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Indice

1 Introduzione 5
1.1 Il problema del Power harvesting . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2 Obiettivi del lavoro . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.3 Outlines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2 Descrizione generale del dispositivo 13
2.1 Introduzione . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.2 Schema circuitale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.3 Funzionamento generale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.3.1 Fase di carica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.3.2 Fase di scarica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
2.4 Realizzazione del dispositivo . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
3 Descrizione e principio di funzionamento del MEMS 21
3.1 Massa oscillante . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
3.2 Molle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
3.3 Base inferiore della struttura . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
3.4 Principio di funzionamento . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
3.4.1 Capacit`a variabile e forza elettrostatica agente sul sistema 26
4 Progettazione delle molle 31
4.1 Scelta della geometria . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
4.1.1 Considerazioni preliminari . . . . . . . . . . . . . . . . 32
4.2 Individuazione della geometria . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
4.2.1 Premessa . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
4.3 Studio delle geometrie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
4.4 Ottimizzazione della geometria . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
4.4.1 Descrizione del sistema oscillante . . . . . . . . . . . . 39
4.4.2 Dimensionamento della massa centrale . . . . . . . . . 40
1
2 INDICE
4.5 Progettazione delle molle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
4.5.1 Processo di ottimizzazione . . . . . . . . . . . . . . . . 42
4.5.2 Verica della resistenza meccanica . . . . . . . . . . . . 43
4.6 Caratterizzazione meccanica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
4.6.1 Rigidezze equivalenti . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
4.7 Verica meccanica in condizioni di risonanza . . . . . . . . . . 46
5 Calcolo della capacit`a 49
5.1 Introduzione . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
5.2 Calcolo teorico della capacit`a . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
5.3 Calcolo numerico della capacit`a . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
6 Descrizione matematica e implementazione del modello Si-
mulink 53
6.1 Introduzione . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
6.2 Sistema di equazioni . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
6.3 Simulazione del sistema in Matlab (simulink) . . . . . . . . . . 57
6.4 Parametri del sistema . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
6.4.1 Parte meccanica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
6.4.2 Parte elettrica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
6.5 Descrizione del modello in Simulink . . . . . . . . . . . . . . . 65
6.5.1 Blocco 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
6.5.2 Blocco 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
6.5.3 Blocco 3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
6.5.4 Blocco 4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
6.5.5 Blocco 5 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
6.5.6 Blocco 6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
6.6 Regolazione del segnale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
6.6.1 Considerazioni teoriche . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
6.6.2 Regolazione del segnale proveniente dal MEMS . . . . 72
6.7 Espressione della corrente media . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
7 Simulazione di funzionamento 75
7.1 Risultati della simulazione e discussione . . . . . . . . . . . . . 75
7.1.1 Simulazione 1: eccitazione in condizione di risonanza . 76
7.1.2 Simulazione 2: eccitazione ad alta frequenza . . . . . . 78
7.2 Calcolo della potenza prodotta . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
INDICE 3
8 Applicazioni 83
8.1 Introduzione . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83
8.2 Applicazione ad un orologio autoricaricabile . . . . . . . . . . 83
8.3 Simulazione di funzionamento . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84
8.4 Calcolo della potenza prodotta . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
8.5 Prestazioni del dispositivo . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
9 Conclusioni 89
Capitolo 1
Introduzione
1.1 Il problema del Power harvesting
Energy o Power harvesting `e il termine inglese che sta ad indicare il processo
tramite il quale si ricava energia a partire da sorgenti di qualsiasi tipo (ad
esempio, energia termica, energia cinetica, energia chimica, energia potenziale
o solare) che la disperdono nellambiente.
Negli ultimi anni si `e assistito ad una notevole espansione nellutilizzo di
microdispositivi a basso consumo, quali per esempio sensori di temperatu-
ra, di pressione o chimici per linquinamento. Inoltre, tra questi, vi sono gli
innumerevoli rilevatori meteorologici che hanno il compito di monitorare le
condizioni atmosferiche nei pi` u disparati ed isolati angoli del pianeta. Da
qui lesigenza di avere un costante approviggionamento di energia per tali di-
spositivi senza avere la necessit` a di un collegamento diretto alla rete elettrica.
Tipicamente i dispositivi di power hardversting forniscono una potenza
molto piccola, ma lenergia prelevata `e quella liberamente disponibile come
energia di fondo nellambiente in cui si trova lapparecchio. Per esempio, `e
possibile sfruttare il gradiente di temperatura presente in particolari ambienti
o lenergia elettromagnetica proveniente dalle comunicazioni radio televesive.
Il basso costo di realizzazione e le dimensioni ridotte hanno attirato linte-
resse del mondo civile e militare che si sono impegnati nella ricerca di sistemi
sempre pi` u economici e performanti.
5
6 CAPITOLO 1. INTRODUZIONE
Come verr` a discusso in seguito questo lavoro ha lo scopo di ottenere ener-
gia elettrica dallenergia meccanica presente nellambiente. Questa pu`o pro-
venire dal moto ondoso nel caso di una boa di rilevazione o dalle oscillazioni di
una struttura sotto lazione di venti o carichi esterni. A tal scopo si espongo-
no brevemente, a titolo di esempio, alcuni dei metodi pi` u comunemente usati
in questambito di ricerca con riferimento agli articoli citati per uno studio
pi` u approfondito.
Per la commutazione di energia cinetica in energia elettrica possono essere
impiegati diversi meccaniscmi di conversione che si basano su fenomeni e
propriet` a sici quali la piezoelettricit`a, elettrostatica e lelettromagnetismo.
I sistemi di trasduzione piezoelettrici sfruttano le propriet`a piezoelettriche
di alcuni materiali, ad esempio ceramiche, per convertire energia meccanica
in energia elettrica.
Un esempio di sistema piezoelettrico energy harvesting proposto da Ca-
valier et al si basa su leetto di impatti meccanici che agiscono su dei piatti
piezoelettrici (PZT) attraverso il package di nichel: gli impatti agiscono sul-
lesterno del box di nichel e le vibrazioni vengono trasmesse agli elementi
piezoeletttrici. Un approfondimento su questo lavoro, eettuato da Xu et al
ha comparato lecenza di uno stress impulsivo, impatto, contro quello di un
carico a compressione applicato lentamente sempre al piezoelettrico ricavando
che questultimo produce pi` u energia rispetto allimpatto sebbene il voltaggio
applicato sia lo stesso.
Recentemente luso di dispositivi piezoelettrici come sistemi power human-
wearable `e largamente studiato nonostante il movimento umano sia caratte-
rizzato da movimenti con grande ampiezza a basse frequenza comportando in
tal modo dicolt`a nella progettazione di un dispositivo risonante in miniatu-
ra che operi sugli esseri umani.
Un altro dei metodi pi` u ecaci per lenergy harvesting `e quello di produrre
induzione elettromagnetica mediante magneti permanenti,una bobina e un
cantilever risonante.
Il dispositivo descritto da Williams et al e mostrato in gura 1.1 consiste
in una massa sismica m e una molla k.
1.1. IL PROBLEMA DEL POWER HARVESTING 7
Figura 1.1: Schema dispositivo proposto da Wiliams
Quando il sistema `e sottoposto a vibrazioni la massa oscilla in modo tale
da generare un movimento relativo tra essa stessa e lalloggiamento: questo
spostamento relativo pu` o attivare il trasduttore elettromagnetico e generare
cos` energia elettrica.
Il lavoro svolto sfrutta come processo di energy harvesting la conversione
di energia da cinetica ad elettrostatica e consiste in una struttura a capacit` a
variabile guidata da vibrazioni meccaniche e oscilla fra un valore massimo e
minimo della capacit`a come verr`a spiegato dettagliatamente nel seguito.
Lo studio eettuato scaturisce dallanalisi del progetto presentato nel bre-
vetto ricercato su Espacenet, un servizio online gratuito per la ricerca di
brevetti.
Tale brevetto presenta linvenzione di una micro-struttura che consiste
essenzialmente in un dispositivo atto alla conversione di energia ovvero di
energia meccanica in energia elettrica.
Nel dettaglio questo lavoro presenta un apparecchio che converte energia
cinetica in energia elettrostatica, che fa parte della tipologia dei dispositivi
8 CAPITOLO 1. INTRODUZIONE
Figura 1.2: Brevetto
noti come energy scavengers, e dei metodi adottati per la progettazione e
realizzazione di questo.
Si evince, dal brevetto che la realizzazione di questo dispostivo, ha lo sco-
po di voler sfruttare ed immagazzinare energia proveniente dallesterno per
utilizzarla come alternativa alle batterie che, a causa della necessit`a tecnologi-
ca di una sempre pi` u spinta diminuzione delle dimensioni dei sensori wireless,
sono soggette ad una consistente diminuzione della densit` a di immagazina-
mento dellenergia.
Tenendo come linea guida il lavoro presentato nel brevetto, a seguito di
uno studio e unanalisi approfonditi `e stata apportata una modica al progetto
nale che verr` a esposta e trattata dettagliatamente nei capitoli successivi.
1.2 Obiettivi del lavoro
Le problematiche e le potenzialit` a arontate nella sezione precedente ci hanno
spinto ad arontare lo studio di un particolare dispositivo focalizzando la
1.3. OUTLINES 9
nostra attenzione sulla progettazione e la simulazione del suo funzionamento.
In particolare, vengono di seguito esposti gli obiettivi raggiunti da tale lavoro:
Individuazione e progettazione del dispositivo MEMS Il com-
pito di trasformare lenergia meccanica in elettrica `e stato adato ad
un MEMS. Il dispositivo studiato prende spunto da quello esposto nel
brevetto presentato nella sezione precedente. Particolare attenzione `e
stata riservata al dimensionamento dei singoli componenti (molle, mas-
sa, substrato..) che ci ha portato ad individuare la geometria ottimale
ai nostri scopi.
Tali analisi, eettuate tramite simulazioni agli elementi niti, ci ha
permesso inoltre di calcolare la capacit`a complessiva dellapparato.
Integrazione del MEMS in un circuito di elaborazione Il segnale
prodotto dal MEMS vero e proprio `e naturalmete dipendente dai mo-
ti esterni spesso non costanti nel tempo ed irregolari. Inoltre, data la
necessit` a di guidare la carica e la scarica del condensatore `e stato ne-
cessario integrare il MEMS in un particolare circuito elettronico.
Lobiettivo di alimentare diversi tipi di circuiti digitali, ci ha portato a
considerare lintegrazione di una batteria nellapparato nale. E stato
individuato quindi un particolare circuito che tiene conto della necessit` a
di regolare il segnale al ne di ricaricare il generatore.
Studio delle applicazioni In questo lavoro viene presentata una pos-
sibile applicazione del dispositivo studiato. In particolare vengono ef-
fettuate delle simulazioni di funzionamento. I dati delle forzanti esterne
sono stati direttamente misurati in situazioni reali ed `e stata provata la
fattibilit` a del progetto.
1.3 Outlines
Il Capitolo 2 si occupa della descrizione dellintero dispositivo evidenzian-
done i principi di funzionamento. Viene descritto a grandi linee lo schema
circuitale dellapparato evidenziando le interconnessioni tra le diverse parti.
10 CAPITOLO 1. INTRODUZIONE
Oltre allo schema generale, viene denito il layout dellapparecchio con la
disposizione del MEMs, del generatore e dei collegamenti circuitali.
Il Capitolo 3 focalizza lattenzione sul MEMs e sul suo principio di fun-
zionamento. In questo capitolo vengono esposti in generale i principi sici
che garantiscono le funzionalit` a necessarie richieste dalle applicazioni. Inol-
tre, ogni parte `e descritta nel dettaglio motivando la scelta delle geometrie
adottate e dei materiali impiegati.
Il Capitolo 4 rappresenta una parte importante del lavoro. Esso si con-
centra nella progettazione degli elementi che collegano la massa oscillante alla
struttura esterna. Vengono eettuate analisi agli elementi niti al ne di indi-
viduare la geometria e le dimensioni ottimali per il funzionamento. Vengono
inoltre eettuate prove di resistenza meccanica e sono calcolate le rigidezze
equivalenti che verranno impiegate nei capitolo successivi.
Il Capitolo 5 si occupa del calcolo della capacit` a. Esso descrive il pro-
blema da un punto di vista teorico mentre ada il calcolo eettivo ad una
simulazione agli elementi niti. In questo capitolo, inoltre, viene ricavata la
funziona che lega la capacit`a con lo spostamento dalla posizione di riposo
della massa. Tale risultato risulter`a prezioso nelle analisi successive.
Il Capitolo 6 tratta la modellazione matematica del sistema e la realiz-
zazione di un modello risolutivo. Seguendo il formalismo lagrangiano `e stato
individuato un sistema di equazioni che, risolto, ci fornisce levoluzione nel
tempo delle variabili utilizzate. Nel capitolo `e inoltre esposto, nel dettaglio,
il modello simulink implementato con una descrizione dettagliata dei diversi
blocchi utilizzati.
Il Capitolo 7 descrive i risultati delle simulazioni. In particolare il si-
stema `e stato simulato in presenza di diverse forzanti armoniche a diverse
frequenze. Sono stati riportati gli andamenti delle variabili fondamentali e
sono state evidenziate le dierenze per frequenze di eccitazione diverse.
Il Capitolo 8 propone alcune possibili applicazioni e focalizza lattenzio-
ne sulla realizzazione di un orologio automatico. La forzante esterna `e stata
1.3. OUTLINES 11
misurata in condizioni reali, mentre i dati ottenuti sono riferiti al consumo di
un normale orologio al quarzo.
Il Capitolo 9 presenta le conclusioni del lavoro e i possibili sviluppi futuri
di tale ricerca.
Capitolo 2
Descrizione generale del
dispositivo
2.1 Introduzione
Come esposto nel capitolo precedente il dispositivo ha lobiettivo di recupe-
rare lenergia meccanica presente nellambiente circostante e trasformarla in
energia elettrica utilizzabile dai pi` u svariati dispositivi. In questo lavoro si
propone una particolare architettura nella quale un condensatore a capacit`a
variabile `e integrato in un apposito circuito elettronico. Sar` a obiettivo di
questo capitolo illustrare il funzionamento dello schema proposto giustican-
do qualitativamente la presenza dei componenti introdotti. Si rimanda alle
sezioni successive lo studio pi` u approfondito di ogni singola parte.
2.2 Schema circuitale
Lo scopo del circuito elettronico proposto `e quello di fornire in un uscita un
segnale costante tale da poter essere utilizzato dalla maggior parte dei dispo-
sitivi analogici e digitali. Per fare ci`o si `e pensato di utilizzare il MEMS non
come unit` a indipendente ma integrata mediante un circuito elettronico con
un generatore di tensione indipendente.
La presenza del generatore garantisce la carica iniziale al condensatore
rendendo cos` possibile la produzione di corrente elettrica. Inoltre, applican-
do il carico direttamente su di esso, `e possibile utilizzare una tensione costante
e indipendente dalle condizioni di lavoro. Il MEMS ha quindi lo scopo di ri-
13
14 CAPITOLO 2. DESCRIZIONE GENERALE DEL DISPOSITIVO
caricare il generatore, aumentandone cos` lautonomia.
A tale ne si propone il circuito rappresentato in gura 2.1.
5V
Circuito
Regolatore
MEMS
C
A
R
I
C
O
V
d1
V
d2
V
c V
g
+
+
Figura 2.1: Schema circuitale generale
Riferendosi alla gura precedente si analizzano ora i diversi componenti
presenti. Nel circuito vi sono:
Generatore di tensione Ha lo scopo di fornire carica al condensatore e
di alimentare costantemente il carico
Diodo 1 Consente il passaggio della corrente dal generatore al MEMS
consentendo la carica di questo. Impedisce il passaggio di corrente
nellaltro verso
Diodo 2 Consente il passaggio di corrente dal MEMS al circuito rego-
latore. Si attiva nella fase di scarica del condensatore ed alimenta il
generatore di tensione
Regolatore Ha lo scopo di regolare e rendere il pi` u possibile continuo il
segnale proveniente dal MEMS consentendo cos` una ricarica eciente
del generatore.
MEMS E una capacit` a variabile composta da una massa libera di oscil-
lare in risposta alle sollecitazioni meccaniche provenienti dallesterno.
Tale movimento `e utilizzato per produrre carica ed energia elettrica da
immettere nel circuito
2.3. FUNZIONAMENTO GENERALE 15
Resistenze Hanno lo scopo di modellizzare e descrivere le resistenze
intrinseche delle metallizzazioni e quelle interne ai diodi.
2.3 Funzionamento generale
Il dispositivi si basa sulla conversione di energia meccanica sotto forma di
vibrazioni in energia elettrica. Tale trasformazione avviene allinterno del
MEMS mentre essa viene trasferita al carico mediante lapposito circuito vi-
sto prima. Analizziamo ora nel dettaglio il funzionamento del dispositivo
evidenziando il ruolo svolto dai singoli componenti.
A tal scopo `e possibile scomporre lintero processo in due fasi di funzio-
namento:
Fase di carica In questa fase il MEMS si carica ed assorbe quindi
energia dal generatore di corrente
Fase di scarica Il condensatore si scarica e vi `e produzione di energia
elettrica da parte del MEMS.
2.3.1 Fase di carica
Questa `e la fase caratteristica dei primi istanti di funzionamento. Per brevit` a
di notazione si assuma V
g
la tensione ai capi del generatore mentre V
c
la
tensione ai capi del MEMS. Siano inoltre V
d1
e V
d2
le tensioni ai capi dei
diodi 1 e 2 rispettivamente mentre sia V
t
la tensione di soglia dei due diodi.
Dal circuito proposto in gura si evince che, trascurando in prima istanze le
resistenze interne, si ha che:
V
d1
= V
g
V
c
(2.1)
Inoltre, per ragioni che saranno chiare in seguito `e possibile trascura-
re anche la caduta di tensione ai capi del circuito regolatore cos` da poter
scrivere:
V
d2
= V
c
V
g
(2.2)
Allistante iniziale t
0
la tensione V
c
`e pari a zero da cui per la 2.1 la ten-
sione ai capi del diodo `e proprio pari a V
g
. Essendo questultima una tensione
positiva e superiore alla tensione di soglia V
t
questo risulta essere polarizzato
16 CAPITOLO 2. DESCRIZIONE GENERALE DEL DISPOSITIVO
direttamente e lavora quindi in regione attiva. La corrente scorre quindi dal
generatore al MEMS e la carica si accumula sulle armature. Per la 2.2 invece
il diodo 2 sperimenta una tensione negativa ed `e quindi polarizzato inversa-
mente. Esso lavora in interdizione impedendo al condensatore di scaricarsi
durante la fase di carica.
Tale comportamento `e stato schematizzato dal circuito equivalente rap-
presentato in 2.3 dove il diodo in interdizione `e stato sostituito con un circuito
aperto mentre mentre le resistenze, il regolatore ed il diodo in zona attiva con
un circuito chiuso.
Figura 2.2: Circuito equivalente in fase di carica
2.3.2 Fase di scarica
Durante il funzionamento del dispositivo il condensatore varier`a la carica
accumulata e conseguentemente la tensione ai suoi capi. Ci sar`a quindi un
preciso istante t

in cui la tensione V
c
sar` a maggiore della quantit`a V
g
V
t
e
quindi varr` a la relazione:
V
g
V
c
< V
t
(2.3)
In questo caso riferendosi alla 2.1 il diodo 1 va in interdizione aprendo il
circuito tra il generatore e il MEMS. Al contrario per la 2.2 il diodo 2 viene
polarizzato direttamente e la corrente `e libera di circolare nel regolatore. In
questa fase il generatore di tensione viene ricaricato dal segnale proveniente
dal condensatore ed il dispositivo produce potenza.
Il comportamento prima descritto `e riscontrabile nella gura 2.3 dove viene
rappresentato il circuto equivalente nella fase di scarica
2.4. REALIZZAZIONE DEL DISPOSITIVO 17
Figura 2.3: Circuito equivalente in fase di scarica
2.4 Realizzazione del dispositivo
In questa sezione viene descritto brevemente il layout del dispositivo, eviden-
ziando la congurazione spaziale degli elementi prima descritti nello schema
generale. Larchitettura proposta `e presentata nella gura 2.4.
Figura 2.4: Schema del dispositivo
Il dispositivo MEMS `e in cima alla struttura. Esso `e collegato alla genera-
tore mediante il pakaging esterno ed il circuito presente nello strato sottostan-
te. In detto strato sono realizzate le metallizzazioni necessarie al trasporto di
corrente e alla elaborazione del segnale. Il generatore di tensione, costituito
da una batteria ricaricabile, costituisce lultimo stadio del dispositivo.
Il packaging esterno collega i diversi stadi ed inoltre garantisce il collega-
mento con lesterno. In particolare, sono pensati 2 terminali di uscita. Questi
vengono utilizzati per lapplicazione del componente ad un circuito esterno.
18 CAPITOLO 2. DESCRIZIONE GENERALE DEL DISPOSITIVO
Il polo negativo della batteria pu`o essere considerato come messo a massa.
I diversi collegamenti tra gli stadi sono stati schematizzati in gura 2.5
Figura 2.5: Schema del dispositivo
Passiamo ora a descrivere le metallizzazioni ed il circuito che `e nello stadio
intermedio. Riferendosi alla gura 2.6 si nota che vi sono tre terminali. Il ter-
minale in nero `e il terminale a massa. Il collegamento con questa `e garantito
esternamente dal packaging.
Il terminale in nero `e il terminale a massa. Il collegamento con questa
`e garantito esternamente dal packaging.
Il terminale in verde `e direttamente collegato ad uno dei poli della
batteria. Si ricorda che, anche in questo caso, laccumulatore `e posto a
massa mediante un collegamento esterno
Il terminale in rosso `e collegato al polo positivo del MEMS.
Detto ci` o passiamo a considerare le diverse parti del circuito. Il primo
diodo, connette la batteria al MEMS collegando i rispettivi terminali come
in gura. Il secondo diodo, invece, eettua il collegamento inverso ed `e di-
rettamente connesso alla parte di circuito segnata dal rettangolo tratteggiato.
La sezione contrassegnata rappresenta il regolatore. Lo scopo di ogni
singolo componente verr` a discussa in seguito mentre per il momento ci con-
centriamo sui collegamenti. Il carico `e collegato a massa ed `e in parallelo
2.4. REALIZZAZIONE DEL DISPOSITIVO 19
Figura 2.6: Schema del dispositivo
con un capacit`a. Questo sistema `e connesso al resto del circuito mediante un
nuovo diodo. Il segnale `e prelevato ai capi del carico ed inviato direttamente
alla batteria.
Sar` a mostrato successivamente che, grazie a questo accorgimento, il se-
gnale prelevato sar`a sucientemente costante da alimentare e ricaricare ade-
guatamente la batteria.
Capitolo 3
Descrizione e principio di
funzionamento del MEMS
In questo capitolo si tratter` a nel dettaglio la descrizione e la visualizzazio-
ne delle varie parti componenti il dispositivo attraverso delle immagini delle
diverse viste e sezioni.
x
y
z
Figura 3.1: vista
Dalla gura 3.1 il microdispositivo `e costituito da una massa oscillante di
materiale metallico connessa ad una struttura rigida per mezzo di due molle
21
22
CAPITOLO 3. DESCRIZIONE E PRINCIPIO DI FUNZIONAMENTO DEL
MEMS
applicate a due estremi. Due elettrodi consistenti in array di denti, anchessi
di materiale metallico, sono integrati su una delle facce della massa e sulla
base della struttura rigida rispettivamente, in modo da avere un elettrodo
mobile ed uno sso. La struttura rigida, contenente tutto il dispositivo `e di
materiale isolante.
x"
z"
y"
Figura 3.2: esploso
Laccoppiamento tra le singolo parti `e ben visibile nella gura 3.2 dove
viene riportato lesploso del dispositivo. La presenza dei denti e la loro di-
sposizione sulla massa e il substrato `e descritta dalla vista frontale descritta
rappresentata dalla gura 3.3
x"
z"
Figura 3.3: sezione x-z
Nel dettaglio, successivamente, vengono elencate e mostrate le singole
parti.
3.1 Massa oscillante
Visto il criterio di funzionamento lenergia fornita dal sistema `e proporzionale
alla massa della struttura oscillante, inoltre questa pu` o essere incrementata
3.1. MASSA OSCILLANTE 23
aumentando la massima capacit` a, quindi aumentando la dimensione degli
elettrodi che, come sopra riportato, sono direttamente integrati su una delle
facce della massa. E evidente quindi che massimizzare la massa del sistema
`e unimportante considerazione progettuale.
Con tali propositi, in funzione anche della geometria delle molle e quindi
dello spazio utile,`e stato scelto come forma della massa un parallelepipedo
a sezione rettangolare caratterizzato dallavere due delle tre dimensioni pre-
dominanti (larghezza e lunghezza). Come mostrato nella gura 3.4 su una
delle facce della massa `e ricavato larray di denti metallici essenzialmente
costituita da micro-travi che percorrono la massa per tutta la sua lunghezza.
x"
y"
z"
Figura 3.4: Massa oscillante con elettrodo mobile integrato
Per completezza in gura 3.5 vengono riportate le proiezioni ortogonali
del componente.
z"
y"
x"
y"
Figura 3.5: Viste Massa
24
CAPITOLO 3. DESCRIZIONE E PRINCIPIO DI FUNZIONAMENTO DEL
MEMS
3.2 Molle
Le due molle costituiscono lelemento di connessione tra la massa oscillante
e la struttura rigida del MEMS: sono simmetricamente interposte tra due
estremi della massa e due lati della base della struttura. Saranno chiari
in seguito i criteri adottati per la scelta della geometria delle molle, per il
momento si riporta la forma denitiva a le sue proiezioni nelle gure 3.6 e
3.7.
z"
y"
x"
y"
Figura 3.6: Molla
x"
y"
z"
y"
Figura 3.7: Viste molla
3.3. BASE INFERIORE DELLA STRUTTURA 25
3.3 Base inferiore della struttura
La base inferiore della struttura contenente il dispositivo sar` a realizzata con
materiale isolante e su di essa sar`a integrato larray di micro-travi di materiale
metallico conduttore come in gura 3.8.
z"
y"
x"
y"
z"
Figura 3.8: Base struttura e micro-travi metalliche
3.4 Principio di funzionamento
Nel dispositivo studiato la conversione dellenergia elettrostatica `e basata su
una struttura a capacit` a variabile guidata dalle vibrazioni meccaniche e che
oscilla fra un valore massimo e minimo consentendo la conversione di energia
cinetica di una massa in energia elettrica. Nel microdispositivo il movimento
relativo fra le due parti isolate elettricamente, `e ottenuto mediante due elet-
trodi: un elettrodo mobile ed un elettrodo sso. Ciascun elettrodo ha una
struttura a pettine composta quindi da un array di denti e in questo modo
entrambi gli elettrodi possono essere interdigitati. Lelettrodo mobile `e inte-
grato sulla supercie di una massa vibrante, quindi collegata alla struttura
mediante delle molle, mentre quello sso `e inglobato alla struttura contenente
lintero dispositivo, box.
26
CAPITOLO 3. DESCRIZIONE E PRINCIPIO DI FUNZIONAMENTO DEL
MEMS
Il movimento relativo delle parti, massa vibrante e box comporta la varia-
zione dellarea di overlap dei denti. Lenergia prodotta per ciclo aumenta al-
laumentare del massimo valore della capacit` a ( quindi aumentando la dimen-
sione degli elettrodi) ed `e proporzionale alla massa della struttura oscillante;
pertanto massimizzare la massa del sistema `e una considerazione importante.
La capacit` a del sistema `e una componente fondamentale nel funzionamen-
to del dispositivo. Il suo ruolo sul sistema elettromeccanico totale sar`a chiaro
in seguito, per il momento in questo capitolo ci si limita a calcolarla in condi-
zioni di riposo e durante tutto il funzionamento. In particolare, dapprima la
si analizza mediante lapprossimazione di condensatore a facce piane parallele
per poi ricorrere ad una simulazione agli elementi niti.
Ancora una volta, verr`a utilizzato il software multisico COMSOL a cui
verr` a adata la risoluzione numerica delle equazioni di Maxwell per lelettro-
magnetismo.
3.4.1 Capacit`a variabile e forza elettrostatica agente
sul sistema
Nella Figura 3.9 e` rappresentato un condensatore a capacita` variabile con-
venzionale a piastre piane parallele, in cui larmatura inferiore e` ssa sul
substrato mentre quella superiore e` mobile in quanto sospesa per mezzo di
travi, schematizzate come molle di costante elastica k
m
. A riposo le piastre
si trovano ad una distanza x
0
. Applicando una tensione in continua (V
DC
) la
distanza tra le piastre si riduce a x
0
x.
Schema condensatore variabile generale
3.4. PRINCIPIO DI FUNZIONAMENTO 27
Data larea A delle due piastre e la permettivita` elettrica dellaria E, la
capacita` del condensatore puo` essere calcolata come:
C =
A
x
0
x
(3.1)
A causa dellapplicazione di V
DC
si genera una forza elettrostatica attrat-
tiva F
e
della quale si deve tenere conto nella modellizzazione.
F
e
=
1
2
C
x
V
2
DC
(3.2)
La schematizzazione del dispositivo studiato comprende due condensatori
variabili, uno dei quali diminuisce la propria capacit` a e laltro laumenta, in
funzione dello spostamento dellelettrodo mobile come mostrato in gura.
Variazione delle due capacit`a
Non appena lelettrodo mobile si sposta una capacit` a aumenta e laltra
decresce. I due condensatori C
l
e C
r
sono elettricamente connessi in parallelo
e le capacit` a sono date da:
C
l
= N
h l
d +x
C
r
= N
h l
d x
(3.3)
Le capacit`a indicate in gura sono da considerarsi in parallelo. La distanza
x `e presa dalla posizione di riposo. La dimensione h si riferisce alla distanza
verticale tra denti superiori e inferiori mentre la d `e la distanza orizzonta tra
i denti in condizione di riposo. Seguendo questo semplice schema e sotto le
precedenti approssimazioni `e possibile calcolare la capacit` a come:
La capacit`a totale pu`o essere calcolata come:
C
T
= C
l
+C
l
= N {
1
d +x
+
1
d x
} = N
h
d
_
1
1 +
x
d
+
1
1
x
d
_
(3.4)
28
CAPITOLO 3. DESCRIZIONE E PRINCIPIO DI FUNZIONAMENTO DEL
MEMS
Dallespressione precedente, semplicando ulteriormente si ottiene:
C = N
h
d
2
1 (
x
d
)
2
= C
0
1
1
_
x
d
)
2
(3.5)
In questo caso la forza elettrostatica che si genera e che si esercita sulla
massa pu`o essere derivata dallenergia presente nel condensatore:
U
l
=
1
2
q
2
l
C
l
=
1
2
Q
2
C
l
(C
l
+C
r
)
2
U
r
=
1
2
q
2
r
C
r
=
1
2
Q
2
C
r
(C
l
+C
r
)
2
(3.6)
U =
1
2
Q
2
1
C
r
+C
l
=
1
4
d
A
Q
2
(1
_
x
d
_
2
_
(3.7)
Dove q
r
e q
l
denotano la carica immagazzinata nella sezione destra e sini-
stra rispettivamente del condensatore variabile; Q `e la carica totale. La forza
elettrostatica pu`o essere ricavata eettuando la derivata spaziale dellenergia.
E da sottolinare che le forze che agiscono in entrambi i condensatori agisco-
no in direzioni opposte pertanto i due condensatori possono essere considerati
indipendenti.
Dallequazioni 1.3 e 1.6 si ricava la forza elettrostatica:
F
ES
=
U
x
=
1
2
Q
2
A
x
d
(3.8)
Tale forza, dipendente dallo spostamento, viene modellizzata con una
molla elettrostatica aggiuntiva.
La congurazione meccanica `e descritta con un sistema massa-molla-smorzatore
come mostrato in gura:
Modello del sistema
un corpo di massa m `e sospeso con una molla di rigidezza k ssata ad
una struttura. Se questa `e soggetta ad uno spostamento in direzione y la
3.4. PRINCIPIO DI FUNZIONAMENTO 29
massa sperimenta uno spostamento relativo in direzione x. La corrispondente
equazione del moto `e data da :
m x +F
ES
+F
m
+kx = m y (3.9)
Dove F
ES
e F
m
sono le forze elettrostatica e di smorzamento rispetti-
vamente. La descrizione dettagliata delle equazioni del moto, lapproccio e
la modellizzazione matematici adottati verr` a trattata approfonditamente del
capitolo
Capitolo 4
Progettazione delle molle
Le molle rappresentano l elemento pi` u importante del dispositivo in termini
di scelta di geometrie e dimensioni, in quanto inuiscono signicativamen-
te sulla rigidezza del sistema. Dunque dalle molle dipender` a l entit` a degli
spostamenti dellelemento massivo nelle diverse direzioni. Il funzionamento
del dispositivo `e correlato allo spostamento nella direzione parallela al pia-
no, al quale `e associata la variazione di capacit` a del MEMS; tuttavia questo
rappresenta un caso ideale, perche sono inevitabili spostamenti nelle altre 2
direzioni. Questa prima condizione di funzionamento porta ad adottare una
geometria che promuova gli spostamenti nelle direzione voluta e limiti il pi` u
possibile tutti gli altri.
L altro aspetto di cui tener conto `e sicuramente la frequenza di risonanza
del sistema relativa al modo di vibrazione nella direzione del piano. Si vuole
che tale frequenza sia la pi` u vicina possibile a quella associata alle accelera-
zioni esterne, opportunamente misurate attraverso un dispositivo munito di
accelerometro. Tali accelerazioni sono associate al tipo di applicazione del
dispositivo che si sta progettando. Inoltre `e importante che la prima frequen-
za di risonanza del sistema sia proprio quella voluta, e quindi la pi` u bassa, e
che sia disaccoppiata dalle altre in modo che il range di frequenze nel quale
lavora il sistema comprenda solamente questa prima.
Tuttavia questo secondo aspetto sulla frequenza di risonanza non `e disac-
coppiato dal primo in quanto la scelta della geometria inuisce anche sulle
frequenze di risonanza. Infatti si ricordi l espressione della frequenza di riso-
nanza per un sistema monodimensionale, essa `e pari a
2
n
=
k
m
; si osservi la
31
32 CAPITOLO 4. PROGETTAZIONE DELLE MOLLE
frequenza di risonanza `e direttamente proporzionale alla rigidezza del siste-
ma. Dunque la ricerca di una rigidezza bassa nella direzione del piano e di
una frequenza di risonanza associata al modo di vibrare nella stessa direzione,
indirizzeranno alla scelta di una geometria ottimale delle molle.
Le geometrie sono state inizialmente realizzate attraverso il software di
modellazione solida SolidWorks 2010. In seguito sono state analizzate attra-
verso software di simulazione agli elementi niti Comsol 4.3a. In riferimento
al primo prerequisito delle molle, `e stata eettuata un analisi statica, che
consiste nellimporre dei carichi arbitrari sul sistema. Tuttavia per semplicit`a
`e stato disaccoppiato il sistema in 3 sottosistemi 1D, caratterizzati da un solo
grado di libert` a che corrisponde agli spostamenti nelle 3 direzioni.
Mentre per il secondo prerequisito sulla frequenza di risonanza `e stata
eettuata un analisi modale che ha permesso di ottenere le frequenze di ri-
sonanza riferite ai primi 6 modi di vibrare del sistema. Dai dati ottenuti si
potr` a osservare che eettivamente la frequenza di risonanza associata al modo
di vibrare voluta sar` a proprio la pi` u bassa.
Una volta scelta la geometria opportuna, `e stato eettuato un terzo stu-
dio, questa volta parametrico, nel quale sono state variate le dimensioni degli
spessori delle molle in modo da ottimizzare le due precedenti caratteristi-
che di bassa rigidezza nella direzione del piano. In particolare si `e cercato
anche di disaccoppiare la prima frequenza di risonanza, che `e quella utile
al funzionamento del dispositivo, dalle altre, per le ragioni precedentemente
espresse.
4.1 Scelta della geometria
4.1.1 Considerazioni preliminari
Per quanto concerne la scelta della geometria delle due molle, connesse ad
un estremo alla massa vibrante e ssate allaltro estremo alla struttura con-
tenente lintero sistema, si `e cercato di trovare lottimo per quel che riguarda
la rigidezza e, conseguentemente, la frequenza di risonanza del sistema.
4.1. SCELTA DELLA GEOMETRIA 33
Un eciente funzionamento del MEMS `e garantito sfruttando la variazio-
ne della capacit` a del condensatore ovvero il massimo dello spostamento della
massa nella direzione prevista per la copertura della distanza di interdigita-
zione dei denti di cui sono costituiti gli elettrodi . Si predilige ottenere una
minore rigidezza k delle molle nella direzione di spostamento (direzione x),
piuttosto che nelle altre direzioni y e z dove, contrariamente, saranno voluta-
mente ricercati valori maggiori per fattori di resistenza e sicurezza del sistema.
Lesigenza di avere frequenze di risonanza comparabili con quelle di ec-
citazione `e in contrasto con la naturale propensione di un sistema micro ad
avere modi naturali di vibrare caratterizzati da altissime frequenze di riso-
nanza. Per questo motivo `e necessaria la progettazione di strutture complesse
che, pur mantenendo dimensioni ridotte, riescano a garantire basse frequenze
proprie.
Per constatare ci` o si consideri lesempio seguente: Siano k
1
e k
2
le rigidezze
di due molle vincolate come in gura 4.1.1 `e immediato notare le essibilit`a
(1/k) si sommano:
Poiche sono in serie, le forze applicate agli estremi delle singole molle
sono uguali alle forza agli estremi del complesso. Altres` lo spostamento dei
capi della molla equivalente `e dato dalla somma degli spostamenti dei singoli
componenti.
Equilibrio: F = F
1
= F
2
Congruenza: x = x
1
+x
2
Poiche x =
F
k
, si ha:
F
T
k
T
= x = x
1
+x
2
=
F
1
k
1
+
F
2
k
2
= F
_
1
k
1
+
1
k
2
_
k
eq
=
k
1
k
2
k
1
+k
2
(4.1)
34 CAPITOLO 4. PROGETTAZIONE DELLE MOLLE
quindi in generale si ha k
eq
=
k
1
k
2
...k
n
k
1
+k
2
+...+k
n
.
Da quanto detto, ponendo in serie pi` u elementi di trave `e possibile variare
e diminuire la rigidezza nelle direzioni desiderate.
Poiche la frequenza di risonanza del sistema
r
, `e strettamente connes-
sa alla rigidezza tramite la relazione
_

r
=
_
k/M
_
si evince che essa `e un
parametro importante per modicare le diverse frequenze di risonanza di un
sistema meccanico continuo.
Seguendo questo spirito sar` a obiettivo della prossima sezione individua-
re la geometria ottimale che garantisca basse frequenze di risonanza, modi
di vibrare disaccoppiati e una suciente resistenza meccanica necessaria al
funzionamento del dispositivo in condizioni di sicurezza.
4.2 Individuazione della geometria
4.2.1 Premessa
Nellindividuazione della geometria ottimale da utilizzare si `e pensato di si-
mulare il comportamento di pi` u forme, calcolando per ognuna di esse modi
di vibrare e frequenze di risonanza.
Per rendere possibile il confronto le diverse molle provate dovevano avere
dimensioni comparabili e rispettare alcuni requisiti comuni. I criteri adottati
in questo lavoro prendono spunto dal rispetto delle dimensioni totali del di-
spositivo e da alcune scelte preliminari.
Si possono cos` individuare alcuni parametri fondamentali che ogni geo-
metria proposta deve rispettare. Il primo `e la distanza tra la sezione ssa e
la sezione mobile. La prima `e in contatto con la struttura esterna mentre la
seconda `e solidale alla massa oscillante.
In questo studio la distanza tra le due `e ssata a 3 mm. Altro parametro
importante `e costituito dalla lunghezza in direzione longitudinale. In questo
caso la scelta `e caduta sulla lunghezza di 10 mm, ossia la lunghezza di tutto
il dispositivo.
4.3. STUDIO DELLE GEOMETRIE 35
Per ultimo si `e scelto uno spessore per le diverse strutture pari a 500
m. Questo parametro verr`a modicato in seguito, al ne di ottenere le
caratteristiche richieste. In gura sono rappresentate due geometrie diverse
che rispettano entrambe i requisiti richiesti.
3 mm
10 mm
3 mm
10 mm
domenica 17 febbraio 13
Figura 4.1: Due molle dalle caratteristiche diverse ma che rispettano i requisiti
comuni
Nonostante questo procedimento non sia strettamente rigoroso, `e stato
adottato per avere unindicazione sulla geometria da utilizzare cos` da evitare
grossolani errori di progettazione. Nonostante ci`o, non `e escluso che esistano
geometrie migliori di quelle proposte ma la loro individuazione esula dagli
scopi di questo lavoro.
4.3 Studio delle geometrie
Forti delle considerazioni precedenti sono state realizzate al CAD diverse geo-
metrie che rispettano i requisiti precedenti. Il loro comportamento `e stato
analizzato mediante una simulazione agli elementi niti realizzata tramite il
software multisico COMSOL.
36 CAPITOLO 4. PROGETTAZIONE DELLE MOLLE
I risultati prevedevano lindividuazione dei primi 6 modi di vibrare ed
il calcolo delle rispettive frequenze di risonanza. Per semplicit` a vengono ri-
portati esclusivamente i dati relativi alle prime due frequenze di risonanza,
mentre si ritengono poco signicati ai nostri scopi i modi successivi.
Procediamo quindi con lo studio della prima geometria analizzata. Le sue
caratteristiche ed i risultati della simulazioni sono riassunti in gura 4.2
Geometria I MODO f II MODO f
2.8
KHz
4.3
KHz
Figura 4.2: Dati relativi alla 1

