ASTM Electronics and Semiconductor Grade Water

Type
E-1

Type
E-1.1

Type
E-1.2

Type
E-2

Type
E-3

Type
E-4

Linewidth (microns)

1,0 0,5

0,5 0,25

0,25 0,18

5,0 1,0

>5,0

Resistivity (M/cm @ 25C)

18,2

18,2

18,2

17,5

12

0,5

Endotoxin (IU/ml)

0,03

0,03

0,03

0,25

TOC (g/L)

50

300

1.000

Dissolved oxygen (g/L)

Residue after evaporation

0,5

0,1

SEM particles (micron range: 0,1-0,2)

1.000

1.000

200

SEM particles (micron range : 0,2-0,5)

500

500

100

3.000

SEM particles (micron range : 0,5-1,0)

50

50

10.000

SEM particles (micron range : 10)

100.000

Online particles (micron range : 0,05-0,1)

500

500

100

Online particles (micron range : 0,1-0,2

300

300

50

Online particles (micron range : 0,2-0,3

50

50

20

Online particles (micron range : 0,3-0,5

20

20

10

Online particles (micron range : >0,5

Bacteria / 100 mL (100 mL sample)

Bacteria / 100 mL (1 L sample)

0,1

10

10.000

100.000

Total silica (g/L)

0,5

0,5

10

50

1.000

Dissolved silica (g/L)

0,1

0,05

Ammonium (g/L)

0,1

0,1

0,05

Bromide (g/L)

0,1

0,05

0,02

Chloride (g/L)

0,1

0,05

0,02

10

1.000

Fluoride (g/L)

0,1

0,05

0,03

Nitrate (g/L)

0,1

0,05

0,02

500

Nitrite (g/L)

0,1

0,05

0,02

Phosphate (g/L)

0,1

0,05

0,02

500

Sulfate (g/L)

0,1

0,05

0,02

500

Aluminum (g/L)

0,05

0,02

0,005

Barium (g/L)

0,05

0,02

0,001

Boron (g/L)

0,05

0,02

0,005

Calcium (g/L)

0,05

0,02

0,002

Chromium (g/L)

0,05

0,02

0,002

Copper (g/L)

0,05

0,02

0,002

500

Iron (g/L)

0,05

0,02

0,002

Lead (g/L)

0,05

0,02

0,005

Lithium (g/L)

0,05

0,02

0,003

Magnesium (g/L)

0,05

0,02

0,002

Manganese (g/L)

0,05

0,02

0,002

Nickel (g/L)

0,05

0,02

0,002

500

Potassium (g/L)

0,05

0,02

0,005

500

Sodium (g/L)

0,05

0,02

0,005

1.000

Strontium (g/L)

0,05

0,02

0,001

Zinc (g/L)

0,05

0,02

0,002

500