DIPARTIMENTO 01 FISICA Unlverslta degli Studi di Roma "La Sapienza"

Piazzale Aldo Moro, 2 00185 Roma

Franca M agistrel/i

APPUNTI DI TECNICA DEL. VUOTO

Anno Accademico 1963 -1964

3 / 6.BOO

INDICE

Capitolo 1 CARATTERISTICHE DI UN SISTEMA DA VUOTO

1 • 1

Introduzione

Definizione di flusso di impedenza e di velocita di aspirazione

1.3 EspreSSione dell'impedenza nei casi

1 .2

1 .4

. ~ .

pa.u co mum

Metodo per ricavare i valori della conduttanza per gas diversi dall'aria e per temperature diverse da 200C

Traspirazione termica

1 .5

1.6 Velocita di aspirazione dopo una impedenza

1 .7 1 .8

Velocita di aspirazione di una pompa Temp~ di svuotamento

1.9 Metodi di misura della ve Lo c t ta di aspirazione

1 .10 1 • 1 1

Schema generale di una ·linea da vuoto Cal colo di una linea da vuoto

..

Capitolo 2

POMPE DA VUOTO

2.1

Introduzione

Pompe da basso vuoto Pompe da alto vuoto

Pompe per vuoto ultra-spinto

2.2.

2.3 2 •. 5

Pag , 1

"

2

41

6

"

21 22

"

11

25 26 29

"

"

,.

33 34 37

"

"

"

41 42 47 64

"

"

II

VACUOMETRI

3.1
~.2 ...
3.3
3.4
3.5
3.6
3.7
3.8 Capitolo 3

IntroduziOrie

"D'la. 81
" 82
II
p 84
" C!~
~_.p)
II .19
11 ':1
II 07. Tubi di scarica

Vacuometro radiometrico di Ynudsen

Vacuornetro e viscosit~

Vacuometri ~ ~resRione idrostatica Vacuorne t r t 2. conduci bi11 th terr.:ica

Vncuo~etri a ionizzazione

Vacuomotri indicatori di pressioni parziali.

PERDITE 'E T :2N·TJTE

Capitolo 4

4. 1 .. - Introduzione

4.2 Perdite virtuali. ~roble~i di deRasa mento

4.3 Prob1emi di tenuta

4.4 Ricerca delle pcrdite

II

n

108 113 lIe;!

1/

II

~apitolo 1

CARATTERISTICHE DI UN SISTE~~ DA VUOTO

1.1 - Introduzione.

3i intende indicare con la parola "vuoto" una pre!! sione inferiore alIa pressione atmosferica. A seconda pera che questa pressione sia molto 0 poco inferiore a quella at mosferica, i fenomeni che hanno luogo nel gas possono essere di natura assai diversa, come di tipo fondamentalmente diver so sono i mezzi (pompe) necessari per produrre queste depre~ sioni.

8i usa percie suddividere i vuoti in tre categorie. 8i parla di IIbassi vuotill nel caso di pressioni comprese fra la pressione atmosferica e 10-3 rom Hg, di "alti vuoti" nel caso di pressioni comprese fra 10-3 e 10-8 rom Hg, e di IlVUO ti ultra-spinti" per pressioni inferiori a 10-8 mm Hg.

E' utile ricordare qui che i cammini liberi medi

-3 per llaria a temperatura ambiente aIle pressioni di 760, 10 ,

10-6, e 10-8 rom Hg sono uguali rispettivamente a 2 x 10-6,

3, 3 x 103 e 3 X 105 CD.

Lo scopo di questi appunti e quello di dare breve mente alcune nozioni generali concernenti un sistema da vuo to ed i suoi elementi costituenti, fornendo criteri, nozioni e formule particolarmente utili nell'impiego e nella proget tazione di impianti e circuiti da vuoto.

- 2 -

3i suppone peraltro che il lett ore abbia gia fami liarita con 1e leggi e 1a teoria cinetica dei gas. 3i crnet teranno inoltre molt~ dimostrazioni per Ie quali si rimanda a testi completi di vuoto e di teoria cinetica.

1.2 - Definizione di flusso di imuedenza e di velocita di

aspirazione.

E' utile trattare una linea da vuoto in modo ana logo ad un circuito ele~trico in corrente continua.

3upponiamo di avere un sistema da vuoto costitui to de una pompa e da una canalizzazione piu 0 neno complica ta che connetta la pompa ad un recipiente nel quale viene fatto il vuoto. Se si fa corrispondere la pressione al paten ziale elettrico, la pompa, dando luogo ad una differenza d1 presaione fra la sua bocca e la sua parte di searieo, corri sponde ad un generatore di forza elettro~otrice.

Supponiamo che il recipiente da vuotare abbia una perdita verso l'atmosfera~ poiche la pompa scarica nellla! mosfe:r>a il gas che rimuove dal reeipiente da vuotare, 1a Ii nea da vuoto sara analoga ad ~~ circuito elettrico in corren te continua, lungo il quale 11 generatore provoca una caduta di potenziale

Se invece i1 sistema e esente da perdite, si puo considerare i1 recipiente da vuotare, la cui pressione dimi nuisce man mana che la pompa lavo~a fino a1 raggiungimento della pressione 1i~ite, CODe llarQatura a tensione di un con densatore posto in ca~ica su un geneYatore. L'armatura a mas sa corrisponde alliambiente esterno; 1a tensione IIzeroll cor

- 3 -

risponde cioe alla pressione atmosferica.

Supponiamo il gas nel sistema in equilibrio ed a temperatura uniforme. Definiamo una quantita Q = pV', dove p e la pressione e V' e i1 vo1ume-di gas che fluisce attra verso la generica sezione del sistema'per secondo. Per la legge dei gas s1 ha

Q ;:- pV' ;:- kNIT

dove k e la cestante di Boltzmann, Nt e il numero di moleco Ie che attraversano la sezione considerata per secondo e T

e la temperatura assoluta. Sotte Ie ipotesi fatte, la quan tita Q ha evidentemente 10 stesso valore, a parita di tempo, in ogni sezione del sistema ed e l'analogo della corrente in Q~ circuito elettrico. Nella pratica si usa misurare Q in

IU Hg x litri/sec.

Nel caso che la temperatura non,sia uniforme lun go J_a linea la grandezza avente ugual v~lore ad ogni sezi£

ne sara 1'1 I = Q/~>{T. Di questo caso (effusions terroica) si "_trat tera in un seguente paragrafo.

21 de. notare che l'introduzione di una temperat~ ra, e quindi la validita della legge dei gas, e giustifica ta dal fatto che 1e velocita di flusso delle molecole lungo la linea da vuoto sono normalmente molto minori delle vela cita di agitazione termica.

L'analogia can un circuito elettrico in corrente continua e ora completa 5e si definisce l'impedenza di un tratto di linea da vuoto come la caduta di pressione per

- 4 -

unita di flusso. 3i potra quindi scrivere per l'impedenza

( 1 )

Q

se P1 e P2 sono Ie pressioni ai due estremi del tratto di canalizzazione che 8i considera. Z si misura normalmente in sec/litro.

3i usa poi parlare di conduttanza di una canaliz zazione; essa e naturalmente l'inverso dell'impedenza e si potra per essa scrivere

c =

1 Z

(2)

Questa grandezza viene misurata in litri/sec.

EI facile dimostrare che per Ie impedenze da vuo to valgono 1e stesse regole che valgono in un circuito in corrente continua per quanto riguarda llimpedenza totale presentata da un sistema di impedenze poste in serie 0 in parallelo.

3i usa poi parlare nella pratica dei sistemi da vuoto di velocita dl aspirazione. Questa grandenzza e defi nita come il volume di gas rirnosso dal sistema per unita di tempo misurato alIa pressione p. 3i ha guindi, indicando la velocita di aspirazione cosi definita con 3 e ricordando quag to detto in precedenza, S = VI. 8i usa perc parlare di S an ziche di VI quando si pensa alIa effettiva azione di pompaB gio.

- 5 -

Analogamente alIa conduttanza, di cui ha Ie stesse dimensioni, la velocita di a?pirazione viene misurata in Ii tri/sec.

Da quanta detto segue che un circuito ds vuoto com pleto puo essere rappresentato, in analogia ad un circuito elettrico, dallo schema di Fig. 1. II condensatore di caps .. cita C corrisponde al re cipiente da vuotare di

z

volume V e Z e un'impe

c -

denza che rende canto di

eventual1 perdite del si stemaverso l'stmosfera. Z e l'impedenza di tutta la linea ira la bocce del la pompa e il recipiente

F

c

Fig. 1

da vuotare. Z e Z sono

p s

Ie impedenze in para11e10 ed in serie del generatore equiv~

lente alIa pompa. La f.e.m. del generatore corrisponde al vuoto raggiungibile in assenza di perdite; 11 vuoto limite della pompa corrispondera invece al rapporto

f

z

s ........,

Z + Z

P s

Z f~ Z

P

avendo indicato can f la f.e.m. La velocita di aspirazione S corrisponde inoltre all'inverso della resistenza interna del Is pompa.

- 6 -

1.3 ~ Espressioni dell'impedenzanei casi piu cornuni

Come i1 valore di una resistenza elettrica dipe~ de dal materiale da cui essa e costituita e dalla sua geome tria, cosi 11 valore d1 un'impedenza da vuoto dipende dal gas che s1 sta aspirando e dalla geometria del tratto 61 Ii nea da vuoto ehe presenta l'impedenza in questione.

II valore d1 ~n'impedenza da vuoto dipende inoltre dalla pressione del gas; pit precisarnente si distingue fra 11 regime d1 flusso viscoso (bassi vuoti) e quello di flus so molecolare (alti vuoti)

Darema qui appressa Ie espressiani della canduttan

za per alcune geometrie Dalto C01TIuni nelle pratiea dei s i sc e

mi da vuoto.

- Apertura circolare. Consideriarna una regione a pressione eostante P1 connessa tremite un piccolo foro circolare ad u na regione la cui prcssiane P2 possa essere variate.

Portando 11 valcro d1 P2 un po al d1sotto d1 P1 (che puo essere per esempio la pressione atmosferica) s1 ha attraverso l' apertura un fLu s s o che aumenta a1 diminuire di P2 finchc, per un valore eritico del rapporto P~P1' esso rimane costante.

3i pub dimostrare che al disopra di questa rappo£ to crit1co 11 f1usso attraverso 1'apertura ~ dato da

(c.g.s.)

( 3 )

~ 11 rapporto dei calori sp~

- 7 -

cifici del gas, k e la costante di Boltzmann, m e la massa della molecola di gas e T1 e la temperatura assoluta nella regione a pressione P1.

Consideriamo il caso dell'ar~a a 200C; si ha

2 dove P1 e misurata in /u Hg ed A in em •

Considerando il flusso Q come funzion~ di r si puo vedere che esse ha un massimo ad un valere di r che per lla ria a 200C e dato da

2 ~/(t-1)

rC:::(¥+1)

::: 0,5'25

Quindi i1 flusse e zero per r == 1, sale a 20 AP1 (litri/sec) per r ~ 0,525, ed e costante al dis otto del ra~ porte critico delle pressioni.

L'impedenza e~la conduttanza dell'apertura sono date, sempre per l'aria a 200C, da

1 Q

- == C ;:: --'----

Z P1 - P2

== 76,6

0,712 r

0,288 - r

A

(5)

1 - r

per r ~ 0,52

(litri/sec)

1

=C-:::::20 A{1-r) Z

(litri/sec) per r :50,52

(6)

1

Z ;:: C ::::; 20 A (Ii tri/ sec) TIer :r -$0 t 1

(7)

- 8 -

La regione 2 pub essere consider~ta come una po~ pa per la regione 1, per modo che si puo parlare di una v~ locita di aspirazione associata alltapertura; essa e data da

Q

s = --- = C(1 - r) = 76,6

P1

0,712 \/1 0,288 A (lOt °1 )

r - r 1 r1 sec

( 8)

per r > 0,52

(litri/see), per r<0,52

(9)

La tabella che segue da i valori della eonduttanza 2

e della veloeita di aspirazione per em dell'apertura in cor

rispondenza a vari valori di r, nel easo dell'aria a 200C.

TABELLA I

r

c = W(P1 - 1'2) (litri/sec/cm2)

S = C(1 - r)

, (Ii tril secl em2)

1, a 00 0
0,9 123 12
0,8 80 16
0,7 62 19
0,6 49 20
0,525 42 20
O~ 5, 40 20
0,3 29 20
0,1 22 20
0,03 20 20 - 9 -

Quanto precede s1 r1ferisce a1 caso di pressioni non molto basse e quindi di f1usso viscoso. A pressioni mo1to basse 1e molecole attraversano 11 recipiente senza subire urti e quindi possono passare attraverso l'apertura indifferente mente in tutti e due i versi.

S1 dimostra in teoriacinetica dei gas che s1 puo scrivere per il flusso attraverso un'aprtura di area A Ie cui dimensioni siano piccole rispetto a quello del recipien te ed a1 cammino libero medio delle moleco1e del gas

Q1 = ~ P1A

(c.g~s.)

Se l'approssimazione di flusso molecolare vale da tutte e due Ie parti si avra un'espressione analoga per i1 f1usso dalla regione 1 verso la regione 2, e s1 potra seri vere per il flusso complessivo attraverso l'apertura

(c.g.s. )

(10)

e per llaria a 200C

( 11)

A ~. t. 2

se ~ e m~sura a ~n em •

Vogliamo sottolineare aneora ehe l'1potesi che 11 flusso totale attraverso ltapertura sia uguale alIa differen za dei flussi nei due versi e giustificata dall'aver suppo sto i1 camrnino libero medio delle molecole del gas molto mR£ giore delle altre dimensioni.

- 10 -

Si avra allora per la conduttanza e per l'impedenza

1

- ~ C = Q/(p - p )

Z 1 2

( 12)

e per l'aria a 200C sara

1 2

~ C = 11,6 A = 36,4 a (litri/sec) Z

(13)

avendo indicato cor. a il raggio. L~ tabella che segue da i v~ lori del+a conduttanza e delltimpedenza per aperture circola ri.di diversi raggi.