geometria
Questo primo tentativo `e caratterizzato da un ridotto numero di tratti di
trave, e ci` o comporta una elevate rigidit`a della struttura. Si sono misurate le
frequenze di 2.8 KHz e 4.3 KHz relative al primo ed al secondo modo. Una
ulteriore considerazione `e che i modi esposti non corrispondono con quello
sperato e ci` o non `e compatibile con il funzionamento del dispositivo descritto
nel capitolo 1.
Si procede quindi nello studio di una seconda geometria e i risultati della
simulazione sono riportati in gura 4.3
Lalternativa proposta `e una variante della prima forma prima indicata.
In questo caso uno dei tratti della molla `e posto in obliquo rispetto agli altri.
Come riportato si ottengono altissime frequenze di risonanza (7.7 e 7.9 KHz)
e modi di vibrare non consoni al funzionamento del dispositivo.
Lesigenza di ottenere frequenze pi` u basse porta ad introdurre geometrie
pi` u complesse che tendono ad aumentare i tratti di trave presenti. A tal ne
si propone la geometria descritta dalla gura 4.4.
4.3. STUDIO DELLE GEOMETRIE 37
Geometria I MODO f II MODO f
7.7
KHz
7.8
KHz
Figura 4.3: Dati relativi alla 2

geometria
Geometria I Modo f II Modo f
1.7
KHz
1.9
KHz
Figura 4.4: Dati relativi alla 3

geometria
La presenza di un numero superiore di tratti conferisce alla struttura una
rigidezza minore. Per questo motivo le frequenze proprie della struttura sono
molto pi` u basse di quelle osservate precedentemente. Inoltre il primo modo
corrisponde esattamente a quello auspicato. Lunico inconveniente `e costitui-
to dalla vicinanza in termini di frequenza del secondo modo di vibrare che
potrebbe causare notevoli problemi in fase di funzionamento.
Lultima forma proposta `e una variante della geometria precedente dove i
tratti di trave verticali sono stati sostituiti da tratti obliqui. Questo ha per-
messo di avere tratti orizzontali pi` u lunghi senza modicare i vincoli descritti
prima. I dati ottenuti sono riportati in gura 4.5
Nonostante si siano ottenute frequenze relativamente basse i modi esposti
non incoraggiano ladozione di questa geometria.
38 CAPITOLO 4. PROGETTAZIONE DELLE MOLLE
Geometria I Modo f II Modo f
2.6
KHz
3.4
KHz
Figura 4.5: Dati relativi alla 4

geometria
La scelta della geometria da utilizzare ricade quindi sulla terza geometria
proposta che presenta le pi` u basse frequenze di risonanza. Inoltre si riconosce,
nel suo primo modo, esattamente il modo di funzionamento richiesto.
Si ripete ancora una volta che il metodo utilizzato in questa analisi non
ha lo scopo di individuare la migliore geometria possibile. Numerosi sono, in-
fatti, i limiti di tale processo primo fra tutti laver considerato ogni elemento
come distinto e non come una parte di un sistema oscillante pi` u complesso.
Tuttavia le indicazioni provenienti da tale analisi ci hanno permesso di otte-
nere un componente che soddisfa le necessit`a progettuali ed `e quindi risultata
utili ai ni di questo lavoro.
Dai dati presentati precedentemente si sono evidenziate frequenze proprie
nellordine dei KHz. Queste sono molto lontane dalla frequenze di eccitazioni
previste dalle applicazioni e ci`o si tradurrebbe in una scarsa ecienza del
dispositivo.
Sar` a scopo del prossimo paragrafo ottimizzare le dimensioni della geome-
tria proposta, ponendo particolare attenzione sulla resistenza meccanica ed il
rispetto dei vincoli di progetto.
4.4. OTTIMIZZAZIONE DELLA GEOMETRIA 39
4.4 Ottimizzazione della geometria
Lobiettivo di questa sezione sar` a quello di ottimizzare le dimensioni caratte-
ristiche dei componenti che costituiscono il sistema oscillante individuando il
miglior compromesso tra minima frequenza di risonanza e resistenza mecca-
nica richiesta.
Dalle considerazioni precedenti, si esaminer` a la geometria 3 descritta pre-
cedentemente. Inoltre, in questo caso, verr` a simulato lintero sistema oscil-
lante e sar`a progettato lelemento massivo centrale al ne di massimizzare gli
sforzi verso frequenze pi` u basse.
Lanalisi, ancora una volta, verr` a eettuata in COMSOl utilizzando lap-
posito tool di simulazione parametrica. La geometria `e stata riprodotta di-
rettamente sul programma permettendo cos` nella fase di calcolo la modica
delle dimensioni.
Inne si proceder` a ad una verica di resistenza meccanica per assicurare
al dispositivo il funzionamento con ampi margini di sicurezza
4.4.1 Descrizione del sistema oscillante
Il sistema oscillante `e costituito da due molle e una massa centrale. Le mol-
le, descritte dettagliatamente nella sezione precedente, hanno le due sezioni
pi` u esterne vincolate alla struttura esterna del MEMS. La massa `e libera di
oscillare in tutte le direzioni come descritto dalla gura 4.7
Al ne di ottimizzare i parametri di progetto si procede col dimensionare i
singoli componenti. La parametrizzazione delle dimensioni `e stata eettuata
40 CAPITOLO 4. PROGETTAZIONE DELLE MOLLE
esclusivamente per le molle, mentre sono state adottate dimensioni sse per
la massa.
4.4.2 Dimensionamento della massa centrale
Le dimensioni della massa centrale inuenzano il valore della frequenza di
risonanza. Essa dipende fortemente dal peso del componente e, in generale,
diminuisce con laumentare di questo.
I parametri presi in considerazione in questa fase sono stati il materiale
utilizzato e le sue dimensioni.
Per quanto riguarda il materiale `e stato scelto il rame per molteplici ra-
gioni. E un ottimo conduttore elettrico e presenta una densit`a piuttosto
elevata 9.2g/cm
3
. Inoltre `e un materiale ampiamente utilizzato nelle tecniche
di litograa e ci` o facilita leventuale produzione del dispositivo.
Per quanto riguarda le dimensioni, in questo caso, sono state prese in
modo da massimizzare il volume, al ne di avere la maggiore massa possibile.
Cos` si `e optato per una lunghezza totale di 8 mm mentre uno spessore di 1
mm. Per quanto riguarda la larghezza la massa occupa tutta la dimensione
utile del dispositivo pari a 10 mm.
Figura 4.6: Proiezione dellelemento centrale
4.5. PROGETTAZIONE DELLE MOLLE 41
4.5 Progettazione delle molle
Nella progettazione delle molle `e stata utilizzata lanalisi parametrica. Ripor-
tiamo in gura 4.7 le proiezioni ortogonali del componente in esame.
Figura 4.7: Proiezioni ortogonali del componente molla
In questo lavoro si `e scelto di variare lo spessore del componente lasciando
sse le altre dimensioni. Questultime sono quelle imposte nella sezione pre-
cedente. Le ragioni di tale scelta saranno chiare successivamente, mentre per
il momento si pu`o dire che ci` o aiuta ad avere rigidezze diverse nelle diverse
direzioni di carico.
Per quanto riguarda il materiale utilizzato, la scelta `e caduta sullallumi-
nio. In questo caso il contatto elettrico `e garantito dalla sua buona condu-
cibilit` a elettrica mentre il suo basso modulo elastico diminuisce la rigidezza
complessiva del sistema oscillante. Seguendo quanto detto si procede con
lanalisi parametrica e si ada a questultima lindividuazione dello spessore
migliore.
42 CAPITOLO 4. PROGETTAZIONE DELLE MOLLE
4.5.1 Processo di ottimizzazione
Lindividuazione dello spessore pi` u adatto ai nostri scopi deve tener conto di
pi` u aspetti spesso contrastanti. Si procede quindi nel calcolo delle frequenze
di risonanza relative ai primi due modi di vibrare che sono rappresentati in
gura 4.8.
a b
Figura 4.8: In gura sono rappresenta il primo modo a) e il secondo modo b)
I dati relativi a questo primo studio sono riportati in gura 4.9. Nello
studio parametrico si `e partiti da uno spessore di 0.02 mm no ad arrivare
allo spessore di 1 mm.
Nel graco si nota come la frequenza di risonanza, rispettiva ai due modi
analizzati, cresca in funzione dello spessore. Inoltre il primo ed il secondo
modo si allontanano con laumentare dello spessore. Lo studio procede con la
verica della resistenza meccanica del componente in funzione dello spessore.
4.5. PROGETTAZIONE DELLE MOLLE 43
Spessore - mm
Stress
Von
Mises
MPa
Figura 4.9: Frequenza di risonanza in funzione dello spessore
4.5.2 Verica della resistenza meccanica
In questo paragrafo viene vericata la resistenza meccanica in condizioni di
lavoro. I calcoli sono stati eettuati considerando la massima deformazione
che si ottiene in condizioni di risonanza. I risultati in funzione dello spessore
sono riportati in gura 4.10 . Come indicato tutti i dati si riferiscono alle
sezioni pi` u sollecitate.
Da i calcoli eettuati si ottengono sollecitazioni massime nellordine delle
decine di mega pascal. Esse sono molto lontane dal limite di snervamento
dellalluminio pari a 400MPa. Ci` o garantisce il corretto funzionamento del
dispositivo con ampi margini di sicurezza.
Dagli studi eettuati si individua nello spessore di 30 micron lo spesso-
re che verr`a utilizzato in fase progettuale. Nelle sezioni successive si eet-
tueranno studi approfonditi sulle caratteristiche meccaniche ed elettriche del
dispositivo riferendosi allo spessore prima indicato.
44 CAPITOLO 4. PROGETTAZIONE DELLE MOLLE
Figura 4.10: Stress di Von Mises in funzione dello spessore
4.6 Caratterizzazione meccanica
Un volta scelto lo spessore da utilizzare si eettuano tutte le simulazioni ne-
cessarie a caratterizzare il dispositivo da un punto di vista meccanico. Questo
procedimento, oltre a fornire dati utili sulle rigidezze e la resistenza allo stress,
sar` a indispensabile al ne di ricavare una serie di parametri concentrati da
utilizzare nelle successive simulazioni di funzionamento.
In questa sezione verranno vericate le condizioni di lavoro del dispositivo
e risulta quindi utile descrivere brevemente le forze in gioco. Enunciamo qui
le principali:
Forze di massa: La massa del dispositivo `e concentrata soprattutto
nellelemento centrale oscillante. Si trascura, quindi, la massa delle
molle. Dal dimensionamento precedente lelemento ha un volume pari
a 24 10
9
che moltiplicato per la densit`a del rame conferisce al pezzo
una massa di 0.22 g.
Forze elettriche Queste si manifestano a causa dellinstaurarsi di un
campo elettrico tra i denti presenti nella massa. Queste, di pi` u dicile
quanticazione, dipendono fortemente dalle condizioni di funzionamen-
4.6. CARATTERIZZAZIONE MECCANICA 45
to. Il loro valore `e stato calcolato nelle simulazioni successive e, quando
possibile, non vengono prese in considerazione in questanalisi.
Detto ci`o si analizzano le grandezze meccaniche a riposo con particolare
attenzione alle rigidezze equivalenti nelle diverse direzioni.
4.6.1 Rigidezze equivalenti
Le rigidezze equivalenti lungo i tre assi coordinati sono calcolate a partire da
una simulazione agli elementi niti. Operativamente si impone un carico test
di 1 mN applicato su una sezione della massa centrale. La misura dello spo-
stamento relativo di tale sezione permette il calcolo della rigidezza utilizzando
la semplice relazione k
eq
=
F
x
. Si rilevano quindi le seguenti rigidezze:
Asse x La rigidezza calcolata `e pari a 23 N/m. Risulta ridotta rispetto
alle altre e ci`o testimonia lecacia della geometria proposta. La defor-
mazione della struttura in risposta ad un carico di un mN lungo lasse
x `e descritta in gura 4.11
Figura 4.11: Deformazione lungo x
Asse y La rigidezza lungo lasse y `e stata valutata pari a 158 N/m. Essa
`e molto elevata e rende trascurabile le deformazioni lungo questasse.
Tali deformazioni sono descritte in gura 4.12
Asse z La rigidezza lungo questasse `e stata stimata pari a 100 N/m.
Essa `e intermedia tra le due calcolate precedentemente ma comunque
abbastanza elevata da rendere dicile i movimenti verticali della massa.
La risposta al carico diretto lungo lasse z `e rappresentata in gura 4.13
46 CAPITOLO 4. PROGETTAZIONE DELLE MOLLE
Figura 4.12: Deformazione lungo y
Figura 4.13: Deformazione lungo z
Da queste semplici considerazione si nota come le molle siano in grado
di sostenere il peso della massa senza manifestare deformazioni eccessive. La
deformazione elastica `e limitata lungo gli assi y e z dallelevata rigidezza della
struttura. Come detto pi` u volte per` o, in fase di funzionamento, le condizioni
pi` u critiche corrispondono alle condizioni di risonanza. In questo caso le de-
formazioni sono molto pi` u accentuate ed il componente `e sottoposto a campi
di stress pi` u intensi.
4.7 Verica meccanica in condizioni di riso-
nanza
Come precedentemente analizzato nellanalisi parametrica la verica viene ef-
fettuata calcolando gli stress in corrispondenza delle massime deformazioni.
4.7. VERIFICA MECCANICA IN CONDIZIONI DI RISONANZA 47
A tal scopo si nota che le elevate rigidezze corrispondenti alle direzioni x e y
del carico rendono trascurabili le deformazioni lungo suddetti assi. Cos` si ri-
conoscono, nelle deformazioni lungo lasse x, le condizioni di lavoro pi` u severe.
Tale studio `e stat gi`a eettuato durante lanalisi parametrica. In questo
paragrafo per` o, le deformazioni massime tengono conto anche delle forze di
interazione di tipo elettrico. Si ottengono quindi valori pi` u elevati di stress
e deformazioni e si eettuer` a successivamente lo studio approfondito di tali
forze e la loro inuenza sul funzionamento del dispositivo. In questa sezione
si utilizza lo spostamento massimo della massa che `e misurato pari a 200
m dalla posizione di riposo. Le sezioni pi` u sollecitate sono rappresentate in
gura 4.14 e contraddistinte da un colore rosso acceso (la scala dei colori va
dal blu al rosso).
Figura 4.14: sezioni pi` u sollecitate
I valori di stress di Von Mises rilevati dalla simulazione, corrispondenti allo
spostamento di 200 m, sono pari a 27 MPa. Tali valori, molto contenuti,
garantiscono il funzionamento del dispositivO con ampi marigini di sicurezza.
Capitolo 5
Calcolo della capacit`a
5.1 Introduzione
La capacit` a del sistema `e una componente fondamentale nel funzionamento
del dispositivo. Il suo ruolo sul sistema elettromeccanico totale sar`a chiaro in
seguito, per il momento in questo capitolo ci si limita a calcolarla in condizio-
ni di riposo e durante tutto il funzionamento. In particolare, dapprima la si
analizza mediante lapprossimazione di condensatore a facce piane parallele
per poi ricorrere ad una simulazione agli elementi niti.
Ancora una volta, verr`a utilizzato il software multisico COMSOL a cui
verr` a adata la risoluzione numerica delle equazioni di Maxwell per lelettro-
magnetismo.
5.2 Calcolo teorico della capacit`a
Tale calcolo `e stato esposto in maniera rigorosa nel capitolo 1. Riportiamo
qui per semplicit` a i risultati ottenuti.
Le capacit`a indicate in gura sono da considerarsi in parallelo. La distanza
x `e presa dalla posizione di riposo. La dimensione h si riferisce alla distanza
verticale tra denti superiori e inferiori mentre la d `e la distanza orizzonta tra
i denti in condizione di riposo. Seguendo questo semplice schema e sotto le
precedenti approssimazioni `e possibile calcolare la capacit` a come:
C
tot
= C
l
+C
r
= N
hl
d
2
(1 x/d)
2
= C
0
1
(1 x/d)
2
(5.1)
49
50 CAPITOLO 5. CALCOLO DELLA CAPACIT
`
A
Figura 5.1: Sezione del condensatore
Detto ci` o sostituendo ai parametri le dimensioni del dispositivo ssate nei
paragra precedenti `e possibile calcolare la capacit`a a riposo del condensa-
tore. Inoltre si `e anche in possesso di una funzione che mette in relazione la
capacit` a con lo spostamento della massa.
Lanalisi eettuata per`o presenta diversi limiti. In primo luogo laver tra-
scurato leetto bordo non garantisce risultati realistici. Inoltre in questo
caso si trascurano le capacit` a presenti tra la massa e la metallizzazione sot-
tostante, prendendo in considerazione esclusivamente le capacit`a relative ai
denti. Per superare ci` o si `e eettuata un analisi agli elementi niti argomento
della prossima sezione.
5.3 Calcolo numerico della capacit`a
Per la valutazione della capacit` a si `e utilizzato il tool di simulazione elettro-
magnetica presente in COMSOL 4.3a Il calcolo `e stato eettuato immergendo
il dispositivo in aria ed utilizzando il valore per la costante dielettrica presente
nella libreria del programma. Inoltre sono stati impostati i materiali per la
massa oscillante e i denti sottostanti.
Poiche oltre al valore della capacit` a `e necessario ottenere una funzione
C(x) (funzione che lega la capacit` a alloscillazione della massa) si aveva la
necessit` a di riprodurre la geometria direttamente allinterno del software cos`
da poter operare lanalisi parametrica. La presenza di numerosi denti rendeva
questo processo lungo e dispendioso e cos` si `e optato nella realizzazione di
una sola parte del componente come in gura 5.1.
5.3. CALCOLO NUMERICO DELLA CAPACIT
`
A 51
Figura 5.2: Parte del condensatore
Nella simulazione questa parte `e considerata costante isolata dalle altre.
Tuttavia `e facile notare che essa `e in parallelo con tutte le altre e cos` `e
possibile con buona approssimazione, considerare la capacit` a totale come la
somma di ogni parte presente nel sistema.
Con questo spirito si `e eseguita una simulazione parametrica, variando
la distanza x del sistema dalla posizione centrale di riposo. In gura 5.3 `e
riportato landamento della capacit`a in funzione dello spostamento.
Linterpolazione di tali dati ci dar` a lespressione analitica di tale funzione
e verr` a utilizzata nelle simulazioni di funzionamento successive.
52 CAPITOLO 5. CALCOLO DELLA CAPACIT
`
A
Figura 5.3: Parte del condensatore
Capitolo 6
Descrizione matematica e
implementazione del modello
Simulink
6.1 Introduzione
Nei capitoli precedenti si `e dimensionato il dispositivo MEMS per avere lef-
cienza e la resistenza meccanica necessaria. Si passa quindi alla simulazione
del funzionamento al ne di prevedere il comportamento del sistema nelle
diverse applicazioni. Per fare ci` o `e necessario riferire il comportamento del
dispositivo ad un set di equazioni che siano in grado di riprodurre matemati-
camente landamento delle grandezze siche in gioco.
Come `e noto, lo studio di un sistema elettromeccanico ha come suo pun-
to di partenza lindividuazione di un set di variabili indipendenti, rispetto
alle quali vengono scritte tutte le equazioni. A tal scopo, viene brevemente
riproposto lo schema generale del dispositivo che `e descritto in gura 6.1
In questanalisi si considera il movimento della massa esclusivamente lun-
go lasse x. Gli eetti di oscillazioni dirette lungo gli altri assi sono trascurate.
Questa rappresenta una approssimazione accettabile, considerando i valori di
rigidezza calcolati nei capitoli precedenti. Sotto questipotesi si individua-
no di variabili indipendenti che descrivono le grandezze interne alla capacit` a
variabile. Si prende in considerazione la x(t) spostamento della massa dalla
posizione di riposo e la Q(t) quantit` a di carica accumulata tra le armature
del condensatore.
53
54
CAPITOLO 6. DESCRIZIONE MATEMATICA E IMPLEMENTAZIONE DEL
MODELLO SIMULINK
5V
Circuito
Regolatore
MEMS
C
A
R
I
C
O
V
d1
V
d2
V
c V
g
+
+
I
1
I
2
I
c
Figura 6.1: Schematizzazione sistema in esame
Poich`e la capacit` a del condensatore non `e costante, in generale anche la
tensione ai suoi capi varier` a con il funzionamento. Cos` anche la V
C
(t), tensio-
ne presa rispetto alla massa, rappresenter`a una variabile del problema. Inne,
si scelgono le tre correnti I
1
(t), I
2
(t) e I
c
(t) come altre tra variabili del sistema.
Alla luce di ci`o `e possibile isolare un set di variabili indipendenti cos`
composto:
_

