Dissertacao Metrologia

Desenvolvimento de um Interfermetro de Luz Incoerente para Medio de Forma de Cilindros
por
Eng. Alex Dal Pont
Universidade Federal de Santa Catarina Ps-Graduao em Metrologia Cientfica e Industrial Departamento de Engenharia Mecnica
Trabalho apresentado como parte dos requisitos para a obteno do ttulo de Mestre em Metrologia Cientfica e Industrial na Universidade Federal de Santa Catarina., Florianpolis, SC, Brasil.
Florianpolis, 27 de outubro de 2004.
Desenvolvimento de um Interfermetro de Luz Incoerente para Medio de Formas de Cilindros

Eng. Alex Dal Pont
Esta dissertao foi julgada adequada para a obteno do ttulo de Mestre em Metrologia Cientfica e Industrial e aprovada na sua forma final pelo Programa de Ps Graduao em Metrologia Cientfica e Industrial.
Prof. Armando Albertazzi Gonalves Jnior, Dr. Eng. Orientador Departamento de Engenharia Mecnica - UFSC
Prof. Marco Antonio Martins Cavaco, Ph. D. Coordenador do Programa de Ps Graduao em Metrologia Cientfica e Industrial
Banca Examinadora:
Prof. Alexandre Lago, Ph. D. Departamento de Engenharia Mecnica UFSC
Prof. Frank Hrebabetzky, Dr. Rer. Nat. Universidade Federal de Santa Catarina
Prof. Andr Roberto de Souza, Dr. Eng. CEFET-SC
Eng. Roberto Binder, M. Eng. EMBRACO S.A.
minha esposa Ana Cristina, por seu amor e dedicao, fundamentais para a concretizao deste trabalho e ao meu querido filho Rafael.
Resumo
A inspeo de peas cilndricas uma importante operao nas indstrias, colaborando para o aumento de eficincia e durabilidade, principalmente em sistemas com partes acopladas que apresentam movimentos relativos entre si, como, por exemplo, pistes, cilindros, mancais, eixos e rolamentos. Este trabalho apresenta o desenvolvimento de um novo sistema de medio ptico de cilindros, com o princpio baseado na tcnica de varredura 3D por interferometria de luz incoerente. Um espelho cnico de alta qualidade adaptado em um interfermetro de maneira que a varredura longitudinal transformada em uma varredura radial, permitindo a medio de formas cilndricas com as vantagens da tcnica interferomtrica. Um prottipo de laboratrio para medio de cilindros desenvolvido, sendo composto por um interfermetro de luz incoerente para medio de grandes reas e um software para controle do hardware, processamento e manipulao dos resultados. So apresentados o projeto do hardware e as funcionalidades do software. So listadas as principais fontes de incertezas e analisados seus efeitos no desempenho do sistema. Os ensaios realizados para a otimizao dos parmetros do sistema e a calibrao do sistema so apresentados. Esta ltima, feita atravs da medio de um cilindro padro, permitiu quantificar as incertezas de medio atingidas com o prottipo desenvolvido. Alguns exemplos de medio de cilindros so mostrados, ilustrando o uso do sistema.
Abstract
The inspection of cylindrical parts is an important task in industries, collaborating to improve the efficiency and robustness in systems that have parts with relative movement between then, like pistons, cylinders, journal bearings, shafts and rolling bearings. This work presents the development of a new optical based measurement system for small cylinders form assessment. The measuring principle is based on the scanning white-light interferometry technique. A high quality conical mirror is coupled in a white light interferometer so that the longitudinal scanning is converted in a radial scanning, allowing the measurement of cylindrical forms with the advantages of the vertical scanning interferometry. A laboratory prototype for measurement of small size cylindrical forms was developed, composed by a white light interferometer for large areas measurements and by a software for hardware control, processing and results presentation. The project of the hardware and the software features are presented in this work. The main sources of uncertainty are listed and their effects on the system performance are analyzed. Experiments for system parameters optimization are presented. A system calibration is performed using a pin gauge, allowing the determination of the uncertainties achieved with the prototype. Some measuring samples of tiny cylinders are showed, illustrating the use of the system.
Agradecimentos
Este trabalho contou com a contribuio de vrias entidades e pessoas, s quais desejo expressar meus sinceros agradecimentos: Ao Labmetro, pela oportunidade de aprendizado oferecida e pela sua excelente infra-estrutura. Ao Ps-MCI, pela formao profissional e pessoal de excelncia. EMBRACO pelo apoio financeiro e confiana concedidos e pelo acompanhamento empregado, na pessoa do tcnico Valsio Schulz, servindo de motivao para o sucesso do projeto. Ao Prof. Armando Albertazzi Gonalves Jr. pela pacincia, incentivo e orientao durante todo o trabalho. A todos os estagirios e profissionais que contriburam na execuo deste trabalho, em especial ao Rafael, lcio, Ricardo, Lucas, Analucia, Jos Ricardo, Prof. Frank, Prof. Gustavo, Fabrcio e Danilo. Rosana Magali Vieira, pela amizade e presteza a frente da secretaria do laboratrio. Aos meus pais, pelo carinho e confiana depositada ao longo da vida acadmica. Dedico este trabalho a minha querida esposa Ana Cristina, que compartilhou comigo esta longa caminhada, estando sempre ao meu lado nos momentos difceis e alegres, juntamente com Rafael, meu amado filho. Agradeo a Deus pela vida, esta imerso em sua surpreendente obra.
Sumrio
Resumo ..............................................................................................................................iv Abstract .............................................................................................................................. v Sumrio ............................................................................................................................vii Lista de Figuras................................................................................................................ x Lista de Tabelas.............................................................................................................xiv Lista de Smbolos ........................................................................................................... xv Captulo 1 Introduo ......................................................................................................................... 1 1.1 1.2 1.3 Motivao e Justificativas...................................................................................... 1 Objetivos e Metas ................................................................................................... 2 Estrutura do Trabalho............................................................................................ 2
Captulo 2 Medio de Formas Cilndricas.................................................................................... 4 2.1 2.2 Determinao da Cilindricidade ............................................................................ 6 Sistemas de Medio de Cilindros ......................................................................... 7
2.2.1 Mquinas de Medir por Coordenadas ................................................................ 8 2.2.2 Instrumentos de Medio de Forma/circularidade............................................ 8 2.2.3 Sistemas pticos ............................................................................................... 10 Captulo 3 Interferometria de Luz Incoerente........................................................................... 12 3.1 3.2 3.3 Interferncia ......................................................................................................... 12 Coerncia............................................................................................................... 15 Interferometria de Luz Incoerente ...................................................................... 19
3.3.1 Determinao do pico da curva de amplitude de modulao .......................... 23
Sumrio
viii
Captulo 4 Sistema de Medio Proposto ..................................................................................... 25 4.1 4.2 4.3 4.4 Princpio de Medio ............................................................................................ 25 Requisitos de Projeto ............................................................................................ 29 Concepo Bsica.................................................................................................. 29 Concepo do Hardware ....................................................................................... 32
4.4.1 Arranjo ptico ................................................................................................... 32 4.4.2 Iluminao......................................................................................................... 33 4.4.3 Aquisio de Imagens ....................................................................................... 34 4.4.4 Espelho de Referncia e Base de Deslocamento Linear.................................. 36 4.4.5 Espelho Cnico .................................................................................................. 38 4.4.6 Base de Fixao do Cilindro ............................................................................. 38 4.5 Concepo do Software ......................................................................................... 41 4.5.1 Classe Varredor................................................................................................. 43 4.5.2 Classes de Nuvem de Pontos ............................................................................ 45 4.5.3 Classes de Visualizao Grfica dos Resultados ............................................. 45 4.6 4.7 Montagem e Alinhamento da Bancada ............................................................... 46 Operao da Bancada ........................................................................................... 47
4.7.1 Configurao Inicial.......................................................................................... 48 4.7.2 Alinhamento do Cilindro .................................................................................. 48 4.7.3 Definio dos Limites de Medio .................................................................... 49 4.7.4 Aquisio da Nuvem de Pontos Cilndrica....................................................... 49 4.7.5 Realinhamento e Aplicao de Filtros ............................................................. 49 Captulo 5 Ajustes e Calibrao do Interfermetro Radial...................................................... 51 5.1 5.2 Fontes de Erros..................................................................................................... 52 Ensaios de Otimizao ......................................................................................... 63 5.1.1 Contabilizao dos Erros .................................................................................. 61 5.2.1 Intensidade Mdia da Imagem......................................................................... 63 5.2.2 Limiar de Modulao ........................................................................................ 65 5.3 5.4 Calibrao do Sistema de Medio ...................................................................... 67 Coordenada Radial ............................................................................................... 70 5.3.1 Coordenadas Laterais ....................................................................................... 68 5.4.1 Clculo da Tendncia........................................................................................ 71 5.4.2 Clculo da Incerteza de Medio Radial .......................................................... 73 5.5 Consideraes ....................................................................................................... 77
Sumrio
ix
Captulo 6 Casos de Uso.................................................................................................................... 78 6.1 Caso 1 .................................................................................................................... 79 6.1.1 Configuraes Iniciais....................................................................................... 79 6.1.2 Alinhamento do Cilindro .................................................................................. 80 6.1.3 Aquisio da Nuvem de Pontos ........................................................................ 81 6.1.4 Ps-processamento da Medio ........................................................................ 82 6.1.5 Visualizao de Resultados .............................................................................. 83 6.2 Caso 2 .................................................................................................................... 83 Captulo 7 Concluses e Sugestes para Trabalhos Futuros................................................... 87 7.1 7.2 Concluses............................................................................................................. 87 Sugestes para Trabalhos Futuros ...................................................................... 89
Referncias Bibliogrficas .......................................................................................... 91 Anexo A Prottipo Funcional...................................................................................... 94
Lista de Figuras
Figura 2.1 Figura 2.2 Figura 2.3 Figura 2.4 Figura 2.5 Figura 2.6
Definio das caractersticas dos erros de uma superfcie [2].................. 4 Classificao das formas possveis de um cilindro.................................... 5 Estratgias de medio de formas de cilindros. ........................................ 5 Cilindros de referncia para medio de cilindricidade [3]. ..................... 7 Mquina de medio por coordenadas, MMC [6]. ..................................... 8 Configuraes bsicas de sistema de medio de forma/circularidade: (a) com base giratria e (b) com cabeote giratrio [3]. ................................................................................................ 9
Figura 2.7 Figura 2.8 Figura 3.1 Figura 3.2
Exemplos de sistemas de medio de forma/circularidade com base giratria (a) e com cabeote giratrio (b) ................................................... 9 Sistema de medio de cilindros por mtodo ptico usando luz de incidncia oblqua [1]................................................................................ 10 Interfermetro de Michelson.................................................................... 14 Imagem das franjas de interferncia de ondas luminosas coerentes, de uma superfcie quase plana. A diferena de fase entre um ponto preto e um vizinho branco de o que corresponde, segundo a Equao 3.7, a uma diferena de altura de 0,15 m para = 0,6 m. ... 15
Figura 3.3 Figura 3.4 Figura 3.4 Figura 3.5
Trens de onda de duas ondas parciais em interferncia [7]. .................. 16 Experimento do duplo buraco de alfinete de Young. ........................... 18 Configurao bsica de um interfermetro de luz incoerente. ............... 20 Grfico da intensidade em funo da diferena de caminho ptico, no intervalo onde a interferncia visvel. conhecido como correlograma. ............................................................................................ 22
Lista de Figuras
xi
Figura 3.6 Figura 4.1 Figura 4.2 Figura 4.3 Figura 4.4 Figura 4.5 Figura 4.6 Figura 4.7 Figura 4.8
Correlograma de interferncia real ilustrando o clculo do centride para a determinao de z0 de certo pxel. ................................................ 24 Interfermetro radial................................................................................ 26 Equivalncia entre plano virtual e cilindro virtual dos interfermetros, e a viso da cmera nos dois casos............................... 27 Reconstruo do cilindro com base no anel medido. ............................... 28 Definio da geometria do espelho cnico e da rea de medio............ 30 Projeto bsico do interfermetro radial ................................................... 31 Leiaute ptico telecntrico projetado com auxlio de software............... 36 Figura esquemtica do espelho de referncia e da base de deslocamento............................................................................................. 37 Descentralizao do cilindro em relao ao eixo do espelho cnico. Na situao ideal (a); com desvio angular (b); e com desvio angular e descentralizao combinados (c). .......................................................... 39
Figura 4.9
Equivalncia na forma medida do desvio angular do espelho cnico em relao ao eixo ptico (a) e do desvio do cilindro em relao ao espelho cnico (b). ..................................................................................... 40
Figura 4.10 Suporte para fixao do espelho cnico e do cilindro, com os controles de ajuste necessrios. ............................................................... 41 Figura 4.11 Fluxograma da operao de varredura do interfermetro. .................... 44 Figura 4.12 Projeto detalhado do interfermetro........................................................ 46 Figura 4.13 Evoluo no alinhamento do interfermetro: alinhamento ruim (a) e bom alinhamento (b).............................................................................. 47 Figura 5.1 Figura 5.2 Figura 5.3 Figura 5.4 Figura 5.5 Figura 5.6 Fontes de erros presentes no sistema de medio. ................................. 53 Ilustrao de imagem com diferentes intensidades de iluminao........ 64 Quantidade de pontos medidos em funo da intensidade mdia da imagem medida......................................................................................... 65 Histograma usado para comparao dos limiares de modulao........... 66 Ilustrao do procedimento para clculo da escala do sistema de medio ..................................................................................................... 68 Ilustrao do procedimento para determinao do centro do espelho cnico. ........................................................................................................ 69
Lista de Figuras
xii
Figura 5.7 Figura 5.8 Figura 5.9
Formato da tendncia do sistema de medio, para a medio do anel da planificao do cilindro................................................................ 72 Ilustrao da tendncia da coordenada radial, j convertido para cilindro. ..................................................................................................... 72 Mapa dos desvios padres para os pontos medidos no anel da planificao do padro cilndrico. ............................................................ 74
Figura 5.10 Histograma dos desvios padres dos pontos medidos no ensaio com o padro..................................................................................................... 74 Figura 6.1 Figura 6.2 Figura 6.3 Figura 6.4 Figura 6.5 Tela principal do software de medio do interfermetro destacando os controles dos parmetros de medio.................................................. 79 Imagem do cilindro durante alinhamento grosseiro. ........................... 80 Imagem da interferncia do cilindro, durante alinhamento fino. ....... 81 Nuvem de pontos adquirida. .................................................................... 81 Ps processamento da nuvem de pontos adquirida: (a) reconstruo matemtica do cilindro, (b) alinhamento e (c) aplicao de filtros de forma. ........................................................................................................ 82 Figura 6.6 Figura 6.7 Figura 6.8 Figura 6.9 Grficos de circularidade (a) e de linearidade (b), resultantes da medio de forma do cilindro. .................................................................. 83 Imagem da interferncia do cilindro, durante alinhamento fino para o caso 2.............................................................................................. 84 Nuvem de pontos adquirida. .................................................................... 85 Ps processamento da nuvem de pontos adquirida: (a) reconstruo matemtica do cilindro, (b) alinhamento e (c) aplicao de filtros de forma. ........................................................................................................ 86 Figura 6.10 Grficos de circularidade (a) e de linearidade (b), resultantes da medio do caso 2...................................................................................... 86 Figura A.1 Vista superior do prottipo do interfermetro radial. ............................ 94 Figura A.2 Vista lateral do prottipo. ........................................................................ 95 Figura A.3 Suporte do cilindro de medio, com os controles de alinhamento. ....... 95 Figura A.4 Posicionamento do cilindro, j preso ao suporte, no interior do espelho cnico............................................................................................ 96 Figura A.5 Cilindro posicionado no interior do espelho cnico. ................................ 96
Lista de Figuras
xiii
Figura A.6 Lente colimadora e os controles para seu alinhamento em cinco eixos........................................................................................................... 97 Figura A.7 Espelho de referncia e a base de deslocamento..................................... 97 Figura A.8 Imagem do interfermetro exibindo os suportes dos componentes........ 98 Figura A.9 Divisor de feixes e ao lado o filtro para reduo de intensidade. ........... 98 Figura A.10 Cmera CCD e os suportes da ris e das lentes de aquisio de imagens. .................................................................................................... 99 Figura A.11 Fonte de luz utilizada............................................................................. 99
Lista de Tabelas
Tabela 2.1 Comparao das incertezas de medio dos melhores modelos de cada grupo de sistema de medio de forma cilndricas disponvel. ...... 11 Tabela 4.1 Valores de luminncia energtica e comprimento de coerncia para diferentes fontes de luz [19]. .................................................................... 34 Tabela 5.1 Contabilizao das estimativas das fontes de erros considerados no sistema. ..................................................................................................... 62 Tabela 5.2 Valores de cada parmetro analisado versus nmero de sigmas do limiar de modulao. ................................................................................ 67 Tabela 5.3 Balano de incertezas para a coordenada da altura. .............................. 69 Tabela 5.4 Balano de incertezas para a medio radial de forma. ......................... 75 Tabela 5.5 Balano de incertezas para a medio radial absoluta........................... 76
Lista de Smbolos
u1 , u2 : amplitude espacial complexa de campos eletromagnticos de duas ondas

eletromagnticas;
u : amplitude espacial complexa resultante da sobreposio de dois campos

eletromagnticos;
U1 ,U 2 : mdulo do campo eletromagntico de duas ondas eletromagnticas; I1 , I 2 : intensidade de duas ondas eletromagnticas;
1 , 2 : fase de duas ondas eletromagnticas;

: diferena entre as fases de cada onda;
p: deslocamento de um dos espelhos do interfermetro de Michelson;
: comprimento de onda da luz;

E1 e E2: espelhos do interfermetro de Michelson; Lc : comprimento de coerncia da fonte de luz; l: diferena do caminho ptico percorrido pelos dois feixes no interfermetro;
c : perodo de tempo para a luz percorrer l;
( ) : grau de coerncia complexo;

c: velocidade da luz;
: frequncia da fonte de luz;

v : faixa de freqncias da banda espectral da fonte de luz;
: variao de comprimento de onda de uma fonte de luz;

x: coordenada transversal do interfermetro; y: coordenada transversal do interfermetro; z: coordenada longitudinal do interfermetro;
Lista de Smbolos
xvi
A(l): amplitude da interferncia em funo da diferena de caminho ptico; I 0 : intensidade inicial;
z 0 : posio da base de deslocamento correspondente diferena de caminho ptico

nula; I0, I90, I180 e I270: intensidades do pxel para os quatro passos;
I : intensidade mdia do pxel para os quatro passos;

LO: lente colimadora do brao do espelho cnico; LR: lente colimadora do brao do espelho de referncia; DF: divisor de feixes; ER: espelho de referncia; EP: conjunto espelho cnico-cilindro; u: incerteza padro;
u HA : incerteza padro do tipo A para a coordenada da altura do cilindro;
uCCD : incerteza devido resoluo do CCD; u ESC : incerteza devido ao erro mximo da escala mm/pxel; u HC : incerteza padro combinada da altura;
U H 95% : Incerteza expandida da altura;

: graus de liberdade da distribuio; k: fator de abrangncia para 95% de probabilidade, dado em funo de ;
M ik : altura obtida na medio i para o ponto k;

n k : nmero de vezes que um ponto k medido; M : altura mdia do anel do padro planificado; s (r ) : desvio padro experimental dos valores do raio;
n : nmero de medies;
u A : incerteza padro do tipo A para a coordenada radial;
uTd : incerteza padro da tendncia de forma; u / 0 / : incerteza do padro cilndrico; uC : incerteza padro combinada da medio de forma radial; U 95% : incerteza expandida da coordenada radial;
Lista de Smbolos
xvii
u RB : incerteza padro de referenciamento da base de deslocamento; u RP : incerteza do raio nominal do padro; u RM : incerteza do raio mdio da medio do padro;
uCA : incerteza padro combinada para medio radial absoluta;

U A 95% : incerteza expandida para medio radial absoluta.
Captulo 1
Introduo
1.1
Motivao e Justificativas
O crescente avano tecnolgico tem trazido mquinas e equipamentos mais
eficientes e durveis. Partes cilndricas so componentes de boa parte destes equipamentos, envolvendo em muitos casos movimentos relativos entre peas acopladas, como, por exemplo, no caso de pistes, cilindros, mancais, eixos e rolamentos. Inspecionar tais partes para conhecer suas caractersticas geomtricas primordial durante sua manufatura, permitindo montagens com maior exatido e melhor previso do comportamento do sistema. Este panorama tem motivado o aperfeioamento de sistemas de medio de superfcies cilndricas. Encontram-se no mercado diversos modelos de sistemas de medio por apalpao dedicados medio de peas circulares de maneira geral. Dentro deste contexto e motivado por experincias anteriores no LABMETRO, Laboratrio de Metrologia e Automatizao da UFSC, no desenvolvimento de sistemas de medio utilizando mtodos pticos, surgiu a proposta para o desenvolvimento de um novo interfermetro para medio radial baseado em interferometria de luz incoerente, para atender uma demanda concreta da indstria mecnica. Tcnicas de medio de cilindros por mtodos pticos no so novidades [1]. Com elas toda a superfcie do cilindro pode ser varrida e medida de uma nica vez, trazendo
Captulo 1: Introduo
vantagens para a inspeo dessas peas. Vrios parmetros de forma podem ser quantificados com apenas uma medio. Alm disso, o tempo de medio muito inferior comparado ao tempo para medir toda a forma de um cilindro usando-se mtodos convencionais de medio por apalpao mecnica.
1.2
Objetivos e Metas
O objetivo deste trabalho de projetar, implementar e avaliar um prottipo de
laboratrio para medio de peas cilndricas, mais especificamente de pistes de compressores hermticos, usando um novo princpio de medio radial, tendo como base a interferometria de luz incoerente. O sistema ser composto por um mdulo para fixao de cilindros, por um interfermetro radial e por um software para controle do hardware, aquisio da medio e ps-processamento dos dados. O sistema ser capaz de medir tanto a forma quanto os raios absolutos de cilindros, esperando-se que o mesmo tenha melhor desempenho na medio de formas. A medio lateral ser composta de aproximadamente 700 000 pontos de medio, com uma densidade de cerca de 10 pontos/mm. O sistema dever ser capaz de medir cilindros em srie, exigindo um esforo para que o tempo de medio seja reduzido. Estima-se um tempo de 20 min para a medio completa de um cilindro com um erro de forma da ordem de 5 m, sendo que o tempo predominante o de alinhamento, com cerca de 15 min.
1.3
Estrutura do Trabalho
Na primeira parte, referente ao segundo captulo, ser feita uma reviso de
medio de cilindros, dando maior nfase na determinao do parmetro de cilindricidade. Sero ainda ilustrados os principais sistemas existentes para esta finalidade. No terceiro captulo, ser apresentado o fundamento terico para medio de geometrias 3D usando-se interferometria de luz incoerente. O quarto captulo apresenta a concepo do sistema proposto. descrito o projeto do sistema desde a definio dos requisitos, e posteriormente detalhado o funcionamento de todos os mdulos.
Captulo 1: Introduo
O quinto captulo trata da otimizao do sistema e da quantificao das incertezas de medio. Os ensaios de otimizao e de calibrao do sistema de medio so apresentados. feita uma descrio detalhada das fontes de erros provveis do sistema e realizado o balano de incertezas, resultando na quantificao das incertezas de medio lateral e radial. O sexto captulo apresenta dois casos de uso do sistema, com o objetivo de mostrar como a medio realizada e as peculiaridades de cada caso escolhido, alem de ilustrar os resultados da medio. O stimo captulo apresenta as concluses do trabalho e propostas de melhorias para trabalhos futuros.
Captulo 2
Medio de Formas Cilndricas
Irregularidades de superfcies ou contornos, de maneira geral, podem ser decompostas em desvios de forma, ondulaes e rugosidades, de acordo com a razo da distncia entre tais irregularidades (desvios, ondas, fendas, etc) e sua profundidade. A Figura 2.1 ilustra os limites de cada uma das caractersticas de superfcie.
Figura 2.1 Definio das caractersticas dos erros de uma superfcie [2].
Captulo 2: Medio de Formas Cilndricas
Entende-se por desvio de forma em cilindros a diferena entre a forma real e a forma ideal do cilindro, de acordo com a relao dada na Figura 2.1. Na Figura 2.2, so ilustradas a forma ideal e algumas formas possveis de um cilindro.
Figura 2.2 Classificao das formas possveis de um cilindro.
Para se realizar a medio da forma de um cilindro, algumas estratgias de medio podem ser utilizadas. So elas: 1. Mtodo pontual; 2. Mtodo das geratrizes; 3. Mtodo das sees circulares; 4. Mtodo da gaiola.
Mtodo pontual
Mtodo das geratrizes
Mtodo das sees circulares
Mtodo da gaiola
Figura 2.3 Estratgias de medio de formas de cilindros.
O mtodo da gaiola o mais indicado, devido a sua caracterstica de alta densidade de pontos medidos ao longo de contornos de linhas e crculos. Embora nem todas as reas da superfcie do cilindro sejam medidas, com este mtodo a
probabilidade de extrair os componentes da superfcie que influenciam no resultado muito alta. Para casos onde o mtodo da gaiola no possvel de ser aplicado, usa-se os outros mtodos apresentados na Figura 2.3. Para o mtodo pontual, especialmente, necessrio ter uma alta densidade de pontos medidos e convenientemente distribudos a fim de se garantir que a superfcie medida seja suficientemente abrangida [3]. Basicamente, o nmero de planos, ou perfis, utilizados para definir o cilindro deve ser suficiente para detectar as variaes de forma no seu eixo vertical. Alm disso, em qualquer procedimento de avaliao da cilindricidade, importante que os raios sejam estabelecidos em relao mesma referncia.
2.1
Determinao da Cilindricidade
A tolerncia de cilindricidade apenas recentemente foi formalmente definida,
atravs da norma ISO 12180 [4]. Ela consiste no valor da separao radial entre duas superfcies cilndricas coaxiais, entre as quais deve estar totalmente inserida a superfcie cilndrica medida. O procedimento de medio da forma de um cilindro para determinao da sua cilindricidade deveria, como dito, contemplar a medio da maior parte da extenso da superfcie da pea, a no ser que a zona de tolerncia de cilindricidade seja especificamente restrita. A determinao da cilindricidade composta de dois estgios: (1) definio de um cilindro de referncia, utilizando-se pontos obtidos da medio da superfcie cilndrica, e (2) determinao do valor da cilindricidade, atravs de diferena entre a mxima e mnima distncia entre os pontos medidos e o eixo do cilindro de referncia definida. A Figura 2.4 exibe os quatro tipos de cilindros de referncia que podem ser utilizados e a indicao dos valores de cilindricidade.
(a) Cilindro de mnima zona
(b) Cilindro circunscrito mnimo

Eixo do cilindro
Distncia pico- vale
Eixo do cilindro Distncia pico- vale
(c) Cilindro inscrito mximo
(d) Cilindro de mnimos quadrados
Distncia pico- vale
Figura 2.4 Cilindros de referncia para medio de cilindricidade [3].
A escolha do tipo de cilindro de referncia a ser adotado depende da aplicao do componente a ser inspecionado. O cilindro de mnima zona geralmente empregado em componentes de acoplamentos rolantes. O cilindro circunscrito mnimo usado, por exemplo, na medio de pinos padres, onde somente a superfcie mais externa relevante para encaixes. J o cilindro inscrito mximo usado em cilindros onde a superfcie mais interna relevante, como em anis padres. O cilindro de mnimos quadrados o mais geral, usado em muitas aplicaes de medies de cilindricidade [5].
2.2
Sistemas de Medio de Cilindros

Para a medio de cilindricidade, h trs grupos de sistemas de medio que
normalmente so utilizados atualmente: 1) Mquinas de medir por coordenadas; 2) Instrumentos de medio de forma/circularidade;
3) Sistemas pticos.
2.2.1 Mquinas de Medir por Coordenadas

Na medio usando mquinas de medir por coordenadas (MMC), o volume de medio requerido para a determinao de cilindricidade de uma pea requer a medio de um nmero de pontos considervel, que conseqentemente toma mais tempo e compromete as incertezas. Uma exceo o uso de MMCs com apalpao contnua helicoidal, que possuem um eixo rotativo e fazem a medio usando software mais sofisticado e apalpadores analgicos. Tais mquinas permitem a aquisio de muitos pontos num tempo menor, e so muito mais caras (Figura 2.5).
Figura 2.5 Mquina de medio por coordenadas, MMC [6].
2.2.2 Instrumentos de Medio de Forma/circularidade

O segundo grupo formado por sistemas de medio dedicados, com algumas configuraes bsicas. Trs mdulos de tais instrumentos so usados na medio de cilindros: (1) dispositivo de rotao, (2) posicionador longitudinal e (3) apalpador stylus em conjunto com um transdutor. As duas configuraes bsicas para este tipo de sistema so ilustradas na Figura 2.5. Na configurao (a) o sistema possui uma base giratria onde a pea fixada. O apalpador, sempre alinhado com o eixo de rotao da base, possui controles de posicionamento radial e longitudinal. Na configurao (b), a pea agora fixada numa base rgida e quem realiza a movimentao angular o prprio cabeote onde est preso o apalpador. Esta configurao permite a medio de
superfcies cilndricas em componentes mais complexos, como por exemplo um bloco de motor.
Cabeote giratrio
Componente
Ajuste radial Apalpador stylus Mesa giratria Componente
Ajuste radial
(a)
(b)
Figura 2.6 Configuraes bsicas de sistema de medio de forma/circularidade: (a) com base giratria e (b) com cabeote giratrio [3].
Na Figura 2.7, ilustra-se um exemplo para cada configurao de equipamentos disponveis no mercado.
(a)
(b)
Figura 2.7 Exemplos de sistemas de medio de forma/circularidade com base giratria (a) e com cabeote giratrio (b)
10
O mdulo de apalpao composto por um apalpador do tipo stylus, possuindo uma ponta com raio micromtrico responsvel por capturar o relevo da superfcie at o nvel de rugosidade.
2.2.3 Sistemas pticos

Sistemas de medio de cilindros utilizando mtodos pticos no so muito comuns de se encontrar. Um sistema existente o da empresa Corning Tropel, denominado CylinderMasterT (Figura 2.8). Utiliza o princpio de interferometria de incidncia oblqua e apresenta excelente incerteza de medio radial (0,1 m). Por este mtodo h restries quanto rugosidade da pea a ser medida que no pode ter Ra superior a 0,5 m e deve possuir dimenses mximas de 25 mm de dimetro por 125 mm de altura [1].
Figura 2.8 Sistema de medio de cilindros por mtodo ptico usando luz de incidncia oblqua [1].
A Tabela 2.1 resume as incertezas de medio para cada tipo de sistema de medio.
11
Tabela 2.1 Comparao das incertezas de medio dos melhores modelos de cada grupo de sistema de medio de forma cilndricas disponvel. Sistema de medio Medio por coordenadas Medio de forma/circularidade por sistema dedicado Sistema ptico CylinderMasterT Incerteza de medio 2 m 1 m 0,1 m
Alm da incerteza de medio, cabe destacar outras diferenas entre os mtodos que so importantes na hora de se escolher um deles para determinada aplicao. A medio por coordenada, por ser de carter bastante genrico, necessita de maior tempo de configurao e programao da medio do que os outros mtodos. Os sistemas dedicados (2) so os mais utilizados, por possurem sistema de alinhamento do cilindro e pela caracterstica circular da medio. O sistema ptico existente (3) no permite uma medio de grande variedade de peas. No entanto adquire grande quantidade de pontos e com grande velocidade.
Captulo 3
Interferometria de Luz Incoerente
A interferncia de luz incoerente no um fenmeno raro de ser observado. Na natureza so encontrados alguns exemplos como as bolhas de sabo e as manchas de leo sobre uma estrada molhada, onde as cores observadas so o resultado da interferncia da luz solar provocado pelas reflexes das duas superfcies que compem a fina camada presente. Este captulo apresenta os fundamentos tericos da interferometria de luz incoerente, que utilizada neste trabalho na medio do relevo de peas.
3.1
Interferncia
Interferncia pode ocorrer quando duas ou mais ondas se sobrepem no espao.
Sejam, por exemplo, duas ondas monocromticas e coerentes, descritas atravs da amplitude espacial complexa de seu campo eletromagntico [7]:
u1 = U 1 e i1
e
(3.1)
u 2 = U 2 e i 2
campo resultante se torna simplesmente a soma complexa de ambos:
(3.2)
Quando estas se sobrepem, a teoria das ondas eletromagnticas diz que o
u = u1 + u 2 = U 1 e i1 + U 2 e i2
(3.3)
Entretanto, a quantidade que observada ou detectada nessa sobreposio a
Captulo 3: Interferometria de Luz Incoerente
13
intensidade, que calculada por:
I = u = u u*
onde u * representa o complexo conjugado de u. Substituindo-se a Equao 3.3 na Equao 3.4, obtm-se:
(3.4)
I = U 12 + U 22 + 2U 1U 2 cos ( 1 2 )
que simplificando, resulta em
(3.5)
I = I 1 + I 2 + 2 I1 I 2 cos
onde:
(3.6)
I1 , I 2 : Intensidade de cada onda;
= 1 2 : diferena entre as fases de cada onda.

Como pode ser visto, a intensidade resultante no se torna simplesmente a soma algbrica das intensidades das duas ondas. As ondas, de fato, interferem e
2 I1 I 2 cos chamado termo de interferncia. Quando cos = 1 , a intensidade

resultante I atinge o seu mnimo e quando cos = 1 , ela atinge o seu mximo. Apesar das equaes acima descreverem a interferncia de ondas do espectro eletromagntico completo, neste trabalho apenas as ondas luminosas sero tratadas, por fazerem estas parte do princpio de medio utilizado. Um exemplo de interferncia pode ser visto no interfermetro de Michelson, da Figura 3.1. A amplitude da luz incidente dividida por um divisor de feixe que reflete a luz parcialmente. As partes transmitida e refletida se propagam at os espelhos E1 e E2, respectivamente, de onde elas so refletidas de volta e recombinadas para formar o padro de interferncia no anteparo. Na figura os raios incidentes e refletidos nos espelhos foram desenhados de forma separada para deixar evidentes as diferentes componentes da luz. Na realidade estes raios se superpem no espao.
14
E1 E2 E2
lente
semi-espelho
Anteparo
Figura 3.1 Interfermetro de Michelson.
A diferena de caminho ptico entre os dois braos, espelho E1 e E2, do interfermetro pode ser variada movendo-se um dos espelhos, por exemplo, E2. Um movimento p de E2 resulta em uma diferena de caminho ptico l igual a 2p e uma diferena de fase igual a
l =
4 p
4 p
(3.7)
A intensidade, dada pela Equao 3.6, resulta em
I ( p) = I1 + I 2 + 2 I1 I 2 cos
(3.8)
Um resultado tpico da interferncia visto no anteparo mostrado na Figura 3.2. Regies claras e escuras podem ser notadas representando as intensidades mximas e mnimas descritas pela Equao 3.6. Estas regies formam o padro de interferncia denominado por franjas de interferncia.
15
Figura 3.2 Imagem das franjas de interferncia de ondas luminosas coerentes, de uma superfcie quase plana. A diferena de fase entre um ponto preto e um vizinho branco de o que corresponde, segundo a Equao 3.7, a uma diferena de altura de 0,15 m para = 0,6 m.
3.2
Coerncia
A deteco de luz, ou a medio de intensidade luminosa, um processo de
mdia no espao e no tempo. Na Equao 3.6 no se realizou nenhuma mdia, pois considerou-se o valor da diferena de fase , dos dois feixes luminosos, estvel no tempo. Na prtica, fontes emitindo luz de forma perfeitamente estvel e com uma nica freqncia, no existem [7]. Uma maneira de modelar a luz emitida por uma fonte real descrev-la como uma seqncia de trens de onda senoidais de comprimentos finitos e com diferenas de fase distribudas aleatoriamente entre os vrios trens de onda [7]. Assuma que essa fonte de luz seja utilizada num experimento de interferncia, como o interfermetro de Michelson, descrito na Figura 3.1, onde luz dividida em duas ondas parciais de igual amplitude por um divisor de feixe, que mais tarde so recombinadas para interferirem aps terem percorridos trajetrias distintas. Na Figura 3.3 ilustra-se dois trens de onda sucessivos de cada onda parcial do interfermetro. Esses dois trens de onda possuem amplitudes e comprimentos Lc iguais, com uma brusca e aleatria diferena de fase. A Figura 3.3(a) mostra a situao onde as duas ondas percorreram trajetrias de mesmo comprimento. Nota-se que apesar da fase da onda original flutuar aleatoriamente, a diferena de fase entre as duas ondas parciais 1 e 2 permanece constante no tempo, nesse caso igual a zero. A intensidade resultante ento dada pela Equao 3.6. A Figura 3.3(c) mostra a situao onde a onda parcial 2 percorreu um caminho maior que a onda parcial 1, cuja
16
diferena foi de Lc . O incio dos trens de onda da onda parcial 2 coincide com o trmino dos trens de onda correspondente da onda parcial 1. A intensidade resultante ainda dada pela Equao 3.6, mas agora a diferena de fase flutua aleatoriamente medida que os trens de ondas passam. Dessa maneira, cos varia tambm aleatoriamente no intervalo [ 1 , + 1 ] e quando se faz a mdia temporal entre vrios trens de ondas,
cos tende a zero e a intensidade resultante observada ser:

I = I1 + I 2
Lc Lc 1 2 (a) (3.9)
Lc
1 2 (b)
Lc
l 1 2 (c)
Lc
Lc
Figura 3.3 Trens de onda de duas ondas parciais em interferncia [7].
A Figura 3.3(b) mostra o caso intermedirio onde a onda parcial 2 percorreu um caminho maior que a onda parcial 1, mas agora com l de diferena, onde 0 < l < Lc . Fazendo-se a mdia entre vrios trens de onda, a fase resultante varia aleatoriamente num perodo de tempo proporcional a = l / c , e permanece constante num perodo de tempo proporcional a c , onde c = Lc / c . O resultado que ainda pode-se observar um padro de interferncia de acordo com a Equao 3.6, mas com um menor contraste. Para levar em conta esse contraste, a Equao 3.6 deve ser reescrita da seguinte forma:
I = I 1 + I 2 + 2 I 1 I 2 ( ) cos
(3.10)
17
onde ( ) representa o valor absoluto de ( ) , que denominado o grau de coerncia complexo e uma medida da capacidade de duas ondas interferirem entre si. Desta forma, trs situaes so possveis:
(0) = 1 ( c ) = 0
0 ( ) 1
(3.11) (3.12) (3.13)
onde as Equaes 3.11 e 3.12 representam os dois casos limites: (a) de completa coerncia, ou de mximo contraste, e (b) incoerncia, ou ausncia de contraste, respectivamente. A inequao 3.13 representa a coerncia parcial, sendo o caso onde o padro de interferncia aparece com um contraste intermedirio O mais importante conhecer o valor de c , no qual ( c ) = 0 ou o contraste igual a zero. Pode-se provar que [7]:
c =
Lc 1 = c v
(3.14)
onde v representa a faixa de freqncias da banda espectral da fonte de luz. Lc denominado comprimento de coerncia e c tempo de coerncia. A Equao 3.14 est de acordo com o discutido previamente, onde foi sustentado que fontes reais possuem uma distribuio de freqncias e que essas fontes emitem trens de onda de comprimentos finitos. Suponha uma fonte de luz com comprimento de onda mdio e com variao de comprimento de onda . Usando-se a equao bsica da teoria ondulatria:
c v
(3.15)
onde c a velocidade da luz e a frequncia, a diferena de frequncia desta fonte de luz ser
v = c
(3.16)
O comprimento de coerncia dessa fonte de luz ser dado ento por
Lc =
c 2 = v
(3.17)
18
Quanto menor a banda espectral da fonte luz, maior ser o seu comprimento de coerncia e, conseqentemente, mais coerente ela ser. A fonte de luz mais coerente que hoje existe o laser. Um laser de frequncia nica pode ter um comprimento de coerncia de algumas centenas de metros. At agora, tratou-se da coerncia de uma onda em um ponto em dois instantes diferentes, ou no mesmo instante em dois pontos na mesma direo de propagao. Esse fenmeno chamado de coerncia temporal. possvel tambm medir a coerncia de uma onda em dois pontos situados num plano transversal direo de propagao, ou numa frente de onda. Esse fenmeno chamado de coerncia espacial e pode ser analisado atravs do clssico experimento de Young do duplo buraco de alfinete (pinhole) [16].
Figura 3.4 Experimento do duplo buraco de alfinete de Young.
Nele, uma placa com dois buracos colocada entre uma fonte de luz e um anteparo, provocando franjas de interferncia. Observa-se que o contraste das franjas de interferncia no anteparo aumenta medida que se faz os dois buracos se aproximarem. A distncia entre eles que torna o contraste de interferncia nulo chamada de comprimento de coerncia espacial. Pode-se demonstrar que a distncia entre os buracos inversamente proporcional pontualidade da fonte de luz [7]. Ou seja, o tamanho da fonte de luz um dos fatores que determinam a coerncia espacial da fonte de luz. Deve-se, portanto, serem satisfeitas as condies de coerncia espacial e temporal para se obterem franjas de interferncia, ou em outras palavras, obter um
19
contraste que as torne visveis. No Captulo 4 sero vistos maiores detalhes de como se obter uma interferncia visvel.
3.3
Interferometria de Luz Incoerente

Pode-se perceber agora que para se conseguir franjas de interferncia no
interfermetro de Michelson deve-se usar uma fonte de luz com comprimento de coerncia maior que a diferena de caminho ptico das ondas que refletem nos espelhos E1 e E2. Michelson, em 1881, usou tais franjas para medir o comprimento do metropadro, conservado em Paris, em termos do comprimento de onda de uma certa fonte de luz. Esta possua uma coerncia tal que produzia franjas mesmo com uma diferena de caminho ptico de um metro [9]. De modo anlogo, usar uma fonte de luz no coerente, com um comprimento de coerncia de apenas alguns micrometros, por exemplo, faria com que as franjas de interferncia aparecessem somente quando a diferena de caminho ptico fosse muito pequena. Esta aparente desvantagem pode ser aproveitada como princpio de medio. Essa a base da interferometria de luz incoerente, tambm conhecida por interferometria de luz branca ou no coerente, que ser apresentada nesta seo. Uma importante vantagem dessa tcnica que ela pode ser usada para determinar o relevo de peas rugosas [10], [11]. Esta uma diferena significativa para a interferometria clssica, o que a torna interessante para aplicaes industriais, particularmente para a medio do relevo de superfcies industriais. Outra vantagem que a faixa de medio teoricamente ilimitada. A Figura 3.5 ilustra um esquema bsico do interfermetro de luz incoerente. Tambm nesta figura os raios incidentes e refletidos foram desenhados separados para facilitar a visualizao.
20
d Lente
Espelho de referncia Plano de referncia virtual Pea
y z
d z Cmera CCD y
x Sistema de coordenadas
Figura 3.5 Configurao bsica de um interfermetro de luz incoerente.
O espelho E2 do interfermetro de Michelson foi substitudo por uma pea cujo relevo se deseja medir, e est fixa a uma base mvel, muito bem controlada. O espelho E1 pode ser chamado de espelho de referncia. No lugar do anteparo, foi colocado uma cmera CCD, composta por uma cadeia de sensores (conhecido como pixels) que captam intensidade luminosa. A luz colimada pela lente colimadora e dividida pelo divisor de feixe que, da mesma maneira que na Figura 3.1, reflete a luz parcialmente. As partes transmitidas e refletida se propagam at a pea e o espelho de referncia, respectivamente, de onde so refletidas de volta e recombinadas, sendo posteriormente capturadas pela cmera CCD. As imagens do espelho de referncia e da pea sobrepostas so ento enviadas para um computador, que realiza o processamento. Para um melhor entendimento, necessrio desde j ser definido um sistema de coordenadas x, y e z. No interfermetro de luz incoerente, o eixo z coincide com o eixo ptico de propagao da luz e o valor da coordenada z dado por um sistema de deslocamento da pea. J as coordenadas x-y so dadas em funo da posio dos pixels da imagem adquirida pela cmera CCD. A rea de medio em x-y, na configurao apresentada, depende do tamanho do CCD, do fator de ampliao ptico e do tamanho dos componentes pticos. J a profundidade de medio em z depende unicamente do curso de movimentao da pea medida no eixo ptico. Define-se plano de referncia virtual, presente na Figura 3.5, localizado no brao do interfermetro onde se encontra a pea, como o plano que tem a mesma distncia do
21
divisor de feixes como o espelho de referncia. Do visto na Seo 3.2, pode-se dizer que para as regies da pea que se aproximam do plano de referncia virtual o contraste ir aumentar, ou seja, a interferncia dos feixes de luz refletidos por essas regies e pelo espelho de referncia produzir padres de interferncia com maior contraste, se tornando visveis a partir de certa posio. Produz-se, dessa forma, uma regio no espao onde a interferncia ser visvel quando partes da pea estiverem dentro dela. Na Equao 3.10, fica claro que o grau de coerncia complexo ( ) define o contraste da interferncia, onde = l / c , e l a diferena de caminho ptico (veja Figura 3.3). A Equao 3.10 pode ento ser reescrita da seguinte forma:
I = I1 + I 2 + 2 I1I 2 (l ) cos
substituindo a Equao 3.7 na expresso acima, obtm-se:
(3.18)
I = I1 + I 2 + 2 I1I 2 (l ) cos
que pode ser reescrita como:
2 l
(3.19)
I (l ) = I 0 + A(l )cos
sendo
2 l
(3.20)
I 0 = I1 + I 2 : intensidade inicial A(l ) = 2 I1 I 2 (l ) : amplitude da interferncia

l: diferena de caminho ptico
: comprimento de onda da fonte de luz

Ilustra-se na Figura 3.6 os valores de I (l ) para um ponto qualquer do padro de interferncia gerado pelo interfermetro de Michelson usando uma fonte de luz com comprimento de coerncia Lc. So ilustrados tambm os parmetros da Equao 3.20.
22
250 200
A(l)
Intensidade
150 100 50 0 -10 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 10
I0
/2
I(l)
Diferena de caminho ptico l [m]
Figura 3.6 Grfico da intensidade em funo da diferena de caminho ptico, no intervalo onde a interferncia visvel. conhecido como correlograma.
Os valores de intensidade so aqui dados numa escala de 256 nveis de cinza, que representa a faixa de medio da intensidade por um CCD digitalizado em oito bits. A amplitude A(l ) aparece como o sinal modulante do sinal de oscilao da intensidade, causado pela interferncia, e por esse motivo, a amplitude A(l ) tambm chamada de funo envelope ou curva de amplitude de modulao. Ela se assemelha a uma curva de Gauss devido forma de variao do contraste, discutido na Seo 3.1. O valor de l, para o qual essa curva de amplitude de modulao visvel, dado em funo do comprimento de coerncia da fonte de luz, sendo que os mesmos so praticamente iguais. Ou seja, a curva de amplitude de modulao definida como visvel no intervalo
Lc
<l <
Lc
Para se determinar o relevo de uma pea, deve-se reescrever a Equao 3.20 em funo da coordenada z dada pela posio da base de movimentao e das coordenadas x e y da pea, dadas em funo da posio do pxel. Dessa forma, sendo que
l = 2 (z 0 z )
(3.21)
onde z 0 a posio da base de deslocamento correspondente, para determinado ponto da pea, posio onde a diferena de caminho ptico igual a zero, e z uma posio qualquer da base de deslocamento. Reescrevendo a Equao 3.20, obtm-se
I ( x, y, z ) = I 0 + A( x, y, z z0 )cos
2 ( z0 z )
(3.22)
23
Determinar o relevo da pea, significa encontrar o valor de z0 para cada pxel em observao. Uma operao de varredura feita de maneira que toda a face cruze o plano de referncia virtual. Adquirindo-se o valor da intensidade a cada passo dado pela base, atravs da aquisio da imagem do CCD, obtm-se um grfico semelhante ao da Figura 3.6 para cada pxel, sendo a intensidade agora uma funo de z. A posio do pico de mximo da curva da amplitude de modulao coincide com o valor de z0.
3.3.1 Determinao do pico da curva de amplitude de modulao

O algoritmo de determinao do pico da curva de amplitude de modulao, tendo por finalidade encontrar a coordenada z e conseqentemente o relevo da pea, dividido em duas etapas. A primeira a determinao do envelope do correlograma. A segunda responsvel por encontrar a posio z do pico do envelope, atravs de uma interpolao dos pontos do envelope calculado. H na literatura vrios algoritmos para se determinar o envelope do correlograma ou a curva de modulao A(x,y,z), uma operao tambm conhecida por demodulao. Eles se baseiam no procedimento denominado de deslocamento de fase (phase shifting), comumente usado na interferometria a laser [12]. A idia bsica a de encontrar o valor de A(x,y,z) utilizando-se os valores da intensidade I de imagens adquiridas em passos sucessivos, espaados de um valor proporcional ao comprimento de onda da fonte de luz usada. Nesse trabalho, ser usado um algoritmo derivado da tcnica de quatro passos. Esta tcnica se baseia na aquisio de quatro valores de intensidades I0, I90, I180 e I270, em posies z espaadas por um z correspondente a um deslocamento de fase de 90 (veja Equao 3.7). O valor da intensidade de modulao A(x,y,z0) para o primeiro ponto, z0, calculado atravs da equao
A( x, y, z0 ) =
(I 0 I180 )2 + (I 90 I 270 )2
2I
(3.23)
onde I o valor da intensidade mdia. Para determinar o pico da curva de modulao, um mtodo rpido e bastante eficiente o algoritmo de interpolao usando o centride, ou centro de rea. Define-se um limiar, denominado limiar de modulao, abaixo do qual considera-se no haver
24
modulao. Os pontos que ultrapassarem esse limiar, so usados no clculo da coordenada z do centride, que idealmente coincide com o valor de z0.
z0 =
[z A(z )] A(z )
i i i
(3.24)
A Figura 3.7 ilustra o procedimento de clculo do centride e de z0 para uma curva de modulao A(x,y,z)
252 224 Amplitude de Modulao 196 168 140 112 84 56 28 0 0,7 0,71 0,72 0,73 0,74
Centride Limiar de modulao z0
Posio da base de deslocamento z [mm]
Figura 3.7 Correlograma de interferncia real ilustrando o clculo do centride para a determinao de z0 de certo pxel.
A determinao do limiar de modulao feita individualmente para cada pxel com base nos valores de modulao de cada um calculados a partir de imagens onde no h a ocorrncia de interferncia. Uma amostra de pontos de modulao adquirida para cada pxel e o limiar definido como um mltiplo do desvio padro associado distribuio da amostra. A distino do limiar para cada pxel prudente, pois nem o nvel de rudo constante entre eles, nem o grau de modulao.
Captulo 4
Sistema de Medio Proposto
O sistema de medio desenvolvido resultou de um processo que teve como principais etapas: a identificao dos requisitos de projeto, concepo bsica, concepo do hardware e concepo do software. Estas etapas foram de grande importncia para que se chegasse a uma soluo que satisfizesse as necessidades do sistema. Neste captulo, so descritas tais etapas para a concepo do sistema de medio. Ser apresentado inicialmente o princpio de medio do interfermetro radial. So apresentadas tambm questes referentes montagem e alinhamento da bancada e, por fim, descrito o funcionamento do sistema de medio.
4.1
Princpio de Medio
At agora, foi mostrado o princpio da interferometria de luz incoerente. J
existe no mercado diversos produtos usando tal tecnologia, com vrias finalidades, como, por exemplo, medir o relevo de reas microscpicas [13], medio de rugosidade [14] e forma de peas [15]. A contribuio deste trabalho est na elaborao de um interfermetro de luz incoerente capaz de medir peas cilndricas, o qual ser denominado interfermetro radial. O princpio do interfermetro radial se baseia na interposio de um espelho cnico de 45 no brao do interfermetro onde est a pea. Um cilindro, cuja superfcie cilndrica se deseja avaliar, posicionado no centro desse espelho. A Figura 4.1 ilustra
Captulo 4: Sistema de Medio Proposto
26
um esboo do espelho cnico e mostra como ele e a pea cilndrica so posicionados no interfermetro.
Espelho de referncia Superfcie espelhada
Lente
Espelho cnico Pea
Fonte de luz
Cmera CCD
45
Figura 4.1 Interfermetro radial.
Na Figura 4.2, so representados o brao do interfermetro de luz incoerente convencional (a) e o brao do interfermetro radial (b). O plano virtual em (a), onde a diferena de caminho ptico zero, transformado em um cilindro virtual em (b), cujo raio diminui medida que se afasta o conjunto espelho-pea do divisor de feixe, e viceversa.
27
Viso da cmera
Divisor de feixe
Plano
(a)
Divisor de feixe
Cilindro
(b)
Figura 4.2 Equivalncia entre plano virtual e cilindro virtual dos interfermetros, e a viso da cmera nos dois casos.
Da mesma maneira que no interfermetro de luz incoerente, pode-se determinar a posio relativa dos pontos do cilindro fazendo o cilindro virtual varrer todo o volume ocupado pela superfcie do cilindro medido, atravs da movimentao do espelho de referncia. O resultado da medio tem a forma de um anel planificado, cujo relevo representa as variaes do raio do cilindro. A formao desse anel se deve ao fato da imagem vista pela cmera ser a planificao da pea cilndrica, realizada pelo espelho cnico de 45 (Figura 4.2(b)). Aps a obteno da nuvem de pontos em forma de anel, necessrio realizar a reconstruo matemtica do cilindro, de maneira a se obter a forma cilndrica desejada. Para isso realizado um procedimento de reconstruo matemtica do cilindro, conforme ilustra a Figura 4.3.
28
Resultado da medio Nuvem de pontos cilndrica
h h
altura
Malha de pontos da nuvem
ngulo
Figura 4.3 Reconstruo do cilindro com base no anel medido.
A reconstruo feita a partir da coordenada do centro do anel, que ser considerada o eixo do cilindro. Os pontos do anel eqidistantes do centro sero os pontos situados na mesma altura do cilindro. E a posio angular do ponto no anel corresponder mesma posio angular no cilindro. A posio do centro do anel determinada usando-se o furo central do espelho cnico. Um algoritmo desenvolvido captura uma imagem do espelho cnico sem o objeto de medio e identifica os pontos da borda do furo, usando-os por fim para ajustar um crculo pelo mtodo dos mnimos quadrados. Pode-se notar que a quantidade de pontos no anel planificado nas circunferncias mais externas superior que se encontra nas circunferncias mais internas, resultando em uma resoluo varivel na direo circunferencial. Isso se deve ao fato do anel ser formado por uma malha de pontos retangular proveniente do CCD. De modo a simplificar o ps-processamento e visualizao dos resultados de medio, a reconstruo matemtica do cilindro feita de tal forma que o resultado seja uma nuvem de pontos cilndrica formada por uma malha de pontos regulares, com espaamentos iguais na altura e no ngulo. Seguindo esse modelo, os valores dos raios na imagem planificada so calculados em funo da altura do anel medido no cilindro. Para cada ponto da malha cilndrica, o ponto correspondente no anel calculado atravs de uma funo de mapeamento que considera as relaes geomtricas entre o cilindro e o anel. Uma regio ao redor desse ponto do anel selecionada de modo que os pontos medidos a ela pertencentes so usados para interpolar o valor da altura no anel e, conseqentemente, o raio do
29
cilindro. Essa interpolao necessria, pois, alm de regularizar a resoluo, geralmente um ponto da malha cilndrica no coincide com um ponto do anel. A desvantagem desta interpolao surge quando o nmero de pontos resultantes menor que os dados originais, podendo mascarar imperfeies locais da pea.
4.2
Requisitos de Projeto
O sistema de medio proposto foi concebido tendo como principais requisitos de
projeto os atribudos geometria do objeto de medio e ao desempenho esperado do interfermetro. O objeto de medio foi definido por um conjunto de cilindros com dimetros variando de 19 a 26 mm e altura mxima de 21 mm. Estas especificaes definiro o volume de medio do sistema que possui, por sua vez, grande impacto no leiaute do sistema ptico. Os requisitos de desempenho podem ser divididos em tempo de medio e desempenho metrolgico. Possuem grande influncia sobre a soluo adotada e sobre o custo total do sistema. Com base na aplicao final, estipulou-se previamente um tempo de medio aceitvel, considerando-se apenas a operao de varredura, de aproximadamente cinco minutos. A incerteza de medio desejada para a coordenada radial de 0,5 m, um valor realista para esse primeiro prottipo desenvolvido. A incerteza de medio no um requisito crtico para as coordenadas laterais, pois elas influenciam pouco nos parmetros de forma cilndrica.
4.3
Concepo Bsica
O projeto da bancada foi precedido pela definio de algumas caractersticas
bsicas que nortearam todo o desenvolvimento posterior. A primeira caracterstica considerada foi o volume de medio. Nesse sistema, como visto no incio do captulo, o volume de medio composto pela rea da imagem planificada, definida pelo conjunto ptico, multiplicada pela profundidade, definida pelo curso da base de deslocamento. A rea de medio determinada atravs da rea ocupada pelo anel, resultado da planificao do cilindro pelo espelho cnico usado no interfermetro. Este por sua vez tem sua geometria definida atravs das informaes de altura e dimetro mximos do cilindro a ser medido. A Figura 4.4 ilustra o clculo.
30
Foi adotado como requisito de projeto o seguinte volume de medio: variao de raio de at 13 mm e altura da pea medida de at 21 mm. Vista lateral
ANEL = 75
Vista superior
75
21 h=21
=26 21
Figura 4.4 Definio da geometria do espelho cnico e da rea de medio.
De acordo com o arranjo ptico do interfermetro radial ilustrado na Figura 3.5, que utiliza feixe luz colimada, seria necessrio que o divisor de feixes, as lentes e espelho de referncia possussem uma rea til com no mnimo 75 mm dimetro. H no mercado lentes e espelho apropriados. J divisor de feixe a dimenso apropriada s sob encomenda, com custo entretanto proibitivo. O tamanho mximo encontrado em catlogos para divisores de feixes em forma de cubo de 50 mm de comprimento lateral, possibilitando o trabalho com feixes colimados de at 50 mm de dimetro. Dessa forma, o arranjo ptico comumente usado teve que ser reprojetado. A soluo encontrada foi criar um arranjo ptico que utiliza feixe de luz divergente, conforme ilustra a Figura 4.5. Em razo deste tipo de soluo ainda no ter sido testada nos projetos de interfermetros anteriores realizados no LABMETRO e nem ter sido encontrado na literatura, houve a necessidade de se simular o arranjo ptico por computador. Para isso, utilizou-se um programa de Ray Tracing para a simulao de raios de luz, lentes, etc [18]. Com ele, verificou-se a validade de tal arranjo e foi possvel determinar parmetros, como distncias e modelo de lentes, que conduziram a uma soluo otimizada.
31
Espelho de referncia Lente colimadora
Eixo ptico Filtro Lente colimadora Espelho cnico Cilindro
Fonte de luz
Divisor de feixe
Lente ris Lente
ptica de aquisio de imagem Cmera CCD
Figura 4.5 Projeto bsico do interfermetro radial
A profundidade de medio, nesse caso a faixa de raios mensurveis, deveria ser no mnimo de 3,5 mm, para ser possvel medir cilindros com dimetros variando de 19 a 26 mm, conforme especificado. Uma caracterstica importante do sistema de medio definida foi a forma de varredura da pea cilndrica. No interfermetro radial, descrito na Seo 4.1, a varredura feita atravs da movimentao do conjunto espelho cnico - pea. O conjunto deveria estar fixo em uma base onde estaria a base de deslocamento. Por apresentar grande dimenso, devido ao tamanho do espelho cnico, este conjunto apresentaria problemas de estabilidade durante a movimentao. Uma outra maneira de fazer a varredura seria a de mover do espelho de referncia ao invs do conjunto espelho cnico-pea. Essa alternativa no alteraria em absolutamente nada a forma de posicionamento do cilindro virtual (veja Figura 4.2). A nica desvantagem em relao
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ao sistema previamente descrito que, alterando-se a posio do espelho de referncia, a imagem tenderia a perder o foco, pois as lentes da cmera so ajustadas para um determinado plano focal, que nesse caso no ficaria esttico. Apesar disso, devido ao deslocamento mximo do espelho de referncia ainda ser pequeno (3,5 mm ou 1,75 mm de um total de 300 mm), o foco no seria prejudicado a ponto de interferir na medio. Concluiu-se que, de acordo com as consideraes, essa seria a melhor soluo para a execuo da varredura do cilindro no interfermetro radial. Definiu-se tambm que a montagem da bancada seria feita horizontalmente, ou seja, a Figura 4.5 representaria a viso superior do interfermetro. Pensou-se em montar o interfermetro em uma base vertical, para facilitar o posicionamento do espelho cnico e da pea, mas essa soluo foi descartada por questes de estabilidade mecnica dos componentes.
4.4
Concepo do Hardware
Durante o desenvolvimento do sistema, vrias alteraes foram feitas com o
objetivo de otimizar e simplificar a bancada. Nesta seo sero detalhados os mdulos do interfermetro radial, a problemtica envolvendo cada mdulo, as solues encontradas e as razes de se ter chegado a elas.
4.4.1 Arranjo ptico

A Figura 4.5 ilustra o arranjo ptico projetado para o interfermetro radial. A soluo encontrada, usando iluminao divergente, consiste em expandir o feixe de luz, a partir da fonte, atingindo as duas lentes colimadoras, LO e LR, aps ter sua amplitude dividida pelo divisor de feixe, DF. Devido presena das lentes, os feixes so colimados, ou seja, o feixe prossegue paralelamente, at serem refletidos pelo espelho de referncia, ER e pelo conjunto espelho cnico-cilindro, EP, voltando para o divisor de feixe de forma convergente, onde so recombinados e dirigidos para o sistema de aquisio de imagens. As lentes LO e LR possuem ambas 80 mm de dimetro e 300 mm de distncia focal. So idealmente idnticas e do tipo acromtica, projetadas de maneira a diminuir o efeito das aberraes das lentes convencionais. Estas caractersticas, como ser visto mais adiante, sero de grande importncia, pois como as lentes esto nos braos do
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interfermetro, qualquer diferena no caminho ptico percorrido pela luz nesses braos, seja em todo o feixe ou em apenas parte dele, acarretar em variaes no padro de interferncia que sero interpretadas no final da medio como distores na pea. Com relao ao posicionamento, elas esto localizadas de maneira que suas distncias at DF sejam iguais e a fonte de luz esteja no ponto focal das mesmas. Alm disso, o DF deve estar em uma posio entre as lentes e a iluminao que permite que todo o cone do feixe, definido pela distncia focal e pelo dimetro das lentes, permanece no interior do DF. Outro componente ptico importante o filtro, localizado prximo ao DF. Ele responsvel por reduzir a intensidade luminosa do feixe de luz que atinge e retorna do espelho ER. Como o DF divide a intensidade do feixe em parte iguais para os dois braos, na medio de peas foscas, haver um desbalanceamento das intensidades na sobreposio dos feixes produzindo um efeito de reduo no contraste da interferncia, explicado pelo termo
I1 I 2 , da Equao 3.19, onde I1 e I2 so as intensidades dos dois
braos do interfermetro.
4.4.2 Iluminao
Os parmetros que so levados em conta ao se definir a iluminao para um interfermetro so o comprimento de coerncia, a luminncia e o tamanho da fonte de luz, esta ltima podendo ser determinada em funo da prpria geometria da fonte de luz, ou manipulada atravs de componentes pticos auxiliares. Devido coerncia espacial da fonte de luz, se um ponto do objeto iluminado por diferentes pontos da fonte de luz, h uma reduo no contraste de interferncia. Para obter um padro de interferncia visvel, a rea emissora de luz da fonte deve ser muito pequena, alm da necessidade de existir concordncia entre o seu tamanho e parmetros da ptica de formao da imagem [19]. O comprimento de coerncia determina a visibilidade das franjas de interferncia em funo da diferena de caminho ptico, conforme descrito na Seo 3.2. Isso est diretamente ligado com a exatido com que se calcula a coordenada z, pois quanto maior o comprimento de coerncia, menos pronunciado o pico do envelope e maior a influncia do rudo no algoritmo de interpolao. Alm disso, o comprimento e coerncia influencia a velocidade de medio, pois com comprimentos de
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coerncias grandes, possvel realizar uma varredura com passos maiores que um comprimento de onda, ou, em outras palavras, realizar uma sub-amostragem do correlograma [20]. A luminncia uma caracterstica da fonte de luz essencial para a medio de superfcies foscas, cuja reflexo precria havendo a necessidade de forte iluminao. A Tabela 4.1 mostra os valores de comprimento de coerncia e luminncia energtica para algumas fontes de luz .
Tabela 4.1 Valores de luminncia energtica e comprimento de coerncia para diferentes fontes de luz [19].
Fonte de luz LED SFH 421 Siemens LED 3000 MCD Toshiba Lmpada de Halognio Lmpada de xennio 75 W Lmpada de mercrio 100 W Laser He-Ne 1,1 mW
Luminncia energtica [W/(m2.sr)] 1 438 x 104 0,6 x 104 90 x 104 154 x 104 567 x 104 10 000 x 104
Comprimento de coerncia [m] 20 18 3,5 1,4 13,9 > 20 000
O LED (diodo emissor de luz) SFH 421 possui caractersticas interessantes para a aplicao no interfermetro radial. Alm de possuir uma elevada luminncia (pertence a uma classe de LEDs chamada superluminosos), sua rea emissora de luz muito pequena, o que simplifica bastante o leiaute ptico da iluminao, no havendo necessidade de tornar a fonte mais pontual atravs de lentes e orifcios (pinholes). Outras razes para a escolha do LED: Uma fonte de luz com comprimento de coerncia maior, em comparao com as outras fontes, facilita o alinhamento do interfermetro, por tornar mais fcil a localizao das franjas de interferncia; A exigncia de coerncia espacial satisfeita devido s pequenas dimenses do LED, cuja rea luminosa um quadrado de apenas 0,4 mm de lado.
4.4.3 Aquisio de Imagens

Como visto na Seo 4.4.1, a luz carregando a imagem do espelho de referncia e
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da pea cilndrica, convergida novamente pela lente LR e LO, respectivamente, e dirigida ao sensor CCD da cmera. Necessita-se agora encontrar uma soluo para se projetar tais imagens no CCD com a melhor definio possvel. Esta definio pode ser traduzida para o parmetro resoluo ptica (spot size). Cada ponto do objeto reflete um raio de luz proveniente da iluminao segundo um cone, devido rugosidade de sua superfcie. Esse cone convergido usando-se uma ptica adequada e, ao chegar no CCD, ele se torna um crculo, cujo dimetro a prpria resoluo ptica. Ou seja, cada ponto do objeto ir ser projetado como uma mancha no CCD. O valor alvo para o dimetro dessa mancha o tamanho do pxel, significando que a resoluo ptica deve ser menor ou igual resoluo do CCD da cmera, caso contrrio estaria se sub-utilizando a capacidade da cmera. H um tipo de ptica para projeo de imagens, chamado telecntrica, que possui caractersticas importantes para esta aplicao: (a) no h distoro da imagem devido perspectiva [21] e (b) possibilita o controle do contraste da interferncia, atravs da abertura de uma ris, e, consequentemente, da abertura do feixe de luz que sai de um ponto do objeto. Neste sistema, a luz entra colimada vindo do objeto e sai colimada, indo para o sistema de observao. No interfermetro radial, as lentes colimadoras podem fazer parte desse sistema telecntrico, s restando projetar os demais componentes do conjunto ptico. A escolha do modelo de cmera a se utilizar no interfermetro foi balizada basicamente por trs parmetros: resoluo espacial, velocidade de aquisio e sensibilidade. Uma cmera de alta resoluo desejada, pois resultaria na aquisio de uma maior quantidade de pontos do anel planificado de modo a dotar o sistema com uma resoluo lateral que possibilite uma boa representao da superfcie do cilindro. A velocidade de aquisio, em torno de 15 aquisies por segundo, seria o suficiente para o sistema, j que no seria ela um obstculo para a velocidade de medio. A sensibilidade da cmera outra caracterstica importante nessa aplicao devido ao fato citado anteriormente na Seo 4.4.2, onde a medio de peas foscas faz com que pouca luz seja refletida. A cmera escolhida foi uma de padro digital, com resoluo de 1300 x 1030 pxeis, tamanho de pxel de 6,7 x 6,7 m, nvel de iluminao mnimo de 0,28 lux e taxa de aquisio de 12 FPS (frames per second). Por ser digital, a relao sinal rudo
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tambm bastante favorvel (> 56 dB). De posse das especificaes da cmera, pde-se definir a resoluo ptica desejada e partiu-se para o projeto do conjunto ptico telecntrico. Para isso utilizou-se, como descrito na Seo 4.3, um simulador de leiaute ptico, que permitiu a determinao de uma soluo otimizada para um conjunto de lentes pr-definido, onde os parmetros pticos (distncias, aberturas, etc) encontrados resultaram em uma resoluo ptica menor que o tamanho do pxel, ou seja, menor que 6,7 m. A Figura 4.6 mostra o leiaute ptico, para um brao do interfermetro, encontrado com a ajuda do software.
Objet Lente Divisor de ris Lente Lente
Figura 4.6 Leiaute ptico telecntrico projetado com auxlio de software.
Conforme dito anteriormente, a ris, na Figura 4.6, tem a funo de controlar o contraste da imagem gerada pelo conjunto telecntrico. Conforme diminui sua abertura, o cone de luz observado pelo conjunto e que sai da pea tem seu ngulo slido diminudo, diminuindo o tamanho da mancha projetada no CCD. Em contra-partida, quando menor a abertura da ris, menor a intensidade de luz observada e projetada no CCD. Mais uma vez, o parmetro sensibilidade da cmera se torna importante para a obteno da configurao requerida. O hardware para a aquisio de imagens ento composto pela cmera digital conectada a um microcomputador atravs de uma placa de aquisio de imagens.
4.4.4 Espelho de Referncia e Base de Deslocamento Linear

Conforme definido na concepo bsica do interfermetro radial, o deslocamento do cilindro virtual, para a realizao da varredura durante a medio, proporcionado pela movimentao do espelho de referncia ao invs do conjunto espelho cnico cilindro.
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O espelho de referncia o elemento que ir gerar o cilindro virtual, conforme descrito na Seo 4.1. Tal cilindro, concebido anteriormente com uma geometria ideal, possui na verdade erros que lhes so transmitidos pelo espelho de referncia. Dessa maneira, um espelho plano de boa qualidade se torna necessrio, a fim de se evitar erros sistemticos na medio de cilindros. O dimetro mnimo necessrio o mesmo do dimetro do anel, ou seja, 75 mm. Dessa forma, foi selecionado um espelho plano com 80 mm de dimetro e /10 de erro mximo de planeza, aproximadamente 60 nm ( = 660 nm). Para fixao foi escolhido um suporte com ajustes micromtricos de ngulos, a fim de permitir alinhar o espelho perpendicularmente ao eixo ptico. Para movimentar o espelho de referncia foi especificada uma base de deslocamento com micro passos. A Figura 4.7 ilustra a base de deslocamento e o espelho de referncia. O mnimo passo necessrio dependente do comprimento de onda da fonte de luz usada e do algoritmo empregado. Na Seo 3.3.1, foi definido que o passo usado na varredura seria correspondente um deslocamento de fase de 90. Isso equivale a 1/4 do comprimento de onda, que para a fonte usada com = 820 nm, resulta em 205 nm. Como o deslocamento da base proporciona o dobro do deslocamento da fase, ou da diferena de caminho ptico (Equao 3.7), necessrio um passo de 102,5 nm. O equipamento selecionado foi uma base com um passo mnimo de 50 nm e curso de 25 mm, satisfazendo as necessidades do projeto. Para control-la, adquiriu-se um controlador, comandado via comunicao serial, o que tornou simples a sua integrao com o software de medio.
Espelho de referncia Ajustes angulares Parte mvel da base Base de deslocamento Figura 4.7 Figura esquemtica do espelho de referncia e da base de deslocamento.
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4.4.5 Espelho Cnico

Aps a definio das dimenses principais do espelho cnico, Seo 4.3, fez-se o desenho para fabricao, com as tolerncias requeridas. As dimenses principais foram especificadas segundo necessidades de montagem e alinhamento. Para a regio cnica espelhada, foram definidas tolerncias de rugosidade, forma e ngulo. Segundo a literatura, para serem consideradas de excelente qualidade, superfcies espelhadas devem possuir uma rugosidade na ordem de 10 nm e erro de forma menor que /10, onde o comprimento da onda usada [22]. Para superfcies planas, comum conseguir essas tolerncias atravs de processos bem dominados, como lapidao, por exemplo. Para a superfcie cnica, a nica maneira a utilizao de usinagem de ultrapreciso como processo de fabricao. Encontrou-se, no exterior, um fornecedor que produziu, por usinagem, dois espelhos cnicos com rugosidades (Ra) de 6,6 nm e 4,7 nm e erro de forma de 406 nm e 370 nm (dados do fornecedor). Foram feitas avaliaes para saber qual seria a influncia desse grau de erro de forma do espelho cnico na medio de cilindros com o interfermetro radial e chegou-se a concluso de que a componente da incerteza devido a esse erro seria desprezvel.
4.4.6 Base de Fixao do Cilindro

