Microanlisis de rayos X por Energa Dispersiva

Hardware

Microanlisis de rayos X por Energa Dispersiva

Hardware Introduccin Su facilidad de uso lo ha convertido en un foco importante en la seleccin de los analizadores de EDS. El hardware que adquiere los datos a menudo se da por sentado. La deteccin y la medicin de los rayos X en un microscopio electrnico requiere una cadena de medicin compleja, que, si funciona correctamente, puede proporcionar los datos precisos y estables necesarios para complementar el software y permitir la identificacin de los picos en forma automtica y fiable adems de anlisis cuantitativo sin estndar. La prueba de que hay un buen diseo es si los resultados de una muestra dada son precisos, independientemente de la velocidad del conteo o del medio ambiente. Esta gua presenta el funcionamiento del hardware de EDS, y pone de relieve los aspectos importantes que marcan la diferencia en un anlisis preciso y eficiente de rayos X. E

Principales componentes del sistema

Un sistema EDS se compone de tres componentes bsicos que deben ser diseados para trabajar en conjunto a fin de lograr un resultado ptimo (Fig. 1).

Detector de rayos X
Detecta y convierte los rayos X en seales electrnicas

Procesador de Pulsos
Mide las seales electrnicas para determinar la energa de cada uno de los rayos X detectados

Analizador
Muestra e interpreta los datos de los rayos X

Componentes de un Detector EDS

1. Montaje del colimador
El colimador proporciona una abertura a travs de la limitacin de que los rayos X tienen que pasar para llegar al detector. Esto asegura que slo los rayos X de la zona deben ser excitados por el haz de electrones, se detectan, y los rayos X se apartan de otras partes de la cmara del microscopio que no estn incluidas en el anlisis.

2. Trampa de Electrones
Los electrones que penetran en el detector causan efectos de retrodispersin y sobrecargan la cadena de medicin. La trampa de electrones es un par de imanes permanentes que desvan fuertemente cualquiera de los electrones que pasan. Este conjunto slo es necesario en detectores con ventana delgada de polmero, como las ventanas de berilio son ms gruesas, absorben eficientemente electrones cercanos a 20keV en energa.

3. Ventana
La ventana proporciona una barrera para mantener el vaco dentro del detector mientras que sea lo ms transparente posible para los rayos X de baja energa. Hay dos tipos principales de materiales para ventanas. El berilio (Be) es muy robusto, pero absorbe fuertemente los rayos X de baja energa, lo que significa que slo los elementos despus del sodio (Na) se pueden detectar. Ventanas delgadas de base polmero se pueden hacer mucho ms delgadas que las de berilio, por lo que son transparentes a rayos X de mucho ms bajas energas, lo que permite la deteccin de la mayora de los rayos X a 100eV. Aunque estos materiales para ventanas son mucho menos robustos, se les coloca en una rejilla de soporte que puede soportar la diferencia

de presin entre el vaco del detector del microscopio y una cmara de ventilacin a presin atmosfrica. La mayor transmisin de las ventanas a base de polmero explica porque han sustituido en gran medida al berilio como el material utilizado para las ventanas del detector.

4. Cristal
El cristal es un dispositivo semiconductor que a travs del proceso de ionizacin convierte rayos X de particular energa en una carga elctrica de tamao proporcional. Para ello se crea una regin libre de carga dentro del dispositivo. Dos materiales principales se utilizan para el cristal de deteccin. El ms comn es el silicio (Si), dopado con litio (Li) para compensar pequeos niveles de impurezas. Tambin se utilizan cristales de germanio de alta pureza (HPGe). Si (Li) fue el primer material utilizado en los detectores de EDS y sigue siendo la eleccin ms comn hoy en da. HPGe ofrece ventajas de rendimiento cuando se miden rayos X de ms altas energas.

5. FET
El transistor de efecto de campo, normalmente referido como el FET, se coloca justo detrs del cristal de deteccin. Es la primera fase del proceso de amplificacin que mide la carga liberada en el cristal por los rayos X incidentes y la convierte en una salida de voltaje.