_
x(t)
Q(t)
V
c
(t)
I
1
(t)
I
2
(t)
I
c
(t)
_

_
(6.1)
Tutte le quantit` a proposte sono funzioni del tempo. La loro individuazio-
ne ci permetter` a di simulare il comportamento del dispositivo nelle diverse
situazioni di funzionamento.
6.2 Sistema di equazioni
Avendo una set di 6 variabili indipendenti `e necessario trovare 6 equazioni
per giungere alla chiusura del problema. Si consideri per prima lequazione
6.2. SISTEMA DI EQUAZIONI 55
di evoluzione della massa oscillante. Lapproccio utilizzato `e stato quello
delle equazioni lagrangiane del moto. Seguendo questo metodo, una volta
individuate una o pi` u variabili lagrangiane, la loro evoluzione `e descritta dal
seguente sistema di equazioni dierenziali:
d
dt
_
L
q
k
_

L
q
k
= F
k
(6.2)
Dove le q
k
sono le variabili lagrangiane mentre L `e la Lagrangiana del si-
stema. Essa `e legata allenergia cinetica e potenziale dalla relazione L = TU
con T ed U energia cinetica e potenziale rispettivamente. Il termine a secon-
do membro tiene conto delle forzanti esterne. Nel nostro caso le variabili in
questione sono, per il condensatore, la x(t) e la Q(t).
Lenergia cinetica. `e data da:
T =
1
2
m
eq
x
2
(6.3)
mentre lenergia potenziale `e composta da una parte elastica dovuta al-
la presenza delle molle ed una parte elettrica imputabile alla presenza di
accumulo di carica. Cos` si pu`o scrivere:
U =
1
2
K
eq
x
2
+
1
2
Q
2
C(x)
(6.4)
Per cui la lagrangiana `e espressa nel seguente modo
L =
1
2
m
eq
x
2

1
2
K
eq
x
2

1
2
Q
2
C(x)
(6.5)
Una volta individuate le energie in gioco `e possibile applicare lequazione
6.2 e si ottiene per la parte meccanica:
m
eq
x +c
eq
x +k
eq
x
1
2
Q
2
C(x)
= m
eq
u (6.6)
Nellequazione sono state prese in considerazione le forze non conservative
presenti nel sistema. Il termine al secondo membro rappresenta la forzante
esterna mentre si tiene conto delle forze dissipative mediante il fattore di
smorzamento c. Per la parte elettrica, applicando lequazione 6.2 e derivando
rispetto alla quantit`a di carica Q si ottiene:
V
c
=
Q(x)
C(x)
(6.7)
56
CAPITOLO 6. DESCRIZIONE MATEMATICA E IMPLEMENTAZIONE DEL
MODELLO SIMULINK
Con V
c
tensione ai capi del condensatore.
Lanalisi lagrangiana ci ha permesso di scrivere le prime due equazioni
del sistema. Resta da capire come scrivere le altre relazioni necessarie alla
chiusura del problema
Si nota che una delle variabili utilizzate `e la corrente che scorre nel conden-
satore I
c
. Per denizione, la corrente che scorre allinterno di un condensatore
`e data da:
i(t) =
dCv(t)
dt
(6.8)
con v(t) tensione ai capi del condensatore. Nel nostro caso V
c
`e la tensione
ai capi del MEMS e la sua espressione `e data dallequazione 6.7. Cos` si pu` o
scrivere:
I
c
=
dC
dx
x +

Q
dC
dx
x
Q
C
(6.9)
Da questa semplice considerazione si ricava una delle equazioni mancanti.
A questo punto, si nota che la corrente I
c
`e legata alle correnti di maglia I
1
e I
2
mediante la relazione:
I
c
= I
1
I
2
(6.10)
come si evince dal bilancio al nodo. Le ultime due equazioni vengono
ricavate inserendo le relazioni costitutive dei diodi. In generale, il diodo `e
considerato il pi` u semplice elemento elettronico non lineare, e le sue relazioni
di tensione e corrente provengono dallo studio della giunzione p-n da cui `e
composto. Per un diodo classico, date la i(t) e la v(t) corrente e tensione ai
capi, esse sono legate mediante la relazione:
i(t) = I
t
e
v(t)
nV
t
(6.11)
con I
t
corrente di saturazione inversa mentre V
t
tensione di soglia. La n
che compare nellequazione `e un parametro del diodo molto spesso prossimo
ad uno.
La relazione precedente `e fortemente non lineare. Nonostante nel corso di
questo lavoro siano state operate delle semplicazioni, vengono qui esposte
6.3. SIMULAZIONE DEL SISTEMA IN MATLAB (SIMULINK) 57
per completezza le relazioni originali. Da cui per il diodo 1 (gura 6.1) `e
possibile scrivere:
I
1
(t) = I
t
e
V
g
V
c
nV
t
(6.12)
mentre per il diodo 2 si ha:
I
2
(t) = I
t
e
V
c
V
g
nV
t
(6.13)
Nella scrittura di queste equazioni si sono considerati i due diodi uguali
tra loro.
Possiamo quindi riassumere il sistema di equazioni come segue:
_

