Senzori i traductoare Cap.

6 SENZORI I TRADUCTOARE PENTRU PRESIUNE Presiunea reprezint un parametru important n majoritatea proceselor tehnologice n care se gsesc fluide. Senzorii traductoarelor de presiune convertesc aceast mrime fie intr-o mrime intermediar de natura unei deplasri sau deformaii mecanice fie direct intr-o mrime electric. Deplasrile sau deformrile sunt la rndul lor convertite intr-un semnal electric prin modificarea unor parametrii (rezisten, inductan, capacitate) ai unui circuit electric. Prin definiie presiunea este o mrime scalar dat de raportul dintre fora exercitat pe un element de suprafa i suprafaa elementului: Deoarece domeniul de msurare a presiunii este deosebit de ntins (fig.6.1) metodele de msurare sunt specifice numai pentru anumite intervale de msurare. Interesul maxim n ceea ce privete domeniile de msurare este pentru domeniul presiunilor mijlocii i al suprapresiunilor i pentru aceste domenii metodele de msurare a presiunii sunt prezentate n tabelul 6.1. Tabel 6.1. Element primar Coloana de lichid Element elastic Element intermediar Detector de nivel Msurare deplasare Principiul de msura al elementului intermediar - rezistiv; - capacitiv; - inductiv, etc - rezistiv; - LVDT; - inductiv; - codificator numeric Deformaie central - rezistiv; - LVDT; - inductiv; - tensometric; - balan de fore; - reluctan variabil; - capacitiv; - piezoelectric - tensometric

(6.1)
Cea mai simpl metod de msurare a presiunii const n utilizarea unui manometru cu coloan de lichid n form de U i ca urmare a diferenei de presiune ntre presiunea de msurat P i o presiune de referin Pref rezult o diferen h ntre nivelele de lichid din cele dou ramuri:

Tub Bourdon

(6.2)
n care reprezint densitatea fluidului iar g reprezint valoarea acceleraiei gravitaionale. Prin msurarea cu diferite metode (rezistiv, inductiv, capacitiv, fotoelectric) a distanei h se obin informaii despre presiunea P n cazul n care presiunea de referin este cunoscut i constant Presiunea poate fi absolut, dac se msoar n raport cu vidul absolut, relativ sau efectiv dac se msoar n raport cu diferena fa de presiunea atmosferic, sau diferenial dac se msoar n raport cu o presiune considerat de referin. Unitatea de msur pentru presiune este pascalul, Pa, (1 Pa = 1 N/m2 ) i fiind relativ mic pentru aplicaiile tehnice se utilizeaz barul, bar, (1 bar = 10 5 Pa). n practic se utilizeaz i alte uniti de msur pentru presiune cum ar fi: atmosfera tehnic (1 at = 1 kgf/cm2) sau atmosfera fizic (1 atm reprezint presiunea hidrostatic echivalent unei coloane de mercur cu densitatea de 13,595 g/cm3, avnd inlimea de 760 mm la 0 oC, corespunztoare unei acceleraii gravitaionale de 980,666 cm/s 2).

Membran

Msurare deformaie

Deformaie global

Deformaie local

Fig.6.1. Domenii de masurare a presiunii

6.1. Elemente sensibile elastice Traductoarele cu elemente sensibile elastice sunt utilizate pentru msurarea presiunii n domeniile de vacuum i suprapresiuni i utilizeaz ca elemente sensibile: membrane, tuburi i pistoane cu resort. Membranele sunt plci elastice de grosime mic, de form circular, ncastrate pe margine i care sub efectul unei presiuni pe una din fee de deformeaz elastic rezultnd o deplasare care poate fi msurat prin metode electrice. Dup forma constructiv membranele pot fi plane, gofrate sau sferice (fig.6.2), dup materialul din care sunt realizate pot fi metalice - cu rigiditate mare (oel, bronz, alam, alpaca) de mare rigiditate se msoar deformaia iar la cele de rigiditate mic i flexibile se msoar sgeata maxim. Dependena presiunii de
110

109

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version http://www.fineprint.com

