Microscopia p elettronica a scansione: Cenni storici

Microscopia elettronica a scansione: Cenni storici

1897 J.J. Thomson annuncia lesistenza di particelle di carica negativa, in seguito chiamate elettroni. 1924 de Broglie propone la natura ondulatoria degli elettroni 1926 Busch prova che e possibile focalizzare un fascio di elettroni con una lente magnetica g cilndrica, ,p ponendo I fondamenti dellottica elettronica. 1931 Ruska realizza il primo Microscopio Elettronico a Trasmissione (TEM). 1935 Knoll la fattibilita del Microscopio Elettronico a Scansione (SEM) 1938 Von Ardenne costruisce il primo prototipo di STEM. 1939 Siemens produce il primo TEM commerciale. 1942 Zworykin realizza realizza il il primo SEM primo SEM capace capace di di analizzare analizzare campioni campioni massivi massivi. 1946-1960 Il gruppo di Oatley al Dipartimento di Ingegneria dellUniversita di Cambridge, (UK) studia e perfeziona alcuni strumenti, introducendo nuove soluzioni tecniche e migliorando le prestazioni. 1960 Everhart and Thornley introducono il loro rivelatore per elettroni secondari, basato su scintillatore e tubo fotomoltiplicatore. 1965 Cambridge Instruments produce il primo Microscopio Elettronico a Scansione commerciale.

Microscopia elettronica a scansione Cosa la Microscopia Elettronica

Tecnica che permette losservazione di campioni con ingrandimenti e risoluzione 1000 volte superiore alla microscopia ottica ordinaria Il Microscopio Elettronico a Scansione sfrutta la generazione di un fascio elettronico ad alta energia nel vuoto. Il fascio viene focalizzato da un sistema di lenti e deflesso per scandire una area del campione Linterazione fascio-campione genera vari segnali che vengono acquisiti da opportuni detectors e successivamente elaborati fino a formare una immagine a livelli di grigio Da indicazioni su: morfologia della superficie del campione composizione p chimico fisica difettosit elettriche contaminazione delle superfici misura su a de dei po potenziali e a supe superficiali ca

Microscopia elettronica a scansione I pregi del microscopio a scansione elettronica (SEM)

Alta risoluzione (limite 2nm) Alti ingrandimenti (fino a 100000x) Alta profondit di campo Facile preparazione del campione

La combinazione combina ione di alti ingrandimenti, ingrandimenti alta risoluzione, risol ione larga ampiezza ampie a del fuoco f oco e facile preparazione e osservazione del campione rende il SEM uno degli strumenti pi affidabili e pi semplici da utilizzare per lo studio e la diagnostica delle difettosit nei componenti elettronici.

Microscopia elettronica: Confronto tra microscopie

MO Range di ingrandimento Risoluzione Ordinaria Per osservazioni accurate Limite Profondit di campo 5m 0,2m 0 1m 0,1 0,1mm a 10x m a 100x Ambiente
versatile

SEM 10-10000

TEM 1000-1000000

1-1000

m 20nm 1nm 10mm a 10x 1mm a 100x

richiede il vuoto (0,03Pa)

5nm 1nm 0 2nm 0,2nm limitata allo spessore del film limitata allo spessore del film
richiede il vuoto (0,03Pa)

Microscopia elettronica: Confronto microscopie

Microscopia elettronica: Confronto microscopie

Confronto tra la micrografia ottica (a) e SEM (b) di un radiolare Trochodiscus Longispinus. Sono evidenti la profindit di fuoco ed il superiore potere risolutivo

Ref: Scanning E. M. and X-Ray Goldstein et. Al.

Microscopia elettronica: Lo strumento

Microscopia elettronica: Lo strumento

Microscopia elettronica a scansione

Gli elettroni emessi dal catodo vengono accelerati da un elettrodo forato (1 30kV) Un sistema di lenti elettromagnetiche focalizza il fascio Un sistema di bobine di scansione d fl deflette il f fascio i che h colpisce l i sequenzialmente la superficie del campione. Gli elettroni l tt i del d l fascio f i interagiscono i t i con il il campione dando luogo vari effetti (es SE o BSE). Un detector U d t t rivela i l il segnale l e lo l invia i i ad uno schermo.

Microscopia elettronica:

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Parti principali
La sorgente L t di illuminazione: ill i i il cannone elettronico l tt i Il sistema per il vuoto spinto Le lenti elettromagnetiche (1 o pi a seconda dello strumento) Le bobine di deflessione La lente obiettivo I rivelatori di segnale Il sistema di trasformazione dei segnali in immagini La camera porta-campioni

Microscopia elettronica:

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Catodo ad esaboruro di lantanio (LaB6)

Asta di LaB6 di 16mm con sezione di 1mm2 Temperatura di esercizio 1700-2100K Corrente emessa 40-100 A/cm-2 4Pa V t richiesto Vuoto i hi t 10-4 P (necessit ( it di un ulteriore lt i sistema i t di vuoto t costituito tit it da d una pompa ionica)

Microscopia elettronica:

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H=B/

= permeabilit magnetica

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Sistema di focalizzazione del fascio

Si consideri che le lenti in realt sono delle spire

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cross over

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Come rendere conduttiva la superficie del campione coating: Au o Cu

Microscopia elettronica a scansione Parametri da controllare saturazione del fascio tensione ingrandimento dimensione del fascio

Importanti parametri
Sorgente degli elettroni Focalizzazione del fascio interazione elettroni con la materia Detectors Preparazione del campione Manualit

Microscopia elettronica a scansione Effetto della tensione

Microscopia elettronica a scansione Effetto del beam size

Microscopia elettronica a scansione Effetto del edge

Microscopia elettronica a scansione Effetto inclinazione del campione

Microscopia elettronica a scansione Effetto del posizione campione - detector

Microscopia elettronica a scansione Effetto del beam damage

Microscopia elettronica a scansione Ottimizzazione della luminosit e dal contrasto