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ksjp, 7/01
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Mscaras - so fotografias positiva ou negativa de alto contraste. Elas so usadas para delinear as partes onde incidir (ou no incidir) luz no fotoresiste. H basicamente 3 formas de ger-las:
tcnicas fotogrficas; feixe de laser; feixe de eltrons.
Processo Fotolitogrfico- Este processo consiste na aplicao do fotoresiste sobre a superfcie da lmina. Quando submetido exposio de luz o fotoresiste muda suas caractersticas fsicas podendo ser removido de forma seletiva
Deposio - Filmes de vrios materiais precisam ser aplicados durante a fabricao de um circuito integrado. Estes filmes produzem isoladores, resistores, condutores, dieltricos e dopantes. A deposio pode usar uma das seguintes tcnicas:
evaporao; sputtering; deposio por vapor qumico (CDV)
Isotropic
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Difuso - refere-se a migrao controlada de impurezas no substrato. Este processo controlado atravs da temperatura e do tempo. A difuso um processo cujo controle da direo com preciso difcil. Outra tcnica usada para inserir impurezas a implantao inica. Condutor e Resistor - O alumnio ou outro metal podem ser usados como condutores na interconexo entre componentes do circuito integrado. O polissilcio, um condutor no metlico usado nas portas dos transistores MOS, como resistor e como eletrodos de um capacitor.
Oxidao - processo onde o oxignio combina com o substrato ou outros materiais para formar um xido. SiO2 - serve como um bom isolante e tambm pode ser usado como material dieltrico em capacitores. Quando crescido sobre o substrato consome parte do silcio. O crescimento de x microns de SiO2 consome 0.47x microns de silcio do substrato. Si3N4 (nitrido) - usado como dieltrico pois sua constante dieltrica 4 vezes maior que a do SiO2.
Thermal Oxidation
O2 SiO2 Silicon
Silicon
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Silicon is consumed as the silicon dioxide is grown. Growth occurs in oxygen and/or steam at 8001200 C. ~2um films are maximum practical
Thermal Oxidation
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Epitaxia - o crescimento epitaxial geralmente feito por deposio por vapor qumico (CVD). Este processo usado na tecnologia bipolar criando uma camada de silcio cristalino. Testes e Encapsulamento - Aps a sua fabricao os circuitos integrados precisam ser testados. O projetista precisa prever os pontos de testes para identificar possveis falhas de projeto ou de mau funcionamento. Quanto a tecnologia de encapsulamento houve poucos avanos desde a dcada de 70. Trata-se de uma rea que necessita novas tecnologias.
Resistivadade de Folha - em processo de fabricao de circuito integrado a resistividade do material definida por
Processo MOS
Inicialmente ser feita uma breve discusso sobre o princpio de operao do transistor MOS.
Simbologia
H uma grande variedade de smbolos usados para representar os transistores MOS sendo os mais usuais os seguintes:
Processo NMOS
No processo NMOS os seguintes dispositivos esto disponveis:
MOSFET canal n de enriquecimento; MOSFET canal n de depleo; capacitores; e resistores.