Senzori i traductoare pentru presiune

Senzori i traductoare Tuburile Bourdon sunt elemente elastice cu seciuni de forme diferite (ovale, eliptice, n D)realizate sub forma unui arc de cerc (fig.6.4.). Ceea ce intereseaz n funcionarea acestui senzor este deplasarea cap tului liber sub aciunea presiunii interioare din tub n sensul ndreptrii acestuia. Considernd unghiul la centru < 270o i tubul cu seciune eliptic cu semiaxele 2a i 2b i considernd c sub aciunea forei exercitat de presiunea p captul liber se deplaseaz cu un unghi se poate deduce c:

Fig.6.2. Tipuri de membrane elastice deformare pentru membranele plane este prezentat aproximativ n fig.6.3 n care se disting : a - corespunz toare membranelor groase pentru care y < , caracteristic este liniar; a + b - corespunztoare membranelor de grosime medie pentru care y < 3, caracteristica este cvasiliniar; a + b + c - corespunztoare membranelor subiri pentru care y > 3 caracteristic este pronunat Fig.6.3. Dependenta presiunii de deformatie neliniar D e t e r minar e a r e l a i e i matematice ntre presiunea p (considerat uniform distribuit pe suprafaa membranei) i sgeata maxim y se face considernd un element de volum dintr-o membran cu luarea n considerare a forelor i momentelor care acioneaz asupra acestui element de volum rezultnd urmtoarele relaii generale pentru cele trei tipuri de membrane : - pentru membrane groase: n care: E- modulul de elasticitate; A1 - constanta de material (6.3) - pentru membrane de grosime medie:

Fig.6.4. Tub Bourdon

(6.6)
n care d reprezint deplasarea pe vertical a captului liber. innd seama ns i de deformarea seciunii tubului sub aciunea aceleiai presiuni, seciune ce tinde s devin circular rezult: - pentru tuburi cu perei subiri:

(6.7)
- pentru tuburi cu perei groi:

(6.8) (6.4) sistemul de ncastrare (A3 3) pentru

ncastrare perfect i (A3 =6/7 ) pentru ncastrare liber. n care: A11 i respectiv A13 depind de material i modul de ncastrare. n care: A3 - constant funcie de n cele dou relaii (6.7), (6.8) a, b, h, R reprezint parametrii constructivi ai tubului iar este un parametru constructiv ce depinde dup raportul Rh/a2. Se observ c exist o relaie liniar ntre deplasarea relativ a captului liber (/) i presiunea p aplicat n interiorul tubului. Datorit complexitii relatiilor de funcionare se prefer utilizarea unor curbe trasate experimental numite nomograme. 6.2. Convertoare intermediare asociate elementului sensibil elastic Deformaiile elementelor sensibile elastice sunt convertite n variaii de
112

- pentru membrane subtiri:

(6.5)

111

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version http://www.fineprint.com

Senzori i traductoare pentru presiune inductan sau n variaii de capacitate electric prin intermediul unor adaptoare specifice numite convertoare intermediare. Principiul de funcionare al convertorului inetrmediar de tip inductiv se bazeaz pe cuplarea mecanic a elementului sensibil elastic (de regul tub Bourdon) cu un senzor de tip inductiv conducnd n final la modificarea inductanei unei bobine. Schema din fig.6.5.a. este utilizat pentru msurarea presiunii relative. Concomitent cu micarea membranei are loc i micarea miezului feromagnetic ceea ce conduce la modificarea inductanelor L1 i L2 conectate n montaj diferenial. Cu ajutorul unui trimer format din inductanele L3 i L4 exist posibilitatea de reglaj a sensibilitii i respectiv a punctului de zero. Pentru schema din fig.6.5.b. pozi ia miezului magnetic se modific n funcie de deformarea / a tubului Bourdon avnd ca efect modificarea cuplajului magnetic ntre bobinele din primarul i respectiv

Senzori i traductoare r pe calot este:

(6.9.)
n care S reprezint tensiunea n membran, iar p reprezint presiunea de deformare a acesteia

(6.10)
Relaia (6.8.) se poate descompune intr-o serie de puteri astfel: Considernd (h/a)2 < 1 relaia (6.10) se poate reduce la primul termen, ceilalti avnd valori din ce n ce mai mici se neglijeaz deci:

(6.11)
Capacitatea elementar dC n zona cea mai apropiat dintre cele dou armturi dr este:

(6.12)
Fig. 6.5. Convertoare inductive secundarul unui montaj de tip transformator diferenial. Dup cum se observ pentru ambele aplicaii ale convertoarelor, conversia intermediar const de fapt ntr-o conversie presiune-deplasare i msurarea prin metode i procedee specifice a acestei deplasri liniare. Realizarea convertorului intermediar de tip capacitiv presupune conversia presiunii ntr-o variaie de capacitate a unui condensator cu membran mobil aceasta fiind de fapt elementul sensibil elastic (de regul o membran). Variaia de presiune Fig.6.6. Convertor capacitiv determin o variaie a sgeii membranei conducnd n final la modificarea distanei dintre armturi (fig.6.6.) Sub efectul presiunii p membrana ia forma unei calote sferice i presupunnd c rigiditatea membranei la ncovoiere este mic , sgeta y corespunztoare unei raze n cazul deformaiilor mici pentru care y/d < 1 se poate face aproximarea: (6.13) Rezult astfel capacitatea total considernd ntreaga suprafa a calotei sferice;

(6.14)
unde: (6.15)

(6.16)
Sensibilitatea relativ a unui astfel de convertor capacitiv este:

113

114

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version http://www.fineprint.com

Senzori i traductoare pentru presiune

Senzori i traductoare

(6.17)
Schema de msurare cea mai adecvat este puntea de impedane Sauty care lucreaz n regim dezechilibrat. 6.3. Adaptoare pentru traductoare de presiune cu elemente sensibile elastice Construcia adaptorului depinde de natura parametrului electric a carui variaie cu presiunea o impune elementul sensibil elastic prin intermediul convertorului intermediar astfel dac acesta este de tip inductiv sau capacitiv se utilizeaz o punte de impedane iar dac este de tip inductiv o punte Wheatstone ambele lucrnd n regim dezechilibrat. Tensiunea de dezechilibru este prelucrat intr-un lan funcional ce mai conine un amplificator de tensiune iar pentru punile de impedane un redresor sincron i un oscilator pilot pentru alimentarea punii i comanda redresorului. O alt soluie constructiv preia direct deforma ia elementului sensibil, elementul de conversie intermediar fiind inclus n structura adaptorului. Pe acest principiu sunt realizate: - adaptorul deplasare unghiular-tensiune ce utilizeaz un modulator magnetic care realizeaz conversia deplasrii unghiulare a unui sistem de prghii acionate de elementul sensibil intr-o tensiune alternativ modulat n amplitudine; - adaptorul pe principiul balan ei de fore (fig.6.7)

deplasare care este sesizat de elementul sensibil inductiv de tip transformator TI. Semnalul furnizat de TI dup o prelucrare corespunz toare de ctre un bloc electronic este aplicat sub forma unui curent electromagnetului EM astfel inct se restabilete echilibrul. La echilibrul momentele produse de fore, F1 a membranei asupra tijei respectiv F a electromagnetului, sunt egale adic:

(6.18)
Avnd n vedere cauzele celor dou fore ce determin momentele, adic:

(6.19)
i nlocuind n relaia (6.18) rezult :

(6.20)
adic un curent prin rezistena de sarcin Rs ce depinde de valoarea presiunii p aplicate. 6.4. Traductoare cu senzori piezorezistivi Utilizarea senzorilor piezorezistivi sub form de timbre tensometrice a permis crearea de elemente sensibile cu proprietatea remarcabil de a ngloba n aceiai unitate constructiv i dispozitivul de conversie intermediar. Tensometria se bazeaz pe variaia rezistenei unui conductor sau semiconductor supus unui efort mecanic. Considernd relaia de definire a rezistenei unui conductor i considernd conductorul supus unui efort longitudinal toate cele trei mrimi ce caracterizeaz rezistena acestuia vor fi afectate astfel:

(6.21)
n cazul unui conductor cu seciune circular de diametru D avnd aria seciunii D2/4 rezult:

Fig.6.7. Principiul traductorului cu balanta de forte Aceast ultim variant avnd o utilizare mai larg se analizeaz funcional n continuare. Este prezentat traductorul de presiune realizat pe principiul balan ei de fore care ofer la ieire un semnal unificat de curent proporional cu presiunea care se aplic membranei M Acest tip de traductor msoar presiunea relativ (diferena dintre presiunea de msurat i presiunea atmosferic) pe care o converte te n semnal electric unificat (i = 2 10 mA sau u = 0 5 V). Aciunea presiunii p asupra membranei M produce n urma deformrii acesteia o deplasare a tijei T a traductorului,
115

(6.22)
n care este coeficientul lui Poisson

(6.23)
Variaia rezistivitii ca urmare a aciunii unui efort mecanic poart numele de efect de piezorezistivitate. n cazul metalelor varia iile relative de rezistivitate i
116

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version http://www.fineprint.com

Senzori i traductoare pentru presiune volum sunt proporionale

Senzori i traductoare Graficul reprezentnd diagrama tensiunilor n membrana reprezentat n fig.6.8.i trasat pe baza ecuaiilor (6.27) eviden iaz faptul c distribuiile tensiunilor mecanice radiale i tangeniale au semne contrare la marginea membranei n raport cu zona de centru a acesteia. Aceast observaie permite utilizarea a patru elemente piezorezistive n montaj diferenial. Utilizarea montajelor diferen iale este impus i de necesitatea de a separa modificrile de rezisten datorate pe de o parte presiunii iar pe de alt parte, variaiilor de temperatur . Amplasarea elementelor piezorezistive EP se face astfel inct variaiile de rezisten provocate de presiunea de msurat s fie de semne contrare. n fig.6.9 este prezentat modul de amplasare al elementelor EP1...EP4 realizate prin difuzarea elementelor respective ntr-o diafragma de siliciu. n cazul unei piezorezistente realizate prin difuzie ntr-o pastil semiconductoare i care n lipsa unei presiuni aplicate diafragmei are valoarea iniial R0, la aplicarea unui efort datorat unei presiuni p apare o variaie de rezisten dat de relaia:

(6.24)
n care C reprezint constanta lui Bridgman a crei valoare este cuprins ntre 1,13...1,15 pentru aliajele obi nuite n construcia mrcilor i 4,4 pentru platin. Avnd n vedere expresia volumului ( l D2 / 4) rezult variaia relativ de volum: Considernd materialul izotropic i considernd deasemeni c nu se atinge limita superioar de elasticitate rezult variaia de rezisten a elementului:

(6.25)
unde K reprezint factorul de marc i care n mod obinuit are valoarea de aproximativ 2 cu excepia mrcilor realizate din platin la care K 6. Pentru variaii mici de rezisten ale firului metalic se poate aproxima:

(6.28)
unde r i respectiv t reprezint coeficienii piezorezistivi radiali respectiv tangeniali iar r i respectiv t reprezint tensiunile (eforturile) radiale i respectiv tangeniale induse n diafragma datorit aciunii presiunii p. Valoarea coeficienilor depinde de modul de orientare al EP difuzate n structura membranei astfel dac membrana este un semiconductor de tip p pentru o anumit orientare a EP se obine relaia:

(6.26)
n care R0 reprezint rezistena msurat n lipsa presiunii aplicate elementului. Elementele tensorezistive se utilizeaz de regul prin lipirea direct a acestora pe membrane elastice sau pe un subansamblu (tij sau lamel) care se deformeaz sub aciunea altui element sensibil elastic. n cazul utilizrii n combinaie cu membranele Fig.6.8. Diagrama tensiunilor mecanice n elastice este de remarcat faptul c sub membrana aciunea presiunii, deformaia produs creeaz att tensiuni mecanice radiale ct i tensiuni mecanice tangeniale. Considerd o membran circular perfect ncastrat de grosime i raza R asupra creia acioneaz diferenial presiunile p1 i p2 expresiile tensiunilor mecanice radial r i respectiv tangenial t vor fi :

(6.29)
Fig.6.9. Pozitionarea EP Variaia de rezistivitate este propor ional cu eforturile aplicate i deci implicit cu presiunea ce genereaz aceste eforturi i prin poziionarea ER (6.30) conform fig.6.9 se obin variaii de semn contrar ale tensorezistenelor astfel: Pe acest principiu sunt realizate traductoarele de presiune din seria SPX a firmei SENSYM cum este cazul senzorului integrat de presiune SPX01DN, respectiv din seria MPX a firmei MOTOROLA. Schema de msur a presiunii utiliznd senzori piezorezistivi are structura
118

(6.27)

117

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version http://www.fineprint.com

Senzori i traductoare pentru presiune prezentat n fig.6.10, este alimentat de la o surs de curent constant astfel nct asigur ca mrime de ieire un curent unificat 420 mA. Senzorii sunt astfel conectai nct la creterea presiunii R1 i R3 ii mresc rezistena iar R 2 i R 4 i mic oreaz rezisten a Fig.6.10. Adaptor pentru senzori piezorezistivi electric. Generatorul de curent constant pstreaz n diagonala de alimentare a punii un curent de 1 mA (0,5 mA pe fiecare bra ). n absena presiunii punte se consider echilibrat i aciunea presiunii de msurat determin generarea tensiunii de dezechilibru U. Dup o amplificare corespunztoare de ctre amplificatorul diferenial A aceasta este aplicat convertorului tensiune curent care va genera un curent n domeniul 319 mA corespunztor limitelor minim i respectiv maxim ale presiunii de msurat. Avnd n vedere curentul de 1mA constant prin punte rezult c rezistent de sarcin este parcurs de un curent variabil n domeniul 420 mA. Curentul variabil furnizat de convertorul U/I va produce pe rezistena de reacie Rr o cdere de tensiune ce readuce puntea la echilibru pentru a fi pregtit n vederea unei noi msurri. Prin modificarea valorii rezistenei de reacie Rr se poate fixa starea de echilibru a punii sau se poate modifica domeniul de lucru al traductorului. Utilizarea senzorilor piezorezistivi face posibil realizarea traductorelor de presiune integrate obinute prin integrarea intr-o unitate att a senzorilor ct i a blocurilor electronice componente ale adaptorului. Senzorii pot fi realiza i pe principiul membranelor elastice, tehnologia integrat fcnd posibil realizarea acestora cu diametre de ordinul milimetrilor i grosimi de ordinul micronilor, a c ror deformare se poate msura cu elemente piezorezistive. Sub aciunea presiunii are loc deformarea membranei i aceasta presupune apariia concomitent a unor tensiuni mecanice de incovoiere i i a unor tensiuni mecanice de alungire a (fig.6.11.). Prin plasarea pe suprafaa Fig.6.11. Membrana integrat rigidizat central membranei a elementelor
119