TP_BELLA II

(em)

C - 11,6 A = 36,4 a2 (litri/sec)

Z :::: 1/C (sec/litro)

a

0,5

0,364 S, 1

2,747

_0,110 0,0275 0,00686 0,00109 0,00027 0,0000686 0,0000305 0,000011

0, 1

1 2 5

10

20 30 50

36,4

145,6 910

3540

14560 32760 91000

Si pub anche in questa caso 2ttribuire all'apertu

- 11 -

ra una velocita di aspirazione per il gas nella regione a pressione P1' Essa sara data da

( 14)

e per l'aria a 200C

( 15)

Se P2<:<:P1' ipotesi verificata in prat1ca nei pr£ 'u-lerr..i di alto vuoto, s1 ha

s ~ C ~ 11,6 A (litri/sec)

( 16)

- Apertura piccola risvetto 21 recipiente a valle e grande rispetto 21 recipiente a monte. Consideriano il caso di Fig.2 (1) e un grande recipiente, (2) e una canalizzazione di sezio ne Aot (3) e un altro grande recipiente; (2) e (3) sono col legati da un'apertura oi superficie A. Le dimensioni di qu£ 3t'uLti~a seno picco1e rispetto al recipiente (3) rna grandi rispetto alIa canalizzazione di sezione Ao'


(1) AO ( 2 ) A (3)

L
Fig.2

- 12 -

L'impedenza vista dal gas andando da destra verso sinistra ha la forma

+

+ Z~ e

dove-Z ~ l'imp~denza ~ffettiva dell'apertura A vista dalla

e

cana l.r z za at one Ao' II gas ehe fluisc'e da destra verso sini

stra trova ineeve prima llapertura A e poi la canalizzazio ne Ao ehe comunica can i1 recipiente (1). Quindi la condut tanza da destra verso sinistra e della forma

Z -:;::;' Z_.A + ZL

Supponiamo ora di essere in regime molecolare. Le due can duttanze devono e ase r-e allora uguali e e i. puo scri vere

Zp, + 2L + Z .- 2A + 2L
, 0 e
Z :::: ZA - ZA = 2 (1 - 2:_)
e 0 A Ao ( 17)

e

( 18)

s~ A« Ao &1 ri trova naturalmente Ze = ZA e Ce = CA' D'altra parte. 5e A = Ao, 2e = O.

La conduttanzae-la velocit~ di aspirazio~e saran no date per llaria a 200C dalle seguenti formule

- 13 -

1 C 11,6 A (litri/sec) ( 19)
= =
z ,( 1- A/A )
o·
S C(1 - 1'/1'1) ::: 11,6 A (1- 1'2/P1) (litri/sec) (20)
= (1 - A/Ao) In regime viscoso il gas fltiisce solo nel senso delle pressioni descrescenti e non si possono piu applica re i ragionamenti pr-e ce derrt I per 1 tuguaglianza delle imp!. danz e nei due versi. Sembra tuttavia, anche se non e po~ sibile dimostrarlo, che 81 possa utilizzare anche in que sto caso il fattore d1 correzione Ao/(Ao - A) che in effet ti assume i valori 1 ed 00 rispettivamente nei due casi Ii mite A <._Ao e A = Ao'

- Canalizzazione circolare. Supponiamo di avere un condot to rettilineo a sezione circolare. Anche qui, escluso come sempre il caso di flusso turbolento, e necessario distingu~ re tra i1 flusso viscoso (bassi vuoti) e fluBso moleco1are (alti vuoti). Senza dilungarci sulla teoria, per Ia quale r-imano i amo a testi piu completi, diremo qui semplicemente qual'e i1 criterio di distinzione tra i vari flussi gen~ ralmente impiegato. Indicando con D i1 diametro del condot to e con p 1a sua pressione media, si considera viscoso il fluBso se e verificata la co~dizione pD ;> 500 /u Hg x em;

si considera invece i1 ±:lusso rno l e co Lar-e se pD < 15 IU Hg x em. Per esempio per l'aria ( A = 5/1') 8i ha.fIusso viscoso per

f.. < D/10o, e flusso mo1eco1are per A >n/3.

Consideriamo ora i1 caso di fluBSO mo1ecolare.

- 14 -

Come si e detto in precedenza, la quantita di gas che fluisce da un recipiente a pressione P1 attraverso una apertura di area A e data da VkT/2 JT m • P1A, se 1 'apertura e piccola rispetto aIle dimensioni del recipiente e se il cammino libero medio e molto maggiore di queste.

Riferendosi a.L'La Fig. 3; Q. sara il flusso uscen te, dalla ;t%"egione a pressione P1 a t t r-ave r-ao A. I'I'!a Le moleco

cole costituenti questQ flu~ so saranno in parte riflesse dalle pareti del condotto.E' ragionevole supporre che la frazione riflessa in avanti, aioe verso la regione a pre~ sione P2' sia proporzionale ad A ed inversamente propor zionale alIa superficie BL


P1 A -- P2

r-- L--+ Fig.3

del aondotto. (Si e qui indicato con L la lunghezza del con dotto e con B il suo perimetro). Quindi il flusso dalla re gione a pressione P1 a quella a pressione P2 sara prop~rzi£ nale a

(Ie collisioni intermolecolari sono rare).

ma analogamente il flusso dalla regione a pressi£ ne P2 a quella a pressione P1 e proporzionale a

- 15 -

Quindi il flusso complessivo e dato da

BL

Se la costante che compare in questa formula ha ·il valore 16/3 questa formula da con buona apyrossimazi~ne il flusso molecolare in una canalizza2ione a sezione circolare. Piu in generale per tenere conto anche -di altre geometrie si usa una costante di proporzionalita 16/3 K, e 1a conduttanza della canalizzazione e allora data da

.l.§.K 3 -

r;::;V21fm

(c.g.s.),

( 21)

BL

Scri v i.amo allora La (2-1) nel ca s o di un condotto rettilineo a sezione c i.r-co Lar-e (A = JT D2/ 4 , B = IT D) •

Si ha

C IT LkT D3 1 J2lT kT n3
= -- =
3 V2rrm L 6 m L
e per l'aria a 20°C
C ::: 12, 1 D3/L (c.g.s.)

'(litri/sec)

Questa trattazione suppone la can~lizzazione molto lunga rispetto al suo diametro. Se questa condizione non €I verificata e necessaria tenere canto, sonmandola, della ~m pedenza delle aperture terminali. Tenendo conto di questa

si arriva, senpre per il caso dell'aria a 20°C, alla seguen te formula

- 16 -

(litri/sec)

(22)

dove a e una funziane di LID che e riportata numericamente nella tabella che segue

TABELLA III

LtD a LID a
0,05 0,036 4 0,75
0,08 0,056 6 0,82
0,1. 0,070 8 0,86
0,2 0, 13 10 0,88
0,4 0,23 20 0,94
0,6 0,51 40 0,97
0,8 0,38 60 0,98
1 0,43 80 0,98
2 '0,60 100 1 Diamo poi in Fig.4 un abaca a punti allineati per la valut>azione numerica della conduttanza, corrispondente a1. la formula (22). Per ~sarlo basta tracciare la retta ehe can giunge i punti Bulle scale delle lunghezze e dei diametri ehe corrispondono ai dati del problema; la eonduttanza eereata sara data dal1'intersezione Bulla scala delle eonduttanze. L'intersezione sulla scala delle ex da il valore del fattore di correzione. Basta allora per risolvere completamente il problema, moltiplicare C per IX •

- 17 -

Knudsen ha dato una formula rorieJ1rpi.rica per la con duttanza di una canalizzazione rettilinea a sezione circola ret che puo rendere conto dei vari regimit molecolare, visco so e intermedio. Essa e la seguente:

1 +Vk: D j?
- V2:kT n3
rr D 12 1 ( 1 TL ) (23)
c = ( 128 )+(- -)
TL L . 6 L + 1,24 m D i5
-
kT 11.
(c.g.s.) L 01. C 0
~'l 100
80
60
q2~ ..--...
'"i 50
u
..
II>
.. 40
qa ~
........ '=-' 30
-;:
0,4 ...
... ....
..s.. .!!I!
0
.... 20
...
... 0,6
c
0
'"
'" qa
..
...
41
'" .. e 10
c: E 3
'"
u 01 •
0.94 ... ..
s .... -
.. Q.!:IS U 6
'0 C\S6 -- -a
2 Q97 5
'" ._ 0
.. ....
N C. i: 4
... q98
.. E
.J::. 3 III 5 '"
01 N is J
c c:;
~ ~ .s
..J <4
:;
-a
c 2
0
u
6
1:3 Fig.4

- 18 -

In questa formula ~ e i1 coefficiente di viscosi ta, Lela lunghezza della canalizzazione, m e la massa del 1a mo1ecola, k e 1a costante di Boltzmann e T 1a temperat~ ra asso1'\.l.ta.

Questa formula e valida esc1udendo come gia s1 e detto 11 caso di f1usso turbolento e se la differenza di pre~ sione tra gli estremi della canalizzazione non e molto grag de.

Si vede da questa formula che per pressioni molto basse (flusso molecolare) 1a conduttanza s1 riduce a

D.3 L

(c.g.s.)

(24 )

mentre per pressioni alte (f1usso viscoso) essa e data da

IT C = 128

Dl.l

-

p

(c.g.s.)

(25)

L

Per I'aria a 200C la (23) diviene

D4 _ D3 1 + 0,256 D n)

C = (0,182 ~ p)+(12,1 ~) (1 + 0,316 D P

(26 )

dove D ed L sono misurate in cm e p in IU Hg.

Si puo quindi scrivere

C = 12,1

J _

se

- (D -p)2

J = 1 + 0,271 D P + 0,00479 _ __

1 + 0,316 D P

(27)

- 19 -

J rappresenta una correzione da applicare nel ca so viscoso e si pub trovare tabulata in funzione del prodot to pD.

Per l'aria a 200C Ie (24) e (25) divengono
C :::: 12, 1 n3
L ( 28)
IT n4 (29)
C :::: 128 p
L La Fig.5 da un abaco a punti a1lineati per i1 cal colo numerico della conduttanza delle canalizzazioni a sezio ne circolare in tutti i regimi.

L P J C 0
q.l - 100
I
~ 10
"
.. 50
... . ...... so
q~ ....... ~
-
.. -to
Of' 1iI OJ
.-..., c,,3 'co 1I c:
;: .... _- u .2 Xl
.... OJ ..
0; q~ 0 "0 ..
b ..., E ..
.- .. ..
to'" .. .. ZG
OJ Co E c
c: 0.,6
-g 0 'Co ..
OJ OJ U
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.. ~ ~
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.. u,!:
u •
~ ,
...
" 2 5
..
~ ~
...
e: 3
'"
c: 3
..
-' ..
2
6
•
10 Fig.5

- 20. -

- Canalizzazione rettilinea con sezione ad anello circolare. Ci limit1amo a dare la formula per la conduttanza di un tale condotto che malto frequentemente s1 incontra nella pratica dei circuiti da vuoto (6i pensi infatti aIle trappole refri geranti).

Per l'aria a 200C questa conduttanza e data da

2

C = 12,1 (D1 - D2) (D1 + D2) K

L

(litri/sec)

(30)

dove D1 e D2 sono rispettivamente il diametro esterno e quel 10 interno, e K = f(D2/D1) e riportata numericamente nella seguente tabella.

TAB2LLA IV

o

0,259

0,500

0,707

0,866

0,966

K

1

1 t 072

1, 154

1,254

1,430

1,675

- Gorniti in un condotto. In quanto precede si e sempre pa~ lata di cana.Lt zzazioni rettilinee. 1,:a risul ta intui ti vo che se una canalizzaziop.e presenta dei gomiti la sua impedenza deve risultare aumentata. Si pub infatti mostrare ehe ogni gomito ad angolo retto in una canalizzazione ne aumenta la i~pedenza quanto la aumenterebbe un ulteriore tratto di ca nalizzazione di lunghezza pari a 1,33 D, avendo indicato can D 11 diametro della canalizzazione stessa.

- 21 -

1.4 - Metodo per ricavare i valori della .conduttanza per gaS diversi dell'aria e per temperature diverseda 200C.

- Per calcolare i' va.Lor-L di una conduttanza nel caso

di gas diversi dall'aria edi temperature diverse da 200C ba sta ricordare che la formula della conduttanza e sempre del

tipo

x fattore geometrico

Perottenere la conduttanza di una canalizzazione per un gas diverso dall'aria bastera quindi moltiplicare que st 'ultima,' supposta gie. nota, per La radice quadrata del ra:£ porto tra il peso molecolare dell'aria e quello del gas in questione. Cosi s1 avra per esempio:

C =~C .

He 4 aria

= v- ~~

C . ;

ar~a

=

,j;qc V« aria

Analogamente per ottenere 11 valore di una condut tanza per temperature diverse da 200C basta moltiplicare il valore della conduttanza a 200C, supposto noto, per la radi ce quadrata del rapporto tra la temperatura assoluta corrispondente ai 200C e quella corrispondente alIa temperatura in questione. Si avre. per esempio·

C_187 = ~ C20 : Co = ~ C20

;

=)373 293

- r;:;:;;V~

- 22 -

1.5 - Traspirazione termica.

Si e 8Upposto in precedenza, nella trattazione ge nerale di una linea da vuoto, che 1a temperatura fosse costan te lungo di essa. Ne risu1tava 1a costanza del flusso Q 1un go tutta la canalizzazione.

Vogliamo studiare ora il caso in cui l'ipotesi di uniformita della temperatura non sia piu verificata.

Consideriamo il caso di Fig.6 di un gran volume di gas a pressione P1 e temperatura T1 connesso tramite una ca nalizzazione ad un altro grande volume in cui il gas e a pressione P2 e temperatura T2•

Supponiamo che ci sia un diaframma a meta della

I
[
P1 ' T 1 I P2,T2
I

I
I Fig.6

oanalizzaziane e che i1 cammina 1ibero media del gas da a~ bo Ie parti sia maggiore a uguale aIle dimensioni del reci piente.

Aprenda i1 diaframma oi sara un flusso in tutte

e due Ie direzioni. Se si vuole continuare a trattare un oa so di equilibria, sara ancora in questa caso uguale nei due

- 23-

versi i1 numero di mo1ece1e che attraversane nell'unita di tempo la sezione considerata; si petra cioe scrivere la se guente uguaglianza:

N' = NI

1 2

ossia

=

Poiche d'altra parte vog1iamo trattare i1 caso di regime mo1ecolare, la grandezza Q e data ceme e nota dalla espressione Q ~ pA. La condizione di equilibrio pr~ cedente si petra quindi scrivere

P1 P2 ossia P1 R
= _.- =
{T; JT; 1'2 (31)

Quindi a11'equilibrio Ie pressiani non sano u.guali.

Questa fenomeno delle stabilir~i di un gradiente di pressione

a seguito di un gradiente di temperatura prende i1 nome di "tra spirazione termica". Esse e malta impartante nel caso di dispa sitivi da vuate riscaldati in ~odo non ~iforme. Per esempio

un forno ad alto vuoto che lavora a 20000C connesso can uno stru menta di misura a temperatura ambiente s2ra in effetti ad una "Oressione 2?73/293 = 2,8 vo1te maggiore della pressione letta dallo strumento. Similmente una parte di impianta mantenuta alIa temperatura dell'aria liquida sara in effetti ad una pre~ sione 85/2q3 = 0,54 volte piu bassa di 'luella letta su uno strumento a tem:!Jeratura ambiente in comunicazione can essa.

- 24 -

Consideriamo ora 11 caso di Fig.7; ci siano cioe

P1 P2 ~

T1 ~ ~ Fig.7

tre regioni a temperature diverse connesse tra d1 loro. Per quanta precede s1 potra allora scrivere

e

11 che equivale a scrivere

P, =P3 ~

(32)

E' quindi un risultato generale che due qualunque zone a bassa pressione hanno Ie lore temperature e preesioni correlate dalla (32) indipendentemente dalle condizioni interme die di temperatura.

Segue da questo che una trappola refrigerante iE serita tra un recipiente sotto vuoto ed un vacuometro non falsa Ie letture di pressione.

- 25 -

1.6 - Velocita di aspirazione dopo un'impedenza.

Supponiamo di avere una pompa con velocita. di as1'i razione S alIa 1'ressione p connessa ad un recipiente alIa

p p

pressione l' tramite un'impedenza Z.

3i potra scriveref indicando con S la velocita di aspirazione alIa bocca del recipiente,

1 S

=

E. Q

, Z Q = p - p

. p

da cui

1 S

= 2 +

1

S p

=

1 C

+

1 8 P

(33)

8i possono distinguere due casi:

a) 1/2 =

c« S P

: sara

s = C e la velocita di aspirazione

b) 1/Z =

C »S l'

e determinata essenzialmente dalltimpeden za Z.

allora S = S e la velocita di·aspirazi£ p

ne e deterninata dalla pompa stessa.

Vediamo come, applicando quanta noto finora, si

possano ricavare dei valori ragionevoli per i1 diametro del la bocca di una pompa avente QDa data ve10cita di aspirazi~ ne.

Consideriamo per esempio una pompa di velocita di aspirazione S = 10 litri/sec. Se si vuole evitare ehe alIa

p

entrata del recipiente da vuotare la pompa risulti, come 8i

usa dire, "strozzata", l'impedenza Z dovra essere in base a1 la (33) molto minore di 1/8 • 8i potra per esempio imporre

p

- 26 -

Ie condizio"neZ = 0, 1/3 • Ida per il caso dell' aria a 200C

p

l'impedenza di un'apertura circolare e data per la (13) da

Z = 1/(11,6 A). 3e R e il raggio della bocca della pompa mi surato in cm, dovra quindi essere in questa caso

1 1 x 0,1 (see/litro)
= -
11,6 x IT R2 10
da cui
R2 10 100 2,75 2 R 1,65
= = = em ; = em
0,1 x 11,6 x 3,14 36,4 Andra quindi bene un diametro di circa 3 cm.

Ltabaco di Fig.8 serve al calcolo numerieo delle velocita di pompaggio effettive dopo untimpedenza, in cor rispondenza alIa formula (33). Esso puo servire inoltre per i1 ca1eolo dElla conduttanza risultante di un sistema di due conduttanze poste in serie.

1.7 - Velocita di aspirazione di una pompa.

3i e gia definita la velocita di aspirazione di un certo sistema ad una sezione dove la pressione e p come S = Q/p. 3e quindi 5i vuole la veloeita di aspirazione di una pompa, la pressione da sostituire sara quella alIa boe ca della pompa 5tessa.

Una pompa e caratterizzata da una velocita di a spirazione costante S ehe, come vedremo in seguito, dipen p

de dalle caratteristiehe della pompa stessa.

- 27 -

La velocita di aspirazione effettiva sarebbe pere in pratica costante solo se fosse possibile raggiungere una pressione limite nulla. In pratica a causa di inevitabili piccole perdite si otterra una pressione limite Po diversa da zero, e si puc dimostrare che in conseguenza di cie la

s • e,

lJ(iliznn 1. slts .. ~n;tii

Fig.8

effettiva velocita di aspirazione alla bocca della pompa e funzione della pressione.

Infatti si pub scrivere

Q + Qo ::: S p P

se Qo e il flusso dovuto alIa perdita fissa; quindi

- 28 -

Q = S p - Qo p

Qo

= S P ( 1 - )

P S P

P

La pres5ione limite Po viene raggiunta quando Q sara allora

Tenendo conto che S = Q/p 5i ha -

Questa funzione e rappresentata nel grafico di

s/~

1.0 - - - - - - - - - - - - - - - - - -=-:-::.,;:.-.--;.".;;--.--- - - --

0,8 0,6

0,4

0,2

o L- ~----------------~~~

1

10

.100

p/Po

Fig.9

Se poi si vuole avere un'espressione per la vela cita di aspirazione di una pompa dopo un'impedenza Z tenen do conto della perdita fissa, 5i ha combinando la (35) e la (33)

= o· .,

(34)

(35)

- 29 -

3 = z + 1/3 P

1

(36)

E' interessante mettere queste formule in relazio ne con l'ana1ogia elettrica data al paragrafo 1.2.

1.8 - Tempo di svuotamento.

Consideriamo un recipiente di volume V che debba essere svuotato da una pompa di velocita di aspirazione 3 p

~ostante, e supponiamo trascurabi1i la pressione limite e

11impedenza che connette la pompa a1 recipiente.

3i avra

Q =

d

d t (p V) =

- V

d P d t

=

3 P P

Quindi

i..J.? = p

s

__E d t V

Integrando

- s t/V

P = Pi e P

(37)

se p. e la pressione nel recipiente a1 tempo t = O. ~

Se ne ricava per 11 tempo di svuotamento:

t =

v s p

In

p. ~

p

= 2,3

v s p

log

p. ~

p

(38)

- 30 -

Supponiamo ora che vi sia una perdita nel sistema che dia luogo ad una pressione limite Po diversa da zero.

Si era gia visto che in questa caso la velocita di aspirazi£ ne non e costante ed e data da

Po S = S (1 - -)

p p

Avremo allora in questo caso l'equazione differen

ziale

d P

P - .Po'

=

s ___l?_

V

dt

che integrate. da

-3 t/V p - Po = (p. - po) e P

~

(39)

Po Lc he no rrna Lmerrt e Po« p., La (39) po t r a scri versi J.

-3 t/V

p - Po = Pi e P (40)

Nel'grafico di Fig.10 ~ data in scala semilogari!

t (min) 12 11

10 9 B 7 6 5 4 3 2

r'\. i Ii
~ I !
1'\ I I
,
...... Ii I
r-, T
r-... ... ' ~. r
.... ... r'- I
::-...
... ~ ~ ....
I
:
I <; ....._
I ...... o 0.1

10

100

\ODD pfmm HQI

Fig.10

- 31 -

mica i1 tempo di svuotamento:infunziore della pressione per un recipiente di volume unitario e per una pompa di ve10cita di aspirazione unitaria. Se si trascura la pressione limite Po i1 grafico diviene evidentemente una retta.

La Fig.11 da poi un abaco a punti allineati per

v s -i = r (;u) P. k P
p;-
10· I l 2 10'
<>
5
5
2
2
5
u 2
...
10" 101 :
10~CIII
2 Q :r:
.. a. e
5 , e 5 <:
r::;
~ "E (II
51- £
.~ £
... '''' lr/ 2 ~
~ 2 .... 0
u u 2 I U
s 2 0 (II
... (II It
101 > I > 5
2 2
10' 3
S
s
104
2
2.10'
,11 104 Fig.11

- 32 -

1a determinazione dei tempi di svuotamento. Tracciando 1a retta che passa per i punti delle scale V ed S che corri spondono ai dati del problema, l'intersezione con la scala delle l da la costante di tempo. Basta allora congiungere il punta cos2 ottenuto con quell0 sulla scala delle p che rappresente la pressione finale desiderata perche llinteE ~ sezione con l'asse delle t dia il tempo di svuotamento de siderato, conto tenuto della diroinuizione della veloci~a di aspirazione al diminuire della ~ressione.

Se poi si vuole determinare il tempo di svuotamen to a part ire da IDla pressione iniziale P1 diversa da quel1a atmosferica fino ad una certa pressione finale P2 1 si calco la il rapporto P1/P2 ~ K e si congiunge il punto sulla .scala del~e ~ con quello ottenuto sulla scala delle K (si suppone la velocita di aspira~ione costante fra Ie due pressioni con siderate)

Per chiudere l'argomento resta ora da dare Ie for mule per il tempo di svuotamento relativ~ al caso in cui in teressi questa velocita dopo un'impedenza Z ~ 1/C post~ suI 1a bocca della pompa. Esse sono:

s c - P

(8 +C)V p

t

+ Po

(41)

V(S + C) Pi - Po
t ~ P In
S C P - Po
p
V(S + C)
~ 2,3 E log
S C
P (42)

p.- Po ~

p - Po

- 33 -

L'analogia elettrica data al paragrafo 1a2 permette di vedere la corrispondenza fra tutte queste formule e quelle relative alIa carica di un condensatore.

1.9 - Metodi di rnisura della velocitk di asp1r~zion~.

Riportiamo brevemente i metodi usuali per la deter minazione della velocith di aspiraz10ne delle pompeo

- J.~etodo a volume costante. In questa metoda la pompa e colle gata ad un grande recipiente d1 volume V, e 51 osserva la di minuizione ai pressione col tempo durante 10 svuotamenta.

Questa metoda e pera cans1g1iabile soltanta per la misura di piccole velacita di aspirazione, pOiche altrimenti la variazione di pressione e troppo rapida per poter assere

seguita.

Si trattera, in base al1a (37), di misurare 11 tem po necessaria per passare dalla pressione p. alIa pressian~ p.

~

- :\~Gtoda a Dre ssiane castante. Per grandi velaei tk di aspira zione si presta bene il metoda indicato in Fig.12. A e un re cipiente svuotato dalla pompa di cui si deve misurare 1a ve loeitk di aspirazione; V e un vaeuometro, S una valvola a spilla. Con quest'ultima s1 re gala 1a pressione in A ad un valore costante. Dapadiche s1

alia pompa

F1g.12

introduce una gocc1a d1 merc~ rio nel capi11are T e s1 osser

- 34 -

va la velocita con cui essa si muove lungo il tubo. 3i ricava quindi il volume di aria rimosso dalla pompa per secondo; da ciot mediante la legge di Boylet 8i risale al volume di aria pompato nell'unita di tempo alIa pressione p. Noto questa 5i risale alIa velocita di aspirazione della pompa.

Questo metodo e quindi adatto per ricavare Ie curve car-a t t er-Ls't t che delle pompe , Le curve cd o s ehe ne dannc la ve Iocita di aspirazione in funzione della pressione.

II diametro ottimo del capillare dipende dal valore

di S. Per esempio la goccia di mercurio 8i spostera di 1,75 cm in un minuto in un' capillare di diametro 1,5 rom per una veloei ta di aspirazione di 235 litri/sec alIa pressione di 10-4 rom Hg.

1.10 - Schema generale di una linea da vuoto.

Dopo aver dato nozioni e criteri coneernenti un si sterna da vuoto, passiamo ora a vedere come roso possa essere costituito,

Lo schema di principio per una linea da vuoto PUQ essere rapprese~tato come in Fig. 13. V e 11 recipiente. da vu~ tare; D e una pompa a diffusione capace, come vedremo, di pr~ durre un alto vuoto con una elevata velocita di aspirazionej R e una pompa preliminare ebe prende il gas rimosso dalla pompa

a diffusione e 10 scarica nell'atmosfera. Essa e necessaria perche la pompa da alto vuoto puo fu~zionare solo con un certa vuoto preparatorio (diverso per i vari tipi di pompa a diffu seione) sia nella zona da vuotare che in quella di scarico. Da cio deriva la necessita di vuotare con Ia sola pompa prelim.! nare prima di mettere in azione la pompa a diffusione.

- 35 -

v

-

D

)

I

R

-

l

Atmosfera

Fig. 13

Si comprende allora facilmente che 10 schema di Fig.13 non rappresenta una linea da vuoto utilizzabile vantaggiosameg te in tutti i casi pratici che si possono presentare. Converra invece spesso sostituire questo schema cqn qualche altro di ti po piu complicato, quale per esempio quello di Fig.14.

Le valvole da vuoto 1, 2, 3, 4, e ~ servono per sezio nare Ie varie parti del sistema. Supponiamo di avere dovunque pressione atmosferica e di voler iniziare a vuotare. 3i aprirag no allora Ie valvo Ie 1, 2 e 3 e si mettera in azione 1a pompa preliminare. Quando opportuni strumenti di misura avranno indi cato il raggiungimento del vuoto preparatorio necessaria, 9i mettera in azione la pompa a diffusione chiudendo poi 1a vaIv£ la 1 e aprendo la valvola 5. In queste condizioni la linea da

Sp

v

5

o

Fig. 14

- 36 -

2

4

-

R

Atmosfera

vuoto 8i riduce aIle schema di principio precedentemente ill~ strata. La valvola 4 serve per far rientrare aria nella pompa preliminare qualora questa venga disinnescata, dope aver chiu so la valvola 3; essa deve ovviamente essere sempre chiusa dur-arrt e Le operazioni di porapagg i o , l,a val vola Sp (generallr~e!2

te una valvola a spillo) serve a far rientrare aria nel reci'Cien te lasciando la linea sotto vuote: in questa caso Ie valvolE

1 e 5 devono essere chiuse.

Prima di ul timare ques t o capi t o Lo , ed an che in cog nessione con quanto detto hei precedenti paragrafi, conviene dire cosa si intenda per sistemi da vuoto "statici" e "dina mici".

- 37 -

Si intende per sistema da vuoto statico un sistema da vuoto impermeabile in cui sona ottenibili vuoti limite spinti (coincidenti in pratica can il vuoto limite della po~ pa) e che necessitano qUindi solo di modeste velocith di aspi razione.

Un sistema da vuoto dinamico (0 cinetico) e caratte rizzato invece da un'aspirazione continua, in quanto eaiate una perdita verso I'atmosfera 0 verso una riserva di gas. Un sistema di q~esto tipo, anche volendo mantenere nella camera Wl ~to modesto, necessita di pompe ad elevata velocith di aspirazione. II vuoto ottenuto e sempre inferiore al vuoto Ii mite della pompa.

Per quanta si chiarira nel Capitolo 4, e in base a queste definizirrd,un sistema statico e solamente una schematiz zazione ideale, abbastanza bene approssimata in molti casi pratiCi.

1.11 - Calcolo di una linea da vuoto.

E' importante saper decidere, ih base aIle caratte ristiche del particolare problema da risolvere, quale sia il tipo di linea de vuoto piu adatta allo scopo. Bisognerh cioe saper stabilire, in base aIle curve caratteristiche delle pom pe e aIle loro pressioni limite date dai cataloghi, quali di queste pompe si debbano scegliere.

Occorrera inoltre eventualmente prendere delle deci

sioni relatlvamente alIa geometria delle impedenze costitui

- 38 -

te delle canalizzazioni di raceordo.

Risolviamo a t1tolo di esempio 11

Atmosfera

A

seguente problema. 3i abbia 11 51 stema cinetieo di Fig. 15. Data cioe un'entrata continua di aria dalla atmosfera verso la zona 1, e dato

un foro eircolare di area A = 1 cm2

1

2

pompa

ehe mette in comunicazione l~ zona 1 con la zona 2, 8i vuole progett~ re la linea da vuoto in modo tale

Fig.15

da mantenere una pres5ione costante P1 = 5 /u Hg nella zona 1, mentre nella zona 2 la pressione P2 non deve superare 0,1 /ll Hg. 31 suppone trascurabile l'impedeg za tra la zona 2 e ,la bocca della pompa, mentre 8i supporra di disporre per ragioni p~atiche di un tubo a sezione circolare d1 diametro 5 em e lunghezza 50 em per eonnettere 10 5carico della pompa a diffusione con la bocca della pompa rotativa.

Cominciamo col calcolare il flusso nella linea da vuoto rifexendoei all'apertura A.

Per la (11) si ha, usando i dati del problema e tra scurando P2 rispetto a P1:

Q = 11,6 A (P1 - P2) = 58 IU Hg x litri/see

Data ltipotesi fatta di impedenza trascurabile, la velocita di aspirazione della pompa per i1 gas nella zona 2 e data da

3 = Q/P2 = 580 litri/see.

- 39 -

Bisognera quindi scegliere una pompa a diffusione che alIa pressione P2 abbia una velocita di aspirazione non inferiore a circa 60 litri/sec lavorando nel pianerottolo della sua curva caratteristica.

Consideriamo ora la parte del basso vuoto Suppo niamo di avere visto sui cataloghi che la pompa a diffuSi£ ne scelta in base aIle considerazioni ~recedenti debba lavo rare con una pressione non superiore a 350 /u Hg nella sua parte di ~carico. Imponiamo allora di mantenere 100 /u Hg in que s.ta zona.

Ricordando i criteri esistenti per decidere se il flusso in un condotto e viscoso 0 molecolare, e facile vedere che in questo caso siamo in condizioni di flusso viscoso. La (29) da con i dati del problema

C = 0,182

p = 22,8

p

litri/sec.

Sara d'altra parte, indicando questa volta con P1 ::: = 100 /u Hg e con P2 Ie pressioni agli e'stremi del condotto

Q = C (p - p )

1 2

Eseguendo i calcoli si trova, cosa del tutto intui tiva, che anche la pressione P2 e circa uguale a 100 /u Hg.

Per la velocita di aspirazione della pompa prelimi nare alIa pressione di 100 /u Hg si avra:

S = 58/100 = 0,5 litri/s~c.

- 40 -

Si scegliera allora per sicurezzat una pompa mecca nice avente una velocita di aspirazione di circa 1 litro/sec a 100 /u Hg.

- 41 -

Capitolo 2

P01~E DA VUOTO

2.1 - Introduzione.

Le pompe da vuoto si possono dividere in due cate gorie in corrispondenza al grado di vuoto che esse sono capa ei di produrre ed al loro sistema di funzionamento.

Nella prima categoria si possono mettere Ie pompe da basso vuoto, capaci di produrre vuoti fino a circa 10-3 wn Hg; queste, che prendono il nome di pompe preliminari, f~ zionano prelevando il gas dal recipiente da vuotare e scari candolo direttamente nell'atmosfera.

La seconda categoria e formata da pompe che per

il lora funzionamento necessitano di un prevuoto generato da una pompa della prima categoria. Ad essa appartengono due di verse classi di pompe fUllzionanti in base a principi comple tamente diversi. Una prima classe eomprende pompe capaci di dare vuoti fino a circa 10-7 ron Hg che prendono il nome di pompe da alto vuoto; una seconda classe comprende 1e pompe da vuoto ultra-spinto che possono generare vuoti fino a cir ea 10-10 rom Hg.

In quanta segue daremo una rapida rivista dei pri~ cipali tipi di pompe esistenti attualmente, insistendo sui

- 42 -

loro principi di funzionamento; non si andra invece molto a fondo nei dettagli tecnologici per i quali si rimanda a testi p1u completi e specializzati.

2.2 - Fompe da basso vuoto.

A lore volta queste s1 dividono in due classi i cui princi~i di funzionamento sono completamente diversi.

- Pompa ad aequa. Questa pompa e rappresentata schematicamen te in Fig. 1-a. Un forte getto dtaequa emerge ad alta vel£ cita dalla strozzatura B; esso viene quindi raccolto dal co no e convogliato in C. II tubo D e connesso al recipiente

da vuotare. Le molecole in B vengono intrappolate dal getto e spinte ~erso l'atmosfera e successivamente rimpiazzate da nuove molecole provenienti dal recipiente da vuotare.

h 3+Smm

interno 8+9mm

c

t

QS 2+4mm

F------. 5..;... 8 mm 1S+20mm

Fig. 1-8

Fig. 1-b

- 43 -

II principio di funzionamento di questa pompa e piuttosto discusso. Pur essendo certo che il principio di Bernouilli vi giuochi un ruolo fondamentale, non e del tut to chiaro se e quanto contribuiscano allo svuotamento anche fenomeni di urto e di viscosita. E' in ogni caso determinan te Ia geometria della pompa. In Fig. 1-b sono indicate dimen sioni geometriche che ne realizzano un buon funzionamento.

Con questa pompa, con una opportuna velocita del getto, si possono ottenere pressioni dell'ordine della ten sione di vapore dell'acqua a temperatura ambiente. Non 81 puo pensare di migliorare i1 vuoto ottenibile mediante I'uso di trappole refrigeranti perche Ia diffusione dell'aria ver so Ia pompa alIa pressione di vapore delllacqua a temperat~ ra ambiente e molto lenta. La velocita di aspirazione di qu~ sta pompa e di circa 0,05 Iitri/sec.

Esistono per questa pompa versioni in vetro ed in

metallo.

- Pompe meccaniche 0 rotative. La pompa rotativa rappresen ta il tipo di pompa preliminare pin frequentemente impiega to nella pratica. Con una pompa rotativa si possono otten~ re vuoti dell'ordine di 10-3 mm Hg (0 anche meglio se 8i Ie vora con pompe a pin stadi) con velocita di aspirazione fi no ad alcuni litri/sec.

II principio di funzionamento di questa pompa e rappresentato in Fig.2.

Due alette sono tenute con molle in una cavita del

rotore eccentrico, in modo da tenere sempre isolati i due

- 44 -

tubi di entrata e di uscita. Nan mano che il rotore gira Ie alette spazzano una quantita di gas dall'entrata e 10 compri mono verso l'uscita, dove cte una valvola chef aprendosi, ne permette l'espulsione.

Fig.2

II corpo della -pompa e immerso in olio che serve a lubrificare il meccanismo e contemporaneamente a garanti re la tenuta. II gas che esce gorgoglia attraverso Itolio e va nell'atmosfera.

Si comprende quindi che, se la pompa viene ferma

- 45 -

ta sotto vuoto per un tempo lungo, l'olio PUQ essere risuc chiato nel sistema. Per evitare questo, quando s1 vog1ia in

, -

terrompere 11 funzionamento della pompa, e necessario far rientrare aria nella pompa stessa, avendola prevent1vemente isolata dal sistema (v. paragrafo 1.10 del Capitola 1). Esi stano in commercia delle val vole e Le t'tir-omagne t Lche che ese guono questa funzione automaticamente.

La velocita di aspirazione S di una pompa rotati

p , -

va, come data dal costruttore, e il prodotto del volume V di

gas rimosso per ogni cicIo della pompa per il numero f di gi

ri del rotore per secondo; si ha cioe

S = Vf. I'

Come gia si e vista nel Capitola 1 pero, la vela

cita di aspirazione effettiva di una pompa varia con la pre~ sione. Diamo in Fig.3, a titolo di esempio, alcune curve ca ratteristiche di pompe rotative realmente esistenti.

10

5 ( u t r i/ m j n J 100

, ... , ..

, .. ..

,

,

,

, , , , I , ,

, :

, . I , • I I' .' .' ,.

1/ .1

I'

1 •

, :

, .. , ,

,

,

, ,

I ,

I

I

,

,

.,

I

,

10-3 10-2

Zavorratore chiuso

11 aperto

1.0 ( )

P mmHg

Fig.3

- 46 -

Se una pompa rotativa deve vuotare un sistema nel quale sonG presenti dei vapori in quantita apprezzabile, qu~ sti verranno condensati nella fase di compressione e rimarran no cosl nell·olio deteriorandolo e determinando, con la lora tensione di vapore, un limite al vuoto raggiungibile.

Per evitare questa molte pompe sono dotate di un dispositivo chiamato "zavorratore". La sua funzione e quella

di immettere aria nella parte di soarico della pompa una yo! ta per ogni cicIo e di diminuire quindi il rapporto di compre~ sione della pompa stesse. I vapori rimossi dal reeipiente da vuotare non vengono quindi condensati nell·olio, ma vengono eli minati dal sistema ancora in iase gassosa. C·e perc da tenere presente ehe in queste condizioni, come 5i PUD vedere dalla Fig. 3, si riduce sia la ve10cita di a5pirazione ehe i1 vuoto limite della pompaj e bene quindi chiudere 10 zavorratore

non appena 5i possa 5upporre di aver eliminato tutti i vap£

ri presenti nel sistema.

Se 1a pompa non e dotata di zavorratore 5i PUQ evi tare che 1 vapori vadano nell·olio ponendo sull'entrata del la pompa una trappola refrigerante (v. paragrafo 2.3).

II vuoto limite ottenibile can queste pompe dipeQ de evidentemente dalla tensione di vapore dell'olio delta pompa stessa. Anche per questa ragione puc riuscire vantali gioso l'impiego di trappole refrigeranti sull1entrata della pompa.

E' evidente l'importanza della purezza dell'olio.

- 47 -

Occorre inoltre evitare ohe partioelle soli de entrino nella pompa in Quanto potrebbero compro~ettere Ie regolarita delle superfici della nornna stessa aIle auali e affidata la tenuta.

2.3 - J0I!'~ne da_alto Vl.lOtO

Anohe queste, come Ie "_9orn1)e da basso vuote, si dividene in du e classi in base p.l loro nrincipio di funzionamento.

r.~~2l}.8.____!.l_olecol?:F.e_. II principio di funzionarnento di qu e s t a pornpa 8 onS_2to culll8_7:ione di tr2.scin2.mento eserci tata sulle mo Lec o Le di g;;>~~ n.;c 2£mir8Te: d8. Darte eli uno. sm)cri'icie in mo t o r-ar t do adiacen

t<? a d una sUDerficie fissa.

Riieri'3.rl0ei n lLa Fig. 4 ehe rappresenta La pornpa mo Lec o Iare ~i Gseae. II ciliLdro A ruota velocenente

c

c

o

Fig. 4

- 48 -

dentro il cilindro B. II recipiente e preventivamente vuota to da una pompa~eliminare e Ie molecole di gas hanna di can seguenza un cammino libero media maggiore della distanza tra i due cilindri. Esse quindi urtano piu spesso contra Ie p~ reti che tra di lora. II gas quindi viene trascinato dal movi menta del cilindro in rotazione verso la pompa preliminare. Tra la zona dellialto vuoto e quella di searieo ele una diffe renza di pressione eostante data, in base a eonsiderazioni di teoria cinetica, da

se P1 e la bassa pressione, P2 la pressione maggiore, UJ la velocita di rotazione del rotore, ~ il coefficiente di visco sita, 1 la lunghezza della canalizzazione suI cilindro B tra Ie bocche Der il basso e per l'alto vuoto e d e la profondita di questa cana1izzazione.

Aumentando pera i1 prevuoto i1 rapporto delle due pressioni ne diviene independente, e dipende sol tanto dalla velocita di rotazione. Quindi non ha senso migliorare i1 vuo to preparatorio oltre un certo limite che in pratiea e di

-2

circa 10 rnm Hg.

Con questo tipo di pompa si possono realizzare ve locita di aspirazione di circa 10 litri/sec a pressioni del 110rdine di 10-3 rom Hg.

Un mig1ioramento della pompa di Gaede e rapprese~ tato dalla pompa di Holweck (v. Fig.5). II ci1indro interno ruota dentro un cilindro esterno nella cui superficie inter

- 49 -

cuscinetti a sfer

Fig.5

na e un solco a spirale. Le scanalature sono due, una destra e l'altra sinistra, e 8i incontrano alIa bocca da vuoto nel la zona centrale. La profondita del solco va aumentando ver so la zona centrale da 0,5 a 5 rom circa. Le due parti esteE ne della scana1atura vanno a1 prevuoto. II gas da eliminare e trascinato dalla rotazione verso i due estremi del ci1in dro. La pompa ruote con una velocita di circa 5000 c/min

e produce un vuoto de1ltordine di 10-6 rom Hg.

Pompe a diffusione. Queste pompe sono capaci di produrre a1ti vuoti con elevate velocita di aspirazione.

La prima pompa di questo tipo fu progettata da Gae de nel 1915 ed e schew~ticamente rappresentata in Fig.6.

- 50 -

I I I. Id.1 vaporr J r I I I I

rnercuno

I I I I j

t t • , ,

II gas diffonde attraverso la fendi tura S di circa 0,1 ron entr~ il get to di vapori d1 mercurio. Dopo pa~ sata la fenditura Ie molecole d1 gas acquistano una componente di veloei ta in direzione del getto per effet to degl1 urti can Ie mole cole d1 mer curio e vengono mandate in una reg1~ ne dove i vapori di mercurio vengo no cendensatj, ed il gas aspirate da una pompa preliminare. Allo stesso tempo i vapori di mercurio diffendo

Fig.6

no in parte versO il s i s t ema da vuo t ar-e , Questa "d Lf'f'us a orie " all'indietro, oItre a porre un limite a1 massiI:lo vuoto otteni bile, limita la velocit~ di aspirazione in quanta Ie rnoleaale

d1 vapo~c s1 muovono in direzione opposta al gas entrante.

Si Eo trovato che la ve Lo c a ta di aspirazione e ma s s f.ma quando

11 camref no Ii bero me d Lo delle mole cole di gas nel getto di vapore e della st€:sso ordir:e di granc'lezza della larghezza del la fer:ajtuI'a.

I1effetto delJ.a diffusione all1indietro ~ stato ri

datto raffreddando, traEite circolazione d'acqua, ],e superfi ci di condensazione C.

Nel 1916 Langmuir pubblico un lavoro su una pOr.J.pa

a ucondensazione" i1 cui schema di principio e quello di Fig.? Una resistenza riscalda 11 nercurio contenuto nel bollitore R;

- 51 -

A
" 0
:~: "
"
0 "
" 0
• •
c " 0
0
0 i vapori di mercurio salgono oosi attraverso 11 camino C e sbattono 8ull'ombrello 0 dal quale vengono deflessi come indicano Ie freece; urtando contro Ie pareti refrige rate poi 8i ricondensano e ritor nano nel bollitore. Le molecole di gas che entrano nel getto, prove nendo dalla regione A vengono de esso intrappolate e convogliate verso la parte inferiore della po~ pa de dove vengono rimosse da una pompa prelimi~~re.

Fig.?

E' stato dimostrato che la probabilita che una mo lecola non sia trasportata via dal getto di vapore e circa uguale a 10-2°.

Piu tardi Gaede discusse a lungo la teoria della sua pompa a d~ffusionet edducendo ragioni per identificarla can La porapa di Langmuir. La validi ta di queste ragioni e piuttosto il:certa; ccmunque oggi Le terminologie "pompa a condensazionen e "pompa a diffusione" sono usate indifferen temente.

In ogni caso 10 schema di pompa di Fig.7 coincide can quel10 delle odierne pOIilpe a diffusione, in cui oltre al mercurio si possono impiegare come fluidi degli alii specie li a bassa tensione di vapore.

II meccanisIDo del funzionamento di queste pompe non

- 52 -

e del tutto chiaro. Si pub dire in ogni caso che llazione del getto e quella di trasferire quantita di moto aIle mo lecole provenienti delle regione A.

Perche una pompa di questo tipo possa funziona

re e necessario un vuoto preparatorl0 che in genere e dello crdine di 10-1 mm Hg per Ie pornpe ad olio e dell'ordine di

1 mm Hg per quelle a mercurio. In ogni caso il vuoto in A deve essere sufficientemente elevato perche gli urti inter molecolari siano trascurabili. Le molecole di gas che casual mente entrano nel getto acqUistano in prossimita dell10mbrel 10 una components di velecita in direzione del getto I:18.ggi,£ re della lore velocita. termica, provccando quindi una dimi nuizione di pressione in questa regione. Lontano dall'o~ brello la densita. e la veloeita del getto diminuiseono e

la pressione del gas di eonseguenza aumenta.

In una pompa ben progettata 11 getto e sufficien temente veloce da spingere Ie melecele di gas verso la r£ giene a densita maggiore ed e abbastanza denso per impedi re la diffusione all'indietro del gas. Ovviamente e'e un valore limite per 1a pressione nella zona di searieo della pompa a1 disopra del quale questa non puc piu funzionare; s1 comprende cosi l'importanza della pompa preliminare.

Vediamo ora di precisare meglio i fattori da cui dipende 11 buon funzlonamento del getto di una pompa.

POiche aumentando la pot5nza nel riscaldatore la velocita del getto aumenta, si potrebbe pensare per quanto detto sopra che la velocita di aspirazione della pompa po~

- 53 -

sa essere aumentata inviando piu corrente nella resistenza del fornetto. In pratica perc aumentando la potenza oltre

un certo limite Ie collisioni tra Ie molecole del vapore dan no luogo ad una indesiderabile diffusione all'indietro; 01 tre alIa presenza del fluido della pompa nel recipiente da vuotare, 81 ha allora una diminuizione della velocita di a spirazione. Le curve che danno la velocita di aspirazione della pompa in funzione della potenza nel risoaldatore mostra no infatti un oalo al disopra di un certo valoree

le pareti della pompa a diffusione devono essere raffreddate per condensare 11 vapore e per mantenere piu bas sa possibile la pressione al disotto del getto. Bisogna ri cordare che 11 vuoto limite della pompa dipende in definiti Vq dalla tensione di vapore de! fluido nella zona dell'invo lucro colpita del getto, cosl come da essa dipende la migra zione all'indietro verso il recipiente da vuotare. D'altra parte un ri_scaldamento superiore al necessario eostituisce uno spreco di potenza dal momenta che il fluido deve poi ve nire nuovamento riscaldato.

Fer quanta riguarda la geometria della pompa in relaziore alIa sua velecitk di aspiraziene, si usa caratte rizzare una pompa con un fattere di aspirazione, 0 coeffi ciente di Ho, ehe rappresenta il rapperto fra 1a velocita

di aspirazione S e la velocita di aspirazione SA di una aper tura avente tm'area A pari alIa luce della pompa stessa. Que sto fattore per una buena pompa e uguale a circa 0,5. II fat to che esso sia minore di 1 e motivate dalle seguenti cause di riduzione della velocita di aspirazione: impedenza della

- 54-

bocca della pompa, diffusione all'indietro delle molecole di gas.

Tutto quanto detto finora e generale e vale qu~ lunque sia il fluido che viene impiegato nella pompa. A se conda perc che esse sia olio 0 mercurio 8i possone fare al cune considerazioni particolari.

a) Pompe a morcurio. FOiche la tensione di vapore del mercu rio e estremamente bassa a basse temperature, si posseno ot tenere con queste poml'e vuoti molto spinti, purche si adop.!: rino opportune trappole reirigeranti. Di questo si parlera in dettaglio in un paragrafo successivo.

3i vedra a questa proposito che Ie pornpe a rnerc~ rio, aneor piu che Ie pornpe ad olio, sono adatte, con oppoE tuni accorgimenti, per l'ottenimento dei vuoti ultra-spinti.

Diamo ora nella seguente tabella alcuni valori per la tensione di vapore del mercurio a varie temperature.

TABELLA V

Tempera tur.a Tensione di Temperatura ~rensione di
(oe) vapore ( IIlII'Bg) (oe) va pore (lllI:l.<qg)
-180 1,7 x 10-27 0 1,9 x 10-4
78 _0 10-4
3,2 x 10 -' 10 4,9 x
40 1,7 x 10-6 20 1,2 x 10-3
- 20 2,2 x 10-5 30 2,8 x 10-3
10 6,5 x --5
10 Le poml'e a mercurio di piccola portata sono molto

- 55 -

spesso realizzate in vetro. In testi di vuoto specializzati 8i pub trovare la descrizione di molti tipi di pompa a di! fusione a vapori di mercurio.

Nelliuso di tali pompe 8i devono prendere preca~ zioni riguardanti i rientri dlaria, in quanto il mercurio caldo puo ossidarsi in presenza di aria ad una certa pressi£

ne ,

b) Pompa ad olio.Le pompe a mercurio hanno 10 svantaggio che il vuoto limite ottenibile usandole senza trappole refrigeran ti e Boltano di circa 10-3 mm Hg, uguale cioe alIa tensione di vapore del mercurio a temperatura ambiente. 8i e allora cercato di studiare dei nuovi fluidi che a temperatura ambie~ te avessero una tensione di vapore piu bassa. Attualmente 8i e in grado di preparare dei liquidi ad elevato punto di ebol liziOnej essi sono inoltre poco decomponibili ad alte tempe rature.

Gli olii miglicri finora in usc nella pratica si dividono in tre categorie:

1) Olii risultanti dalla distillazione molecolare dei petro Ii (Apiezan)

2) Esteri del1'acido ftalico, p.es. 10 ftalato di smile C6H4(C02C2H5)2 detto "amail", odell1acido sebacico,p.es. il sebacato di amile (CH2)a (C02C2H5)2 detto "amoil S"

3) Composti organo-silicici detti "siliconi", ossia chetoni il cui radicale CO e state sostituito dal radicale SiO (DC 702, DC 703, DC 704).

Questi olii hanno un peso molecolare molto maggi£ re di quello del mercurio. Essi dovrebbero quindi dare luogo

- 56 -

ad una p.~egiore velocith di aspirazione a parita di caratte ristiche della pompa. In pratica pera Ia differenza non e no tevole, e ciJ s1 puo zpiegare pensando che il ~ercurio ha una rnaggioJ::'2 cor:_ducibili ta termica ad un punta di ebollizione piu

alto; GGSO qu~nd~ si mantiene piu facilmente caldo e si puo

o t t er.e r-e di co:nseguenza una maggiore veloci ta mo Le co La.r-e del

getto.

I si1iconi hanna il vantaggio sv tutti gli altri alii di uno. no t e vo Le stabi1i t a che perme tte rientri d ' aria

a caldo; essi poi sono Goggetti ad una minore decompaslzio ne. Queat'ultiDo ~3ttO ~ irnportante perche il vuoto limite

n e L'l e J:;:)f:l!J2 ad o La o ~ deterr:.inata essenzialmente da i prodot

ti ri i. n€ co;::-;)o~,:j_2i~Ee dell' olio ca Ldo i quali S0110 naturalmen

te piu volatili dell' olio o r-Lg i nar-Lo ,

PCI' rinediare a questa incoveniente 8 stato idea

to un tipu di pompa detta "frazionantetl, rappresentata sche rnaticamente in Fig.8

L'o:rn.brello per alto vuoto

ed alta velocita di aspi

razione A e alimentato da

•

un bollitore nel centro

•

della po~pa, mentre i1 get to per bassa veloc~t~ e bas so vuoto B e alimentato da un bollitore esterno. Qu~ sti due bollitari sono con centrici, e llolio che ri torna verso i1 basso perif~

• a

Fig.8

- 57 -

ricamente bolle prima nel bollitore esterno. Se vi sono par ticelle leggere nell'olio esse vengono evaporate in questa area. Nel tempo impiegato dall'olio di ritorno a raggiungere 11 boll1tore centrale che alimenta il getto per l'alto Vlloto, i componenti volat1li sono cosl stati eliminati.

Per evitare i danni provocati dal ritorno dellto

lio nel recipiente da vuotare s1 usa interporre fra la po~

1'a e il recipiente stesso un particolare elemento refr1gera~ te, generalmente abbinato con la valvola di sezionamento del ~a pompa. In Fig. 9 e rappresentato a titolo di esempio un tipo di valvola"baffle" comunemente impiegato nella pratiea.

P e 11 piatte della valvela che puo essere alzato ed abbassa to a seconda che si voglia aprire 0 chiudere la pompa. Questo piatte e in connessione termica con Ie pareti refrigerate del la valvola ed il sistema e studiato in modo che quando i1 piat to e alzato Ie particelle di vapore dlolio debbano necessaria

mente urtare contro il piatto la cui temperatura e tale da provo care la condensazione.

Naturalmente l'uso di queste valvole refrigeranti ri duce la veloeith di aspirazio ne della pompa; con una valvola del tipo sopra descritte per e sempio, la velocita di aspira zione dope di essa s1 riduce a

circa due terzi del va1ere alIa bocca della pompa.

Fig.9

-58-

- Pompe ad eiezione. Nella pratica sono spesso richieste d.el Ie pome dotate di elevata velocita di aspirazione ira 10-2 e 10-4 rum Hg, e capaci di funzionare con un prevuoto piutto sto scarso, dell10rdine cioe di alcuni rom Hg.

Pompe che sOddisfano a questi requisiti sono chia mate pompe "boosterll e funzionano ad eiezione.

La geometria di uno stadio ad eiezione puo essere molto simile a quella di uno

stadia a diffusione, rna il principia di funzionamento e del tutto diverso.

Un buono schema di
uno stadio ad eiez'ione e ra,E
pres.entato in Fig. 10 e rasso
miglia ad una pompa ad aequa.
In effeti i1 fUl1zionamento Fig.10

non ne differisce notevolmente.

Per una illustrazione piu chiara riferiamoci pero alla Fig.11. Se la pressiane della zona superiore al getto e maggi.1re di 1 mm Hg, i1

Fig. 11

gas e aspirato e s1 mescola alIa corrente di vapore ad alta velocita ed e quindi tra sportato verso i1 basso vuoto.

Data Ie pressione el~ vata i1 vapore resta sotto for rna di getto e non arriva aIle pareti. Per pressioni minori di

- 59 -

1 rom Hg il processo di eiezione cessa per dar luogo al narmale processa di diffusione.

Esistonat in commercia, molte pompe con uno stadio al to vuoto e ad alta velocita di aspirazione servita da un primo stadiO ad eiezione capace di aspirare a pressione piuttosto ele v2ta e di scaricare SU'Ull prevuoto di alcuni ~~ Hg.

In Fig. 12 sano da.te a titolo di esempio Ie curve di aspirazione di alcune pOr:J_pe "booster" realmente esistenti in com

mercio.

-

Vl

1

- 60 -

- Tranpole ~efrigera~Yi. 3i e vista a proposito di pompe a vanc ri di mercurio llutilit~ delle trappole refrigeranti per ridurre

a valori piccoli la tensione di vapore del fluido della pompa stes

sa.

E' chiaro che dei vapori possono essere presenti in un sistema da vuoto anche indipendenternente dalla pompa. Avra quindi una notevole imnortanza il problema de]. corretto impiego di dette trappole.

I tipi "pill corrun i di tra1)pole in vetro sono Que] Ii r-a o presentRti n~lle Figg. 13-2, 13-b, e 13-c.

o

a )

Fig. 13

R

o

c)

- 61-

In queste figure D rappresenta il dewar ed R il liquidO refrigerante. La trappola indicata in Fig. 13-a

va impiegata in modo tale che la zona da proteggere dai va pori sia connessa con 11 cannello interno della trappola. Cio perche calando il livello del liquido refrigerante nel dewar i vapori condensati sulla parte superiore della par~ te raffreddata sfuggono in parte verso la zona dell'impia~ to connessa con la parte esterna della trappola. La trappo la di Fig. 13-b presenta a parita di ingombro un'impedenza minore, rna e meno efficiente e il dewar, essendo piecolo, ha bisegno di essere riempito molto spesso. II tipo di traE pola di Fig. 13-0 e a doppia parete refrigerate; come tale essa e molto efficiente ed e spesse impiegata nei sistemi per vuoto ultra-spinto. Ineltre, data la sua geometr1a, es sa non presenta una notevole impedenza.

Naturalmente esistono anche vari tipi di trappole in metallo.

S1 rende spesso necessario nell'impiego di trapP£ Ie refrigeranti provvedere a dispositivi per 11 loro riempi mento automatico.

Una trappola refrigerante puo e seez-e considerate per i vapori come una pompa dotata di un certo vuoto limite (tensione del vapore alIa temperatura del refrigerante) e di una certa velbcita di aspirazione. Vediamo come quest luI tima possa venire valutata.

Le molecole di vapori condensabili che colpiscono Ie pareti fredde della trappola resteranno su di esse; allo stesso tempo, a causa del valore finito della tensione del

- 62 -

vapore alla temperatura della trappola, una parte dei vapori condensati evaporera. La trappola quindi s1 comporta come un1apertura di area A con vapori condensabili a pressione P1 da una parte e P2 dall'altra, se P1 e la pressione parziale del vapore nel sistema da vuoto e P2 e la tensione del vap£ re alIa temperatura della trappola.

Allora, per l'equazione (15) del Capitolo 1, si puo scrivere per la velocita di aspirazione della trappo1a

.~ S=11,6VM-

(1 -

(litri/sec)

se M e i1 peso molecolare del vapore condensabile.

Come esernpio consideriamo CO2, La qua1e sub1ima

a -78°C ed ha a -187°C (temperatura de11'aria liquida) una tensione di vapore di 7 x 10-7 rom Hg. Supponiamo di impieg~ re una trappola ad aria liquida in un sistema a 10-5 rom Hg di ~ressione e con i1 10% di vapori di CO2; allora P1 = 10-0 ~~ Hg e P2 = 7 x 10-7 mID Hg. Sostituendo nella formula llrecedente si ha

, /-;;-

S = 11,5 V 44 (1

-7

7 x 10 ) A =

~--~5--- 2,8A

10-

(Ii tri/ sec)

Per i1 vapore dtacqua 5i ottiene S = 15A, mentre, sempre per il vapore d'acqua, rna con l'impiego di una traE pola a CO2 solido 1a S diviene zero.

11 valore di A puo eS5ere determinato solo speri menta1mente, rna puo essere stimato con una certa approssi mazione.

-63 -

Diamo ora nella tabella che segue Ie tensioni di vapore dell'acqua e del mercurio a diverse temperature, aven do cura di includere i refrigeranti piu comunemente usati.

Temperature (OC)

-196 (N2 liquido)
-187 (aria liquida)
-18'< (02 liquido)
-180
-110
- 78 (C02 solida)
- 60
- 50
- 40
- 30
- 20
- 10
0
10 20 30 100

TAEELLA VI

Tensione di vapore del mercurio(mmHg)

Tensione di vapore dell'acqua(mmHg)

1 x 10-21

1 x 10-21

1 x 10-21

1 7 10-27

, x

3 2 10-9

, x

7,5 x 10-7 7,5 x 10-6 7,3 x 10-3

0,029 0,096 0,783

1,7 x 10-6
2,2 x 10-5
6,5 x 10-5
1,9 x 10-4
4,9 x 10-4
1,2 x 10-3
2,8 x 10-3 1,96 4,58 9,21

17,55 31,86 760

- 64 -

2.4 - Pompe per vuoto ultra-spinto.

Anche queste pompe si dividono in vari gruppi fun zionanti in base a diversi principi fi5ici. E' inoltre po~ sibile, come gia si e accennato ottenere vuoti ultra-spinti impiegando con opportuni accorgimenti normali pompe a diffu sione.

- ~so di pompe a diffusione per l'ottenimento dei vuoti ultraspinti. Prima di passare a descrivere Ie pompe per vuoti ul tra-spinti propriamente dette, e opportuno soffermarsi suI l'impiego delle normali pompe a diffusione per Itottenimento di questi vuoti.

3i e gia detto che Ie pompe a diffusione a meE curio, usate con opportune trappole refrigeranti, sono part! coJarmente adatte alIa scopo, in quanta la tensione di vap£ re del mercurio e estremamente bassa aIle basse temperature.

11 limite di vuoto ottenibile in questa modo e al lora dete~rJinato dalla banta del sistema da vuoto per quan to riguarda Ie tenute dei giunti e delle valvo Ie (di cui 8i parlera in un capitolo successivo), e 11 degasamento delle pareti che andra effettuato per molte are a temperatura ele vata.

Conviene accennare al fatto che per vuoti molto spinti si rende sensibile la porosita dei vari materiali ai diversi gas; cio limita il vuoto raggiungibile. Per dare qual che esempio, il ~Jrex e poroso all'elio,il quarzo all'idroge

no.

- 65 -

Diamc in Fig. 14 a titolo di esempio, 10 schema

di una possibile linea da vuoto ultra-spinto ehe utilizza pompe a diffusione. T e un tavolo di materiale coibente suI quale pUG appogiarsi il forno F mobile vertiealmente. Al disotto del livello del tavolo si trova la pompa rotativa R, WJa prima pompa a diffusione D1 e la parte inferiore di una seconda pompa a diffusione in vetro D2. Al disopra di questa sono piazzate nel modo indicate in figura tre stati di tra~ Dole a doppia parete refrigerata (v.Fig. 13-c). Un vacuome t=e a ionizzazione di Alpert (v. Capitole 3) chiude il si-

steua. Il tutto e co~pletamente stagna in quanto non vi sono

F

T

Fig. 14

ne rubinetti a giunti ingrassati ne guarnizioni.

- 66 -

Con una linea cosi fatta si pub operare come se~le.

Con il forno abbassato fin suI tavolo T si scalda tutta la parte superiore del sistema lasciando naturalmente inattiva la seconda po~pa a diffusio~e D2, II riscaldamento sara ef fettuato a circa 4500C pe~ circa mezza gio~1ata. 31 innalza poi il forno ad un livello tale da poter mettere in azione la seconda pompa a diffusionej si avra allora un degasarne~ to piu effieaee. Dope qualehe Ora si ir:nalza anco r-a oi pi,v.

il forno e 8i rj.ec.pie con azote 1iquido i1 pr1r:;e dewar.

-r- I .- , _L c....L

tra trappola viene rae s sa in funzione do po arico r-a quaLche .£

ra, Procedi~cTIti accurati vanno anche seguiti per il dccess.

mento degli elettrodi del vacuometro a ionizzazione.

1',~ol ti banch i da vuoto ultra-spinto seno r-ea Ld z za ti in metallo. Cia comporta mol ti pr-o b Lerru relati vi 2.j rna teriali con cui essi sonG costruiti ed aIle teL~te.

- Por.me a ionizzazione e "Donne ~d evaporazione e icnizz8.?:j_.one.

Negli u1 tim:i anna si s orio co s t r-u r ti var t disposi ti vi che per

mettono di raggiungere vuoti migliori di

-b

10 rr.r:. Be senza

l'irnpiego di pezzi ceccanici in movimento a di fluidi da vuoto Vediamo su quali prir..cipi sona beseti questi disp.s:_

sitivi,

La pressione in u~ recipiente si abbassa se Sl pr£

voca la ionizzazicne del gas ir esso presente e se s1 fa usa

di un opportuno campo elettrico. Cia si puo spiegare pensan

do che gli ioni positivi vengcno attirati del catodo del s1 ste~ di elettrodi che genera 11 campo elettrico ed ivi s1 neutra1izzano ed, eventualmente, penetrano nel catodo stesso.

- 67 -

Le pompe che sfruttano questo principio prendono i1 nome di pompe a ionizzazione 0 po~pe ioniche.

In a1tri dispositivi oltre a1 pompaggio ionico, s1 utilizza l'assorbimento del gas da parte di un metall0 che viene evaporato e di cui si provaoa la condensazione su di una oonveniente parete.

Queste pompe prendono i1 nome di pompe ad evapo

razione e ionizzazione.

Passiamo subito a descrivere la prima di queste due oategorie,

) 1] •. ,

a ~omne lonlcne,

Nella sua forma piu semplice i1 funzio

namento di una pompa ionioa e schematizzato nella Fig, 15.

corrente ionica

Fig.15

Un cntodo piazzato a11'estremita F di un tuba di vetro, emette elettroni termici; essi sono attratti da un anodo posto in H e ionizz,ano nel loro camnino 1e mo1ecole

- 68 -

di gas presenti. Gli ioni COS1 generati sono trascirati verso F e dopa neutralizzazione suI catodo proseguono verso il vuo to preliminare.

EI pero chiaro che l'efficienza di questa pompa e molta bassa perche 18 ionizzazione nel tubo e scarsa. Schrmrtz, ehe ha studiato questa tipo di porapa , ha qu i nd i pensato di rr:_j.gliorarla allungando i1 pe r-cor-s c degli elettro ni; cia e effettuato nel fuodo indicato in Fig. 16.

C ~ 11 catodo, A l'anodo fetto ad allellc in rodo da intercettare pochi elettroni: gli elcttroni v6~gono poi

riflessi dalJ. I elettrodo r:"flettcre ~. =88': q u.i n d i v~-.:..nr.o e

F

F

verigono trs. C e d r:', e d il lora camri.no e q_uindi i1 rendir::er: to di ionizzazione vengono in questo no d o aumerrta t i .

Se non intervenissero fenomeni di carica e1ettro statica gli ioni sarebbere attirati da Cede R; allera F

- 69 -

ed F' sarebbero Ie posizioni ideali per il vuoto preparat£ _ rio. In pratica Ie cose vanno diversamente perche anche Ie pareti di vetro assumono la tensione del catodo e attirano gli ioni positivi.

Schwartz ha poi studiato un altro tipo di pompa ionica a rendimento maggiore che e rappresentata in Fig. 17.

Qui non e piu 11 vuoto preliminare che e connesso alIa zona retrostante 11 riflettore, rna quello finale, ed in questa punto s1 trova un elettrodo B apotenziale posi tivo in modo da allontanare gli ioni positivida questa r~ giene. Le cennessioni col vuoto preliminare F si trovano dietro il catodo ausi11ar10, nella zona centrale del tubo, tra l'anodo ed 11 riflettere, ma in prossimita dell'anodo. All'imboccatura di ogni

tubo d1 conness1one si trova un elettrodo circo lare a potenziale negativo. II diametro d1 questa pom pa e d1 Circa 2 cm e la lunghezza e d1 circa 8 CID. Con una tensione inferio

re a 2000 Volt ed un debe

Fig. 17

Ie ca~po magnetico ass1ale s1 e ottenuta una corrente d1 Circa 10 rnA; con un vue to preparatorio d1 circa 10~3 rom Hg s1 puo raggiun

- 70 -

-6

gere un vuoto di circa 5 x 10 rom Hg con una velocita di

aspirazione di circa 2 litri/sec.

Un altro tipo di pompa ionica cne 8i bas~ sullo

alto vuoto

solenaidi

solenoidi

vuoto preparatono

elica per it campo magnetico

Fig. 18

stesso principio di quella di Schwartz e Ia pompa di Foster, Lawrence e Lofgren~rappresentata schematicamente in Fig. 18.

Essa sfrutta l'effetto del campo ~hgnetico sugli

elettroni per aumentarne i1 canunino ed ottenere una maggi£
re ionizzazione. Essa ~ costituita da un lung 0 tubo metalli
e
co (lunghezza cirea 4 m e diametro circa 15 em) avente ad ogni estremita una strozzatura che costituisce l'anodo. Al Ie due estremita vi sono anehe due catodi cilindrici cavi; uno caldo (spirale di tungsteno) che funziona da sorgente

- 71 -

di e1ettroni e l'a1tro freddo che funziona da rif1ettore. Due solenoidi a1l'estremita del tubo ed un1elica a1 centro provvedono un campo magnetieo assia1e. La parte centrale del tubo e connessa con l'a1to vuote, mentre il vuoto prelimin~ re si affaccia all'estremita ehe porta il catodo calde. Gli elettroni che escono dal eatodo caldo sono collimati del cam po magnetico e oscillano avanti e indietro lungo 11 tubo spi ral1zzandoj essi perdono energia in collis1oni ionizzanti e sono finalmente raccolti dall'anodo. Gli ioni positivi ge nerati nella seariea non sana malta influenzati dal campo ma gnetico, rna sono attratti dai catodi. Alcuni si combinano

con questi ultimi, altri possono venire neutralizzati e porta ti via dalla pompa preliminare. Possono avvenire anche altri processi, come l'intrappolamento di particelle neutre da pa~ te di materiale evaporato dai catodi e depositato Bulle par ti ad esse vicine (v. paragrafo successivo).

Per pressioni molto basse nella zona centrale i1 numero degli ioni positivi e troppo basso per poter mantene re la scarica con Ie caratteristiche richieste; e allora n! cessario introdurre nella pompa del gas mediante una perdita nella regione del catodo. II vuoto preparatorio di questa pompa e di circa 10-2 rr~ Hg. Essa puo dare vuoti di circa 10-6 mm Hg con veloeita di aspirazione da 3000 a 7000 Ii tri/sec.

Svantaggi di questa pompa sono I'ingombro ed il cooto elevato. Inoltre essa richiede un gran consumo di P£

- 72 -

tenza; occorrono infatti alcune migliaia di ampere nelle b£ bine del campo magnetico. Essa e quindi impiegata solo in casi particolari, p.es. negli aeeeleratori.

Altro tipo di pompa ioniea che impiega un campo magnetico e la pompa ioniea a catodo freddo studiata per la prima volta da Penning nel 1937 e suceessivamente perfezi£ nata da altri. Riferendosi alIa Fig. 19, C1 e C2 costitui seono il catodo e Itanello A l'anodo del tubo di searica tenuto ad una tensione di circa 2000 Volt. II campo magneti co, dell'ordine di 1000 Gauss, e prodotto come indicato in figura da un magnete permanente ed e diretto perpendico1aE mente agli elettrodi.

-

c~ __ --,-1 _

--+----£:_ -_-_-_-::::: ..

A

'Fig. 19

Bisogna infine ricordare tra Ie pompe ioniche i1

manometro a ionizzazione (di cui vedremo in seguito l'impie

- 73 -

go come vacuometro). Esso e un normale triodo dove pero la la griglia e cirea 100 Volt positiva rispetto a1 catodo e la plaeca e invece una decina di Volt negativa. G1i elettr£ ni emessi dal filamento vengono accelerati dalla griglia e acquistano un'energia sufficiente per produrre ionizzazione nella zona tra la griglia e la plaeca; questa raccoglie ed elimina gli ioni. Inoltre in questa pompa, come in altre a filamento caldo, ha luogo il processo di aspirazione ehimi ca; infatti Ie molecole di gas non inerti arrivando suI fi lanento caldo (circa 1000oC) si dissociano e si combinano col filanento stesso.

Alpert, che ha studiato questa tipo di pompa, ha data la seguente teoria per la sua azione di aspirazione.

La velocita con la quale la pressione diminuisce a causa dell'azione di aspirazione ionica e proporzionale alIa pressione stessa. In analogia can la velocita di aspi razione di una normale pompa possiamo scrivere

___9_p_ = dt

( 1 )

dove SE e la velocita di aspirazione elettrica, Veil volu me, p ~ e In pressione limite ottenibile con questa meceani o~

smo.

, .

Riso1vendo la (1) si ha

p = p + (p - p ) exp (- s t/V)

-oE 0 oE E

(2)

se p e la pressione a1 tempo t = o. o

- 74 -

La (2) puo essere scritta nella forma

(3)

con

Per quanta riguarda la velocita di aspirazione do vuta all'azione chimica del filanento si scriveranno equazi£ ni analoghe aIle (2) e (3). Si avra in definitiva, con ovvio significato·dei simboli

E.E dt

Se P ~ PoE 0 PC' la (4) si riduce a

E..E= dt

s V

p

(5 )

se S e la velocita di aspirazione totale.

La costante di tempo complessiva sara data da

=

+

( 6 )

Nel caso di gas chimicamente inerti Sc = o. SUE poniamo poi che ogni ione raccolto venga definitivamente a1 lontanato dal sistema. II valore di SE dipende evidenteme~ te dalla corrente di ioni raccolta dalla placca e dalla cor rente totale dal filamento alIa griglia.

- 75 -

Ponendo nella (1) PoE« p e riscrivendo in termi ni della dens ita molecolare n, si ha

s = E

dn / dN )/

(Vat) n = - (dt n

(7)

se N = nV e il numero totale di molecole nel volume Y.

Sost1tuendo valori usuali nella (7) s1 ha SE = 0,02 litri/sec; il ~ E corrispondente per un volume di 1 litre e di circa un minute.

E' da netare ehe la veloeita di aspirazione e pr£ porzionale alIa corrente di emissione elettrenica. Se questa viene r1dotta a 10 IUA, S s1 riduce a 2 x 10-5 litr1/sec, e E

l E sale a 16 ore.

Vediamo ora di valutare l'ordine di grandezza di So per i gas chimicamente attivi.

Supponiamo ancora, analogamente a quanta fatto in precedenza, ehe ogni molecola che colpisce il eatodo venga immed1atamente rimossa dal volume.

La velocitk di Bspirazione si ottiene allora in questo caso in base ai risultati della teoria cinetica dei gas. S1 sa da questa che il numero di molecole ehe eolpisc£ no l'unita di superficie nell'unita di tempo e dato da nV/4 se vela velocita media della distribuzione di velocita. S1 ha allora

nvA 4

1 vA

=

n 4

(8 )

se A e l'area del catodo; v dipende dal gas e dalla tempera tura; per l'ossigeno a temperatura ambiente v ~ 4 x 104 em/sec.

- 76 -

2

La superficie del filamento puo essere circa di 0,2 em • So

stituendo nella (8) questi valori 8i ottiene per Sc un valo re di circa 1 Ii tro/sec. II corrispondente L C per un volume di un litr~ e circa un secondo.

b) Pompe ad evaporazione e ionizzazione. E' nota l'importa~ za che ha nella tecnica del vuoto il fenomeno dell'assorbi mento di gas e vapori da parte di sOlidi.

Vi sono in realta tre meccanismi mediante i quali un gas c va'por-e puo venire eliminato dall' ambiente in questi£ ne tra~ite l'azione di solidi.

In primo luogo il solido puo reagire chimicamente con 11 gas a vapore In quest1one; per esernpio i1 pentossido di fosforo (P205) elirnina il vapore d'acqua combinandosi con questa per dar luogo a11'acido fosforico (H3P04).

Vi sono poi due meccanismi di nat~ra fisica per 1 quali un &2.8 od un vapore puo sparire in presenza di Ull soli do. II primo di cssi, nota come "adsorbimento" e un processo di superfici€; il gas puo condensarsi sulla superficie forman do uno strata di spessore circa molecolare.

II secondo rneccanismo prende il nome di "absorbimen to" ed e un fenomeno di volumej il gas 0 vapore penetra nello interno del solido cosi come esso diffonderebbe in un liquido.

Prernesso questa si pub comprendere come nella tecni ca dei vuoti ultra-spinti si fruttino questi fenomeni impiegan do opportune sostanze dette "getter". I getter sana metalli chimicamente attivi (p.es. il bario e in genere i metalli del la serie delle terre rare). Essi vengono evaporati per mezzo di riscaldamento elettrico, quando gia esiste nell'ambiente un

- 77 -

buoD vuoto. Durante l'evaporazione essi si combinano con i gas residui nel sistema, in modo che questi si fissano come composti chimici depositati sulle pareti. Inoltre alcuni get ter, e specialment~ il bario, sono capaci di adsorbire una certa quantita di gas.

Esistono altri getter molto usati nella pratica, come per esempio il titanio, il magnesio, il calCio, il tanta lio, etc.

Sfruttando i fenorneni sopra aecennati si eostruise~ no oggi delle pompe dette ad evaporazione. e ionizzazione, ca paei di produrre vuoti dell'ordine di 10-10 rom Hg.

Una di queste pompe e composta quindi da un siste rna per evaporare i1 getter e da un sistema per ionizzare il gas residuo.

11 materiale che viene impiegato come getter deve naturalmente avere v~a tensione di vapore che, alIa tempera t~ra di lavoro, aia minore della pressione ehe si vuole otte

nere.

Le pompe ad evaporazione e ionrzzazione sono in ge nere caratterizzate da velocita di aspirazione elevate con dimensioni piuttosto ridotte. La veloeita di aspirazione va ria molto de un gas all'altro. La ionizzazione del gas pe£ mette l'aspirazione dei gas nobili~ Sembra che la ve10cita di aspirazione non diminuisea a pressioni basse nel vuoto ultra-spinto.

Per molte app1icazioni non ~ necessario evapore con tinuamente i1 getter, rna basta farlo ogni tanto. In questo

- 78 -

modo i1 consumo di getter, che durante llevaporazione e del llordine del mil1igrammo per minuto, viene molto ridotto.

Vediamo ora di descrivere brevemente alcuni dei pri~ cipali tipi di pompe ad evaporazione e ionizzazione.

Nel 1953 Herb ha usato una pompa di questa tipo, perfezionata in seguito da Davis, Davitia ed altri.

f iI ame:!..'n~to~++-~-----<~

filo di trtano

crogiuolo di carbone

_--+-t--

alta pompa a diffusione

Fig. 20

La Fig.20 rappresenta questa pompa di cui spieghia

- 79 -

mo ora il funzionamento. II getter e costituito da titanio che viene evaporato per riscaldamento di un carbone incande scente soggetto a bombardamento elettronico. Con questa di spositivo si raggiunge un tasso di evaporazione di titanio di 1,4 mgr/min per diversi giorni, fino ache i1 filamento di titanio 8i distrugge.

I gas inerti che non sono eliminati dall'azione del getter, sono rimossi dall'azione di aspirazione ionica del sistema di elettrodi. Gli ioni positivi sono catturati dalle pareti. La pompa opera evaporando titanio fino ache 8i ra~ giunge la pressione richiesta che viene mantenuta per pompa~ gio ionico. Quando i1 titanio viene ricoperto dal gas adsor bito la velocita di aspirazione diminuisce e la pressione au menta. Per ristabilire i1 vuoto s1 evapora allora nuovamente 11 titanio per ottenere un nuovo strato.

E' essenziale raffreddare le paret1 durante 10 svuo tauento per evitare ehe i gas adsorbiti vengano rilasciati dal ieposito.

Durante 10 svuotamento da parte della pompa di Herb l'idrogeno e i1 vapor d'acqua sono i gas piu abbondanti nel sistema. La Fig. 21 mostra uno spettro di gas residui ottenu

1 corrente di t970

uscita relativa

H+ 1 HzO

500 2 :

o H+ .

300 N+
200
N++ R++
100 :1
I
10 20 30
Fig. 21 400

40 50 m/e

- 80 -

-6

to ad una pressione totale di 2 x 10 rom Hg.

Si possono ottenere con questa pompa pressioni di circa 10-9 rom Hg.

Si era in precedenza parlato di un triodo funzionan te come pompa. E' evidente che se in tale triodo si evapora un getter si ottengono velocita di aspirazione maggiori.

Uno dei dispositivi piu comuni impiegati in pompe a ionizzazione ed evaporazione e quello di Penning precede~ temente descritto, nel quale si sfrutti pero ai fini dell'i~ piego di un getter il fenamena della "sputtering" catodico. Questa fenomeno ha luogo, in diversa misura nei vari metalli, tutte le volte che questi vengono sottopasti a bombardamento ionico. Anche se non e del tutto chiaro si puo dire che con sists in una eiezione di atomi da parte del metallo i quali si vanno a depositare nelle pareti circostanti del sistema.

E' chiaro allora che anche in un tubo di Pennine si avra questa fenomeno e che se i catodi sono costituiti da un buon getter, 1'.es. da titanio, la capacita di aspirazione della pompa sara fortemente aurnentata. I catodi avranno natu ralmente una vita limitata e andranno ad un certo punto 50- stituiti.

Con pompe di questa tipo di grosse dimensioni si ottengono vuoti dell'ordine di 10-10 rom Hg con velocita di aspirazione di alcune migliaia di litri/sec.

- 81 -

Capitolo 3

VACUOMETRI

3.1 - Introduzione.

Si chiamano vacuometri gli strumenti ahe servono

a misurare pressioni al disotto della pressione atmosferica.

I diversi vacuometri esistenti permettono misure in diversi intervalli di pressione ed il loro funzionamento si basa su principi fisici diversi. Si puo allora in base a questo compilare la seguente tabella, nella quale non sono inclusi vacuometri Qolto particolari e di raro impiego.

Tipe di vacuemetro

Intervallo di misura (mm Hg)

10 10-2

Tubi di scarica

Vacuometri basati ! sull'effeto radio Vnudsen metrico

Vacuometri a vi scosita

~ Langmuir

10-2 10-5
76~1 1
10 10-6
1 10-4
10-1 10-4 Vaeuometri a pres < Vacuometro ad U sione idrostatica ( nc Leod

Vacuometri a cond~( Pirani cibilita termiea (Termocoppia

- 82 -

Vacuornetri a ioniz 1 Terrnoionico 10-2 10-11
zazione Penning 10-3 10-5
Alphatron 10 10-4
Vacuornetri indica 1 Omegatron 10-5 10-9
tori di pressioni Spettr. a tempo di volo 10-4 10-7
parziali Spettr. a R.F. 5 x
Farvitron 5 x 10-5 10-8 17ei paragrafi che seguiranno descriveremo i vacuo metri sopra elencati, soffermandoc1 di piu su quelli di 1m piego piu frequente.

3.2 - Tuoi di scarica.

3i puc otterere una indicazione appr o s s Lma ti va del grado di 'rooto raggiunto in un sistema giudieando l'aspetto della scariea a bagliore ehe 3i attiene ioni~zando 11 gas r~ siduo. Si dovr~ naturalmente 5~ldare i1 tuba di seariea al recipiente in cui viene fatto il vuoto.

L'aspetto della scariea dipende, a parit~ di ~re~ sione, dalla natura del gas, dalla tensione applicate agli

elettrorli del tuba e dalle dimensioni geometriche di questa ultimo. II colore della scariea e un indice della natura del

gas residuo. Per esempio per l'aria si ham10 colorazioni dal

rosa al rosso, per I'olio decomposto si ha un grigio-verde e per il vapor d'acqua un bluastro.

3.3 - Vacuometro radiometrico di Iilludsen.

Ynudsen ha dimostrato che se Ie facce adiacenti di

- 83 -

due superfici piane e parallele separate da una distanza pi£ cola rispetto al cammino libero medio sono mantenute ad una temperatura T1 mentre Ie facce esterne sono mantenute a tem peratura T2, vi e una forza radiometrica su di esse, che ten de ad allontanarle, data da

F = ~ [( ~:) 1/2 _~

Questa formula vale se Ie superfici in questione sono della stessa natura. Infatti 10 scambio di calore con Ie molecole del gas avviene in modo diverso per superfici di verse. II problema andrebbe allora risolto prendendo in con siderazione i coefficienti di accomodamento delle superfici

stesse.

l'1ellEt f oz-rau La citata non compare alcuna grandezza cara~~eristica del gas, ::e allora si costruisce un dispositi vo in cui si possano nisurare gli effetti meccanici dovuti a

questa forza si sarh realizzato un vacuometro assoluto.

II vacuorne t r-o di ~-:-nudsen e costi tui to (v , Fig. 1) da una bande~uola sospesa ad una piattina sottile. Con A so

~A --,I~

I A

no indicate 1e superfici riscal date. Uno specchietto e appeso alIa piattina per permettere di valutare etticamente le defIes sioni delle strumento.

II campo di misura -1 di questo vacuometro va da 10

a 10-f) nun Hg.

. '

_~ 1
r-----.
, ~---
, I
I ,
I I
I I
• I
I L ___
,
1..-----
I Fig. 1

- 84 -

Esso presenta vari inconvenienti fra cui i piu no tevoli sono guelli di essere lento e molto delicato nell'ag giustamento.

3.4 - Vacuometro a viscosita.

Una striscia di quarzo e posta in vibrazione e si prende cone misura della pressione il tempo necessario perche l'ampiezz8. di questa vibrazione si riduca a meta del valore iniziale.

Se 11 cammino libero medio delle mole cole del gas e grande risp2tto aIle dimensioni del recipiente vale la se guente relazione

a

- b

dove p.e la pressione da misurare, M e il peso molecolare del gas, t e il tenpo necessario perche l'ampiezza dell'oscilla zione 8i riduca a metaj a e b sono costanti. II rapporto alb puo essere valutato determinando i1 tempo t per pressioni mol

-6

to piccole (~ 10 ). Noto questo rapporto a e b possono esse

re determinati trovando un valore di :p con un vacuometro di

Kc Leod (v. paragrafo successive).

Questo vacuo~etro viene utilmente impiegato per pre~ sioni tra 10-2 e 5 x 10-5 mn Hgj rna a pression~ molta basse

la viscosita e cosl piccola che i val~ri d~ t divengona es~g~

ratamente grandi.

Poiche non vi sano parti di metallo esposte a1 si stema questa vacuometro e particolarmente adatto nei casi in

- 85 -

cui ci si trovi in presenza di gas 0 vapori corrosivi. Esso presenta poi altri vantaggi quali i1 piccolo volumee l'as senza di scariche elettriche 0 fascetti elettronici che dan no 1uogo a prodotti di disintegrazione.

3.5 - Vacuometri a nressione idrostatica.

Questi sono di vari tipi. Si ritiene pero opportu no parlare qui soltanto dei due tipi seguenti.

- Vacuometro ad U. II tipo pili semplice di vacuometro a pres siorte idrostatica e i1 ben noto vacuometro ad U rappresentato in Fig. 2. La pressione ,8 data da L dislivell0 del liquido ~ nometrico, che assai spease e mercurio, nei due rami del tube. Con questo vacuometro la sen

- Vacuemetro di Mc Lead.II va cuometro di Me Lead e costitui to (v. Fig.3) da un tubo bare metrico che si biforca

in un rano portante un volume V sormantato de un eapillare C

vuoto

.... _t---p

sibilita non va oltre 11 mez zo rom Hg che eorrisponde alIa possibilita di apprezzare vi sualmente i1 dislivello in que stione.

Fig. 2

ed in un rano cemunicante in R col 11 recipiente di cui 8i vuole misurare la pressione. Quest'ultimo ramo porta lateral mente un tube capillare affiancato aCe dello stesso diame

- 86 -

tro di questo. II tubo T e in c£ municazione con un serbatoio di mercurio organizzato in modo da poter far salire 11 1ivell0 del mercurio stesso i1 cui livell0 su

periore e indicato can

T

zio di cORpressione V comprende i1 pa11oncino, i1 cap111are C ed 11

tratto d1 tubo che connette 11 ual

... -

Fig. 3

loncino con 11 tubo barometrico.

So11evando 11 serbatoio 11 mercurio sale e Quando e ar

... -

rivato in E1 chiude un determinato volume V di gas alIa pressione p nella spazio di compressione.

x

Sollevando ancora 11 serbatoio i1 mercurio riempie il volume V ed 11 gas viene compresso nel capillare C dando luogo ad un disl1vel1o d1 h mm fra 11 menisco del mercurio in tale ca pillare ed i1 menisco del mercurio ne1 capillare A. Questo disli vello misura llaumento d1 pressione che inizia1mente occupava tut to il vC'lume V.

Vi sono due modi d1 fare la misura. S1 pub portare i1 mercurio nel capillare A fino 8.1 segno 1"':2 (v , Fig. ,-1_-8.) che corri spande a1l'estrema superiore di C.

Si avra per la prcssione nel capillare

"P + h -x

e trascurando p x

= h

- 87 -

Fig. 4 - a

2

5e ~e la sezione del capillare in rom , i1 volume di

gas racchiuso e da to da h G' e applicando La legge di Boyle si ha

cioe

Questo procedimento porta alIa costruzione di una sea Ia quadratica; v/G" e Ia sensibi1ita del vaeuometro ed aumenta all'auEentare di V ed al diminuire di G) .

In un secondo procedimento che porta ad una scala linea re, i1 gas racchiuso in C viene portato ad un volume v facendo sa lire il mercurio fino al segno M3 (v. Fig.4-:-a) nel capillare C e 8i 1egge il dislivello tra i menischi tra i due capillari A e C. 8i ha

- 88 -

P = h C

e

cioe

v V

h

p x

=

Scegliendo varie posizioni per 1.-13 si puo variare entr~
larghi limiti v e quindi estendere il campo di misura. La sensibi
lita e data da v/Ve come nel primo metodo dipende da V e dalle dimensioni r1el capillare. Comunemente si sceglie v/V uguale ad una potenza intera negativa di 10, mentre una scala millimetrata

e posta aceanto -al' capillare per la lettura di h.
Per pressioni delliordine di 10-6 nUll Hg 11 volume di
gas raechiuso in C puo ·essere tanto piccolo che n on si riesce ad BE. prezzare alcun dislivello h e 10 strato di gas e eosi sottile che, per Ie forze di adesione fra mercurio e vetro, 11 ~ercurio si in colla a1 vetro cosi ehe facendo ridiscendere i1 mercurio da A es

so riI~ne incol1ato in ~ e solo quando in A e seeso di qualche mil limi tt·o si s tacca di co Lpo dell I estremo superiore del capillare.

II vantaggio principale del ~e Leed ~ quello di esaere uno strumento assoluto quindi molto adatto per tarare altri vacu~ metri. Gli svantaggi principali sono : a) non e uno strumento a lettura continua, b) Ie letture vengono falsate della corr.pressl~ ne del gas qualora il volume del recipiente in cui- si vuole misu rare la pressione sia paragonabile can quel10 del ~e Lead, c) 'esso me.naa nel recipiente in cui 6i vuole misurare 1a pressione vapori di mercurio; questa inconveniente pub venire eliminate can l'impiego di trappole refrigeranti, d) esso non ~ adatto alIa mi

- 89 -

sura delle tensioni dei vapori i quali, nOn essendo gas pefetti, non seguono la legge di Boyle. In pratica essi si condensano in seguito alIa compressione nel capillare e si hanno in consegue~ za delle letture erratiche.

El chiaro inoltre quanta sia iffiportante La pulizia del mercurio ai fini della precisions di misura.

3.6 - Vacuometri a canducibilita termica.

A questa gruppo di vacuometri appartengano come si e dettc il Pirani ed il vacuometro a termocopp1a. La pressione vie ne in essi misurata sfruttando Ie variazioni di temperatura di un filamento calda provocate da variazioni di pressione.

- Vacuometro Pirani. Esso e costituito da una testa di vetro 0

di metallo conte~ente un filamento riscaldato di metallo ad alto coefficiente di temperatura (p. es. platina 0 tungsteno). La tern peratura e quindi 1a resistenza del fi1amento dipendono da quanto rapidamente il calore viene sottratto a1 filamento stesso per op~ ra delle mole cole del gas circostante. EI noto che a pressioni ba~ se, cioe per cammini liberi medi maggiori a uguali ~lle dimensio ni del v2cuometro stesso, la conducibilita del gas dipende dalla pressior.e. II limite superiore alIa pressione misurabile col Pir~ ni e quindi imposto dalle dil~ensioni della testa; converra in qu~ sto sensa che i1 fi1amento sia piu vicino possibile alla parete.

II limite inferiore e determinato invece dal 'fatto che diminuendo la pressione il calore disperso per conducibilita di viene comparabile con quello perso per conduzione e per irraggia mento che rimane costante a1 variare della pressione.

- 90 -

Una maniera semplice di usare il Pirani e quella di co~ netterlo in serie ad una batteria e ad un milliamperometro. In,qu~ sta maniera non si ottiene perc una grande sensibilita.

Un montaggio molto comune e notevolmente piu sensibile consiste nel porre la 't e s ta Pirani come r-amo di un ponte di ·Nhea_! stone (v. Fig. 5). I1 ramo variabile. del ponte e usato per bilaQ ciare ~l ponte alIa pressione atmosferica. 1e variazioni di pre~ sione sbilanciano 11 ponte e Bono misurate tramite 1a deflessio ne del ga1v~nometro. Con questo. montaggio 5i mi5urano vuoti fino a circa 10-3 mm Hg. A1cune teste Pirani sono costituite da due

Fig. 5

Fig. 6

- 91 -

bulbi, ognuno dei quali contiene due rami opposti del ponte (v. Fig. 6). Uno ~i questi bulbi e vuotato e saldato ed e montato ac canto al bulbo di misura. Una variazione di pressione da luogo

ad una deflessione del galvanornetro doppia di quella c~e si avreb be con un solo filamento nel bulbo di mi5ura. Ci 51 pub d'altra parte spingere ad una notevole sens1bilitk in quanta i1 montaggio co~pleto sotto vuoto permette di prescindere tatalmente dalle va riazioni di temperatura ambiente.

11 vacuometro Pirani non e un vacuametro assoluto per che la variazione della resistenz3 del filamento con la pre5siene dipende dalla condilcibilita termiea del gas; esso ha quindi curve di calibrazione diverse per i vari gas. Cib vuel dire che la te st a deve venire calibrata, per esempio con un Me Lead, per ogni gas ehe si pensa di impiegare.

- Vacuametro a termoeo.ppia. In questa vacuornetro 1a giuntura del 1a termocoppia e saldata ad un filamento calda e 1a pressiane vi~ ne mi3urata in termini della corrente prodotta nel circuito della termocoppia.

Anehe questa strumento, come i1 Piran1, necessita di ta ra turs. Call [,Ic Lead per i vari gas che s1 vogliono impiegare. Esso misu~a pressioni da 10-1 a 10-4 mm Hg circa •

•

3.7 - Vacuometri a ionizzazione.

A questa categoria appartengono i seguenti tipi di va

cuometri.

- 92 -

- Vacuometro a ionizzazione termoionico. Questo vacuometro sfrut ta la ionizzazione prodotta in seno al gas residuo da un fascetto di elettroni emessi da un filamento caldo ed opportunamente acc~ lerati. A bassa pressione il numero di ioni prodotti e proporzi~ nale al prodotto della.pressione e della energia degli elettroni.

Lo strumento, ehe e gia stato studiato nel capitola pr~ eeden~ per quanta riguarda la sua azione di pompaggio, e cost1tui to da un triodo montato in un bulbo di vetro cOI!lunicante con il si sterna da vQotare. Questo trio do e connesso ad un circuito elettri

co simile a quello indicato in Fig. 7. Gli elettroni emessi da un

filamento caldo sono attratti

da una griglia che e di solito circa 100 V positiva risuetto

al filamento. La maggior parte

di essi passando attraver30 la

griglia arriva nello spazio tra

1a griglia e 1a plaeea dove born barda e ionizza alcune delIe no lec01e del ias. La placca (0 col

Fig. 7

lettore) e in genere circa 20 V negativa rispetto a1 filamento e rae coglie gli ioni positivi format~. Inoltre essa respi~Ge gli elettr~ ni e Ii rirnanda alla griglia dalla quale sono raceolti. II rapporto fra la corrente di ioni positivi al1a placea i e quella di elett!~

p

ni alla griglia i e una misura della nressione del gas eo 8 propoE g

zionale a questa. Pili precisamente 5i definisee una sen5ibilita S

del vacuometro al modo seguente:

s =

i /i P g

p

- 93 -

II limite superiore della pressione misurabile con que sto strumentoe imposto dal pericolo di danneggiare oil filamento a causa di ossidazione 0 di avvelenamento. Cic 8i puo ve:rificare in modo particolare-con filameilti ad ·ossido 0 di tungsteno toria to.

II limite-inferiore e·fra 10-:-7 e 10-8 mm Hg per un mana metro di tipo convenzionale, del tipo o t o s ora deseri t.to. Vediamo di studiare la ragione di questo limite inferiore.

S e l10rmalmente uguale- a 10, mentre i e in generedi circa 10 ~A; in queste condizioni una pressionegdi 10-8 mm Hg cor risponde ad una corrente ionica-i di10-9 A. E' quindi chiaro ehe p

In possibilith di Ieggere basse pressioni non e limitata da que

ationi riguardanti la sensibilit~ di lettura di corrente.

La ragione dell'esistenza di questa limite inferiore e stu spiegata da Nottingham nel 1947 ed e la seguente. La placea del triodo raccoglie una corrente di fondO del tutto indipendente dul valore della pressione nel sistema. Questa corrente e origi nata dai raggi X molli creati quando gli elettroni provenienti dal filnmento colpiscono la griglia. Questi a loro volta estra~ gone foto-elettroni dalla placca e CiD da luogo ad una corrente oe110 stasso segno di quel1a dovuta agli ioni ehe arrivano su di

essa.

Nel 1950 Bayard e Alpert harmo pubblicato un lavoro su di una testa a ionizzazione ,del, tipo indicato in Fig. 8. In qu~ sta testa l'ef£etto di fondo dovuto ai rhggi X viene notevolmente ridotto. Infatti il collettore di ioni, che e un sottile filo coas

tacca

Fig. 8

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siale con Ia struttura cilindric~ del la griglia, intercetta solo una pic~£ la frazione dei raggi X prodotti da quest I ultima. II filamento -e posta al difuori della griglia. II volume rae chiuso dalla griglia e circa uguale a quello tra griglia e placca di un ~ nometro a ionizzazior..e convenzionale. Gli ioni creati in questa volume sono

raccolti tutti dal collettere a causa

del po~enziale positiv~ della grislia; quindi l'efficienza di raccolta degli .ioni non differisce sostaDzialsente da

quella del rnanonetro convenzionale.

La distribuzione del poteE ziale nella ~eg1one d1 1onizzazione e i~vece d1 tipo assai diverse. Dato l'andamento Iogaritmico del potenziale tra gri61ia e placea infatt~, 11 grosse della caduta ai potenziule si ha in prossirnit~ di quest'ultima. Di conseguenza gli elettroni ionizzanti conserva no quasi tuttu la loro energia IQngo i1 ca~lino tra griglia e pla£ ca tranne che nell'ultimo tra~~o dsll'ordine del deci80 di nillime tro in pro3sir.li ta del c o L'l.e t t o r-e . Eel manome t.r-o a ion.izz.:~zione co~ venzionale s1 ha invece 13 situ3.:::ione oppost2.; gli elettroni.sono

.decelerati in tutto il.volume e sono quindi inefficienti per Ie io nizzazione per la naggio~ parte della lora tratiettoria.

Vediamo ora quali sono i princi~ali svantaggi di un mana metro a ionizzazione, sia esso di tipo Al~ert 0 di tipo convenzionale.

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Un primo svantaggio sta nel £atto che la sensibilita dello stru mento e assai diversa per i diversi gas; 10 strumento non e asso luto e richiede di conseguenza una taratura. In secondo luogo,c~ me si e visto nel capitolo precedente, un manometro a ionizzazio ne per pressioni inferiori a 10-4 rum Hg funzion~ da pompa iorrioa rendendo COSl incerte Ie misure di pressione. A questo proposito b~sogna evitare di interporre fra la testa di misura ed 11 siste J~ notevoli impedenze.

Inoltre Ge nel sistema vi sono dei vapori essi possono reagire con i1 fi1amento caldo. Se i1 sistema e evacuato da porn pe ad olio ::..1 vacuone t r-o nu sur-a una pressione mol to inferiore al

la ~ensione di vapare di quest'ultimo; l'effetto si spieg& pen~an do ad un continuo consumo d'olio da parte del filamento caldo.

?l'i~ cU i::np::'cgare un vaeuometro a ionizzazione e importan t9 decac2r8 1a testa di ~isura; Ie pareti vengono degasate riseal

ci.ar.dol,;j co t t o vuo t o , merrt r-e gli elettrodi vengono degasati sempre sotto vuotof per Bazzo dell'applicazione di opportuni potenziali.

Per l'eseelizionc delle misure si usa per praticita t~ nare c08tnnt'3 12. corrente di elettroni t! determinare la pressio ne til term2.ni della corrente ionica al collettore.

- V2c~~?tro Fc~~ini~ Questa vacuoTIetro, del quale si e gia par lata nel secondo capitola a proposito di pompe ad evaporazione e ionizzazione, e costituito da un anodo fatto ad anello A (v. Fig. S) dulls due parti del Quale 3i trovano due placche piane C ehe

SOl'}.O c onne c sc insie:.r,e e c he eostitui3eollo il ca t o do . Anehe qui

&li elettrodi so~o contati in un bulbo che generalmente e di ve tro cornun Lcant e col s i s t eraa da vuo t ar-e , II bulbo e piazzato tra

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c

A 6C'---- _

101. -0-_---+---

C

-

-

Fig. 9

FiG. 10

i poli di un t::;_agnete pe r-marierrt s i1 cui campo e pc r'pend i c o Laz-e &1 piano deg]_i elettrodi. Fra gli elettrodi ~ applicate una tensi£ ne continua di circa 2 zV; i1 circuito elettrico e nostrato in

Fig. 10. Gli elettroni che per 1a sola azione del campo elettri co s i, muo v e i-ebbez-o di moto o s c i I La t o r-Lo rettilineo fra anode € catodo, seguono invecet data In presenza del campo mag:letico, dei

camrnini a spirale; dopo varie oscillazioni essi vengono a118.

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ne catturati dall'anodo. POiche il carunino degli elettro~i e no tevolmente aumentato da1 campo magnetico essi sono in gT2::10 di ionizzare il gas nella testa di misura, esso sara quindi tanto pi'll conduttore quanta maggiore e la pressione della quale ~ qui_!! di funzione la corrente letta sulltamperometro.

11 limite inferiore della pressione misurabile (circa

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. . ~ ...

'10-5-mm Hg) e determinato dal fatto ehe a pressioni molto basse diviene molto difficile'innescare'la scariea. A pressioni di cir ca 10-3-mm_ Hg corrispondenti ad uria corrente ionicaeievata, si ha "sputtering" ca t o d i.cova,n c oris eguen za del qua.Le uno strato me tallico si deposita sulle pareti -della testa; cio, oltre a dare luogoa problemi di isolamento, provoca indesiderabili degasame!!; ti.

La taratura dello srt r-umerrt o dipende da l La natura del gas, rna nei limiti degli errori sperimentali si ha~~o Ie stesse curve di calibrazione per l'idrogeno, l'anidride ca~bonica, l'a rJ,.B e l'argon.

- Aluhat:::-on. In questa vacuometro si usa come sorgente di ioniz zazione la radiazione a proveniente dal radio. La corrente rae colta de una placea colletrice efunzione della pressione del gas. Questo strumento ha un campo di misura da 10 a 10-4 mm Hgj esso

e privo di filamento. Essendo pe~o la corrente di ionizzazione Dalto piccola si richiedenella pratica Ituso di un amplificat£ re in corrente continua.

L'impiego di questo strumento e limitato dal costo mol to elevato e dallQ precauzioni rese necessario dall 'irupiego di una sargente radioattiva.

3.8 - Vacuametri indicatori di pressioni parziali.

Sebbene in questi vacuometri 11 fenomeno della ionizza zione giuochi Q~ ruolo importante, si preferisce 'trattarne in un paragrafo a parte perc~~ la lora caratteristica fondamentale ~ quella di essere degli spettrometri di massa, capaci quindi di