Conforme definido na concepo bsica, o espelho cnico posicionado verticalmente, ou seja, com seu eixo paralelo ao eixo ptico. O cilindro a ser medido, como visto na Seo 4.1, deve ficar posicionado no interior do espelho e idealmente com seu eixo coaxial com o do espelho. Porm, na prtica isso no ocorre exatamente. H a necessidade, portanto, de mecanismos de ajustes finos para deixar este alinhamento mais prximo do ideal. Os desvios que permanecem depois destes ajustes e que influenciam na medio da forma da superfcie externa no cilindro podem ser divididos em dois tipos: 1. Desalinhamento do cilindro em relao ao eixo do espelho cnico. 2. Desalinhamento do espelho cnico em relao ao eixo ptico. O primeiro tipo engloba o desvio angular entre o eixo do cilindro e do espelho cnico, a descentralizao do cilindro, ou ambos. Na Figura 4.8, ilustra-se o efeito deste desalinhamento no anel de planificao do cilindro. Na figura a deformao do cilindro
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central deve-se apenas ao aumento exagerado da escala do desvio angular, para fins de visualizao. Apesar de ser ilustrado em apenas um corte, o efeito do desalinhamento no anel semelhante em outras direes. O relevante dessa avaliao o fato de que ao ser feito o mapeamento do anel em cilindro, essas alteraes no anel iro conceder ao cilindro as mesmas translaes e inclinaes aparentes resultantes do desalinhamento.
(a)
(b)
(c)
Figura 4.8 Descentralizao do cilindro em relao ao eixo do espelho cnico. Na situao ideal (a); com desvio angular (b); e com desvio angular e descentralizao combinados (c).
O desvio do tipo 2 envolve o desalinhamento do conjunto espelho cnico cilindro em relao ao eixo ptico do interfermetro, mais especificamente o erro de no paralelismo dos eixos envolvidos. Como este conjunto na situao ideal equivale a um anel pertencente a um plano, na existncia desse desalinhamento, o plano do anel permanece perpendicular ao eixo do espelho cnico, inclinando-se apenas em relao ao eixo ptico (Figura 4.9(a)). Fazendo-se uma anlise mais aprofundada, percebe-se que, considerando o resultado no anel, o desalinhamento do conjunto espelho cnico-cilindro equivale a um desalinhamento somente no cilindro. A Figura 4.9 ilustra duas situaes onde o anel resultante permanece na mesma orientao para os dois tipo de desalinhamentos.
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(a)
(b)
Figura 4.9 Equivalncia na forma medida do desvio angular do espelho cnico em relao ao eixo ptico (a) e do desvio do cilindro em relao ao espelho cnico (b).
Dessa forma, para os dois tipos de desalinhamentos, facilmente dedutvel para o caso em que haja uma combinao entre eles, o sistema enxergar um cilindro inclinado durante a medio. Essa inclinao traz algumas implicaes ao sistema de medio. A mais importante delas tem a ver com a iluminao. No caso ideal, onde no h erros de alinhamento, a superfcie de um cilindro perfeito encontra-se normal aos raios de luz que nela incidem e so refletidos, fazendo com que ela seja visvel pelo sistema de aquisio. Estando o cilindro inclinado, dependendo do grau de inclinao, haver regies de sua superfcie onde os raios de luz sero refletidos para outras direes, conhecido como reflexo especular, sendo filtrados pelo sistema de visualizao telecntrico, e deixando essa regio no visvel. Outra influncia da inclinao est no tempo de medio. Para um cilindro inclinado, o percurso necessrio para a base de deslocamento varrer todo o volume onde se encontra o cilindro ser maior do que no caso de no haver inclinao, pois o raio mnimo e mximo no sero mais dados pelo desvio da forma cilndrica, mas sim pelos pontos das bordas que esto mais prximos e afastados do centro ptico do interfermetro, respectivamente. O suporte desenvolvido para fixar o espelho cnico e o cilindro, ilustrado na Figura 4.10. O espelho cnico fixo no suporte enquanto que o cilindro inserido no interior do espelho cnico por uma cavidade na base do espelho, minimizando os riscos de danos na superfcie do espelho provocados pela pea medida. O cilindro fixado por
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meio de um m em um dispositivo de posicionamento que possui trs esferas fixadas sob ele que deslizam sobre guias usinadas no suporte durante o posicionamento do cilindro. Na posio de medio, as esferas se assentam sobre apoios isostticos, fixando o dispositivo. So usados controles de ajuste de ngulo para o conjunto espelho cnico-cilindro. Para o cilindro isoladamente h mesas micromtricas para sua centragem e controles de ngulo para alinhar o eixo do cilindro com o eixo do espelho cnico.
Figura 4.10 Suporte para fixao do espelho cnico e do cilindro, com os controles de ajuste necessrios.
4.5
Concepo do Software
O software de medio desenvolvido deve ser capaz de realizar a medio e
exibir os resultados. O processo de medio consiste em varrer a pea e adquirir uma nuvem de pontos do cilindro medido, envolvendo hardware e software. J a visualizao dos resultados uma operao que depende exclusivamente do software e deve ser compatvel com as necessidades do usurio. Existem no mercado, geralmente acompanhando sistemas de medio de formas cilndricas, softwares especficos para tratamento destas medies, como o caso do software da mquina de medio de formas PRIMAR MX4, da empresa Mahr [23]. Estes softwares realizam diferentes tratamentos dos dados, cada qual satisfazendo determinada aplicao a que se destina. Neste trabalho foi desenvolvido um software
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bsico, com ferramentas que permitem visualizar o resultado de medio de forma bastante flexvel, extraindo certos parmetros da medio como cilindricidade, circularidade e linearidade, por exemplo. As principais funcionalidades do software so listadas abaixo: 1. Controle do hardware de medio: movimentao da mesa de translao do espelho de referncia, captura de imagens e configurao da cmera de vdeo; 2. Auxlio no alinhamento mecnico do cilindro: utilizando interface grfica para visualizao das figuras de interferncia na pea e controle da mesa de translao; 3. Varredura do cilindro e extrao de nuvem de pontos retangular com o relevo do cilindro planificado (anel): utilizando os algoritmos descritos no Captulo 3; 4. Processamento da nuvem de pontos para encontrar o cilindro: permitindo tambm o realinhamento matemtico e aplicao de filtros; 5. Exibio de grficos tridimensionais do anel e do cilindro, perfis radiais e longitudinais do cilindro; 6. Calculo da cilindricidade e subtrao de duas nuvem de pontos cilndricas para encontrar alteraes na forma. Seguindo conceitos de programao orientada a objetos, o software foi divido em classes principais, tornando-o modular e facilitando o seu desenvolvimento e manuteno. A linguagem escolhida para o desenvolvimento foi o Visual Basic .NET [24]. Apesar das inovaes com relao verso anterior (Visual Basic 6), o quesito velocidade ainda continua desfavorvel para aplicaes que exigem alto desempenho computacional. Por essa razo, usou-se a linguagem Visual C++ .NET na implementao de algumas funes que exigiam maior velocidade computacional. Sero descritas a seguir as principais funcionalidades de cada classe, que juntas visam obteno do resultado de medio da forma cilndrica.
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4.5.1 Classe Varredor

A aquisio dos pontos de medio feita atravs de uma varredura. Esta uma operao que combina movimentos compassados da base de deslocamento, aquisies de imagens a cada passo e processamento contnuo das imagens adquiridas, gerenciados pela classe Varredor, que ao final, retorna a nuvem contendo os pontos medidos. O controle da base de deslocamento e da cmera realizado pelas classes BaseTranslao e SistAquisImagens, respectivamente. O processamento das imagens, e posterior clculo da altura, coordenada z, realizado pela classe WLIb, que contem as rotinas de clculo da curva de amplitude de modulao e do clculo do centride. Um fluxograma bsico de como feita a varredura ilustrado na Figura 4.11.
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3?
Figura 4.11 Fluxograma da operao de varredura do interfermetro.
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Devido ao processamento ocorrer durante a varredura do cilindro, para a velocidade de medio no ser prejudicada, deve-se procurar processar cada passo realizado pelo sistema num intervalo de tempo menor possvel. Por essa razo a classe WLIb foi desenvolvida em Visual C++ .NET, e compilada em uma biblioteca DLL (Dynamic Link Library), podendo ser acessada pelo programa principal.
4.5.2 Classes de Nuvem de Pontos

Para a manipulao dos dados de medio pelo programa, foram criadas duas classes: a NuvemDePontosRetangular e a NuvemDePontosCilndrica. A primeira usada para armazenar a nuvem de pontos retangular medida pelo interfermetro, consistindo no relevo do anel do cilindro planificado. A segunda usada para armazenar a nuvem de pontos criada a partir da NuvemDePontosRetangular, usando o algoritmo de reconstruo matemtica do cilindro.
4.5.3 Classes de Visualizao Grfica dos Resultados

A visualizao grfica do resultado de medio constitui-se em uma operao essencial para uma avaliao da forma cilndrica mais completa. Utilizando-se a grande quantidade de pontos adquiridos pelo sistema de medio, torna-se possvel reconstruir em modo grfico a superfcie da pea medida, alm dos tradicionais perfis para avaliao de circularidade e linearidade, usados para a avaliao de cilindros. Dessa maneira, foram desenvolvidas algumas classes, que tm por finalidade exibir: 1. Imagem 3D de nuvem de pontos retangular e nuvem de pontos cilndrica: interface grfica para visualizao das nuvens de pontos em ambiente tridimensional, usando como base a biblioteca grfica OpenGL [25]. Permite o controle do ngulo de visualizao e do zoom, alm de exibir o relevo da nuvem de pontos retangular e cilndrica em escala de cores para melhor visualizar a forma final. Para uma melhor avaliao da forma cilndrica, h ainda uma ferramenta com o objetivo de ampliar somente os desvios de forma, mantendo o raio mdio do cilindro constante. 2. Grficos de circularidade e linearidade: atravs de uma interface interativa, o usurio pode selecionar perfis circulares e transversais de qualquer regio do cilindro e exibir os grficos correspondentes.
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4.6
Montagem e Alinhamento da Bancada

Para a montagem da bancada, diversos dispositivos de fixao e ajuste foram
utilizados, alm de sistemas auxiliares necessrios para o alinhamento ptico dos componentes. Como em qualquer sistema de medio de alta preciso, uma das preocupaes principais do interfermetro a sua estabilidade mecnica. Vibraes na mesa de fixao so transferidas para os componentes pticos gerando rudo na medio e, dependo da intensidade, at impossibilit-la, devido reduo do contraste da interferncia. Dessa maneira, projetou-se uma bancada utilizando-se componentes especficos para esse tipo de aplicao. O projeto detalhado da bancada foi feito usando software CAD, onde foi feita a montagem virtual de todos os componentes. Na Figura 4.12, ilustra-se a bancada projetada, com a indicao dos componentes.
Figura 4.12 Projeto detalhado do interfermetro.
Apesar do trabalho desenvolvido, a mesa ptica e a maior parte dos componentes de fixao no foram recebidos a tempo de se iniciar os testes com o interfermetro. Por essa razo, utilizou-se componentes j existentes no laboratrio e a montagem foi efetuada sobre uma mesa com suspenso pneumtica para isolamento de vibraes. So listadas abaixo as principais aes efetuadas para realizar a alinhamento da bancada:
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1. Pr-alinhamento de todas as lentes em seus suportes usando um aparato externo com iluminao a laser He-Ne; 2. Alinhamento dos trilhos onde iro ser instalados os suportes, com o auxlio de laser; 3. Fixao dos suportes nos trilhos e pr-ajuste das distncias, com valores do projeto ptico; 4. Ajuste preciso do posicionamento das lentes, da cmera, da fonte de iluminao, do espelho de referncia e do conjunto espelho cnicocilindro, atravs da visualizao da interferncia formada no interfermetro utilizando-se um cilindro padro como objeto de medio. A quantidade de franjas presente na interferncia indica o grau de alinhamento. Quanto menos franja houver, mais alinhado estar o sistema. A Figura 4.13 exibe duas imagens da interferncia durante o alinhamento do interfermetro. Nota-se de (a) a (b) a sensvel melhora no alinhamento.
(a)
(b)
Figura 4.13 Evoluo no alinhamento do interfermetro: alinhamento ruim (a) e bom alinhamento (b).
4.7
Operao da Bancada
A operao do sistema de medio no mostrou ser complicada. Durante os
primeiros testes, pode-se notar as necessidades existentes que demandaram alteraes no hardware e software que foram implementadas, deixando o sistema mais fcil de ser operado, e diminuindo o tempo total de medio. A medio de uma pea envolve basicamente cinco etapas:
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1. Configurao dos parmetros da medio; 2. Alinhamento do cilindro a ser medido no suporte de fixao do cilindro; 3. Definio dos limites de medio ou faixa de raios a ser varrida; 4. Aquisio da nuvem de pontos cilndrica; 5. Realinhamento e aplicao de filtros.
4.7.1 Configurao Inicial

A intensidade luminosa da imagem vista pela cmera o resultado da sobreposio das imagens do espelho de referncia e da superfcie cilndrica. Como a textura da superfcie cilndrica pode variar e com ela sua refletncia, necessrio ajustar a intensidade da imagem resultante, como ser mostrado na Seo 5.2.1, para que no haja pixels com pouca iluminao ou saturados, prejudicando a medio. Isso feito controlando-se o tempo de exposio para a aquisio de imagem da cmera (shutter), que no caso da cmera adquirida, realizado por software. Outro parmetro de configurao est relacionado ao tempo de processamento. Durante a varredura, cada pxel monitorado independentemente, como descrito no fluxograma da Figura 4.11. Dessa forma, quanto maior a quantidade de pixels, maior ser o esforo computacional em cada passo de medio, aumentando o tempo de processamento. Para minimizar esse problema, deve-se monitorar apenas os pixels que pertenam regio de medio, ou seja, os que formam a regio anelar da imagem correspondente superfcie do cilindro planificado. Isso configurado atravs de uma interface que permite selecionar somente o anel da imagem.
4.7.2 Alinhamento do Cilindro

A colocao do cilindro no suporte de fixao feita manualmente, usando o dispositivo mvel j descrito, e o alinhamento realizado usando-se os controles presentes neste dispositivo. Para iniciar o alinhamento, deve-se primeiramente visualizar a interferncia em qualquer parte da imagem. Isso s acontecer quando a superfcie do cilindro medido estiver em interseco com o cilindro virtual, cujo raio depende da posio da base de deslocamento. Dessa forma, desloca-se a base, em busca de um raio onde ocorre interseco entre os dois cilindros. Aps a identificao de regies com interferncia, as diretivas de alinhamento
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do cilindro podem ser determinadas e, num processo iterativo, vai se refinando o alinhamento at se alcanar o limite imposto pela resoluo dos controles de posicionamento fino. A visualizao da interferncia auxiliada por um processamento de imagens que exibe somente os pxeis que possuem variao na intensidade maior que o rudo da cmera. J a determinao das diretivas de ajustes feita pelo operador, necessitando de certa experincia para realiz-lo.
4.7.3 Definio dos Limites de Medio

Aps realizado o alinhamento do cilindro, os limites de medio so definidos. Eles so na verdade as posies inicial e final da base de deslocamento do espelho de referncia que correspondem aos raios mnimo e mximo do volume de medio, respectivamente, onde ainda a figura de interferncia visvel. Para encontr-los, a base deslocada e com uma sensibilidade amplificada com a ajuda do processamento de imagens consegue-se definir com boa exatido as posies limites para a medio. A necessidade de se determinar com boa exatido os limites se deve ao fato de que quanto maior a distncia entre esses limites, mais passos sero necessrios para fazer a varredura e conseqentemente mais tempo levar a medio de forma do cilindro.
4.7.4 Aquisio da Nuvem de Pontos Cilndrica

Para o usurio, realizar a varredura do cilindro algo bastante simples, bastando apenas selecionar essa operao no programa, que executar o algoritmo de varredura, conforme descrito na Seo 4.5.1. A nuvem de pontos retangular com o relevo do anel obtido na varredura ento convertida em uma nuvem de pontos cilndrica, usando a funo de reconstruo matemtica do cilindro.
4.7.5 Realinhamento e Aplicao de Filtros

Como o alinhamento do cilindro no suporte pode deixar algum resduo, torna-se necessrio o alinhamento matemtico da nuvem de pontos cilndrica aps a aquisio da nuvem de pontos, diminuindo erros na extrao dos parmetros de forma. As mquinas de medio de superfcies cilndricas convencionais geralmente realizam esse
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alinhamento antes de efetuar a medio propriamente dita. Alguns perfis circulares so obtidos e usados para determinar o desalinhamento e corrigir a inclinao e descentralizao do cilindro. No interfermetro radial, o software realiza esse alinhamento calculando o centro de cada perfil circular presente na medio e posteriormente ajustando uma reta por esses centros, usando o mtodo dos mnimos quadrados. As posies dos pontos da nuvem so ento recalculados de modo que essa reta se torne o eixo do cilindro. Nesse caso, est se definindo tambm o cilindro de referncia de mnimos quadrados, como descrito na Seo 2.1. A aplicao de filtros nos pontos de medio tambm uma operao usada nos sistemas convencionais. Tem por objetivo separar os desvios de forma que se quer determinar dos desvios de superfcies referentes rugosidade e ondulaes nas sees de circularidade do cilindro. Os filtros mais usados atualmente para inspeo de circularidade so o phase-correct 2RC e o Gaussiano [26]. Apesar disso, nesse trabalho se usou um filtro recentemente proposto, chamado discrete L-spline, que, alm de mais confivel, muito mais rpido do que o phase-correct 2RC [27]. Tal filtro tem como entradas o perfil de circularidade e um valor para a frequncia de corte. O resultado um perfil de circularidade com desvios com frequncia acima da frequncia de corte removidos. Na direo longitudinal, foi usado um filtro de mdia mvel, aps a aplicao do filtro de forma.
Captulo 5: Ajustes e Calibrao do Interfermetro Radial
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Captulo 5
Ajustes e Calibrao do Interfermetro Radial
Em qualquer operao de medio, a presena de fontes de erros inevitvel. Decorrem em conseqncia da influncia do operador, da definio do mensurando, do procedimento de medio, do ambiente e do prprio sistema de medio [28] . Estas fontes de erros ocasionam incertezas, isto , dvidas, na quantificao de grandezas. Para se medir com confiabilidade, procura-se minimizar o efeito de tais fontes de incertezas, seja durante o perodo de desenvolvimento ou durante a operao do sistema de medio. Durante o desenvolvimento, uma anlise ampla e o uso de componentes de elevado desempenho so fatores que contribuem para esse objetivo. Na utilizao do sistema de medio, condies ambientais favorveis e o uso de procedimentos otimizados fazem com que o processo de medio resulte em melhor desempenho. Nesse trabalho, as principais fontes de erro foram identificadas. Procurou-se estimar as influncias de cada fonte sobre o processo de medio de maneira a permitir um melhor direcionamento do trabalho de otimizao do desempenho metrolgico do interfermetro radial. A calibrao do sistema de medio, com o objetivo de corrigir provveis erros e determinar a sua incerteza de medio, foi realizada e tambm ser exposta nesse captulo.
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5.1
Fontes de Erros
As fontes de erros associadas ao sistema de medio so originadas de trs
principais grupos: (a) por erros na qualidade e decorrentes da fabricao dos componentes, (b) por erros de alinhamento e montagem do sistema e (c) por perturbaes externas decorrentes das condies ambientais. Por ser um sistema de medio sem contato, usando-se somente a luz, no h retroao do sistema de medio sobre a superfcie cilndrica medida. Podem-se distinguir nesse sistema de medio dois diferentes processos de medio: (a) medio radial, extraindo o valor do raio em cada ponto da imagem e (b) medio lateral, informando a posio do ponto na altura e no ngulo da superfcie cilndrica. A medio radial, como j mencionada, realizada atravs do mtodo de interferometria de luz no coerente. J a medio lateral realizada com base no mapeamento numrico da posio dos pixels na imagem planificada para o cilindro. O processo de medio radial o mais delicado, pois onde exigido melhor desempenho do sistema. Por isso, nele que esto concentrados os maiores esforos de otimizao e nele esto presentes a maioria das fontes de erros analisadas. Na Figura 5.1, identificam-se as principais fontes de erros presentes no sistema de medio.
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7 5
13 12 4 2
5 8
9 1 3
10
15
A/D
11
CCD
14
Obteno do relevo do anel
Criao do cilindro
16
17
18
Figura 5.1 Fontes de erros presentes no sistema de medio.
Lista dos erros: 1. Erro de posicionamento da fonte de luz; 2. Variaes na intensidade da fonte de luz; 3. Erro de forma e de posicionamento do divisor de feixe; 4. Erro de forma do filtro; 5. Erros de forma e de posicionamento das lentes colimadoras; 6. Erro de forma, de posicionamento do espelho de referncia (linear e angular) e qualidade superficial; 7. Erros de movimentao da base de deslocamento; 8. Erro de posicionamento e fabricao do espelho cnico; 9. Erro de posicionamento do cilindro de medio; 10. Erro de posicionamento dos componentes de aquisio de imagens (lentes e ris); 11. Erro de posicionamento da cmera CCD;
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12. Variaes de temperatura do ambiente; 13. Vibraes; 14. Resoluo do CCD e fator de escala entre o CCD e o espelho cnico; 15. Rudos; 16. Truncamento e/ou saturao dos dados durante a converso do sinal para digital; 17. Erros provocados pelos algoritmos de clculo da curva de modulao; 18. Erros provocados pelos algoritmos de reconstruo matemtica do cilindro, de alinhamento e de filtragem da medio. Algumas das fontes de erro citadas referentes coordenada radial no podem, na prtica, ser separadamente avaliadas. Devido a isso, foi criado um simulador que gera um correlograma artificialmente, com base nos parmetros fsicos conhecidos ou experimentalmente determinados, como, por exemplo, o rudo da cmera, intensidades, passo, comprimento de coerncia e comprimento de onda. A partir desse correlograma, a coordenada z do anel, ou do cilindro planificado, calculada usando-se o mesmo algoritmo empregado no sistema e o valor do erro determinado. Pode-se, dessa maneira, simular e avaliar separadamente a influncia de algumas das fontes de erros. Abaixo, feita a descrio dos erros apresentados e o valor estimado da incerteza no resultado da medio devido a cada um deles. a) Fonte de erros 1 posicionamento da fonte de luz: A condio ideal de posicionamento da fonte de luz de que ela esteja no ponto focal das lentes colimadoras. Foi verificado numrica e experimentalmente que erros nesse posicionamento no geram erros significativos na medio, pois alteraram apenas a distribuio de intensidades que incide sobre o espelho e a pea. b) Fonte de erro 2 variao na intensidade da fonte de luz: A estabilidade de iluminao um dos principais requisitos para viabilizar a medio. Testes usando-se fontes de alimentao eltrica convencionais
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(transformadores de aparelhos eletrnicos, por exemplo) mostraram ser invivel, pois flutuaes na intensidade luminosa causavam variaes na intensidade captada pela cmera com o tempo, sendo percebidas pelo sistema como uma falsa modulao. Devido a isso, nesse sistema foram usadas fontes de tenso estabilizadas e baterias, alm de um circuito limitador de corrente para alimentar o LED utilizado. c) Fonte de erros 3 forma e de posicionamento do divisor de feixe: O divisor de feixes o primeiro componente ptico a ser posicionado, servindo de referncia aos quatro braos do interfermetro, que devero estar alinhados com ele. O que relevante considerar o seu erro de forma, principalmente nas faces voltadas para os dois braos, da referncia e da pea, erros esses que provocaro mudanas no caminho ptico do feixe de luz, devido diferena do ndice de refrao do divisor de feixes com o ar (da ordem de 0,5). Para o divisor de feixe adquirido, o erro de forma de cada face, segundo especificao fornecida pelo fabricante, da ordem de 0,150 m, o que provocaria um erro sistemtico na medio radial de no mximo 0,300 m. Esta componente de erro sistemtico ser eliminada pelo uso de uma pea cilndrica de referncia, como ser detalhado na Seo 5.4. d) Fonte de erro 4 forma do filtro: Da mesma maneira que no divisor de feixes, devido diferena de ndice de refrao, os erros de forma no filtro e no homogeneidades provocariam alteraes no caminho ptico no brao onde ele se encontra causando um erro sistemtico na medio. Para o filtro usado esse erro da ordem de 0,150 m. Alm disso, filtros podem causar problemas de disperso deixando o correlograma de interferncia assimtrico [10]. Esta componente de erro sistemtico ser eliminada pelo uso de uma pea cilndrica de referncia, como ser detalhado na Seo 5.4. e) Fonte de erro 5 forma e de posicionamento das lentes colimadoras: Os valores de posicionamento das lentes colimadoras foram extrados do projeto
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ptico, Seo 4.4, de acordo com os parmetros de projeto, resoluo ptica e ampliao, pr-definidos. Os desvios de posicionamento em relao aos valores projetados causam distores na imagem e conseqentemente erros sistemticos nas coordenadas laterais. Alm disso, acarretam uma piora na resoluo ptica, provocando uma reduo no contraste da interferncia, aumentando o erro aleatrio na coordenada radial. Outro fator a no simetria de posicionamento entre as duas lentes em relao ao divisor de feixes, o que provoca erros sistemticos na coordenada radial, devido s duas lentes estarem em braos diferentes do interfermetro. Verificou-se na prtica que a sensibilidade dessa no simetria muito grande e que o valor do erro sistemtico resultante depende fortemente do alinhamento efetuado. f) Fonte de erro 6 - forma, posicionamento do espelho de referncia e qualidade superficial: O erro de forma do espelho de referncia provoca um erro sistemtico na medio radial. E caso a direo de deslocamento do espelho no coincida com o eixo ptico, esse erro sistemtico provocar um erro sistemtico varivel ao longo da faixa de medio, pois os pixels no estaro enxergando o mesmo ponto do espelho ao longo do deslocamento do mesmo durante a varredura do cilindro. A estimativa do erro de forma do espelho fornecido pelo fabricante de 60 nm, o que resulta numa estimativa do erro sistemtico de aproximadamente 0,120 m na coordenada radial. Quanto ao posicionamento do espelho, deve-se usar a posio no eixo ptico de projeto e haver simetria entre a inclinao do espelho e a inclinao do anel formado pela planificao do cilindro de medio, caso contrrio o cilindro medido apresentar uma inclinao aparente, semelhante ao efeito mostrado na Seo 4.4.6. A componente de erro sistemtico provocada pelo espelho de referncia ser eliminada pelo uso de uma pea cilndrica de referncia, como ser detalhado na Seo 5.4. g) Fonte de erro 7 movimentao da base de deslocamento: Os erros da base de deslocamento so: o erro de posicionamento unidirecional, a
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histerese, erros na trajetria de movimentao e o erro da referncia absoluta. O erro de posicionamento unidirecional provoca erros no deslocamento de fase realizado pela base, distorcendo o correlograma de interferncia e conseqentemente causando erros aleatrios na determinao da coordenada radial. O valor fornecido da estimativa deste erro de 0,1 m, que representa uma incerteza de 0,2 m na coordenada radial. Atravs de simulao, verificou-se que essa incerteza provocou uma repetitividade no clculo da coordenada radial de 0,28 m (com 95% de confiabilidade). O valor da histerese fornecido pelo fabricante de 2 m, o que exige que se faa a varredura sempre no mesmo sentido, de maneira a evit-la. O erro da referncia absoluta o erro de posicionamento na referncia da base de deslocamento, que incide somente na medio radial absoluta. Considerou-se o mesmo valor da incerteza de posicionamento unidirecional, 0,1 m. Os erros na trajetria de movimentao so causados pela no linearidade da guia da base, fazendo com que o espelho no tenha um deslocamento paralelo. h) Fontes de erros 8 e 9 posicionamento e fabricao do espelho cnico e posicionamento do cilindro de medio: Os erros de fabricao do espelho cnico so extremamente relevantes na avaliao das fontes de erro do sistema de medio. Medies fornecidas pelo fabricante apontam um erro de linearidade de 0,3 m na geratriz da superfcie cnica, o que resulta num erro sistemtico na coordenada radial de aproximadamente 0,2 m. Esse mesmo erro de linearidade pode distorcer a imagem, proporcionando erros nas coordenadas laterais de cerca de 3,5 m. Um erro no ngulo de 90 do cone tambm causa erros sistemticos na coordenada radial. Esse parmetro no foi diretamente medido por falta dos meios apropriados, mas segundo a especificao, a tolerncia de fabricao deveria ser menor que 0,1 , proporcionando um erro mximo da ordem de 0,2 m. Quanto aos erros de posicionamento do espelho cnico e do cilindro a ser medido, a maior parte foi abordada na Seo 4.4.6. Resta citar que o efeito de diminuio da iluminao causada pela inclinao do cilindro, real ou aparente, tende a aumentar os erros na determinao da coordenada radial, ou mesmo inviabilizar a medio. Os
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efeitos da iluminao de maneira geral sero abordados na Seo 5.2.1. i) Fonte de erros 10 posicionamento dos componentes de aquisio de imagens (lentes e ris): Os erros de posicionamento dos componentes de aquisio de imagens possuem duas principais conseqncias: piora da resoluo ptica e distores na imagem. Uma piora da resoluo ptica provoca uma piora tambm na resoluo lateral do sistema, alm de provocar um erro aleatrio na determinao da coordenada radial, devido reduo de contraste. As distores na imagem provocam erros sistemticos nas coordenadas laterais, ou em outras palavras, fazendo com que a escala pxel/milmetro, entre o CCD e o cilindro planificado, no seja constante. Atravs das simulaes realizadas durante o projeto do leiaute ptico, tais erros foram considerados desprezveis, desde que cumprida a configurao projetada (posies, distncias, ngulos, etc.). Durante a montagem, procurou-se seguir o projetado dentro do possvel. As implicaes de erros de montagem para essa fonte de erro no foram separadamente avaliadas. j) Fonte de erro 11 posicionamento da cmera CCD: Erro no posicionamento da cmera provoca os mesmos efeitos descritos em (i), salvo na forma da distoro provocada na imagem, onde inclinaes no CCD provocam distores lineares, resultando em escalas do CCD, horizontal e vertical, constantes, mas no necessariamente iguais. Durante a montagem, no foi feito um controle rigoroso da inclinao do CCD, por no haver controles disponveis. Apesar disso, considerou-se que tais erros de inclinao existentes no so relevantes. k) Fonte de erro 12 variaes de temperatura do ambiente: As variaes de temperatura do ambiente afetam o sistema de medio de diversas formas: mudana no ndice de refrao do ar, principalmente no caso de correntes de ar com diferentes temperaturas; dilatao trmica dos componentes,
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alterando distncias de projeto e dilatao do cilindro de medio, prejudicando a medio da forma do cilindro e em maior grau a medio radial absoluta. O ambiente onde foram realizados os ensaios possui sistema de controle de temperatura de 0,1C. Por essa razo, no foi feito um estudo mais detalhado da influncia da variao de temperatura no sistema. Apesar disso, estima-se que em medies com o sistema em campo, a influncia da temperatura no sistema no seja significante, pois ele estar protegido contra correntes de ar, e a dilatao trmica dos suportes pticos possui uma influncia insignificante na distoro da medio. Se dever, entretanto, tomar alguns cuidados comuns na medio de peas com tal nvel de incerteza, como deixar a pea ficar na mesma temperatura do ambiente antes de se medir. l) Fonte de erro 13 vibraes: Devido aos sistemas de fixao e posicionamento dos componentes do interfermetro serem provisrios (veja Anexo I), o sistema de medio bastante susceptvel s vibraes externas. Apesar disso, a mesa onde est montado o interfermetro permite uma excelente isolao contra vibraes. Existe ainda a vibrao provocada pelo movimentao da base de deslocamento, que pelo fato de no ser suave, pode prejudicar a obteno do padro de interferncia pela cmera. A avaliao dessa fonte de erro avaliada nos testes de repetitividade, na Seo 5.4.2. m) Fonte de erro 14 resoluo do CCD e fator de escala entre o CCD e o espelho cnico: Na configurao do sistema, foi usada uma rea de 1000 x 1000 pixels do CCD para visualizar uma rea de 80 x 80 mm aproximadamente, de maneira que a rea do espelho cnico, bem como a projeo do cilindro, fique inscrita na mesma. A escala E, resultante, de cerca de 80 m/pxel. Para esse clculo, espera-se que a incerteza no seja maior que 1%. Quanto resoluo do CCD ( R ), pode-se dizer que ela a principal limitao para a qualidade da medio lateral do interfermetro. Como visto na Seo 4.1, tal
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resoluo diferente das resolues das coordenadas de altura e de ngulo. A resoluo da altura oscila entre E e E 2 , devido mudana da direo da altura no CCD. J a coordenada angular possui uma resoluo varivel em funo da altura. Na configurao usada, na altura mnima o crculo possui 170 pxeis de raio, resultando em uma resoluo de 2,4 , enquanto que na altura mxima, o crculo possui raio de cerca de 482 pxeis, resultando em 0,75 de resoluo. n) Fonte de erro 15 rudos: Os rudos podem ser: ptico, causado por iluminao externa e pela prpria fonte de luz, e eltricos/eletromagnticos/eletrnicos, presentes no conjunto cmera placa de aquisio de imagens. Eles afetaro o correlograma de modulao, causando erros na determinao da coordenada radial. Determinou-se experimentalmente o valor do rudo e usando-se o simulador foi possvel estimar o erro, cuja repetitividade ficou em 0,317 m (com 95% de confiabilidade). o) Fonte de erro 16 truncamento e/ou saturao dos dados durante a converso do sinal para digital: A resoluo do conversor analgico/digital da cmera CCD selecionada possui resoluo de 10 bits, o que demonstrou ser suficiente para caracterizar a intensidade luminosa da imagem, sem que o truncamento de dados, devido digitalizao, afetasse significativamente a medio. O problema de saturao ser mostrado mais adiante na Seo 5.2.1 . p) Fonte de erro 17 algoritmos de clculo da curva de modulao: Com o uso do simulador, testou-se a qualidade dos algoritmos para determinao do pico da curva de amplitude de modulao em situao ideal, onde apenas o valor inicial da posio da base de deslocamento variava e chegou-se a uma incerteza na determinao da coordenada z de 0,015 m (com 95% de confiabilidade).
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q) Fonte de erro 18 algoritmos de reconstruo matemtica do cilindro, de alinhamento e de filtragem da medio: Para se efetuar a reconstruo matemtica do cilindro, Seo 4.1, o centro do anel deve ser determinado. Nesse processo, estima-se que a incerteza do clculo no seja maior do que um pxel. Na reconstruo matemtica do cilindro, a interpolao feita no anel para determinar a malha cilndrica provoca uma suavizao da forma do anel, semelhante a um filtro passa-baixas. O mesmo ocorre aps a aplicao dos filtros, podendo dessa forma atenuar imperfeies locais da pea. O alinhamento matemtico do cilindro aps a medio, para corrigir eventuais desalinhamento mecnicos do mesmo, por depender exclusivamente da superfcie medida, pode no ser suficiente para corrigi-lo completamente, permanecendo uma inclinao residual que afetar o resultado de medio. Este tipo de erro est presente nos resultados de todos os sistemas de medio de cilindros e no possvel de ser quantificado. Apesar disso, prev-se que no interfermetro radial esse erro seja menor que nas mquinas convencionais por haver maior informaes do cilindro.
5.1.1 Contabilizao dos Erros

A maioria dos erros relacionados no item anterior s pde ser quantificada atravs de ensaios experimentais. No entanto, alguns erros foram quantificados usando o simulador citado anteriormente ou obtidos atravs de catlogos de fabricantes. A contabilizao desses erros mostrada na Tabela 5.1.
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Tabela 5.1 Contabilizao das estimativas das fontes de erros considerados no sistema.
Coordenada Radial N 1 2 Fonte de erro Divisor de feixes Filtro Espelho de referncia Linearidade do espelho cnico ngulo de 90 do espelho cnico Base de deslocamento Rudos Algoritmos Erro sistemtico1 mximo 0,3 m 0,15 m Repetitividade Coordenada Lateral Erro sistemtico1 mximo Repetitividade
0,12 m
0,2 m
0,2 m
0,30 m
7 8
0,32 m 0,02 m
Altura: 8 m/pxel Mximo: 160 m Altura3: 80 m Altura: 113 m ngulo: 2,4 Altura: 212 m ngulo: 2,4
Escala Posio do centro do anel Resoluo3
10
11
Total
0,97 m
0,64 m(2)
As demais fontes de erro no foram consideradas separadamente. A influncia delas Valor obtido pela soma algbrica dos valores individuais, pois no se pode garantir Considerou-se o valor da escala como sendo de 80 m/pxel..
ser determinada globalmente na calibrao do sistema de medio.

2
que as fontes de erro so independentes.

3
63
5.2
Ensaios de Otimizao
Como visto anteriormente, algumas das fontes de erros afetam diretamente o
correlograma de interferncia, produzindo rudos, que por sua vez afetam o clculo da coordenada radial, realizado pelos algoritmos descritos na Seo 3.3.1. Alguns parmetros presentes em tais algoritmos podem ser utilizados para reduzir os rudos e diminuir dessa maneira a incerteza na medio. So eles: 1. Intensidade mdia da imagem; 2. Limiar de modulao 3. Tempo para estabilizao do espelho de referncia a cada passo; So descritos a seguir os dois primeiros parmetros e o procedimento utilizado para se determinar o valor timo para cada um deles. Para o terceiro, o tempo para estabilizao do espelho de referncia, no houve a necessidade de se determinar um valor timo, pois entre cada passo da base ocorre o processamento da imagem adquirida, que atualmente requer um tempo, que de acordo com experincias anteriores, muito superior ao necessrio para a estabilizao do espelho.
5.2.1 Intensidade Mdia da Imagem

A distribuio de brilho na imagem resultante da sobreposio das imagens do objeto e do espelho de referncia no constante. Isso se deve rugosidade ou mesmo s diferenas na textura da superfcie do mensurando (Figura 5.2). Durante o perodo de interferncia os pontos mais brilhantes desta imagem podem saturar os pixels correspondentes do CCD quando a intensidade aumentar. Um caso similar ocorre com os pontos com menor intensidade. Durante a interferncia eles podem ficar com uma intensidade menor que a mnima requerida para sensibilizao do pxel na cmera, no obtendo-se um valor em nvel de cinza maior que zero.
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Regio saturada por excesso de iluminao Regio com pouca iluminao
Figura 5.2 Ilustrao de imagem com diferentes intensidades de iluminao
Em ambos os casos esse efeito prejudica o clculo do pico da curva de amplitude de modulao, em decorrncia da saturao no correlograma de interferncia, devendo portanto ser eliminados os pontos que apresentem tal saturao. Esta intensidade dependente da sensibilidade do pxel, um parmetro fixo, e pelo tempo de exposio de cada aquisio (shutter), que pode ser alterado via software. Um tempo de exposio maior resulta em uma imagem com um nvel mdio de intensidade maior e vice-versa. Deste modo um valor para o tempo de exposio deve ser ajustado para que se tenha uma intensidade adequada para o CCD, intensidade esta que no produza muitos pixels com saturao, tanto no limite superior quanto inferior, de modo a aumentar o nmero de pontos mensurveis. Para isso realizou-se um ensaio onde foi avaliada a quantidade de pontos adquiridos em funo da intensidade mdia da imagem, especificamente na regio de medio. A Figura 5.3 apresenta o grfico da quantidade de pontos adquiridos em funo da intensidade mdia.
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400000 380000 360000 Nmero de pontos medidos 340000 320000 300000 280000 260000 240000 220000 200000 50 150 250 350 450 550 Intensidade mdia da imagem [nveis de cinza]
Figura 5.3 Quantidade de pontos medidos em funo da intensidade mdia da imagem medida.
Pode-se notar que no intervalo de intensidade mdia que varia entre 150 e 350 a quantidade de pontos adquiridos mxima e sofre pouca alterao. E esse o intervalo timo para se operar com o interfermetro.
5.2.2 Limiar de Modulao

Na Seo 3.3.1, foi descrito como determinado o limiar de modulao para cada pxel, que possui a funo de filtrar parte dos rudos no correlograma de modulao. Este teste de otimizao visa encontrar o mltiplo do desvio padro, ou nmero de sigmas, timo para, a partir do desvio padro calculado para uma amostra de sinal sem interferncia, definir um limiar de modulao que resulte em uma melhor repetitividade na medio. Uma breve avaliao desse procedimento revela que quanto menor o mltiplo usado maior a influncia do rudo da curva de amplitude de modulao no clculo do pico. J no caso oposto, quanto maior esse valor, menor vai ser a quantidade de pontos da curva utilizados no clculo do centride, fato que tambm aumenta a incerteza na determinao do pico. Em alguns casos mesmo nenhum ponto da curva utilizado,
66
fazendo com que o ponto de medio seja eliminado, o que resulta na reduo dos pontos de medio totais adquiridos pelo sistema Um ensaio foi realizado para se determinar a influncia do nmero de sigmas do limiar de modulao sobre a repetitividade do sistema de medio e sobre a quantidade de pontos adquiridos. Foi usada uma pea cilndrica com erro de forma de aproximadamente 4 m. Foram feitas cinco medies para cada valor de sigma, sem se mover a pea ou se alterar qualquer outro parmetro do sistema. Para comparar os resultados foram usados os valores da repetitividade1 para cada ponto de medio. Fezse um histograma desses valores e foram avaliados os seguintes parmetros: (a) o valor mximo da repetitividade para 95% dos pontos, (b) o valor da repetitividade com maior nmero de incidncias no histograma e (c) o nmero total de pontos medidos. Um exemplo desse histograma pode ser visto na Figura 5.4.
Histrograma da repetitividade
4500 4000 3500 Nmero de incidncias 3000 2500 2000 1500 95% dos pontos (a) 1000 500 0 0,03 RE = 0,31 0,53 1,03 1,53 2,03 2,53 3,03 3,53 4,03 4,53 RE = 5,00 5,03 5,53 Maior incidncia de pontos (b)
Repetitividade (RE) [m]
Figura 5.4 Histograma usado para comparao dos limiares de modulao.
Seguindo esse procedimento, os valores para os parmetros (a) e (b) foram obtidos para cada valor de sigma e so mostrados na Tabela 5.2.
Obtido atravs do valor do desvio padro da amostra com 10 medies e do valor de t-student [30] .
67
Tabela 5.2 Valores de cada parmetro analisado versus nmero de sigmas do limiar de modulao.
Nmero de sigmas 3 4 5 6 7 8 9 10 (a) (b) (c)
5,01 3,07 2,48 2,30 2,10 2,02 1,97 1,94
0,31 0,13 0,11 0,12 0,10 0,10 0,22 0,28
228968 222289 218845 216700 214817 213200 211655 210407
Pode-se observar que medida que o nmero de sigmas aumenta, menos pontos so capturados e a repetitividade mxima para 95% dos pontos (b) tambm diminui. J o valor, ou faixa de valores, da repetitividade com maior incidncia (a) possui um valor timo, pois quando o limiar baixo, mais rudo influenciam no clculo do raio; j quando o limiar muito alto, menos pontos so levados em conta para a determinao do pico do envelope no algoritmo de centride, piorando tambm a medio. Deve-se, portanto, usar um valor de sigma entre 6 e 8, para que se tenha uma medio otimizada.
5.3
forma:
Calibrao do Sistema de Medio

O resultado de medio para um certo ponto k pode ser expresso da seguinte
R k = M k TD IM
onde:
(5.1)
R k o resultado da medio para o ponto k,

M k o valor medido (indicao);
TD o valor da tendncia e
k
IM a incerteza de medio no ponto;
Uma calibrao pode ser realizada para determinar os valores da tendncia e da incerteza de medio para os pontos de medio do sistema, ou os pixels do CCD.
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Como visto na Seo 5.1, o interfermetro radial possui dois diferentes processos de medio. Por isso, a calibrao deve ser feita para os dois de forma separada: em relao coordenada radial e em relao s coordenadas laterais.
5.3.1 Coordenadas Laterais

O erro sistemtico presente no clculo das coordenadas laterais, fontes de erro 10 e 11, no chegou a ser avaliado, pois dentre as tarefas no desenvolvimento do sistema, essa no se mostrou ser crtica, e alm disso foi dado maior prioridade para a medio radial. J para a determinao da incerteza associada s coordenadas laterais, contabilizaram-se: (1) a incerteza no clculo da escala pxel/mm, entre o CCD e o cilindro planificado, (2) a resoluo da imagem planificada (anel) e (3) a incerteza na posio do centro do espelho cnico. Para a determinao da escala, foi usada uma escala fsica, consistindo num cilindro escalonado produzido em torno (Figura 5.5). O valor encontrado foi de 0.0806 mm/pxel. A incerteza expandida no clculo foi de 0,00064 mm/pxel, calculada considerando as incertezas de fabricao do cilindro e de resoluo da imagem. A Figura 5.5 ilustra o procedimento usado.
Figura 5.5 Ilustrao do procedimento para clculo da escala do sistema de medio
Para se determinar a posio do centro do espelho, foi usado um algoritmo baseado no mtodo do centride de uma rea, tendo como parmetro a rea do furo central do espelho cnico, identificada por um limiar de intensidade. (Figura 5.6).
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Superfcie espelhada
Limiar
Furo central do espelho
Centride da regio
Figura 5.6 Ilustrao do procedimento para determinao do centro do espelho cnico.
Com uma amostra de 15 valores para as coordenadas do centro, x e y, obteve-se um desvio padro de 0,009 e 0,006 pixels, respectivamente. O valor mximo do desvio padro da posio do centro resulta ento em 0,011 pixels, que convertendo para um, se torna 0,9 m. Como j visto, a resoluo do CCD (Erro 14) para a coordenada de altura varia de E a E 2 , que substituindo o valor da escala encontrado fica, 80,6 m a 114,0 m. Para a coordenada angular, a resoluo, que independente da escala, varia de 0,24 a 0,75 . Na Tabela 5.3 faz-se o balano de incertezas para a coordenada da altura.
Tabela 5.3 Balano de incertezas para a coordenada da altura.
Valor Smbolo Descrio bruto [mm]
Tipo de Distribuio Normal Retangular Retangular Normal Normal
Divisor
u [mm] 0,011 0,066 0,139 0,154
u HA
u CCD
Incerteza padro do tipo A Resoluo do CCD Erro mximo da escala mm/pxel Incerteza padro combinada da altura Incerteza expandida da altura
0,09 0,114 0,240
15
3 3
u ESC
u HC
U H 95%
k = 2,185
0,336
70
Onde: u o valor da incerteza padro para cada componente; o grau de liberdade; k o fator de abrangncia para 95% de probabilidade e em funo de . Para a coordenada angular, pode-se verificar que a posio do centro do espelho cnico e a escala mm/pxel pouco influenciam em sua incerteza, e necessitaria de um equacionamento mais elaborado para a determinar. Por essas razes, apenas a resoluo do CCD foi considerada para expressar a sua incerteza. Dessa forma, para a resoluo variando de 0,24 a 0,75 , a incerteza mxima ser de:
0,75 0 = 0,430 3
5.4
Coordenada Radial
Tendo a maior parte da dedicao desse trabalho, a coordenada radial expressa
a medio na direo radial do sistema. Conforme a meta definida, a incerteza esperada para a medio de forma de cilindros da ordem de 0,3 m. importante diferenciar a medio de forma radial e a medio radial absoluta pelo sistema. A diferena entre os dois tipos de medio est relacionada unicamente ao erro da referncia absoluta da base de deslocamento utilizada (Fonte de erro 6) Para isso, utilizou-se um padro cilndrico, com dimenses prximas s dos cilindros para os quais o sistema foi desenhado. O padro possui as seguintes caractersticas: Altura = 22 mm Dimetro nominal = 22,494 mm Erro de cilindricidade = 0,5 m
Nota-se, desde j, que o erro de forma do padro usado ser uma barreira para se atingir a incerteza desejada de medio de forma, pois, para se calibrar um sistema com uma incerteza de 0,3 m, dever-se-ia a princpio ter um padro com um erro de forma no mnimo cinco vezes menor, ou seja, 0,06 m [29]. Um cilindro com tal erro e com as dimenses desejadas muito difcil ser obtido com a tecnologia atual, pois o valor da cilindricidade atinge a mesma ordem de grandeza da rugosidade que se pode obter.
71
Para se determinar os erros do sistema para essa coordenada, considerou-se apenas a primeira parte da medio radial: a medio do relevo do anel correspondente ao cilindro planificado. Como j mencionada, a altura de cada ponto medido do anel equivale ao raio do mesmo ponto no cilindro. Desta forma, no se considerou a reconstruo do cilindro na calibrao, pois a medio do relevo do anel a medio bruta da forma do cilindro. Sendo assim, os efeitos da reconstruo matemtica do cilindro na incerteza de medio no foram avaliados. O procedimento utilizado consistiu em se medir 10 vezes a altura de cada ponto do anel resultante da planificao do padro, atravs da aquisio de dez nuvens de pontos, nas seguintes condies: O padro foi alinhado uma nica vez; Entre as medies, no houve qualquer interveno no hardware do interfermetro; Todas as varreduras foram executadas no mesmo sentido, eliminando-se o efeito de histerese da base de deslocamento; Com estes dados, os valores de tendncia e de repetitividade puderam ser encontrados para todos os pontos medidos no ensaio.
5.4.1 Clculo da Tendncia

O valor da tendncia deve ser decomposto em duas componentes: (a) para a medio do valor absoluto do raio e (b) para a medio do erro de forma. Para cada ponto de medio a componente da tendncia para o erro de forma foi determinado da seguinte forma:
TD =
M
i
k i
nk
M , onde
M ik o valor da altura obtida na medio i para o ponto k; n k o nmero de vezes que o ponto k foi medido e M o valor da altura mdia do anel do padro planificado obtida pelo mtodo
dos mnimos quadrados, tendo como entrada as alturas mdias de todos os pontos medidos. Corresponde ao raio de um cilindro mdio matematicamente perfeito.
72
Dessa maneira obtm-se apenas a estimativa do erro sistemtico referente medio de forma. A Figura 5.7 apresenta o formato da tendncia do sistema de medio para os pontos de medio, ou os pixels, que continham informao da superfcie do padro.
Figura 5.7 Formato da tendncia do sistema de medio, para a medio do anel da planificao do cilindro.
O mximo desvio obtido foi de 7,31 m. importante destacar que boa parte desse desvio decorre de erros no pr-alinhamento do padro na base de medio. Porm, isso no trar problemas ao se medir uma pea, pois, quando for feita a correo, a pea medida ir sofrer um desalinhamento contrrio, que ser posteriormente removido durante o realinhamento matemtico, aps a reconstruo matemtica do cilindro. Na Figura 5.7 mostrada a tendncia do sistema de medio, aps a reconstruo matemtica do cilindro e alinhamento.
Figura 5.8 Ilustrao da tendncia da coordenada radial, j convertido para cilindro.
73
Para a medio absoluta do raio, atribuiu-se M o valor nominal do raio do padro usado, definindo-se, dessa forma, o valor do raio na posio da referncia absoluta da base de deslocamento. O valor encontrado foi de -2.9478 mm, que o valor do raio na posio de referncia da base de deslocamento. Vale ressaltar que esse valor dependente da montagem da bancada. Dessa maneira, todas as posies da base/espelho de referncia ficam referenciadas em relao coordenada radial.
5.4.2 Clculo da Incerteza de Medio Radial

Foram determinados dois valores de incerteza de medio radial. Uma para a medio da forma radial e outra para a medio radial absoluta. Para se determinar a incerteza de medio de forma radial, levou-se em conta: (1) a incerteza padro da variao aleatria para os valores dos raios, (2) a incerteza da tendncia e (3) a incerteza de forma do padro cilndrico. A incerteza padro da variao aleatria, ou do tipo A [30], u A , para cada ponto de medio foi determinada a partir do desvio padro experimental das 10 medies do padro cilndrico. A incerteza padro calculada por:
uA =
onde:
s(r ) n
(5.2)
s (r ) o desvio padro experimental dos valores do raio e

n nmero de medies.
O valor de n deve ser igual a um, pois se pretende estimar a incerteza que atua sobre uma medio. Na Figura 5.9, mostrada a distribuio dos desvios padres dos pontos medidos no anel e na Figura 5.9 mostrado o histograma dos valores de desvio padro encontrados.
74
Figura 5.9 Mapa dos desvios padres para os pontos medidos no anel da planificao do padro cilndrico.
25000 20000 Frequncia 15000 10000 5000 0

0, 01 0, 02 0, 04 0, 06 0, 08 0, 10 0, 11 0, 13 0, 15 0, 17 0, 18 0, 20 0, 22 0, 24 0, 25 0, 27 0, 29 0, 31 0, 32 0, 34 0, 36 0, 38 0, 40 0, 41 0, 43
De sv io Padro [m]
Figura 5.10 Histograma dos desvios padres dos pontos medidos no ensaio com o padro.
Nota-se, na ilustrao tridimensional, um certo padro ondulatrio do desvio padro. Esse formato possui alguma relao com as franjas presentes durante a varredura e sugere problemas no deslocamento de fase, provocado por erros de deslocamento da base. Com o histograma, pode-se ter uma idia da qualidade com que o sistema como um todo est repetindo. No pico do histograma, sp = 0,11 m, se tem o valor do desvio padro para a maioria dos pontos medidos. J na posio referente a 95% dos pontos, s95% = 0,27 m, se tem o valor que pode ser usado com maior segurana para o clculo da incerteza padro do sistema de medio:
75
uA =
0,27 1
= 0,27 m
(5.3)
Para o clculo da incerteza da tendncia de forma, considerou-se no clculo o valor do desvio padro s95%. Dessa forma, para as 10 medies realizadas:
uTd =
s95% 10
= 0,09 m
(5.4)
A incerteza do padro cilndrico composta pelo erro de cilindricidade. Assumindo-se que tal erro tenha uma distribuio retangular, a incerteza padro calculada por:
u/ 0 / =
0,5 3
= 0,29 m
(5.5)
A tabela abaixo apresenta o clculo da incerteza expandida para a medio radial da forma do sistema de medio.
Tabela 5.4 Balano de incertezas para a medio radial de forma.
Valor Smbolo Descrio bruto [m]
Tipo de distribuio Normal Normal Retangular Normal Normal
Divisor
u [m] 0,27 0,09 0,29 0,41
uA
u Td
u/ 0 /
uC U 95%
Incerteza padro do tipo A Incerteza padro da tendncia de forma Incerteza do padro cilndrico Incerteza padro combinada Incerteza expandida
0,27 0,09 0,5
1 1
9 9
k = 2,325
0,95
A incerteza expandida com a qual possvel medir erros de formas cilndricas quando utilizado o presente padro como referncia resultou em 0,95 m. Deve ficar claro que a incerteza do padro corresponde a cerca de metade da incerteza total. Com um padro de melhor qualidade esta incerteza pode ser consideravelmente reduzida. Para a medio absoluta do raio, alm da incerteza da medio de forma, devese somar: (1) a incerteza de referenciamento da base de deslocamento, (2) a incerteza
76
do raio nominal do padro e (3) a incerteza do raio mdio M medido, ou altura mdia, quando em referncia ao relevo do anel. A incerteza padro de referenciamento da base de deslocamento ( u RB ) dependente do erro de posicionamento da base, que de acordo com o catlogo do fabricante, de 0,1 m. Logo,
u RB =
0,1 = 0,05 m 2
(5.6)
A incerteza do raio nominal do padro a incerteza relacionada ao valor atribudo a ele na calibrao. Como no havia essa informao, usou-se o valor da cilindricidade como valor do erro mximo para o dimetro nominal. Essa soluo continua vlida para fins de avaliao do sistema, pois possvel se medir o dimetro nominal do cilindro com sistemas com incerteza abaixo do erro de forma do cilindro. Sendo assim, o valor da incerteza padro do raio do cilindro padro fica:
u RP =
0,5 3
= 0,29 m
(5.7)
Por fim, a incerteza padro do raio mdio medido foi calculada usando-se o erro mximo expresso pela cilindricidade. O valor da cilindricidade nesse caso, foi obtido aps a reconstruo matemtica do cilindro e alinhamento do padro medido (Figura 5.8), resultando no valor de 1,33 m. A incerteza padro para o raio mdio da medio do padro resulta em:
u RM =
1,33 3
= 0,77 m
(5.8)
A Tabela 5.5 apresenta o balano de incertezas para a medio radial absoluta.

Tabela 5.5 Balano de incertezas para a medio radial absoluta.
Valor Smbolo Descrio bruto [m]
Tipo de distribuio
Divisor
u [m]
uC
Incerteza padro combinada da medio de forma radial Incerteza padro de referenciamento da base de deslocamento
0,95
Normal
2,325
0,41
u RB
0,1
Normal
0,05
77
u RP
Incerteza do raio nominal do padro Incerteza do raio mdio da medio do padro Incerteza padro combinada para medio radial absoluta Incerteza expandida para medio radial absoluta
0,5
Retangular
0,29
u RM
1,33
Retangular
0,77
u CA
Normal
0,92
U A 95%
Normal
k = 2,325
2,14 m
Aqui tambm importante ficar claro que quase 80% das contribuies na incerteza decorrem das imperfeies do padro.
5.5
Consideraes
Os pontos no medidos durante o ensaio com o padro no tiveram sua
tendncia e repetitividade determinados. Por essa razo, tais pontos no foram considerados pontos de medio durante o uso do sistema. Apesar do valor com que pde ser avaliada a incerteza de medio ficar muito acima do esperado, prev-se que possvel melhor-la. O principal fator a incerteza do padro cilndrico utilizado, que precisa ser melhorado. Nota-se ainda no histograma da Figura 5.10 que o desvio padro para a maioria dos pontos cerca de trs vezes menor que o desvio padro considerado, para 95% dos pontos. A calibrao feita apenas medindo-se o relevo do anel do padro cilndrico planificado traz uma complicao: aumenta muito a sensibilidade do desalinhamento da posio do centro do anel em relao cmera CCD. Na bancada montada este desalinhamento ocorria muitas vezes, devido falta de rigidez dos suportes. Quando era feita uma medio, a correo inicialmente determinada no coincidia mais com o anel medido, gerando erros na medio.
Captulo 6
Casos de Uso
Este captulo tem por objetivo demonstrar o uso do sistema de medio desenvolvido, atravs da descrio dos passos do procedimento de medio. Sero ilustradas duas medies. A primeira, apresentada em maiores detalhes, ser de um cilindro com erro de forma da aproximadamente 40 m de cilindricidade, possuindo a superfcie em ao, sendo bastante reflexiva. A segunda ser de um cilindro com a superfcie revestida com uma camada fosca e possuindo cilindricidade da ordem de 4 m. As dimenses dos dois cilindros so de 12 mm de dimetro por 20 mm de altura, aproximadamente. Para realizar a medio, posiciona-se inicialmente o cilindro a ser medido no suporte do sistema (Anexo A). Depois disso, as seguintes etapas so realizadas: 1) Configuraes iniciais; 2) Alinhamento do cilindro; 3) Aquisio da nuvem de pontos; 4) Ps-processamento da medio; 5) Visualizao do resultado.
Captulo 6: Casos de Uso
79
6.1
Caso 1
6.1.1 Configuraes Iniciais

Dois parmetros precisam ser configurados para uma medio mais eficiente: (a) rea de medio e (b) intensidade mdia da imagem. Na Figura 6.1 exibida a interface do software de medio, onde destaca-se os controles usados na medio.
Delimitao da re medio
Controle de posicionamento do espelho de refernc
Ajuste da intensi mdia da imagem
Figura 6.1 Tela principal do software de medio do interfermetro destacando os controles dos parmetros de medio.
Seleciona-se na interface a rea mnima de medio, pois quanto maior essa rea, maior o tempo de medio, devido maior quantidade de pontos monitorados. A rea delimitada pelos crculos em verde. Para essa medio, parte da borda superior do cilindro no foi medida (rea externa ao circulo em verde mais externo). Em seguida feito um alinhamento inicial, mais grosseiro, atravs da imagem ao vivo, de modo que o cilindro tenha uma iluminao uniforme FIG.
80
Figura 6.2 Imagem do cilindro durante alinhamento grosseiro.
A partir disso, possvel se fazer o ajuste da intensidade mdia da rea de medio. Ajusta-se o parmetro shutter da cmera de modo que a intensidade mdia da regio de medio, calculada por software, fique dentro da faixa de intensidade mdia tima. Esse alinhamento importante para uma correta medio, como apresentado na Seo 5.2.1.
6.1.2 Alinhamento do Cilindro

Em seguida, para efetuar o alinhamento fino, coloca-se o software no modo de visualizao de interferncia: imagem ao vivo mostrando em alto contraste regies onde ocorre a interferncia. Nesse modo, possvel alinhar muito bem o cilindro. Atravs do formato da regio onde h interferncia, tm-se informaes das diretivas para alinhar o cilindro em relao ao espelho cnico (Seo 4.7.2). Para esse alinhamento, so utilizados os controles de alinhamento do suporte de cilindros. A situao de alinhado depende da forma do cilindro, pois para cilindros com pequeno erro de forma consegue-se uma imagem com interferncia em todo o cilindro, ou caso contrrio, em apenas uma parte, como o caso mostrado na Figura 6.3.
81
(a)
Figura 6.3 Imagem da interferncia do cilindro, durante alinhamento fino.
(b)
6.1.3 Aquisio da Nuvem de Pontos

Depois do alinhamento fino, definem-se os limites radiais de varredura, usandose o controle da base de deslocamento, de modo que a interferncia em toda a superfcie ocorra dentro desse intervalo, e dessa forma, toda a superfcie poder ser medida. A seguir, a nuvem de pontos adquirida e o resultado visto na Figura 6.4.
Figura 6.4
Nuvem de pontos adquirida.
Os pontos mais altos, em vermelho no relevo no anel, possuem um raio maior e os pontos em azul, um raio menor. As falhas de medio presentes na figura, se
82
devem s descontinuidades da pea, no caso provocadas por uma compresso sofrida pela pea. Tais descontinuidades fazem com que essas regies no medidas fiquem com um ngulo no favorvel a medi
6.1.4 Ps-processamento da Medio

Obtida a nuvem de pontos, realizada a seguir a reconstruo numrica do cilindro, usando-se tambm parmetros definidos durante a calibrao do sistema: posio do centro ptico, escala na altura e resoluo da malha cilndrica interpolada (Figura 6.5(a)).
(a)
(b)
(c)
Figura 6.5 Ps processamento da nuvem de pontos adquirida: (a) reconstruo matemtica do cilindro, (b) alinhamento e (c) aplicao de filtros de forma.
83
feito ento o alinhamento do cilindro (Figura 6.5(b)) e a aplicao de filtros de forma e de pontos fora da superfcie (Figura 6.5(c)), conforme descrito na Seo 4.7.5. Obtm-se por fim a forma final do cilindro, a partir da qual sero extrados os parmetros de forma cilndrica.
6.1.5 Visualizao de Resultados

O valor da cilindricidade obtido diretamente pela diferena entre o raio mximo e raio mnimo do cilindro. A avaliao mais detalhada da forma cilindro pode ser feita atravs de grficos de linearidade e circularidade, como ilustra-se na Figura 6.6. Esses grficos so obtidos atravs do software de visualizao de nuvem de pontos, desenvolvido no mbito desse projeto. Eles podem ser obtidos a partir de qualquer altura, no caso de circularidade (a), e qualquer ngulo, no caso da linearidade (b).
(a)
(b)
Figura 6.6 Grficos de circularidade (a) e de linearidade (b), resultantes da medio de forma do cilindro.
6.2
Caso 2
Para a medio da segunda pea selecionada, procede-se da mesma forma que
no caso anterior. A seguir, sero descritas as diferenas que podem ser destacadas para cada passo da medio.
84
1) Configuraes iniciais: Para esse cilindro, deve-se ajustar novamente a intensidade mdia da imagem do cilindro, pois a superfcie agora mais fosca, necessitando de um maior valor para o parmetro shutter da cmera. 2) Alinhamento do cilindro: Como o erro de forma agora de cerca de 4 m, muito menor do que no caso anterior, o alinhamento se torna um pouco mais fcil, pois agora todos os pontos da superfcie iro apresentar interferncia no mesmo instante (Figura 6.7).
(a)
(b)
Figura 6.7 Imagem da interferncia do cilindro, durante alinhamento fino para o caso 2.
3) Aquisio da nuvem de pontos: Os limites radiais de varredura so mais prximos nesse caso, cerca de 30 m. O resultado da aquisio mostrado na Figura 6.8. Nota-se que nessa medio, alguns pontos no foram obtidos, devido baixa intensidade dos mesmos.
85
Figura 6.8 Nuvem de pontos adquirida.
4) Ps-processamento da medio: A seqncia de ps-processamento mostrada na Figura 6.9. Apesar de visualmente as formas aparentarem ser da mesma ordem de grandeza, o valor da cilindricidade agora de 4 m, dez vezes menor que na medio anterior. Isso ocorre porque feito um ajuste de escala para que a forma sempre seja representada num mesmo volume 3D. 5) Visualizao do resultado Para esse caso, os grficos de circularidade e de linearidade para determinada altura e ngulo, respectivamente, so exibidos na Figura 6.9.
86
(a)
(b)
(c)
Figura 6.9 Ps processamento da nuvem de pontos adquirida: (a) reconstruo matemtica do cilindro, (b) alinhamento e (c) aplicao de filtros de forma.
(a)
Figura 6.10 Grficos de circularidade (a) e de linearidade (b), resultantes da medio do caso 2.
Captulo 7
Concluses e Sugestes para Trabalhos Futuros
7.1
Concluses
O sistema de medio proposto nesse trabalho adequado para a medio de
formas cilndricas com at 26 mm de dimetro e 21 mm de altura. Nas condies testadas, a incerteza de medio de forma foi quantificada como de 0,96 m e para a medio radial absoluta, foi quantificada como 2,14 m. O tempo para medio de um cilindro se divide em tempo de alinhamento e tempo de varredura. O primeiro leva em mdia quinze minutos e o segundo depende da distncia entre os limites radiais de varredura, sendo definido por (2 min + 10 s/m). Os cilindros a serem medidos devem possuir uma superfcie que seja visvel pelo sistema. Para atender a esse requisito, a superfcie deve possuir uma refletividade mnima e, alm disso, as normais da superfcie no devem desviar muito da direo radial, para que pelo menos parte da luz incidente possa retornar para o interfermetro. O prottipo desenvolvido est instalado em uma bancada pneumtica. Porm, a caracterstica compacta do projeto permite o uso de uma mesa prpria, tornando-o prtico de ser deslocado. Abaixo so apresentadas as concluses mais especficas, sobre o sistema
Captulo 7: Concluses e Sugestes para Trabalhos Futuros
88
desenvolvido. Quanto ao prottipo modular: O arranjo ptico desenvolvido para medio de grandes reas (80 x 80 mm) funcionou bem. O alinhamento dos componentes pticos no mostrou ser complexo. A conseqncia da soluo adotada que trouxe maior dificuldade foi a alta sensibilidade de posicionamento das lentes colimadoras. Mas o uso de posicionadores micromtricos para alinhamento das lentes, apesar de encarecer a bancada, resolveu o problema. O espelho cnico usado demonstrou possuir qualidades superficiais e de forma suficientes para esse primeiro prottipo. O uso de componentes provisrios de fixao permitiu validar o sistema e se atingir a incerteza apresentada, porm no se pode garantir a estabilidade da calibrao do sistema devido atual bancada estar bastante vulnervel a influncias externas, como por exemplo, solavancos na mesa pneumtica, acidentes com fiao e coisas do gnero. A mesa de micro-deslocamentos do espelho de referncia supriu as necessidades por atingir o passo de medio projetado. Apesar disso, sua incerteza de posicionamento e a falta de rigidez do suporte do espelho de referncia podem ser causas de grande parte dos erros de medio ainda presentes. A fonte de luz usada possui comprimento de coerncia muito grande, o que degrada a incerteza de medio. Este modelo de LED foi selecionado por emitir luz suficientemente forte. Entretanto, verificou-se na prtica ser possvel medir com muito menos luz que o mximo possvel de ser fornecido pelo LED. Foi inclusive possvel medir cilindros com superfcies pouco reflexivas. A cmera usada se adequou plenamente ao prottipo desenvolvido. A nica desvantagem aparente da mesma, a freqncia de aquisio de 12 Hz, no foi um fator limitante do tempo de medio, pois so os algoritmos de monitoramento durante a varredura que tomam a maior parte do tempo. Quanto ao software de medio:
89
O algoritmo de medio demonstrou ser robusto. Funcionalidades desenvolvidas permitiram a medio seriada de cilindros, reduzindo o tempo de medio de uma pea e permitindo a visualizao dos resultados de maneira detalhada.
Quanto ao ps-processamento da nuvem de pontos adquirida: Na reconstruo matemtica do cilindro, a criao de uma malha regular, interpolada a partir dos pontos adquiridos pelo sistema, foi importante para o clculo dos parmetros de forma, e visualizao e armazenamento da nuvem de pontos cilndrica. O alinhamento matemtico do cilindro permitiu a definio mais exata do cilindro de referncia, etapa fundamental para uma correta avaliao de forma. O algoritmo para remoo de pontos fora da superfcie foi importante na medio, principalmente para a remoo de pontos medidos nas bordas da pea. Os filtros de remoo de rugosidade aplicados puderam definir melhor a forma da superfcie avaliada. O filtro L-spline usado mostrou ser bastante veloz.
7.2
Sugestes para Trabalhos Futuros

A criao de um leiaute ptico ainda no testado em pesquisas anteriores pelos
antecessores desse projeto e a aplicao do espelho cnico para medies de formas 3D geraram muitos questionamentos que no puderam ser totalmente respondidos no mbito desse trabalho. Abaixo, so identificadas as principais sugestes de tpicos a serem explorados e melhor compreendidos em trabalhos futuros. Uso de uma fonte de luz com comprimento de coerncia menor, diminuindo a incerteza de medio; Construo de um mecanismo para deslocamento de fase com menor incerteza de posicionamento. O uso de um cristal piezeltrico em srie com a base de deslocamento, apesar de elevar o custo do sistema, poderia ser uma
90
soluo para verificar a influncia desta fonte de erro. Uso de um padro cilndrico com menor erro de forma, diminuindo assim a incerteza proveniente dos desvios de forma do padro, u / O / . Alm disso, poder-se-ia diminuir ainda mais tal incerteza criando-se um algoritmo de minimizao para, a partir de vrias medies desse padro, se encontrar, com uma boa estimativa, tanto os erros sistemticos do sistema de medio quanto a forma absoluta do padro. Troca do espelho de referncia e de seu suporte de fixao por outros de melhor qualidade. Realizao de ensaios para verificao da repetitividade com peas de diferentes rugosidades, para verificar se existe alguma correlao. Deve-se projetar um sistema de fixao do cilindro a ser medido que possua controles para alinhamento com melhor resoluo e com isso ser possvel fazer um melhor pr-alinhamento. Alm disso, a criao de uma ferramenta para auxiliar no alinhamento, fazendo com que operador no precise tomar decises durante a operao, aumentaria a velocidade de medio de um cilindro. Testes de avaliao do comportamento do sistema em diferentes condies ambientais. Verificao do comportamento do sistema em medies de peas com diferentes geometrias, como roscas, engrenagens e outras formas no cilndricas. Adaptao do interfermetro para medio de superfcies cilndricas internas, como mancais e cilindros.
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<http://astron.berkeley.edu/~jrg/Polish/polish.html>. Acesso em: 18 mar. 2004. [23] MAHR FERTIGUNGSMESSTECHNIK. MarForm FORM-PC Manual de instrues. Disponvel em <http://www.mahr.com>, seo Products, Metrology, Software. Acesso em: 01 abr. 2004. [24] POWERS, L., SNELL, M. Visual basic programmer's guide to the .NET framework class library. USA: Sams, 2002. 1152 p. [25] SILICON GRAPHICS. OpenGL programming guide. USA: Addison-Wesley, 1997. 605 p. [26] PRECISION DEVICES. Surface metrology guide: surface profile filtering. Disponvel em <http://www.predev.com/smg/filtering.htm>. Acesso em: 29 abr. 2004. [27] KRYSTEK, M. Discrete L-spline filtering in roundness measurements.
Measurement, v. 18, n. 2, p. 129-138, 1996. [28] PFEIFER, T. Fertigungsmetechnik. Germany: Oldenbourg, 1998. [29] ALBERTAZZI, A. G. Metrologia Parte I. Florianpolis: LABMETRO UFSC, 1999. [30] INMETRO. Guia para a Expresso da Incerteza de Medio. 2. ed. Rio de Janeiro: ABNT, INMETRO, SBM, 1998. 120 p,
Anexo A
Prottipo Funcional
Figura A.1 Vista superior do prottipo do interfermetro radial.
Anexo A: Prottipo Funcional
95
Figura A.2 Vista lateral do prottipo.
Figura A.3 Suporte do cilindro de medio, com os controles de alinhamento.
96
Figura A.4 Posicionamento do cilindro, j preso ao suporte, no interior do espelho cnico.
Figura A.5 Cilindro posicionado no interior do espelho cnico.
97
Figura A.6 Lente colimadora e os controles para seu alinhamento em cinco eixos.
Figura A.7 Espelho de referncia e a base de deslocamento.
98
Figura A.8 Imagem do interfermetro exibindo os suportes dos componentes.
Figura A.9 Divisor de feixes e ao lado o filtro para reduo de intensidade.
99
Figura A.10 Cmera CCD e os suportes da ris e das lentes de aquisio de imagens.
Figura A.11 Fonte de luz utilizada.

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Desenvolvimento de um Interfermetro de Luz Incoerente para Medio de Forma de Cilindros

Eng. Alex Dal Pont

Florianpolis, 27 de outubro de 2004.

Desenvolvimento de um Interfermetro de Luz Incoerente para Medio de Formas de Cilindros

Prof. Alexandre Lago, Ph. D. Departamento de Engenharia Mecnica UFSC

Prof. Andr Roberto de Souza, Dr. Eng. CEFET-SC

Eng. Roberto Binder, M. Eng. EMBRACO S.A.

3.3.1 Determinao do pico da curva de amplitude de modulao .......................... 23

Referncias Bibliogrficas .......................................................................................... 91 Anexo A Prottipo Funcional...................................................................................... 94

Figura 2.7 Figura 2.8 Figura 3.1 Figura 3.2

Figura 3.3 Figura 3.4 Figura 3.4 Figura 3.5

Figura 5.7 Figura 5.8 Figura 5.9

u1 , u2 : amplitude espacial complexa de campos eletromagnticos de duas ondas

u : amplitude espacial complexa resultante da sobreposio de dois campos

1 , 2 : fase de duas ondas eletromagnticas;

: comprimento de onda da luz;

c : perodo de tempo para a luz percorrer l;

( ) : grau de coerncia complexo;

: frequncia da fonte de luz;

: variao de comprimento de onda de uma fonte de luz;

A(l): amplitude da interferncia em funo da diferena de caminho ptico; I 0 : intensidade inicial;

z 0 : posio da base de deslocamento correspondente diferena de caminho ptico

I : intensidade mdia do pxel para os quatro passos;

u HA : incerteza padro do tipo A para a coordenada da altura do cilindro;

U H 95% : Incerteza expandida da altura;

M ik : altura obtida na medio i para o ponto k;

u A : incerteza padro do tipo A para a coordenada radial;

uCA : incerteza padro combinada para medio radial absoluta;

Medio de Formas Cilndricas

Captulo 2: Medio de Formas Cilndricas

Figura 2.2 Classificao das formas possveis de um cilindro.

Mtodo das geratrizes

Mtodo das sees circulares

Figura 2.3 Estratgias de medio de formas de cilindros.

Captulo 2: Medio de Formas Cilndricas

Captulo 2: Medio de Formas Cilndricas

(a) Cilindro de mnima zona

(b) Cilindro circunscrito mnimo

Distncia pico- vale

Eixo do cilindro Distncia pico- vale

(c) Cilindro inscrito mximo

(d) Cilindro de mnimos quadrados

Distncia pico- vale

Figura 2.4 Cilindros de referncia para medio de cilindricidade [3].

Sistemas de Medio de Cilindros

Captulo 2: Medio de Formas Cilndricas

2.2.1 Mquinas de Medir por Coordenadas

Figura 2.5 Mquina de medio por coordenadas, MMC [6].

2.2.2 Instrumentos de Medio de Forma/circularidade

Captulo 2: Medio de Formas Cilndricas

Ajuste radial Apalpador stylus Mesa giratria Componente

Captulo 2: Medio de Formas Cilndricas

2.2.3 Sistemas pticos

Captulo 2: Medio de Formas Cilndricas

Interferometria de Luz Incoerente

Quando estas se sobrepem, a teoria das ondas eletromagnticas diz que o

Entretanto, a quantidade que observada ou detectada nessa sobreposio a

Captulo 3: Interferometria de Luz Incoerente

intensidade, que calculada por:

I1 , I 2 : Intensidade de cada onda;

= 1 2 : diferena entre as fases de cada onda.

2 I1 I 2 cos chamado termo de interferncia. Quando cos = 1 , a intensidade

Captulo 3: Interferometria de Luz Incoerente