6. Cryostat
Las seales de carga generados por el detector son pequeas y slo pueden ser separados del ruido electrnico del detector si el ruido se reduce por el enfriamiento del cristal y FET. La mayora de los detectores de EDS trabajan cercanamente a temperaturas de nitrgeno lquido (90K), y se enfran usando un depsito de nitrgeno lquido contenido en un vaso Dewar. Las bajas temperaturas requeridas tambin se pueden lograr usando dispositivos de refrigeracin mecnicos. Sin embargo, estos son ms caros en su construccin y mantenimiento, sobre todo si es esencial baja vibracin, y por lo general se utiliza slo cuando el nitrgeno lquido no est disponible. El 'dedo fro' que enfra el cristal est aislado de la pared del detector por vaco. El vaco se mantiene a un nivel lo suficientemente bajo como para evitar la condensacin de molculas en el cristal.

Cmo funciona el detector EDS El detector EDS convierte la energa individual de cada rayo X en una seal de voltaje de tamao proporcional. Esto se logra a travs de un proceso de tres etapas. En primer lugar el rayo X se convierte en una carga por la ionizacin de los tomos en el cristal semiconductor. En segundo lugar esta carga se convierte en una seal de voltaje por el preamplificador FET. Por ltimo, la seal de voltaje se introduce en el procesador de impulsos para la medicin. La salida del preamplificador es una 'rampa' de voltaje donde cada rayo X aparece como un escaln de voltaje en la rampa. Los detectores EDS estn diseados para convertir la energa de los rayos X en una seal de voltaje a la mayor precisin posible. Al mismo tiempo el ruido electrnico debe ser minimizado para permitir la deteccin de los rayos-X de las ms bajas energas.

Cmo el cristal convierte la energa de rayos X en carga Cuando los rayos X incidentes golpean el cristal detector, su energa es absorbida por una serie de ionizaciones dentro del semiconductor para crear un nmero de pares electrn-hueco (fig. 3b). Los electrones se crean en la banda de conduccin del semiconductor y son libres de moverse dentro de la red cristalina. Cuando un electrn se eleva a la banda de conduccin deja un "agujero", que se comporta como una carga positiva libre dentro del cristal. Un alto voltaje de polarizacin, aplicado entre los contactos elctricos en la cara frontal y la parte posterior del cristal, a continuacin, barre los electrones y los huecos hasta estos electrodos opuestos, produciendo una seal de carga; el tamao de la cual es directamente proporcional a la energa del rayo X incidente.

El papel del FET La carga se convierte en una seal de voltaje por el preamplificador FET (fig. 3c). Durante el funcionamiento, la carga se acumula en el capacitor de retroalimentacin. Hay dos fuentes de esta carga, la corriente de fuga del cristal provocada por el voltaje de polarizacin aplicado entre sus caras, y la carga de rayos X inducida que se va a medir. La salida del FET causado por esta carga acumulada es una 'rampa' de voltaje con aumento constante debido a la corriente de fuga, sobre la que se superponen escalones debidos a la carga creada por cada evento de los rayos X (figuras 3d, 4). Esta

acumulacin de carga tiene que ser restaurada peridicamente para evitar la saturacin del preamplificador.

Por lo tanto a un nivel de carga predeterminado se descarga el capacitor, en un proceso llamado restauracin. La restauracin se puede lograr ya sea por restauracin ptica de impulsos donde la luz de un LED se aplica al FET, o mediante el uso de inyeccin directa de carga en un FET especialmente diseado. El ruido est fuertemente influenciado por el FET, y el ruido determina la resolucin de un detector en particular a energas bajas. Tambin se requiere bajo nivel de ruido para distinguir rayos X de baja energa como el berilio de las fluctuaciones de ruido (Fig. 5). La carga directa de restauracin a travs del FET presenta menos ruido que la restauracin ptica. A velocidades altas de recuento, los perodos de restauracin limitan la tasa de salida mxima y cualquier efecto de la restauracin posterior (Fig. 4) afectar la medicin del pulso. La carga directa de restauracin a travs del FET es considerablemente ms rpida y evita las secuelas asociadas con restauracin ptica de manera que el ruido y la resolucin son menos propensos a degradarse con el aumento de la velocidad de recuento.

Qu hace un buen detector de rayos X?

En la siguiente seccin se presentan algunos de los problemas ms importantes que se pueden utilizar para evaluar la capacidad de un detector de rayos X para detectar con precisin y de manera eficiente los rayos-X. Resolucin de manganeso, MnK FWHM La resolucin se cita como la anchura del pico a la mitad de su altura mxima (FWHM). Cuanto ms bajo sea el nmero, mejor ser la resolucin que un detector tenga y mejor ser en la resolucin de los picos debido a las lneas de rayos X muy prximas entre s.