_
m
e
q x +c
e
q x +k
e
q x
1
2
Q
2
C(x)
= m u
V
c
=
Q(x)
C(x)
I
1
(t) = I
t
e
V
g
V
c
nV
t
I
2
(t) = I
t
e
V
c
V
g
nV
t
I
c
=
dC
dx
x +

Q
dC
dx
x
Q
C
I
c
= I
1
I
2
(6.14)
Sar` a obiettivo della prossima sezione risolvere il sistema proposto operan-
do le opportune semplicazioni.
6.3 Simulazione del sistema in Matlab (simu-
link)
Nei precedenti capitoli `e stata scelta la geometria denitiva e ed `e stato otte-
nuto il set di equazioni dierenziali - algebriche che mi descrive l evoluzione
del sistema in funzione delle variabili Lagrangiane (x, Q, I
1
, I
2
, V
c
, I
c
). Per va-
lutare come si evolvono tali variabili nel tempo `e necessario risolvere questo
sistema. Poiche la risoluzione analitica delle equazioni risulta impossibile, si
procede con limplementazione numerica.
Il software utilizzato `e Simulink, un apposito tool contenuto in MATLAB.
Esso integra le equazioni dierenziali mediante una serie di metodi numeri-
ci, mentre presenta una interfaccia graca semplice ed intuitiva per la loro
58
CAPITOLO 6. DESCRIZIONE MATEMATICA E IMPLEMENTAZIONE DEL
MODELLO SIMULINK
implementazione. Essendo un software di integrazione numerica si deve te-
ner conto, durante il calcolo, di discontinuit` a e non convergenza dei risultati.
Tuttavia, si pu` o limitare ci`o mediante unopportuna scelta del metodo e dello
step di integrazione
Nella prossima sezione si analizzer` a il sistema, legando il modello simulink
al sistema di equazioni precedentemente ricavato.
6.4 Parametri del sistema
In questa prima sezione verranno descritte le modalit`a di calcolo dei parame-
tri che caratterizzano il dispositivo e che compaiono nel sistema di equazioni
dierenziali. In particolare si distingueranno due gruppi di blocchi, il primo
che descrive l evoluzione della parte meccanica e l altro quella della parte
elettrica. Naturalmente i due tipi di blocchi interagiscono tra loro in quanto
parte meccanica ed elettrica non sono indipendenti l una dall altra. Si vedr` a
che i parametri del blocco meccanico sono stati estrapolati dal modello geo-
metrico, mentre quelli riguardante la parte elettrica provengono dalla scelta
dei componenti e dalle loro caratteristiche specicate nei rispettivi datasheet.
6.4.1 Parte meccanica
Per la parte meccanica si tratta in particolare di parametri concentrati e
derivano dal fatto che si sta considerando la parte meccanica del sistema come
un sistema monodimensionale, nella direzione che interessa il funzionamento
del dispositivo, ovvero quella parallela al piano lungo il quale varia la capacit` a.
La parte meccanica `e descritta analiticamente dalla prima equazione, che la
accoppia alla parte elettrica del sistema,
x + 2
n
x +
2
n
x +
1
2m
Q
2
C(x)
2
dC(x)
dx
= u (6.15)
I parametri che caratterizzano questa equazione sono: la massa equiva-
lente m, il fattore di smorzamento , la frequenza di risonanza
n
riferita al
modo di vibrare nella direzione del piano e la capacit` a C(x) che si pu`o assu-
mere come parametro una volta ssato un valore dell ascissa x. E presente
inoltre la forzante esterna u.
La frequenza naturale di risonanza
n
, come gi` a detto, `e proprio quella
relativa al modo di vibrare nella direzione del piano ed `e pari a 27 Hz.
6.4. PARAMETRI DEL SISTEMA 59
Questa frequenza `e stata precedentemente ottenuta attraverso l analisi
modale del sistema in Comsol.
Per ottenere la massa si `e proceduto nel seguente modo: nota la frequen-
za di risonanza di interesse
n
e la rigidezza equivalente nella direzione
del piano k, ci si pu` o ricondurre alla massa equivalente semplicemente
attraverso la solita relazione

2
n
=
k
eq
m
eq
=> m
eq
=
k
eq

2
n
(6.16)
Dunque noto che la rigidezza `e pari a k
eq
= 23N/m e la frequenza
naturale pari a
n
= 27Hz, si ottiene che la massa equivalente `e pari a
m
eq
= 31.5g.
Il fattore di smorzamento si assume per convenzione pari a 0.8 .
Per determinare la capacit` a C(x) `e stata eettuata una analisi para-
metrica in Comsol, come descritto nel capitolo precedente. Ci`o che
riportiamo ora `e, invece, linterpolazione dei dati provenienti dallana-
lisi parametrica che ci permetter`a di ricavare la forma analitica della
funzione interpolante da utilizzare nel modello simulink.
Dallosservazione dellandamento della capacit`a in funzione dello spes-
sore, si `e scelto di interpolare la curva mediante un polinomio di 4 grado.
Si `e fatto uso di un piccolo codice MATLAB descritto nellappendice A.
Il polinomio interpolatore `e del tipo
C(x) = P
4
x
4
+P
3
x
3
+P
2
x
2
+P
1
x +P
0
(6.17)
Di cui si fornisce anche la derivata. Anche questa sar` a utile nel modello
simulink successivo.
C

(x) = 4P
4
x
3
+ 3P
3
x
2
+ 2P
2
x +P
1
(6.18)
Nel codice si `e utilizzata la funzione polyt che riceve come input i dati
da interpolare ed il grado del polinomio interpolatore. Si riportano di
seguito i coecienti del polinomio:
60
CAPITOLO 6. DESCRIZIONE MATEMATICA E IMPLEMENTAZIONE DEL
MODELLO SIMULINK
Figura 6.2: Funzione interpolante e dati reali
P
0
= 5, 0488 10
12
;
P
1
= 1, 6043 10
8
;
P
2
= 0.0012 ;
P
3
= 1.9623 10
5
;
P
4
= 6.5410 10
7
.
Laccuratezza di tale metodo non `e assoluta. Il confronto tra la funzione
interpolante e i dati originali `e riportato in gura 6.2
6.4. PARAMETRI DEL SISTEMA 61
Per quanto riguarda la forzante esterna, essa dipende dal tipo di applica-
zione del dispositivo. In primo luogo si sono eettuate varie simulazioni
con una forzante armonica. Lampiezza `e stata assunta parti allam-
piezza massima prevista per una applicazione ordinaria (accelerazione
dellordine del g). La frequenza `e stata invece presa esattamente coinci-
dente con la frequenza di risonanza del dispositivo. Landamento della
u `e rappresentato in gur 6.3.
Figura 6.3: Andamento della forzante
Quando verranno eettuate simulazioni nelle applicazioni reali, la for-
zante armonica sar` a sostituita da un set di dati ricavati da apposite
misurazioni in condizioni di lavoro. Tale procedimento sar`a analizzato
successivamente.
6.4.2 Parte elettrica
Per quanto riguarda la parte elettrica questa dipender` a sostanzialmente dalla
batteria scelta e dal tipo di diodi scelti. Per l equazione 5 sar` a nuovamente
necessaria l espressione della capacit`a C(x) e della sua derivata rispetto ad
x, C

(x);
dC(x)
dx
x +

Q
dC(x)
dx
xQ
C
= I
c
(6.19)
In particolare per le equazioni 3 e 4, saranno necessari parametri quali:
la tensione di alimentazione V
i
, e i dati relativi ai due diodi che si possono
trovare sui datasheet forniti nellappendice B, ovvero la tensione di soglia V
T1
,
V
T2
e le resistenze intrinseche r
d1
, r
d2
62
CAPITOLO 6. DESCRIZIONE MATEMATICA E IMPLEMENTAZIONE DEL
MODELLO SIMULINK
La tensione di ingresso V
i
dipende dal tipo di batteria utilizzata. Il
funzionamento del dispositivo richiede che queste siano ricaribili anche
se non impone particolari limiti sulla tipologia da impiegare. In parti-
colare per` o, la necessit` a di miniaturizzazione limita di molto la scelta e
la disponibilit`a pile sul mercato. Ogni batteria dierisce per velocit`a di
carica, densit` a di energia immagazzinata, tensioni di lavoro e di ricarica.
La tensione di lavoro, importante ai nostri scopi, dipende in generale
dalla dierenza di potenziali redox delle specie chimiche presenti allin-
terno dalla cella elementare anche se molti accumulatori commerciali
utilizzano pi` u celle poste in serie per aumentare la tensione complessi-
va. In questo lavoro `e stata adottata una batteria al litio costituita da
una sola cella. La reazione che avviene tra gli elettrodi `e la seguente:
LiCo
2
O
4
+LiC
1
2 C
1
2 +Li
2
Co
2
O
4
(6.20)
ed essa `e caratterizzata da una tensione a circuito aperto pari a 3.6 V.
Cos`, la tensione V
i
viene presa pari a 3.6 V.
Per quanto riguarda i diodi, si `e inizialmente deciso che essi siano uguali,
infatti per il corretto funzionamento del dispositivo non `e necessario
che essi abbiano caratteristiche dierenti. Il componente scelto `e un
diodo commericale, l IN4001, che presenta la tipica curva caratteristica
corrente - tensione, con tensione di soglia V
T
= 0.7V .
Tuttavia in simulink si `e optato per un modello lineare a tratti che de-
scrive il comportamento del diodo come se fosse un interruttore passivo,
che impedisce il passaggio di corrente per tensioni inferiori a quella di
soglia.
Tuttavia quando la tensione supera quella di soglia non si comporta
propriamente come un interruttore ideale ma vengono considerate le
resistenze intrinseche del diodo. Inoltre, per semplicit` a, esse sono state
poste in serie alle resistenze intrinseche delle metallizzazioni e la cor-
rente risultante sar` a pari, ricorrendo alla legge di Ohm, alla tensione
ai capi del diodo diviso tale resistenza. La resistenza intrinseca si pu`o
calcolare a partire dal modello lineare a tratti, prendendo infatti due
6.4. PARAMETRI DEL SISTEMA 63
Figura 6.4: Curva caratteristica diodio IN4001.
64
CAPITOLO 6. DESCRIZIONE MATEMATICA E IMPLEMENTAZIONE DEL
MODELLO SIMULINK
Figura 6.5: Modello lineare tratti dei diodi.
6.5. DESCRIZIONE DEL MODELLO IN SIMULINK 65
punti arbitrari di coordinate P
1
= (I
1
, V
1
) e P
2
= (I
2
, V
2
) e ricorrendo
alla formula
m =
V
I
=
V
2
V
1
I
2
I
1
(6.21)
Per i punti presi arbitrariamente sulla retta del modello lineare a tratti
per la quale il diodo `e in conduzione: P
1
= (0.01, 0.7) e P
2
= (0.2, 0.8),
ottengo che il coeciente angolare `e pari a m = 1.9. Ricordando la legge
di Ohm, espressa in funzione della corrente I =
1
R
V , dunque
1
R
= 1.9
= r
d
= 0.52Ohm.
6.5 Descrizione del modello in Simulink
In questo capitolo verranno descritti nel dettaglio i singoli blocchi che costitui-
scono il modello sviluppato in Simulink. Il modello completo `e rappresentato
nella Figura 6.6.
Figura 6.6: Modello a blocchi in Simulink.
Osservando il modello, le uniche grandezze che provengono dallesterno
sono l accelerazione u e la tensione continua fornita dalla batteria V
i
. I dati,
che saranno discussi nella sezione successiva, sono gracati negli scope; in
particolare ci` o che interessa `e ricavare l evoluzione delle variabili lagrangiane
del sistema, che ricordiamo essere (x, Q, I
1
, I
2
, V
c
, I
c
).
66
CAPITOLO 6. DESCRIZIONE MATEMATICA E IMPLEMENTAZIONE DEL
MODELLO SIMULINK
6.5.1 Blocco 1
Il primo blocco risolve l equazione 1 del sistema, che `e stata opportunamente
esplicata come
x = 2
n
x
2
n
x
1
2m
Q
2
C(x)
2
dC(x)
dx
u (6.22)
Figura 6.7: Blocco 1.
Per il primo blocco si hanno in input: l accelerazione esterna u e la carica
Q, proveniente dal blocco 5. Mentre in uscita si hanno: la capacit` a C(x),
la sua derivata rispetto ad x,
dC(x)
dx
= C

, lo spostamento della massa nella


direzione del piano x e la velocit` a x. I parametri utilizzati sono m,,
n
. In
gura 6.8 si pu` o osservare come `e strutturato il blocco al suo interno
Figura 6.8: Scherma interno blocco 1.
Si osservi che il calcolo della capacit` a e della sua derivata rispetto ad x `e
ottenuto attraverso altri due blocchi interni descritti nelle gure 6.9 e 6.10.
Essi prendono in input proprio lo spostamento x.
6.5. DESCRIZIONE DEL MODELLO IN SIMULINK 67
Figura 6.9: Calcolo capacit`a nel blocco 1.
Figura 6.10: Calcolo
dC(x)
dx
nel blocco 1.
68
CAPITOLO 6. DESCRIZIONE MATEMATICA E IMPLEMENTAZIONE DEL
MODELLO SIMULINK
6.5.2 Blocco 2
Il secondo blocco `e riferito all equazione 2 del sistema, che ricordiamo essere
V
c
=
Q
C(x)
(6.23)
Figura 6.11: Blocco 2.
In input si hanno la carica Q e la capacit` a C(x), mentre in uscita la
tensione su condensatore variabile, V
c
. Si riporta in gura 6.12 la descrizione
del blocco.
Figura 6.12: Scherma interno blocco 2.
6.5.3 Blocco 3
Il terzo blocco `e riferito alla terza equazione:
I
1
=
_
0, se V
d1
> V
T
V
d1
V
T
r
d
, se V
d1
> V
T
(6.24)
Figura 6.13: Blocco 3.
dove V
d1
= V
i
V
c
. I parametri sono stati precedentemente discussi nella
sezione precedente, e sono considerati uguali per i due diodi: la tensione
di soglia V
T
= 0.7 e la resistenza intrinseca del diodo r
d
= 0.52Ohm. La
descrizione del blocco per esteso `e fornita in gura 6.14.
6.5. DESCRIZIONE DEL MODELLO IN SIMULINK 69
Figura 6.14: Scherma interno blocco 3.
6.5.4 Blocco 4
Il quarto blocco `e riferito alla quarta equazione,
I
2
=
_
0, se V
d2
< V
T
V
d2
V
T
r
d
, se V
d2
> V
T
(6.25)
Figura 6.15: Blocco 4.
dove V
d2
= V
c
V
i
. Per i parametri valgono le stesse considerazioni fatte
per il blocco 3.
Figura 6.16: Scherma interno blocco 4.
70
CAPITOLO 6. DESCRIZIONE MATEMATICA E IMPLEMENTAZIONE DEL
MODELLO SIMULINK
6.5.5 Blocco 5
Il quinto blocco risolve l equazione 5 riscritta nel seguente modo

