtico do rotmetro e detalhando o seu flutuador.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Desenho em detalhe e figura mostrando rotmetros com vrios tipos de flutuadores.
3. Como funciona o medidor de fluxo de massa trmico (mass flow meter). Veja alm dos livro indicados os catlogos da empresas fabricantes. Faa uma busca na rede Internet. Explique como ele funciona a partir de primeiros princpios.
Diagrama esquemtico de um medidor de fluxo de massa trmico
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 4. Na figura a seguir vemos uma montagem tpica de medidores de fluxo de massa trmico. Discuta o circuito de injeo de gases e identifique os medidores e as outras partes.
Montagem com medidores e controladores de fluxo de massa trmico e os tubos, vlvulas e outros componentes auxiliares em ao inoxidvel da linha de injeo controlada de gs.
Continuando na mesma questo, veja os circuitos de vcuo mostrados a seguir, muito utilizados na indstria de microeletrnica. Identifique os instrumentos relacionados a injeo controlada de gases.
Sistemas de vcuo utilizados na indstria de microeletrnica.

ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 5. Temos a seguir um sistema de alto-vcuo mostrando todos os equipamentos necessrios produo, medio de presso total, injeo controlada de gases utilizando um medidor de fluxo de massa trmico. Explique como podemos conceber um sistema integrado entre essas partes com o propsito de estabelecermos uma injeo de gs de forma que a presso fique dentro de uma faixa de valores pr-determinada. Veja que h um compromisso entre a velocidade de bombeamento efetiva na cmara de vcuo e a injeo controlada de gs. Veja que podemos ter um dispositivo colocado entre a vlvula gaveta de alto-vcuo e a bomba de alto-vcuo a fim de proporcionar a escolha da velocidade efetiva de bombeamento e desta forma introduzirmos uma quantidade de gs necessria ao processo ocorrendo na cmara de vcuo com um certo tempo de residncia do gs de processo. Tudo isso acontecendo a uma certa presso determinada de partida. Mis uma vez o conceito de condutncia fundamental para estabelecermos uma velocidade efetiva de bombeamento compatvel com as necessidades do processo.
Sistema de alto-vcuo com injeo controlada de gs integrada bomba de vcuo, linha de bombeamento e ao sensor de presso.
Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 6. A seguir vemos um sistema de vcuo com injeo de vapores. Qual a preocupao bsica que deveremos ter na injeo de vapor em relao injeo de gs. Identifique no esquema as partes do sistema de vcuo: a cmara de vcuo, a bomba de vcuo conectada linha de bombeamento, o medidor de presso e a injeo controlada de vapor. Veja que mais uma vez o fenmeno de presso de vapor est presente.
Sistema de vcuo utilizado na indstria de microeletrnica com a injeo controlada de vapor.
Comentrio: O assunto exposto neste roteiro um tpico que podemos dizer que um refinamento dentro da tecnologia do vcuo. Ele ainda no est devidamente sendo tratado nos livros da rea. Poderemos encontrar informaes mais precisas e atualizadas nos catlogos das empresas fabricantes dos rotmetros e dos medidores de fluxo de massa trmico. H tambm informao disponvel em revistas e peridicos da rea de fabricao de circuitos integrados, ou seja, na rea de microeletrnica. Ainda cabe mencionar que revistas nesta rea trazem muita informao em geral de equipamentos, procedimentos e tcnica na rea da tecnologia do vcuo em geral. Apesar de termos iniciado o assunto, podemos ter um mnimo de entendimento sobre ele. BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Deteco de Vazamentos
Entre os assuntos mais importantes da Tecnologia do Vcuo est sem dvida alguma a deteco de vazamentos. Este assunto tem experimentado grande evoluo dentro da Tecnologia do Vcuo tanto no que se refere a instrumentao como nas prticas de trabalho automatizadas. Os motivos principais para este assunto ser bastante importante na tecnologia do vcuo que vazamentos em geral limitam ou at mesmo impede um bom desempenho dos sistemas de vcuo e tambm o fato da instrumentao mais sensvel existente para a deteco de vazamentos operar em vcuo. Neste ltimo caso usamos um espectrmetro de massa posicionado para detectar um determinado tipo gs a ser usado como gs de busca. A deteco de vazamentos talvez seja a tarefa mais ingrata dentro da tecnologia do vcuo. O fato est na dificuldade muitas vezes de determinar a posio de um certo vazamento, ou at mesmo de decidir se ele existe ou no. Devemos ter sempre em mente que o sucesso da tarefa de detectar vazamentos depende do seguinte trip: instrumentao, metodologia e elemento humano. Sem uma dessas pernas a mesa no se sustenta. Os trs ponto so importantes; talvez o mais importante seja o elemento humano. De nada nos serve se temos um excelente detetor de vazamentos e no dominamos as tcnicas de deteco de vazamentos. Desta forma devemos ter sempre presente que alm de conhecer o princpio de funcionamento dos detetores de vazamentos de deveremos conhecer as formas de utiliz-lo e certamente como interpretar os resultados. Uma boa prtica antes de comear a trabalhar com o detetor de vazamentos sempre ter a mo uma pea que sabemos que h vazamento e proceder na sua busca. Desta forma estaremos verificando o instrumento e tambm a ns mesmos. Muitas vezes podemos passar horas na busca de um vazamento. Principalmente se os equipamentos forem de grande porte e os vazamentos pequenos. Esta combinao em geral torna a tarefa de detectar vazamentos extremamente rdua. As tcnicas desenvolvidas aplicveis a todos os ramos da tecnologia onde h a exigncia de recipientes estanques, como por exemplo: indstrias alimentcia, farmacutica, combustvel, nuclear, refrigerao, trocadores de calor, e muitas outras. Tambm devemos nos preocupar em ter as peas limpas antes de fazermos os testes de vazamentos, removendo leos e graxas, pois estes podem tapar os possveis vazamentos.
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV 1. Explique o princpio de funcionamento do teste de vazamento do borracheiro, conforme esquematizado abaixo. Faa um modelo fsico dele. Voc pode fazer o modelo utilizando conceitos fsicos vistos no contedo terico desta disciplina. No despreze este teste. Apesar da sua extrema simplicidade podemos conseguir muito com ele. Por exemplo, em algumas atividades industriais este teste de deteco de vazamentos bastante utilizado. Fale da sensibilidade deste teste.
Teste de vazamentos pela imerso da pea pressurizada em um tanque com gua.
A mesma teoria e princpios fsicos utilizados neste mtodo de deteco de vazamentos a base fsica para outros tipos de testes de vazamentos muito utilizados na indstria. No caso do teste acima a ser trabalhado intensamente utilizado na indstria de compressores para geladeiras, arcondicionados e outros equipamentos do tipo.
2. Explique o funcionamento de funcionamento do espectrmetro de massa tipo setor magntico. O que significa ter um gs de busca? Como podemos detectar um vazamento considerando as duas partes anteriores desta questo? Veja que j iniciamos o estudo de espectrmetro de massa quando estudamos os analisadores de gases residuais. Na verdade esses equipamentos so tambm utilizados como detetores de vazamentos. Uma vantagem que os analisadores de gases residuais esto sempre conectados aos sistemas de vcuo, assim, alm de termos um acompanhamento da evoluo da presso e sua composio gasosa no sistema de vcuo, poderemos quando necessrio utiliz-lo como detetor de vazamentos.
FATEC - SP
Esquema de um espectrmetro de massa como o elemento principal de um detetor de vazamentos.
3. Como funciona o detetor de vazamentos como um todo. Vemos a seguir um do tipo de gabinete grande. Vemos um sistema de vcuo completo, com a bomba de pr-vcuo, para inicialmente bombear a pea a ser testada e em seguida a bomba de alto-vcuo que bombear tanto o espectrmetro de massa como a pea em teste. Diga como o princpio de funcionamento do detetor de vazamentos de fluxo direto e contra-fluxo. Descreva em detalhe qual a seqncia de operao do detetor de vazamentos considerando o desenho mostrado a seguir. Pense no seguinte problema: Quando temos um sistema de vcuo de grande porte, e precisamos fazer um teste de vazamentos, como devemos proceder. Veja que se usarmos as bombas de vcuo do prprio detetor de vazamentos a tarefa pode ficar quase impossvel de ser realizada. Discutiremos em mais profundidade a seguir este assunto. Veja que os detetores de vazamentos baseados em espectrmetros de massa so sistemas de alto-vcuo. Necessariamente deveremos manter o espectrmetro de massa em presses em torno de 10-4 mbar na pior das hipteses, caso contrrio poderemos ter o seu filamento queimado.
ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Detetor de vazamentos com espectrmetro de massa.
4. Faa um esquema de trabalho para fazer a deteco de vazamentos das situaes mostradas.
A pea pressurizada com uma mistura com o gs hlio. Mtodo sniffer.

ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
A pea sendo detectado vazamentos sob vcuo. Mtodo de deteco sob vcuo.
Estes so os dois mtodos bsicos de deteco de vazamentos, ou seja, em deles a pea a ser testada a sua estanqueidade est sob vcuo e no outro a pea est pressurizada.
5. Com relao ao sistema de alto-vcuo mostrado na figura a seguir. Vamos desenvolver a questo.
Sistema de alto-vcuo industrial.

ftd@fatecsp.br
FATEC - SP
Laboratrio de Tecnologia do Vcuo - LTV Veja que temos como tarefa detectar vazamentos deste sistema de alto-vcuo de mdio porte. O sistema de bombeamento do detetor de vazamentos insuficiente para fazermos vcuo na cmara de vcuo e suas partes perifricas. Neste caso usamos o prprio sistema de bombeamento da cmara de vcuo para atingir presses da ordem de 10-3 ou 10-4 mbar e conectamos o detetor de vazamentos entre a bomba de difuso e bomba mecnica do sistema de vcuo em teste. Este procedimento muito utilizado em equipamentos de mdio e de grande porte. Faa uma exposio dos passos para fazer o teste de vazamento. Considere a calibrao do detetor de vazamentos, como devemos fazla? Nos sistemas de vcuo de mdio e grande portes, principalmente, precisamos ter muita organizao e sistematizao nos testes de vazamento. Anotar a seqncia de verificao das partes suspeitas de vazamentos, por exemplo, soldas, vedaes das flanges, e outras partes. No caso devemos borrifar o hlio iniciando de cima para baixo, ver se h muita ventilao. O ideal ter alguma para no acumular hlio no ambiente, mas no muita para no haver confuso na interpretao dos resultados. Veja que o deslocamento de ar pode carregar hlio de um lugar que no h vazamento para um lugar onde h vazamento. Com isso, interpretaremos errado os resultados.
6. Fale da importncia dos testes de vazamento para as muitas atividades industriais e tecnologia em geral. Aponte produtos em seu cotidiano cuja deteco de vazamentos voc acredita ser importante para a qualidade desses produtos.
Comentrio: O assunto exposto neste roteiro um tpico de muita importncia em inmeras aplicaes no somente da tecnologia do vcuo, mas de outras reas tambm. Poderemos encontrar muitas informaes atualizadas nos catlogos das empresas fabricantes dos detetores de vazamentos e tambm resumos de seus princpio de funcionamento, mtodos de utilizao e interpretao de resultados. A deteco de vazamentos talvez seja a tarefa mais trabalhosa a ser realizada em tecnologia do vcuo. Devemos ter presente que necessitamos de uma boa instrumentao, mas a habilidade do profissional e sua organizao e sistemtica so fundamentais para uma realizao da tarefa com sucesso. BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vcuo Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi
So Paulo - SP, Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp.br Fax: (011) 3315-0383
ftd@fatecsp.br
This document was created with Win2PDF available at http://www.win2pdf.com. The unregistered version of Win2PDF is for evaluation or non-commercial use only. This page will not be added after purchasing Win2PDF.

Apostila Tecnologia Do Vacuo

Caricato da

Informazioni sul documento

Descrizione originale:

Copyright

Formati disponibili

Condividi questo documento

Condividi o incorpora il documento

Opzioni di condivisione

Hai trovato utile questo documento?

Questo contenuto è inappropriato?

Copyright:

Formati disponibili

Apostila Tecnologia Do Vacuo

Caricato da

Copyright:

Formati disponibili

FATEC - SP

Faculdade de Tecnologia de So Paulo

CURSO DE MATERIAIS, PROCESSOS E COMPONENTES ELETRNICOS - MPCE

DISCIPLINA DE TECNOLOGIA DO VCUO

So Paulo SP Brasil 2006

Pa. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

So Paulo - SP, Brasil

Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp.br

Fax: (011) 3315-0383

Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV

Responsvel pela Disciplina de Tecnologia do Vcuo e pelo LTV

Pa. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

So Paulo - SP, Brasil

Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp.br

Fax: (011) 3315-0383

Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV

Livros e Catlogos da rea de Tecnologia do Vcuo

Pa. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

So Paulo - SP, Brasil

Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp.br

Fax: (011) 3315-0383

Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV

Pa. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

So Paulo - SP, Brasil

Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp.br

Fax: (011) 3315-0383

Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV

Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV

Pa. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

So Paulo - SP, Brasil

Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp.br

Fax: (011) 3315-0383

Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV

Pa. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

So Paulo - SP, Brasil

Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp.br

Fax: (011) 3315-0383

Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV

Comportamento dos Gases Ideais Teoria Cintica dos Gases

Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV

Figuras mostrando de forma pictrica os estados de agregao da matria e suas mobilidades.

Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV

Pa. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

So Paulo - SP, Brasil

Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp.br

Fax: (011) 3315-0383

Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV

Comportamento dos Gases Reais Teoria Cintica dos Gases

Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV

Pa. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

So Paulo - SP, Brasil

Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp.br

Fax: (011) 3315-0383

Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV

TEXTO SOBRE PRESSO DE VAPOR

Pa. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

So Paulo - SP, Brasil

Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp.br

Fax: (011) 3315-0383

Laboratrio de Tecnologia do Vcuo LTV

Pa. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

So Paulo - SP, Brasil

Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp.br