La resolucin del Manganeso se mide mediante la colocacin de una pieza de manganeso puro bajo el haz de electrones. En un microscopio de la resolucin se cita a menudo en 1000 cps. Esta tasa de recuento es mucho menor que la que se utiliza en la prctica para la mayora de los experimentos de microanlisis. Es importante determinar si esta resolucin se mantiene a tasas de recuento ms realistas y productivas. La importancia de la resolucin a baja energa La identificacin y cuantificacin de picos de rayos X espaciados estrechamente llega a ser ms fcil y ms precisa que cuando la separacin entre ellos aumenta. Las lneas de rayos X a baja energa se acercan ms y esto es evidente en la figura 6 donde la energa de la lnea principal alfa para las series K, L y M se grafican para todos los elementos. La energa MnK ms comnmente utilizado para especificar la resolucin de EDS, los picos estn bien separados. Sin embargo, es evidente que ms graves superposiciones se producen por debajo de 3keV y el rendimiento de resolucin a bajas energas es crtica para un buen rendimiento de todos los elementos.

Cuando se estn analizando pequeas caractersticas <1m de tamao, el voltaje del haz debe reducirse para evitar que los electrones se dispersen hacia afuera. Sin embargo, a baja kV slo las lneas de baja energa estn disponibles para el anlisis. Espectros recogidos a partir de una aleacin de nquel en 20 kV y 5 kV (fig. 7) ilustran la importancia de la resolucin a baja energa. Cuando se trabaja a 20 kV, la separacin de las lneas K ampliamente espaciados de Cr, Fe y Ni, no se vern afectadas por una variacin mucho eV pocos en la resolucin. Cuando se trabaja a 5 kV por consiguiente, la identificacin se basa en las lneas L, un detector con algunos eV permitir mejorar la resolucin de las lneas L de Cr, Fe y Ni de modo que se separen lo suficiente para una identificacin segura. Resolucin del Flor FK FWHM La anchura de los picos en un espectro variar dependiendo de la energa de la lnea de rayos-X. En la figura 8 esta variacin de la energa se ha calculado para mostrar cmo la resolucin debera cambiar con la energa de los rayos X los detectores de Si (Li) y HPGe con diferentes especificaciones de resolucin del Mn. Las curvas se calculan a partir de la ecuacin FWHM2 = k. E + FWHM ruido 2 donde k es una constante para el material de detector, y E es la energa. Estas curvas demuestran que a medida que disminuye la energa, la resolucin de los picos de rayos X mejora. La variacin tambin es claramente diferente para los cristales de Si (Li) y HPGe. A baja energa la contribucin de ruido electrnico (FWHM ruido) tiene un efecto mayor en la resolucin (fig. 9). Mn FWHM es una medida muy insensible para caracterizar el ruido de un detector y predecir la resolucin a baja energa. Por lo tanto para caracterizar la resolucin de un detector a baja energa, la resolucin es tambin corroborada por otra lnea, por lo general K flor.

Coleccin Recarga incompleta Si todos los pares electrn-hueco generados por los rayos X no son arrastrados a los contactos elctricos, la seal de carga medida por el FET ser menor de la esperada, y la energa medida inferior a la energa de los rayos X incidentes. Este fenmeno se conoce como la recogida incompleta de cargas (ICC), y los resultados de los recuentos que aparecen en el espectro a ms bajas energas que la energa de los rayos X que representan, tpicamente como una cola en el lado de baja energa del pico. Todos los