Q = I
C
+
C

xQ
C
C

x (6.26)
Figura 6.17: Blocco 5.
In ingresso vi `e la capacit` a, la sua derivata rispetto ad x, la velocit` a x e
la corrente che scorre sul condensatore I
C
. In uscita si ha invece la carica Q
del condensatore.
Figura 6.18: Scherma interno blocco 5.
6.5.6 Blocco 6
Il blocco 6 `e riferito alla sesta equazione del sistema di equazioni totali.
Ricordiamo che l equazione `e
I
c
= I
1
I2 (6.27)
Esso presenta in ingresso le correnti: I
1
proveniente dal primo diodo, I
2
proveniente dal secondo diodo, mentre in uscita si ha la corrente che scorre
sul condensatore variabile I
c
.
6.6. REGOLAZIONE DEL SEGNALE 71
Figura 6.19: Blocco 6.
Figura 6.20: Scherma interno blocco 6.
6.6 Regolazione del segnale
6.6.1 Considerazioni teoriche
Come esposto nel capitolo iniziale, per alimentare adeguatamente la batteria,
si ha la necessit`a di avere una tensione costante. Come visto precedentemen-
te nelle simulazioni in simulink, la presenza di forzanti armoniche o random
rende la corrente prodotta dal dispositivo non costante. Da qui la necessit` a
di regolare il segnale, tramite un opportuno circuito regolatore.
Esistono molti circuiti commerciali che assolvono questo compito, tuttavia
`e utile in questo lavoro introdurre il principio di funzionamento al ne di
dimensionare gli elementi circuitali presenti allinterno. Il circuito utilizzato
`e il classico rivelatore picco-picco rappresentato in gura 6.22.
1Hz
Figura 6.21: Circuito rilevatore picco picco
72
CAPITOLO 6. DESCRIZIONE MATEMATICA E IMPLEMENTAZIONE DEL
MODELLO SIMULINK
Figura 6.22: Sinusoide e segnale in uscita
Il circuito `e costituito da un diodo e una capacit`a in parallelo ad un carico.
Il condensatore assolve la funzione di ltro. Il diodo lavora in zona attiva
nche il condensatore non `e completamente carico, a quel punto esso va in
interdizione ed i condensatore si scarica secondo la solita legge a decadimento
esponenziale:
v(t) = V
p
e
t/RC
(6.28)
con V
p
tensione di picco raggiunta durante la fase di carica. R e C sono la
resistenza del carico e la capacit` a del condensatore rispettivamente. Il tempo
di scarica coincide con il periodo del segnale in ingresso. Detto questo, se si
sceglie il prodotto RCmolto maggiore d T si la 6.28 diventa:
v(t) =
V
p
T
RC
(6.29)
Da quanto detto si riporta, a titolo di esempio, il segnale in uscita in
presenza di un onda sinusoidale in ingresso.
Il segnale in uscita `e caratterizzato da tratti lineari ed un basso valore di
tensione di ripple.
6.6.2 Regolazione del segnale proveniente dal MEMS
Dopo le considerazione teoriche si passa alla progettazione di massima del
dispositivo. Come detto prima, al ne di avere una costante di tempo mol-
6.6. REGOLAZIONE DEL SEGNALE 73
to pi` u alta del periodo del segnale di eccitazione, si devono dimensionare in
modo opportuno i valori di capacit`a e resistenza in gioco. Naturalmente, in
questa fase, si deve tener conto che `e necessario integrare il circuito regolatore
allinterno del dispositivo e collegarlo direttamente allaccumulatore.
Ci` o comporta il rispetto di dimensioni ridotte e i valori di capacit` a e resi-
stenza sono scelti di conseguenza. Riportiamo ora, per semplicit` a, il segnale
da regolare. In prima istanza, viene considerato un segnale proveniente da
una eccitazione armonica che ha il seguente andamento:
Figura 6.23: Segnale da regolare
Mediante una simulazione si possono osservare gli andamenti del segnale
in uscita del circuito regolatore. Per semplicit`a, il segnale in ingresso `e stato
assimilato ad un onda quadra di ampiezza e periodo comparabile con la forma
donda esposta in gura 6.23.
Figura 6.24: Segnale regolato
74
CAPITOLO 6. DESCRIZIONE MATEMATICA E IMPLEMENTAZIONE DEL
MODELLO SIMULINK
6.7 Espressione della corrente media
Per ricavare lespressione media della corrente che attraversa il carico si ipo-
tizza che la tensione sia costante e pari al valore di picco. Seguenda questa
ipotesi si ha che la corrente di picco I
L
sar` a:
I
L
= V
p
/R (6.30)
con R valore della resistenza del carico. Seguendo la teoria del circuito
rilevatore picco-picco si ottiene che la corrente media che attraversa il carico
`e data da:
I
a
v = I
L
_
1 +
_
V
p
/2V
r
_
(6.31)
Lorigine di questa espressione deriva dalla studio del circuito ed esula
dagli scopi di questo lavoro. Tuttavia la corrente ricavata sar` a utile in seguito
quando si proceder` a nel calcolo della potenza prodotto dal dispositivo.
Capitolo 7
Simulazione di funzionamento
7.1 Risultati della simulazione e discussione
Dopo aver denito il modello in simulink, descritto nel dettaglio nella prece-
dente sezione, `e possibile andare ad eettuare la simulazione vera e propria.
Anche la simulazione vada a buon ne e fornisca dati che potranno successi-
vamente essere valutati in modo corretto, `e necessario settare alcuni parametri
all interno del software. I principali parametri sono elencati nella Tabella 1.1.
A questo punto `e sembrato opportuno eettuare tre simulazioni, imponen-
do in ingresso due tipi di forzanti. Nei primi due casi la forzante `e sinusoidale,
costante e ha una frequenza di oscillazione rispettivamente pari o maggiore a
quella di risonanza . La prima simulazione `e giusticata dal fatto che si vuole
analizzare il comportamento del dispositivo nel caso pi` u critico, per il quale
si ha la massima escursione della massa oscillante.
Nel secondo caso invece si vuole analizzare il comportamento del dispo-
sitivo ad una frequenza di eccitazione che sia ssata ad un valore maggiore
rispetto quella di risonanza. Questa simulazione permette di vericare se la
Tabella 7.1: Setting dei parametri di simulazione.
75
76 CAPITOLO 7. SIMULAZIONE DI FUNZIONAMENTO
scelta iniziale di progettare il dispositivo, in modo che la frequenza di riso-
nanza di interesse cada nellintervallo di frequenze di eccitazioni esterne, sia
lecita o meno. L ultimo caso invece `e quello per il quale l eccitazione ester-
na consiste nelle accelerazioni u, che sono state rilevate con l accelerometro
nella condizione reale di funzionamento. In tutti i casi i risultati consisteran-
no in graci che mostrano l evoluzione nel tempo delle variabili lagrangiane
utilizzate nella precedentemente.
7.1.1 Simulazione 1: eccitazione in condizione di riso-
nanza
La prima simulazione `e stata eettuata ipotizzando che l eccitazione esterna,
espressa in termini di accelerazione u fosse sinusoidale, quindi esprimibile
come
u = | u|sin(t +) (7.1)
Dove la pulsazione `e quella in condizioni di risonanza del primo modo di
vibrazione
n
= 2 27Hz; mentre l ampiezza `e stata scelta pari a 10m/s e
la fase = 0.
Figura 7.1: Graci delleccitazione esterna u e degli spostamenti x.
Dopo un primo transitorio, dovuto al fatto che si sta eccitando il sistema
con condizioni iniziali di posizione x pari a zero e di velocit` a x nulla, si rag-
giunge uno stato stazionario dopo 0.2ms Per l eccitazione esterna imposta,
dopo un primo tratto transitorio, si pu` o osservare che lo spostamento della
7.1. RISULTATI DELLA SIMULAZIONE E DISCUSSIONE 77
massa nella direzione x ha un ampiezza al massimo circa pari a 200 micron.
Questo rappresenta un buon risultato perche il range massimo di sposta-
mento consentito dalla geometria scelta per i denti del condensatore `e di 225
micron per lato. Dunque sapendo che in condizioni di risonanza, e quindi
di massimo spostamento x, si rientra nello spostamento massimo consentito,
sicuramente abbiamo una buona tolleranza nelle condizioni di reale funziona-
mento per le quali l eccitazione esterna ha una frequenza che, per la maggior
parte del tempo, `e diversa da quella di risonanza.
Figura 7.2: Graci degli spostamenti x e della capacit`a C.
Si ricordi che la capacit` a `e stata espressa con un polinomio che `e funzione
dello spostamento x; si osservi che in regime stazionario essa raggiunge valori
che sono intorno alle decine di nanoFarad.
Per quanto riguarda le grandezze del mems, la tensione raggiunge valori
circa pari a 4.3V , mentre la corrente ha un massimo di 0.12A . Si osservi
che il segnale della tensione si pu`o approssimare come un onda quadra e
questultima sar` a poi trasformata da circuito regolatore, che fornir`a in uscita
una tensione continua. Questultima sar`a in grado di ricaricare la batteria.
78 CAPITOLO 7. SIMULAZIONE DI FUNZIONAMENTO
Figura 7.3: Corrente I
c
e tensione V
c
ai capi del MEMS.
La corrente che scorre sul primo diodo risulta essere molto piccola, intorno
alle decine di microAmpere, di conseguenza, facendo un bilancio di corren-
ti sullunico nodo del circuito, questa corrente I
1
`e trascurabile, quindi la
corrente I
2
sar` a circa uguale a quelal che scorre sul mems I
c
.
Figura 7.4: Correnti I
1
e I
2
relative ai rispettivi diodi.
7.1.2 Simulazione 2: eccitazione ad alta frequenza
Come gi`a anticipato nella prefazione, questa simulazione `e stata eettuate
allo scopo di vericare se le prestazioni del dispositivo sono eettivamente
migliori, nel caso in cui la forzante esterna abbia una frequenza di oscillazio-
ne prossima a quella di risonanza.
Si `e pensato quindi di eccitare il sistema con unarmonica di frequenza
pari a 90Hz ed ampiezza pari di 10m/s
2
. Si riportano brevemente i risultati
7.1. RISULTATI DELLA SIMULAZIONE E DISCUSSIONE 79
Figura 7.5: Graci dell eccitazione esterna u e degli spostamenti x.
Si pu` o subito notare che gli spostamenti relativi sono molto minori del
caso precedente. Il sistema reagisce a questo tipo di forzante con uno sposta-
mento massimo di 40 micon a fronte dei 200 in condizioni di risonanza .
Qui di seguito viene riportato landamento della capacit`a in funzione dello
spostamento.
Figura 7.6: Graci degli spostamenti x e della capacit`a C.
Ancora una volta i valori ottenuti sono del tutto irrisori e molto minori
rispetto alla simulazione precedente. Per completezza vengono riportati i
valori delle grandezze elettriche che caratterizzano il MEMS.
grandezze elettriche del MEMS:
Anche in questo caso si ottengono risultati inferiori a quelli ottenuti in
condizioni di risonanza.
80 CAPITOLO 7. SIMULAZIONE DI FUNZIONAMENTO
Figura 7.7: Corrente I
c
e tensione V
c
ai capi del MEMS.
Al ne di valutare la potenza elettrica prodotta si riporta landamento
delle correnti che scorrono sui diodi.
Correnti sui diodi:
Figura 7.8: Correnti I
1
e I
2
relative ai rispettivi diodi.
Si notano valori molto bassi e con picchi poco frequenti. Tale situazione `e
evidentemente non adatta ad una adeguata alimentazione della batteria con
una conseguente ridotta ecienza di trasformazione.
7.2 Calcolo della potenza prodotta
Una verica sul funzionamento del dispositivo si pu`o eettuare andando a
calcolare la potenza elettrica ottenuta in uscita dal mems. Una volta nota
questa grandezza `e possibile andare a stimare l ecienza del dispositivo,
7.2. CALCOLO DELLA POTENZA PRODOTTA 81
osservando la variazione di energia elettrica al variare dell eccitazione di
ingresso.
Il calcolo della potenza elettrica risulta abbastanza semplice in quanto le
grandezze che andiamo a prelevare per misurarla non sono altro che la tensio-
ne ai capi del mems V
c
e la corrente che vi scorre I
c
. Queste infatti vengono
regolate attraverso un circuito regolatore che fornisce in uscita un segnale di
tensione e di corrente continua. In questo caso la potenza istantanea si pu` o
calcolare semplicemente come il prodotto tra la tensione e la corrente P = V I.
Prendendo i dati ottenuti per la prima simulazione, eettuata con eccita-
zione armonica alla frequenza di risonanza del sistema di 27Hz; la tensione
regolata, sar` a continua e avr`a un ampiezza costante pari a 4.3V , mentre la
corrente anch essa continua avr` a un ampiezza costante pari a 0.15A.
Dunque la potenza istantanea elettrica `e pari a P
mems
= 0.65W. Questa
potenza `e data dal contributo elettrico proveniente dalla batteria e quello dell
energia meccanica trasformata in elettrica.
La potenza proveniente dalla batteria, dato che lavora in continua, `e data
semplicemente dal prodotto della tensione della batteria V = 3.6V e la cor-
rente che scorre sul primo diodo I = 0.15A. Dunque la potenza erogata dalla
batteria `e pari a P
batt
= 0.54W.
Lo stesso calcolo `e stato fatto con i dati della seconda simulazione a 90Hz,
per vedere se eettivamente l ecienza del dispositivo scende andando ad au-
mentare la frequenza di eccitazione esterna. La tensione V
c
misurata ai capi
del mems `e pari a 4.3V , mentre la corrente risulta molto bassa e circa pari
a 0.001A. Dunque la potenza verr` a molto piccola e ci`o indica che il dispo-
sitivo non funziona per frequenze troppo alte. Questo risultato giustica la
necessit` a iniziale che ha spinto a progettare il dispositivo in modo la prima
frequenza di risonanza sia compresa nel range di frequenze all interno del
quale oscilla l eccitazione esterna.
Capitolo 8
Applicazioni
8.1 Introduzione
In questo capitolo vengono proposte alcune delle applicazioni possibili per il
dispositivo presentato. Anche se `e possibile integrare tale apparecchio in ogni
situazione in cui vi `e energia cinetica dispersa questo lavoro si focalizzer`a sullo
sfruttamento dellenergia prodotta dal movimento corporeo.
Come ampiamente discusso nellintroduzione, la diusione dei pi` u diversi
dispositivi portatili e il loro basso consumo in termini di potenza, ha attirato
linteresse di questo lavoro. Tali applicazioni hanno inoltre inuenzato lintero
processo di progettazione. Si `e pensato quindi di applicate tale apparecchio
ad oggetti di uso comune come orologi, scarpe o vestiti intelligenti.
In particolare verr` a presentata una simulazione di funzionamento con il di-
spositivo integrato in un orologio, in cui, una normale batteria viene sostituto
dal modulo ricaricabile presentato nei capitoli precedenti.
8.2 Applicazione ad un orologio autoricarica-
bile
Gli orologi automatici sfruttano lenergia cinetica dei movimenti corporei e del
braccio per caricare una molla metallica che, scaricandosi, mette in movimen-
to le ruote dentate del meccanismo. Ogni componente richiede una precisione
micrometrica e lassemblaggio non pu` o essere automatizzato. Inoltre, la la-
83
84 CAPITOLO 8. APPLICAZIONI
vorazione di questi orologi richiede limpiego di manodopera specializzata e
ci` o fa lievitare ulteriormente i costi.
Per questo motivo gli orologi automatici, nonostante legati a principi di
funzionamento ben noti da molto tempo, vengono considerati prodotti ad alto
contenuto tecnologico e il loro mercato risulta essere un mercato di lusso e
comunque di nicchia.
Da qui la possibilit`a di costruire un modulo ricaricabile, pi` u leggero ed
economico, che sia in grado di alimentare orologi a buon mercato e senza
limitazioni sulla tipologia da utilizzare. Il dispositivo `e infatti in grado di
alimentare indierentemente sia orologi analogici che digitali con quadrante
meccanico o elettronico che sia. Inoltre, le ridotte dimensioni e le buone po-
tenze prodotte, permettono di avere lenergia necessaria in un minore spazio
aprendo nuove frontiere di design e progettazione.
8.3 Simulazione di funzionamento
In questa fase vengono riportati i risultati di una simulazione di funziona-
mento, con particolare attenzione alla produzione di energia e di potenza. A
tal ne, come forzante esterna si sono misurati i valori di accelerazione pro-
venienti dal movimento del corpo durante una camminata.
Tali valori sono stati rilevati utilizzando laccelerometro presente nei mo-
derni smartphone e i dati sono stati ottenuti utilizzando delle apposite appli-
cazioni.
Linterpolazione di tali dati `e stata adata al tool di simulazione simulink
e, in questo caso, la sorgente di accelerazione armonica prima utilizzata viene
sostituita dal blocco preposto a tale operazione.
In gura `e possibile notare landamento della forzante esterna. Il graco
illustra inoltre lo spostamento esibito in presenza di tale forzante.
8.3. SIMULAZIONE DI FUNZIONAMENTO 85
Figura 8.1: Graci dell eccitazione esterna u e degli spostamenti x.
Come visto precedentemente si riportano landamento della capacit` a e
delle grandezze riguardanti il MEMs
Figura 8.2: Graci degli spostamenti x e della capacit`a C.
Per ultime si riportano le correnti nei diodi:
86 CAPITOLO 8. APPLICAZIONI
Figura 8.3: Corrente I
c
e tensione V
c
ai capi del MEMS.
Figura 8.4: Correnti I
1
e I
2
relative ai rispettivi diodi.
I dati riportati hanno lo scopo di mostrare la fattibilit`a del progetto e si
procede quindi nel calcolo della potenza prodotta e dellenergia convertita in
condizioni di lavoro.
8.4 Calcolo della potenza prodotta
In questa sezione `e stato eettuato il calcolo della potenza per il segnale di ec-
citazione random registrato con accelerometro. La tensione ai capi del mems
`e sempre pari a 4.3v mentre la corrente a 0.12A.
Dunque la potenza erogata `e pari a 0.42W. Le prestazioni sono ovvia-
mente inferiori al caso in cui la forzante armonica di eccitazione abbia una
frequenza pari a quella di risonanza del sistema. Tuttavia i risultati sono
8.5. PRESTAZIONI DEL DISPOSITIVO 87
accettabili perche si ottiene una potenza non trascurabile per un dispositivo
di queste dimensioni.
8.5 Prestazioni del dispositivo
Nella sezione precedente sono state calcolate le potenze erogate dal dispositi-
vo di ricarica. Occorre adesso andare a vericare quali sono le sue prestazioni
considerando un possibile carico. Si `e ipotizzato che il sistema di autoricarica
sia destinato ad alimentare un orologio comune, per il quale `e prevista una
batteria a bottone con tensione pari a 3.6 V e la capacit` a pari a 25 mAh.
Sapendo che, in assenza del dispositivo di autoricarica, la corrente che la
batteria deve fornire anche funzioni l orologio `e pari a 2.85A, dunque an-
dando a dividere la sua capacit` a per questa corrente si ottiene che la batteria
si scarica completamente dopo circa un anno.
Ora si vuole invece calcolare quanta energia deve erogare la batteria gior-
nalmente per far funzionare l orologio ed il tempo che necessita il sistema di
autoricarica per fornire l energia totale giornaliera consumata dalla batteria.
Per il primo dato, ovvero il consumo giornaliero della batteria, si pu`o cal-
colare moltiplicando la corrente fornita dalla batteria 2.85A per 24 h, ed `e
pari a 68.4Ah. Ma sapendo che 1mAh = 3600C, dunque si pu` o convertire il
precedente dato, che rappresenta una carica ed `e pari a 0.25C. Ora moltipli-
cando questa carica per la tensione ai capi della batteria si ottiene l energia
fornita dalla batteria in un giorno per il tipo di carico scelto: E = 0.88J.
Per il secondo dato, quindi il tempo di autoricarica giornaliero, si calcola
dividendo l energia richiesta dal carico, quindi 0.88J per la potenza erogata
dal sistema di autoricarica, che ipotizzando una ecienza dell 80 % `e pari a
0.002W. Il tempo di autoricarica giornaliera `e pari a circa 7 minuti.
Capitolo 9
Conclusioni
Tale lavoro e` stato nalizzato alla possibilita` di individuazione e proget-
tazione del dispositivo MEMS al quale competa la funzione di trasformare
lenergia meccanica in elettrica e, di riesso, alla sua integrazione in un cir-
cuito di elaborazione. Le potenzialit` a dellenergy harvesting ci hanno spinto
ad arontare questo studio, seppur con le sue problematiche, col ne di po-
ter testare leettivo funzionamento del dispositivo e mostrare delle possibili
applicazioni di questo.
Partendo dal lavoro presentato nel brevetto si `e partiti con una visualiz-
zazione dinsieme dellintero sistema soermandoci con particolare attenzione
alla descrizione delle singole parti che costituiscono il MEMS e al suo princi-
pio di funzionamento. Lapparecchio, consistente in una struttura a capacit` a
variabile, `e composta da una massa oscillante connessa ad una struttura rigi-
da, il package, tramite due molle applicate a due suoi estremi; due elettrodi
consistenti in array di micro-travi metalliche, realizzati rispettivamente uno
su una delle due superci pi` u estese della massa e lalto integrato sulla base
della struttura garantiscono linterdigitazione di questi ovvero la variazione
della capacit`a e quindi il funzionamento del MEMS.
Per quanto concerne il funzionamento del dispositivo, questo `e correla-
to allo spostamento nella direzione parallela al piano al quale `e associata la
variazione di capacit` a del MEMS. Con questa prima condizione, nonostante
lidealit` a del caso, si `e proceduto con la progettazione delle molle che rap-
presentano lelemento pi` u importante del dispositivo in termini di scelta di
geometrie e dimensioni, in quanto inuiscono signicativamente sulla rigidez-
89
90 CAPITOLO 9. CONCLUSIONI
za del sistema.
Agendo sulla rigidezza si `e potuto agire anche su un altro paramentro
fondamentale che `e la frequenza di risonanza relativa al modo di vibrazione
nella direzione del piano di spostamento della massa oscillante, in particolare
si `e trovato lottimo per un valore della rigidezza che soddis sia la prima
condizione sugli spostamenti sia la necessit`a di ottenere una frequenza di ri-
sonanza del sistema il pi` u vicina possibile a quella associata alle accelerazioni
esterne associate al tipo di applicazione del dispositivo.
Dopo aver denito con accuratezza geometria e dimensionamento dei sin-
goli componenti che garantiscano lecienza e la resistenza mezzanica neces-
saria si `e proceduto alla simulazione del funzionamento al ne di prevedere il
comportamento del sistema nelle diverse applicazioni. Per far questo si `e scel-
to e denito il modello matematico e quindi un set di variabili indipendenti
rispetto alle quali sono state scritte le equazioni sia per la parte meccanica sia
la parte elttrica comprendente il circuito di elaborazione al quale il MEMS `e
stato integrato.
I risultati della simulazione di funzionamento eettuata in Simulink so-
no stati analizzati in maniera approfondita inieme al calcolo della potenza
prodotta dal sistema. Dalle tre simulazioni eettuate con due diverse for-
zanti applicate `e stato possibile vericare sia la correttezza della scelta ini-
ziale di progettare il dispositivo in modo che la frequenza di risonanza di
interesse cada nellintervallo di frequenze di eccitazioni esterne, sia leettivo
funzionamento del dispositivo.
La prima simulazione eettuata con una forzante sinusoidale con frequen-
za di oscillazione pari a quella del sistema ha dimostrato che in condizioni di
risonanza si ottiene un massimo spostamento che rientra nello spostamento
massimo consentito. La seconda simulazione eettuata con una forzante ad
alta frequenza ha evidenziato linecienza di funzionamento e di produzione
di potenza del dispositivo.
Come ampiamente discusso nellintroduzione, la diusione dei piu diversi
dispositivi portatili e il loro basso consumo in termini di potenza, ha attirato
linteresse di questo lavoro. Tali applicazioni hanno inoltre inuenzato lintero
91
processo di progettazione. Si e pensato quindi di applicate tale apparecchio
ad oggetti di uso comune come orologi, scarpe o vestiti intelligenti.
Da qui lo studio dellapplicazione del dispositivo ad un orologio autori-
caricabile dimostra che si pu` o ottenere una potenza non trascurabile per un
dispositivo di tali dimensioni: a conferma di ci`o vi sono i risultati, in partico-
lare quelli relativi alla produzione di energia e di potenza come detto, di una
simulazionee di funzionamento eettuata con segnale di eccitazione random
registrato con accelerometro.