Senzori i traductoare piezorezistive rspunsul acestora va fi proporional cu suma alungirilor provenite de la cele dou tensiuni mecanice ceea ce ns mrete neliniaritatea caracteristicii de transfer. Din acest motiv membranele au o parte rigid central astfel nct alungirea are o variaie neglijabil n comparaie cu efectul de ncovoiere (fig.6.11.b.). Elementele piezorezistive realizate cu siliciu de tip p sunt depuse n zona elastic realiznd o punte i pentru a facilita introducerea unor reglaje suplimentare puntea poate fi ntrerupt la una din bornele de alimentare. Sensibilitatea unei astfel de puni este de ordinul a 10-20 mV/V pentru ntreg domeniu de msur. Deoarece sensibilitatea depinde de temperatura varia ia acesteia fiind de ordinul (0,1-0,2) % din domeniu pentru o variaie de temperatur de 1o C, circuitul de msurare necesit msuri speciale de compensare a acestei variaii. Circuitele de compensare conin n structura traductorului de presiune integrat un senzor de temperatur (termistor, diod , etc) care acioneaz asupra tensiunii de alimentare a punii prin intermediul unui circuit adecvat. Structura unui traductor de presiune integrat este prezentat n fig.6.12. Puntea piezorezistiv PM este alimentat prin intermediul cicuitului de compensare CC, alimentat la rndul de la un stabilizator de tensiune SU i comandat de un senzor de temperatur ST. Tensiunea de dezechilibru este preluat de preamplificatorul PA i aplicat apoi amplificatorului final AF. n cazul folosirii membranei intr-o Fig.6.12. Traductor de presiune integrat structur de senzor capacitiv, caz n care aceasta are rolul de armatur mobil, acesta intr de obicei n structura unor oscilatoare de relaxare. n acest caz compensarea erorilor datorate modific rilor de temperatur se poate realiza folosind un al doilea senzor de referin , cu circuitul de msurare corespunztor, msurarea efectundu-se diferenial. O atenie deosebit trebuie acordat n acest caz posibilitii apariiei capacitilor parazite care pot introduce erori suplimentare; diminuarea efectului capacitilor parazite se poate face punnd substratul la mas . Cteva din caracteristicile i performanele traductoarelor de presiune integrate sunt - domeniul de msur: relativ larg; - precizie: 0,25 1 %; - sensibilitate: 0,1 0,5 %; - erori de neliniaritate: <1% - alimentare: Ea = 24 V.
120

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version http://www.fineprint.com

Senzori i traductoare pentru presiune 6.5. Senzor de presiune optoelectronic Senzorii optoelectronici pot fi utilizai la msurarea presiunilor mici i avariaiilor rapide de presiune cazuri n care pentru a asigura rezolu ia i precizia necesar se impun dimensiuni mici i foarte mici ale membranelor. Structura senzorului optic de presiune, prezentat n fig.6.13. este conine urmtoarele componente de baz : o capsul de presiune avnd un perete dintr-o diafragma realizat ntr-un cristal de Si i un perete de sticl, un LED, i un fotodetector. Capsula este similar constructiv unui senzor capacitiv de presiune la care condensatorul este nlocuit cu o cavitate optic delimitat de diafragma i sticl ce formez un interferometru Fabry-Perot (FP). Acest interferometru este utilizat la msurarea ncovoierii diaframei supus aciunii presiunii de msurat.Feele interioare att ale diafragmei ct i a sticlei sunt metalizate i semitransparente. Pentru formarea cavitii sunt separate prin dou distaniere cu grosimea w formnd un spaiu variabil cu presiunea. Fotodetectorul conine trei jonciuni p-n ce formeaz trei fotodiode, dou dintre acestea fiind acoperite cu un filtru FP realizat din SiO2 i Al. Radiaia emis de LED se mparte n dou unde ce vor fi reflectate ctre fotodetector respectiv de oglinda semitransparent ce acoper sticla i de stratul metalic de pe diafragm. Principiul de funcionare al senzorului const n compararea lungimii de und a acestor radiaii tiind c prin parcurgerea cavitii interferometrului radiaia reflectat de membran va avea perioada egal cu (1/2)w. Ca urmare a aciunii presiunii de msurat distana w se modific cu aceasta astfel c radiaia captat de fotodiodele acoperite cu filtrul FP va avea perioada dependent de presiune. Fotodioda f r filtru constituie elementul de referin. Fotodetectorul lucreaz pe principiul unui demodulator i furnizeaz un semnal electric dependent de presiunea ce duce la incovoierea membranei, semnal care este maxim atunci cnd presiunea este zero adic atunci cnd distana dintre cele dou fee metalizate ale interferometrului este egal cu distana de referin w. Existena i aezarea celor dou fotodiode cu filtrul FP face posibil utilizarea acestui senzor i la Fig.6.13. Structura senzorului optoelectronic msurarea subpresiunilor adic de de presiune evaluarea a vidului dintr-o incint Avnd n vedere neliniaritatea introdus de funcionarea fotodiodelor precum i de dependena presiune-ncovoiere a membranei se impune utilizarea unei metode de liniarizare dintre care cea mai eficient const n utilizarea unui microprocesor sau microcontroler.

121

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version http://www.fineprint.com

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version http://www.fineprint.com