detectores sufren de recogida de carga incompleta en cierta medida. Los rayos X de baja energa tienen muy poca profundidad de penetracin y la ICC es generalmente pobre cerca del contacto frontal. Por consiguiente, el pico de una de rayos X de baja energa ser ms amplia y tienen una energa media ms baja de lo esperado, debido a los niveles de recogida de carga variable como se mide cada uno de rayos X (fig. 9). Por lo tanto, la recoleccin de carga incompleta resulta en detectores con resoluciones medidas a baja energa que son peores que los previstos por la teora. En casos extremos pudiera ser este el factor dominante que controla la resolucin en estas muy bajas energas (fig. 9). Resolucin del Carbon CK FWHM Es ms importante saber cul es la especificacin de resolucin de baja energa de un detector que aquella a la que est en MnK. Un detector con buena energa de resolucin a baja energa tendr una buena resolucin en todo el espectro de rayos X. No puede decirse lo mismo a la inversa. Una buena especificacin de manganeso no garantiza nada sobre el rendimiento a baja energa. Esto se debe a que la medida de la resolucin a baja energa se ve afectada tanto por el ruido como por la recogida de carga incompleta. La resolucin del pico CK medida usando carbono puro es muy til debido a su sensibilidad a la coleccin incompleta de cargas. Un valor bajo garantizado aqu realmente significa que es un excelente detector de todas las energas. Especificaciones del detector basado en pruebas con una fuente radiactiva Fe55 Prueba de la realizacin de un detector EDS usando una fuente radiactiva es conveniente para un fabricante del detector, ya que se puede hacer sin tener que montar un detector en una columna de microscopio electrnico. Sin embargo, Fe55 especificaciones de la fuente no garantizan necesariamente el rendimiento cuando se monta en una columna y la recoleccin de los rayos X emitidos durante el bombardeo de electrones. Tambin son de alcance limitado y no revelan algunos aspectos importantes del funcionamiento del detector, en la situacin real de los electrones microscopebased microanlisis de rayos-X. La razn de que la resolucin de un detector se especifica tradicionalmente para K Manganeso Los rayos X a 5.895 keV, es porque esta es la energa de la lnea de rayos X ms intensa emitida por la fuente de Fe55 (fig. 10). Una caracterstica til de la fuente de Fe55 es la ausencia de la radiacin de frenado continuo o Los rayos X que se generaran en un microscopio electrnico. Por lo tanto, en un espectro de Fe55 el fondo muy baja intensidad a energas ms bajas que las caractersticas Mn de rayos X picos es debido a la recogida de carga incompleta. La medicin ms comn de la CPI es el pico: relacin de fondo comparando la altura del pico de MnK para el fondo promedio de entre 0,9-1.1keV (fig. 10). Eventos que aparecen en 1keV corresponden a fotones MnK que no se ha recogido el 83% de la carga, mientras que los eventos que aparecen en decir 4keV han perdido el 32% de la carga. Aunque el estndar IEEE inicial sugiri medicin en varias energas, los fabricantes han utilizado ms comnmente 1keV. Como se muestra en la figura. 10, 1keV suele ser la parte ms baja del fondo CIC y un valor bajo en esta energa (alto pico: Relacin de fondo) no garantiza que la recoleccin gratuita ser bueno para las prdidas de carga menores que contribuyen a la cola o meseta en el bajo lado de la energa de un pico. Fe55 pico: Fondo slo da una indicacin general de la eficiencia de recoleccin de carga, pero no garantiza buenas formas de los picos o darle alguna indicacin de ICC de bajo consumo de energa de rayos X. Coleccin carga incompleta es ms importante donde los rayos X son

fuertemente absorbidas y slo penetran a una corta distancia en el cristal, por ejemplo, slo por encima del borde de absorcin de los elementos que componen el cristal (1.84keV para los detectores de Si (Li)), y por muy bajo consumo de energa de rayos X (menos de 0.5keV). La medicin resolucin CKA en el microscopio representa una medida ms til y sensible de coleccin incompleta de cargas de pico: relaciones de fondo medidos con una fuente de Fe55. Los valores bajos de CKA FWHM garantizan una excelente coleccin de cargo, y las buenas formas de los picos a todas las energas. Cambios en el rendimiento del detector con el tiempo Una causa importante de la degradacin del detector con el tiempo es la acumulacin de contaminantes que absorben los rayos X antes de que puedan ser detectados por el cristal. Los ejemplos ms comunes incluyen la condensacin de aceite en la ventana de detector y colimador o formando en la cara del cristal de hielo. Estos contaminantes provocan la absorcin preferencial y una cada en la sensibilidad de bajo consumo de energa de rayos X. De hielo se forma sobre el cristal fro debido a la migracin y la condensacin de cualquier molculas de agua en el vaco del detector. Existen dos fuentes de vapor de agua: impurezas presentes durante la fabricacin, y las molculas que migran a travs de la ventana cuando el detector est expuesto a altas presiones de vapor. Tcnicas modernas de fabricacin significan que cuando est instalado, un detector de vaco debe estar libre de las molculas de agua. En SEM donde se utilizan los modos de vaco variable o ambientales, el detector pasa tiempo en condiciones donde el agua est presente en la cmara del microscopio. Se ha demostrado que algunos tipos de ventana delgada de polmero, que son mayora en los detectores EDS modernas, para degradar y ser poroso en condiciones en las molculas de agua estn presentes. Una disminucin gradual de la sensibilidad baja energa con el tiempo dar lugar a una disminucin en la altura de los picos a baja energa. Esto se puede comprobar mediante el control de la altura relativa de las lneas K y L a partir de un elemento de metal de transicin. La relacin de L a alturas de lnea K de nquel puro medido a 20 kV es una prueba comn que se utiliza. Una prueba ms sensible para detectar la presencia de hielo en un cristal es observar el espectro L de Cr puro. El espectro de la lnea L se compone de la lnea Ll en 0.5keV, y la lnea de LA en 0.571keV. La lnea L est en el lado de alta energa del borde de absorcin de oxgeno (energa 0.531keV), mientras que la lnea Ll est en el lado de baja energa. Por lo tanto CRLA rayos X son absorbidos de manera ms eficiente por el hielo que los rayos X CrLl. En un detector con poco o nada de hielo en la cara del cristal de la lnea de L debe ser ms alta que la lnea de Ll (Fig. 11b). En un detector que ha construido de hielo para arriba en el cristal de la lnea Ll ser ms alta (Fig. 11a). El hielo se debe quitar para recuperar la sensibilidad de la luz de un elemento detector. Esto puede ser hacer de dos maneras. Si el detector est trmicamente ciclable se puede dej calentar. Cundo el cristal comienza a calentar el hielo se sublime y el vapor se disperse en el vaco. Cuando el detector se enfra de nuevo el vapor de agua se condense normalmente dentro del dewar porque esta zona se enfra primero. Esta tcnica consume mucho tiempo, que requiere el depsito de nitrgeno lquido en el vaso Dewar que ser agotado que puede tomar un nmero de das, o para acelerar el proceso, el detector puede ser removido de la columna y el nitrgeno derramada. Algunos detectores tienen un circuito de calefaccin incorporado llamado un acondicionador.

Este circuito se calienta el cristal suficiente para sublimar el hielo. Acondicionado se puede hacer mientras que el detector se enfra en la columna de la microscopio, y se puede eliminar el hielo en tan poco como 2 horas. Geometra Para una primera aproximacin, los rayos X son emitidos por igual en todas las direcciones, por lo tanto, la eficiencia de recoleccin se rige por la proporcin de espacio interceptado por el rea activa del detector (A). Esto a su vez en es proporcional a la "ngulo slido 'que sera estereorradianes 2D si se recogieron todos los rayos X en un hemisferio por encima de la muestra. Si d es la distancia de muestra de cristal, a continuacin, ngulo slido = A/D2 es una aproximacin til para ngulos slidos de menos de 0,2 estereorradianes. Detectores EDS estn disponibles con diferentes tamaos de cristales. El tamao del cristal se mide a menudo en la zona, 5mm2, 10mm2, 30mm2, 50mm2 etc No es una solucin de compromiso en el rendimiento, normalmente el ms grande es el cristal, peor ser su resolucin, sobre todo a baja energa. La eficiencia de recoleccin es ms sensible a la distancia entre el cristal y la muestra, y para una mxima eficiencia del detector debe colocarse tan cerca de la muestra como sea posible. Un cristal 10mm2 a una distancia de 5 cm tendr el mismo ngulo slido como un cristal 30mm2 a 8.7cm. La distancia que el cristal sea de la fuente de rayos X en la muestra depender de las dimensiones y el diseo del detector y tambin la geometra del microscopio (Fig. 12a). El tipo de asambleas colimador y ventanas utilizadas tambin afecta el ngulo slido. El requisito de una trampa de electrones coloca el cristal ms lejos de la muestra (Fig. 12a), y la necesidad de una rejilla de soporte para la ventana reduce el rea activa A por lo general 20% en comparacin con autoportantes ventanas delgadas (Fig. 12b). Por lo tanto, si la tasa de conteo es un problema, cuando se considera el tamao de cristal es mucho ms til saber cul es el ngulo slido mxima ser en el microscopio a utilizar, y no slo el rea de cristal. Para la mayora de los microscopios suficiente ngulo slido puede lograrse con 10mm2. En algunas situaciones, por ejemplo cuando se utiliza un microscopio electrnico de transmisin, la seal de rayos X es muy bajo, y un cristal ms grande se utiliza para mejorar la seal de recogida cin.