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POLITECNICO DI BARI

Corso di Sistemi Micro e Nanoelettronici Accelerometri MEMS capacitivi: Elemento di Sensing


Docente: Prof.ssa Ing. C. Ciminelli Studente: Lorenzo Columbo

Modello dinamico di un accelerometro MEMS


Plate rettangolare sostenuto da quattro molle fissate ai suoi angoli Metodo generale per la determinazione delle equazioni del moto: equazione di Lagrange

Nel caso specifico, si assume:


Forze dissipative unicamente di natura viscosa Molle ideali e prive di massa Piccoli spostamenti angolari

Dalle espressioni di V, T e F calcolate si ricava: Modi traslazionali: Modi rotazionali:

Sistemi dinamici del secondo ordine


Sistema dinamico del secondo ordine Frequenza di risonanza delli-esimo modo

Fattore di attenuazione delli-esimo modo

Funzione di trasferimento ottenuta tramite Laplace:

Considerazioni su:
Larghezza di banda Sensibilit

Considerazioni tecnologiche
Bulk micromachining vs. Surface micromachining
Spessore della massa di prova: tecniche di wafer bonding Realizzazione di strutture complesse ed elettronica di condizionamento on-chip Vantaggi del surface micromachining e materiali impiegati

Processo MICS (Berkeley University)


Compatibilit di microstrutture ed elettronica CMOS Metallizzazioni, barriere di diffusione e passivazione Microstrutture: strati strutturali e sacrificali; presenza di fusibili

Soluzioni architetturali
Direzione di sensing:
Rilevazione out-of-plane Distance-changed Rilevazione in-plane

Principio di trasduzione:

Area-changed

Soluzioni alternative tipiche:

Ese pi di architetture a tre assi:

Struttura Si etria

Sensi ilit

Schemi di controllo
Controllo in anello aperto vs. controllo in anello chiuso
Principio e complessit dellarchitettura Sensibilit alle tolleranze di processo Deflessione della massa di prova e linearit Comportamento dinamico

Implementazione del feedback:

analogico

digitale (sigma-delta)

Pull-in elettrostatico e stopper meccanici Impiego con strutture di sensing asimmetriche Disponibilit di unuscita digitale (PDM) e testabilit Complessit del sistema

Schema a blocchi delle due soluzioni di controllo (modello non lineare):

Costante di elasticit (k): rigidit delle strutture flettenti


Ipotesi adottate:
Carico concentrato lungo x, y e z Sforzi di taglio e assiali trascurabili (eccetto per kx) Deflessioni ed angoli di rotazione ridotti (analisi lineare)

Osservazioni:
Valutazione delle costanti di rigidit Rapporti di rigidit e vincoli tecnologici

Metodo generale di analisi:


1. 2. 3. 4. 5. 6. Individuazione di eventuali simmetrie Determinazione condizioni al contorno Suddivisione in segmenti di trave Condizioni al contorno sui segmenti Calcolo torsione e flessione lungo i segmenti Applicazione del teorema di Castigliano

Struttura clamped-clamped
Parametri geometrici:
L = 100 Qm w = 2 Qm t = 2 Qm mass_x = 100 Qm mass_y = 100 Qm mass_z = 2 Qm

Struttura crab-leg
Parametri geometrici:
La = 60 Qm wa = 2 Qm Lb = 100 Qm wb = 2 Qm t = 2 Qm mass_x = 100 Qm mass_y = 100 Qm mass_z = 2 Qm

Struttura folded
Parametri geometrici:
Lb = 100 Qm wb = 2 Qm Lt = 40 Qm wt = 2 Qm t = 2 Qm mass_x = 122 Qm mass_y = 122 Qm mass_z = 2 Qm

Struttura serpentine (n = 6)
Parametri geometrici:
a = 10 Qm wa = 2 Qm b = 40 Qm wb = 2 Qm t = 2 Qm mass_x = 100 Qm mass_y = 100 Qm mass_z = 2 Qm

Costante di attenuazione (B): effetti di dissipazione viscosa


Ipotesi adottate:
Flusso laminare Fluido (gas) newtoniano Drag-force trascurabile numero di Reynolds piccolo viscosit costante gap del film di fluido piccolo

Condizioni operative:

Temperatura

Pressione

Equazione di Navier-Stokes

Squeeze-film damping

Slide-film damping

Squeeze-film damping: analisi


Ipotesi adottate:
spessore h uniforme film isotermico spostamenti ridotti fluido incomprimibile derivate nulle P proporzionale a V
(h << h0, (P << P0 (P/P0 << (h/h0

Plate rettangolare lungo (L >> B):

Plate rettangolare (caso generale):

Squeeze-film damping: simulazioni FEM

Slide-film damping: analisi


Ipotesi adottate:
spostamenti ridotti plate infinito scorrimento assente a0 << l l >> 2a0d2/H2 cond. al contorno

Distanza di decadimento effettiva:

Ulteriore ipotesi:
flusso di Couette d << H

Slide-film damping: simulazioni FEM

Progetto dellelemento di sensing


Specifiche di progetto:
Bias drift < 5 mg Larghezza di banda = BW = 100 Hz Range operativo = R = 2 g Rumore = (an2/(f) = 200 Qg/Hz

Considerazioni di tecnologia e controllo (bias drift):


risultati dimostrati nella letteratura scientifica possibilit di architettura in anello aperto affidabilit del processo: surface micromachining

Architettura di riferimento: accelerometro uniassiale out-of-plane distance-changed Range di variabilit tipici (processo surface micromachining): Approssimazione lineare (piccole deflessioni):

Specifica sul range operativo:

Progetto dellelemento di sensing


Specifica sulla larghezza di banda:

Specifica sul rumore:

Parametri (k,B) del modello fisico:

Scelta della struttura flettente serpentine (necessit di compattezza per kz piccolo)

Dimensionamento della struttura flettente:

Progetto dellelemento di sensing


Dimensionamento della massa di prova (quadrata):

Dimensionamento del film di gas: Struttura finale ottenuta dal dimensionamento: Parametri fisici calcolati:

Simulazione dellelemento di sensing

Risultati di progetto: